CN103630076A - 激光位移传感器的标定方法及装置 - Google Patents

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于正林
曹国华
姜涛
王振宏
谭微
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Abstract

激光位移传感器的标定方法及装置属于传感器的标定领域。目前，激光位移传感器的使用越来越广泛，但其标定方法和装置却发展滞后，现有的标定装置效率低，人工作业较多，有的成本较高。本发明之激光位移传感器的标定方法及装置采用高精度光栅尺作为标定的基准，利用步进电机和精密丝杠控制挡板的移动，计算机完成步进电机的控制、数据的采集、处理、输出和存储等工作。

Description

激光位移传感器的标定方法及装置
技术领域
本发明涉及一种激光位移传感器标定的方法和装置。该方法能快速高效的完成激光位移传感器的标定，操作简便，数据处理迅速直观。属于传感器的标定领域。
背景技术
激光位移传感器是利用激光技术进行测量的传感器，是一种将位移的变化转变成电信号的变化的非接触测量装置。由于激光位移传感器在线性度、分辨率、量程以及测量条件等方面有突出的表现，其应用范围越来越广。但目前专门针对激光位移传感器进行标定的方法和装置却很少。针对上述问题，为了能进行快速、准确、方便的对激光位移传感器的标定，我们发明了一种利用高精度光栅尺标定激光位移传感器的装置。
与本发明有关的现有技术领域有一种标定装置，该装置中使用手动进给方式，使用一款高精度光栅尺测量挡板的位移，与激光位移传感器的测量值对比，从而实现标定。该装置中由于激光位移传感器与光栅尺不同轴，存在阿贝误差的影响。两种传感器的数据都是通过各自的数据显示仪输出，采用人工读数的方式实现数据记录和处理。
发明内容
本发明之激光位移传感器的标定方法是这样实现的，其系统组成结构框图如图1所示，计算机通过运动控制卡控制步进电机旋转，精密丝杠将旋转运动转换成挡板的直线位移，同时光栅尺和激光位移传感器检测挡板移动的位移，计算机软件通过数据采集卡采集光栅尺和激光位移传感器所测量的数据并进行数据的后期处理，通过两组数据的对比来完成激光位移传感器的标定。
本发明之激光位移传感器的标定装置是这样实现的，标定系统装置的结构示意图如图2所示，与现有技术领域相同的是高精度光栅尺1和精密丝杠5。激光位移传感器7的测量点与高精度光栅尺1触头同轴共线，避免产生阿贝误差。
计算机通过运动控制卡控制步进电机2的运动，精密丝杠5将步进电机2的旋转转换成挡板4的直线位移。在挡板4运动的同时，高精度光栅尺1和激光位移传感器7采集挡板4的位移，计算机通过数据采集卡采集两者的数据，最后计算机完成数据的处理、输出和存储。
附图说明
附图1是激光位移传感器标定系统组成结构框图。
附图2是激光位移传感器标定装置结构示意图。
具体实施方式
本发明之激光位移传感器的标定具体实施方式是这样实现的：计算机负责控制步进电机2的运动和数据的采集、处理、输出、存储。进行标定之前首先设定“预设值”，在试验开始后，计算机通过运动控制卡控制步进电机2的运动，精密丝杠5将步进电机的旋转转换成挡板4的直线位移。在挡板4运动的同时，计算机实时采集高进度光栅尺1的数据值并与预设值进行比较，当高进度光栅尺1的数据与预设值匹配时，计算机采集激光位移传感器7的数据并记录下来。如此重复进行，直至标定完成激光位移传感器7的整个量程。

Claims (3)

1.激光位移传感器的标定方法和装置，其特征在于，标定激光位移传感器的高精度光栅尺1的输出值作为标定的基准，当计算机采集到的高精度光栅尺1的数据与预设值一致时，计算机采集激光位移传感器7的数据并记录下来。
2.根据权利要求1所述的激光位移传感器的标定方法和装置，其特征在于，高精度光栅尺1和激光位移传感器7的测量对象挡板4由步进电机2通过精密丝杠5推动。
3.根据权利要求1所述的激光位移传感器的标定方法和装置，其特征在于，高精度光栅尺1的触头与激光位移传感器7的激光测量点同轴共线。
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104048610A (zh) * 2014-06-26 2014-09-17 中国地震局地质研究所 反射式光纤位移传感器现场应用定标的方法和系统
CN104075652A (zh) * 2014-07-02 2014-10-01 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 电容位移传感器标定装置
CN104374356A (zh) * 2014-12-01 2015-02-25 北京机械设备研究所 一种位移传感器动态标定方法
CN104596427A (zh) * 2015-02-02 2015-05-06 中国科学院寒区旱区环境与工程研究所 一种激光位移传感器的低温标定装置
CN105318851A (zh) * 2015-11-04 2016-02-10 四川泛华航空仪表电器有限公司 位移传感器误差通用性检测装置
CN105823405A (zh) * 2016-04-20 2016-08-03 上海工程技术大学 一种电感式位移传感器检测装置
CN106767987A (zh) * 2016-11-18 2017-05-31 南京大树智能科技股份有限公司 一种光电传感器输出信号标定方法
CN108303130A (zh) * 2018-02-05 2018-07-20 中国计量大学 基于激光干涉原理的光栅莫尔信号细分误差标定方法
CN109520453A (zh) * 2018-10-16 2019-03-26 沈阳工业大学 高精度位置传感器自动标定系统及标定方法
CN110286644A (zh) * 2019-08-06 2019-09-27 安徽理工大学 一种基于dsp芯片的数控xy工作台同步触发测控系统
CN111609811A (zh) * 2020-04-29 2020-09-01 北京机科国创轻量化科学研究院有限公司 一种基于机器视觉的大尺寸板材成形在线测量系统与方法
CN112762838A (zh) * 2020-12-28 2021-05-07 上海骄成机电设备有限公司 一种多激光位移传感器系统标定方法和装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2308913A1 (fr) * 1975-04-23 1976-11-19 Sncf Dispositif d'etalonnage de capteur de deplacement
US5978743A (en) * 1997-05-30 1999-11-02 Mitutoyo Corporation Self-calibration method for a sensor
CN201364144Y (zh) * 2009-03-05 2009-12-16 吉林大学 便携型位移传感器的检定装置
CN101666638A (zh) * 2009-06-05 2010-03-10 中国航空工业集团公司西安飞机设计研究所 一种角位移传感器校准装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2308913A1 (fr) * 1975-04-23 1976-11-19 Sncf Dispositif d'etalonnage de capteur de deplacement
US5978743A (en) * 1997-05-30 1999-11-02 Mitutoyo Corporation Self-calibration method for a sensor
CN201364144Y (zh) * 2009-03-05 2009-12-16 吉林大学 便携型位移传感器的检定装置
CN101666638A (zh) * 2009-06-05 2010-03-10 中国航空工业集团公司西安飞机设计研究所 一种角位移传感器校准装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
韩清华等: "线位移传感器校准的一种新装置", 《计测技术》 *

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104048610A (zh) * 2014-06-26 2014-09-17 中国地震局地质研究所 反射式光纤位移传感器现场应用定标的方法和系统
CN104075652A (zh) * 2014-07-02 2014-10-01 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 电容位移传感器标定装置
CN104075652B (zh) * 2014-07-02 2017-01-04 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 电容位移传感器标定装置
CN104374356A (zh) * 2014-12-01 2015-02-25 北京机械设备研究所 一种位移传感器动态标定方法
CN104596427A (zh) * 2015-02-02 2015-05-06 中国科学院寒区旱区环境与工程研究所 一种激光位移传感器的低温标定装置
CN105318851A (zh) * 2015-11-04 2016-02-10 四川泛华航空仪表电器有限公司 位移传感器误差通用性检测装置
CN105823405A (zh) * 2016-04-20 2016-08-03 上海工程技术大学 一种电感式位移传感器检测装置
CN106767987B (zh) * 2016-11-18 2019-03-05 南京大树智能科技股份有限公司 一种光电传感器输出信号标定方法
CN106767987A (zh) * 2016-11-18 2017-05-31 南京大树智能科技股份有限公司 一种光电传感器输出信号标定方法
CN108303130A (zh) * 2018-02-05 2018-07-20 中国计量大学 基于激光干涉原理的光栅莫尔信号细分误差标定方法
CN109520453A (zh) * 2018-10-16 2019-03-26 沈阳工业大学 高精度位置传感器自动标定系统及标定方法
CN109520453B (zh) * 2018-10-16 2022-02-22 沈阳工业大学 高精度位置传感器自动标定系统及标定方法
CN110286644A (zh) * 2019-08-06 2019-09-27 安徽理工大学 一种基于dsp芯片的数控xy工作台同步触发测控系统
CN110286644B (zh) * 2019-08-06 2021-11-16 安徽理工大学 一种基于dsp芯片的数控xy工作台同步触发测控系统
CN111609811A (zh) * 2020-04-29 2020-09-01 北京机科国创轻量化科学研究院有限公司 一种基于机器视觉的大尺寸板材成形在线测量系统与方法
CN112762838A (zh) * 2020-12-28 2021-05-07 上海骄成机电设备有限公司 一种多激光位移传感器系统标定方法和装置

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