CN103616804A - 一种拼贴法制备单片集成电容触摸屏的动态掩模板系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种拼贴法制备单片集成电容触摸屏的动态掩模板系统，包括承载板、排版系统、视觉识别系统、图形处理系统、掩膜板拼贴系统和光刻系统，掩膜板拼贴系统将独立的小片掩膜单元按照对应的小片玻璃坐标位置信息排列到掩膜板承载基板上，形成动态拼贴掩膜板，效解决了拼贴法制备OGS触摸屏制程中因小片玻璃定位偏差而无法采用平行光光学图形曝光问题，使OGS触摸屏实现大规模量产，提高生产效率，可广泛应用于触摸屏、电子产品、光伏产品、PCB线路板中多层复合膜图层制作或图层间穿孔定位套合制作。
Description
技术领域
本发明涉及一种触摸屏制作系统，特别是一种单片集成电容触摸屏制作过程中的掩膜板系统。
背景技术
传统电容式触摸屏是一块多层复合玻璃屏，玻璃屏的内表面和夹层各涂有一层导电层，最外层是一薄层玻璃保护层，这种触摸屏结构较为复杂，生产成本高。
基于OGS技术的触摸屏把触控玻璃(Touch Sensor)与保护玻璃(Cover Glass)集成在一起，亦即在一般的保护玻璃内侧镀上ITO导电层，使该单片玻璃不仅具备保护玻璃的强度、安全性，同时也兼具触控功能，被认为是手机等消费电子产品触摸屏技术的发展趋势，因此几乎所有的触控面板厂都着手开发单片集成玻璃解决方案。
单片玻璃解决方案已获业界认可，为触摸技术的发展方向，但在实际设计中却会遇到各种问题。小片拼贴在大片载体上的大片制程模式以其高产量规模效益可实现工业化批量生产，拼贴法制作电容屏成为各方案中的首选，然而拼贴法制作电容屏存在关键的定位设计问题。
目前触摸屏厂商主要采用平行光曝光模式：小片拼贴大片需采用胶水将两层玻璃贴合在一起，因贴合过程中胶水的使用会导致小片玻璃定位后漂移的问题，贴合后片与片之间的位置偏差相差20um以上，角度也会出现偏差，而平行光曝光采用的阻挡光线的掩膜版为固定图形，曝光后形成在玻璃上的图形与小片定位之间存在角度和位置的偏差，导致产品无法顺利量产。
很显然，因以上定位问题，严重阻碍了集成电容触摸屏的量产，不能满足工业生产的需要。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明提供一种解决拼贴法制程中产品各图层之间的高精度对位问题，使单片玻璃触摸屏方案顺利实现高效、高良率、规模化生产的拼贴法制备单片集成电容触摸屏的动态掩模板系统。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
（1）、承载板：所述承载板设置有身份识别信息，用于承载小片玻璃。
（2）、排版系统：用于将小片玻璃排列到承载板上。
（3）、视觉识别系统：用于抓取承载板的身份识别信息和各小片玻璃位置图像，进行图像识别，获取承载板的身份识别码和各小片玻璃在承载板上的坐标位置。
（4）、图形处理系统：用于设计各小片玻璃所需的小片掩膜单元。
（5）、掩膜板拼贴系统：用于将独立的小片掩膜单元按照对应的小片玻璃坐标位置信息排列到掩膜板承载基板上，形成动态拼贴掩膜板。
（6）、光刻系统：利用平行光技术按掩膜板对小片玻璃进行光刻。
本发明的系统按照如下步骤制备单片集成电容触摸屏：
A、母板及小片玻璃制作
a、将大片玻璃切割成若干个小片玻璃；
b、将各小片玻璃进行高温化学强化并处理玻璃边缘；
c、小片玻璃多道丝印烘干；
d、制作对位标识，在各小片玻璃及承载板上制作承载板身份信息标识和小片玻璃坐标位置标识；
B、承载母板玻璃丝印
a、承载母板清洗烘干后固定在贴片台上，并通过对位标识及坐标原点确定承载母板在贴片台上的位置；
b、按照掩膜板对应小片掩膜单元位置，制作网板，通过视觉识别系统自动对位，丝印网板上对位标识与母板对位标识套合完全后丝印水溶性粘合剂；
C、小片玻璃对位贴合
a、将小片玻璃固定于发料机上，通过视觉识别系统图像扫描，辨识出小片玻璃黑色内边框，并以固定一点为识别坐标点；
b、通过贴片机械手，按照掩膜板中预定小片玻璃位置，对应母板零点，以识别坐标点，将小片玻璃按照相应位移进行对位贴合在承载母板上；
D、识别小片玻璃位置和角度
视觉识别系统在X方向和Y方向进行两维扫描整个承载母板上每个小片玻璃的图形，同时在Z方向进行整版高度扫描，通过图形成像后边缘灰阶的差异来抓取图形边缘，计算出曝光图形填充的准确中心位置，高度和角度；
E、将独立的小片掩膜单元按照各小片玻璃的坐标位置信息进行调整，形成曝光所需的动态拼贴掩膜板；
F、开启曝光程序，由曝光系统按照动态拼贴掩膜板对小片玻璃曝光。
本发明的有益效果是：本发明的拼贴法制备单片集成电容触摸屏的动态掩模板系统包括承载板、排版系统、视觉识别系统、图形处理系统、掩膜板拼贴系统和光刻系统，掩膜板拼贴系统将独立的小片掩膜单元按照对应的小片玻璃坐标位置信息排列到掩膜板承载基板上，形成动态拼贴掩膜板，效解决了拼贴法制备OGS触摸屏制程中因小片玻璃定位偏差而无法采用平行光光学图形曝光问题，使OGS触摸屏实现大规模量产，提高生产效率，可广泛应用于触摸屏、电子产品、光伏产品、PCB线路板中多层复合膜图层制作或图层间穿孔定位套合制作。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的掩膜板结构示意图。
具体实施方式
一种拼贴法制备单片集成电容触摸屏的动态掩模板系统，拼贴法制备单片集成电容触摸屏的过程是首先将小片玻璃粘贴在承载板上，由于小片玻璃与承载板在物理上是分离的，小片玻璃的位置不可避免会出现轻微的误差（偏差），本发明对掩膜板进行校正，克服偏差的问题。参照图1，本发明的掩膜板由若干独立的小片掩膜单元2和面积较大的掩膜板承载基板1构成，在曝光前对小片掩膜单元2进行位置校正，该系统包括：
（1）、承载板：所述承载板设置有身份识别信息，用于承载小片玻璃。
（2）、排版系统：用于将小片玻璃排列到承载板上。
（3）、视觉识别系统：用于抓取承载板的身份识别信息和各小片玻璃位置图像，进行图像识别，获取承载板的身份识别码和各小片玻璃在承载板上的坐标位置。视觉识别系统主要为CCD摄像系统及图像处理软件系统，利用CCD摄像系统（摄像机），经过在X方向和Y方向进行两维扫描整个承载板上每个小片玻璃，提取承载板上的图案，通过图形成像后边缘灰阶的差异来抓取图形边缘，计算出各小片玻璃坐标位置信息。
（4）、图形处理系统：用于设计各小片玻璃所需的小片掩膜单元。
（5）、掩膜板拼贴系统：用于将独立的小片掩膜单元按照对应的小片玻璃坐标位置信息排列到掩膜板承载基板上，形成动态拼贴掩膜板。独立的小片掩膜单元均采用三点定位伺服系统控制位置和角度。
（6）、光刻系统：利用平行光技术按掩膜板对小片玻璃进行光刻。
本发明的系统按照如下步骤制备单片集成电容触摸屏：
A、母板及小片玻璃制作
a、将大片玻璃切割成若干个小片玻璃；
b、将各小片玻璃进行高温化学强化并处理玻璃边缘；
c、小片玻璃多道丝印烘干；
d、制作对位标识，在各小片玻璃及承载板上制作承载板身份信息标识和小片玻璃坐标位置标识；
B、承载母板玻璃丝印
a、承载母板清洗烘干后固定在贴片台上，并通过对位标识及坐标原点确定承载母板在贴片台上的位置；
b、按照掩膜板对应小片掩膜单元位置，制作网板，通过视觉识别系统自动对位，丝印网板上对位标识与母板对位标识套合完全后丝印水溶性粘合剂；
C、小片玻璃对位贴合
a、将小片玻璃固定于发料机上，通过视觉识别系统图像扫描，辨识出小片玻璃黑色内边框，并以固定一点为识别坐标点；
b、通过贴片机械手，按照掩膜板中预定小片玻璃位置，对应母板零点，以识别坐标点，将小片玻璃按照相应位移进行对位贴合在承载母板上；贴片机械手抓住小片玻璃后，以小片玻璃的BM内边框（显示部分黑框的内边框）对承载板上的对位标识对位，确认坐标零点位置，然后贴片机械手根据小片掩膜单元的坐标位置，将小片玻璃贴到承载板的对应位置。
D、识别小片玻璃位置和角度
视觉识别系统在X方向和Y方向进行两维扫描整个承载母板上每个小片玻璃的图形，同时在Z方向进行整版高度扫描，通过图形成像后边缘灰阶的差异来抓取图形边缘，计算出曝光图形填充的准确中心位置，高度和角度；
E、将独立的小片掩膜单元按照各小片玻璃的坐标位置信息进行调整，形成曝光所需的动态拼贴掩膜板；
F、开启曝光程序，由曝光系统按照动态拼贴掩膜板对小片玻璃曝光。曝光系统由曝光光源、光学系统、电子掩膜板、曝光载物机械平台组成。其原理是：通过如DMD、LCOS、LCD等空间光调制器将计算机产生的图案数据经由光学系统，对基板承载系统中的各个小片进行扫描投影，实现各个小片玻璃的光刻。
爆光前，视觉识别系统识别承载板的身份信息，然后从系统数据库中读取承载板上小片玻璃坐标位置信息，掩膜板拼贴系统按照读取的小片玻璃坐标位置信息，将独立的小片掩膜单元通过伺服调整使之平移和转动角度，达到符合小片玻璃的定位要求的掩膜定位，形成用于产品曝光的动态拼贴掩膜板。
在拼贴形成动态拼贴掩膜板，开启曝光光源对产品图形进行曝光，从而实现OGS的顺利量产。
本发明的拼贴法制备单片集成电容触摸屏的动态掩模板系统将独立的小片掩膜单元按照对应的小片玻璃坐标位置信息排列到掩膜板承载基板上，形成动态拼贴掩膜板，效解决了拼贴法制备OGS触摸屏制程中因小片玻璃定位偏差而无法采用平行光光学图形曝光问题，使OGS触摸屏实现大规模量产，提高生产效率，可广泛应用于触摸屏、电子产品、光伏产品、PCB线路板中多层复合膜图层制作或图层间穿孔定位套合制作。
Claims (2)
1.一种拼贴法制备单片集成电容触摸屏的动态掩模板系统，其特征在于它包括：
（1）、承载板：所述承载板设置有身份识别信息，用于承载小片玻璃；
（2）、小片定位系统：用于将小片玻璃按照掩膜板预定位置定位排列到承载板上；
（3）、视觉识别系统：用于抓取承载板的身份识别信息和各小片玻璃位置图像，进行图像识别，获取承载板的身份识别码和各小片玻璃在承载板上的坐标位置；
（4）、图形处理系统：用于设计各小片玻璃所需的小片掩膜单元；
（5）、掩膜板拼贴系统：用于将独立的小片掩膜单元按照对应的小片玻璃坐标位置信息排列到掩膜板承载基板上，形成动态拼贴掩膜板；
（6）、光刻系统：利用平行光技术按掩膜板对小片玻璃进行光刻。
2.根据权利要求1所述的拼贴法制备单片集成电容触摸屏的动态掩模板系统，其特征在于该系统按照如下步骤制备单片集成电容触摸屏：
A、母板及小片玻璃制作
a、将大片玻璃切割成若干个小片玻璃；
b、将各小片玻璃进行高温化学强化并处理玻璃边缘；
c、小片玻璃多道丝印烘干；
d、制作对位标识，在各小片玻璃及承载板上制作承载板身份信息标识和小片玻璃坐标位置标识；
B、承载母板玻璃丝印
a、承载母板清洗烘干后固定在贴片台上，并通过对位标识及坐标原点确定承载母板在贴片台上的位置；
b、按照掩膜板对应小片掩膜单元位置，制作网板，通过视觉识别系统自动对位，丝印网板上对位标识与母板对位标识套合完全后丝印水溶性粘合剂；
C、小片玻璃对位贴合
a、将小片玻璃固定于发料机上，通过视觉识别系统图像扫描，辨识出小片玻璃黑色内边框，并以固定一点为识别坐标点；
b、通过贴片机械手，按照掩膜板中预定小片玻璃位置，对应母板零点，以识别坐标点，将小片玻璃按照相应位移进行对位贴合在承载母板上；
D、识别小片玻璃位置和角度
视觉识别系统在X方向和Y方向进行两维扫描整个承载母板上每个小片玻璃的图形，同时在Z方向进行整版高度扫描，通过图形成像后边缘灰阶的差异来抓取图形边缘，计算出曝光图形填充的准确中心位置，高度和角度；
E、将独立的小片掩膜单元按照各小片玻璃的坐标位置信息进行调整，形成曝光所需的动态拼贴掩膜板；
F、开启曝光程序，由曝光系统按照动态拼贴掩膜板对小片玻璃曝光。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN105825250A (zh) * | 2016-03-16 | 2016-08-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种不良显示面板的统计方法及装置 |
| WO2024000708A1 (zh) * | 2022-06-29 | 2024-01-04 | 深圳凯世光研股份有限公司 | 工件批量曝光方法及设备 |
Family Cites Families (5)
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| KR0138297B1 (ko) * | 1994-02-07 | 1998-06-01 | 김광호 | 포토 마스크 및 그 제조 방법 |
| CN101561727B (zh) * | 2009-05-13 | 2012-05-09 | 深圳市旺博科技有限公司 | 一种硬屏触摸屏制作方法 |
| JP5861641B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2016-02-16 | 大日本印刷株式会社 | タッチパネルセンサフィルム及びその製造方法 |
| CN102722304B (zh) * | 2012-06-21 | 2015-09-16 | 中山新诺科技有限公司 | 一种拼版式制备触摸屏的方法 |
| CN102880369B (zh) * | 2012-10-15 | 2016-08-24 | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 | 一种单片式电容触摸屏及其制备方法 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105825250A (zh) * | 2016-03-16 | 2016-08-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种不良显示面板的统计方法及装置 |
| CN105825250B (zh) * | 2016-03-16 | 2018-09-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种不良显示面板的统计方法及装置 |
| WO2024000708A1 (zh) * | 2022-06-29 | 2024-01-04 | 深圳凯世光研股份有限公司 | 工件批量曝光方法及设备 |
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