CN103600931A

CN103600931A - 精密切割机刀具存放盒

Info

Publication number: CN103600931A
Application number: CN201310506713.0A
Authority: CN
Inventors: 孙凤勤; 陈强; 高金德
Original assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Current assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority date: 2013-10-23
Filing date: 2013-10-23
Publication date: 2014-02-26
Anticipated expiration: 2033-10-23
Also published as: CN103600931B

Abstract

本发明涉及一种精密切割机刀具存放盒，所述存放盒包括：横向挡板、纵向挡板和存放盒主体；所述存放盒主体为一顶部和底部敞开的容器，所述横向挡板活动设置于所述存放盒主体的顶部和底部，所述纵向挡板固定设置于所述存放盒主体内部，通过该纵向挡板将所述存放盒主体内部分割成左右两个空间；所述纵向挡板的表面能够与精密切割机刀具的刀头的侧边缘贴合。本发明的存放盒在保证对刀具进行充分固定的情况下可同时放置两个刀具，使得刀具存放的空间利用率大大提高。

Description

精密切割机刀具存放盒

技术领域

本发明涉及一种半导体制造工艺中的刀具存放盒，尤其涉及一种精密切割机刀具存放盒。

背景技术

在半导体制造过程中会使用到一些精密切割机刀具，如细刀、粗刀、预切割机械装置（Preliminary Cleaving Mechanism，简称PCM）专用刀等。通常这些刀具会被放置在透明的塑料盒中，盒子内壁的表面会附有一定粘性的黏胶，用于将刀具进行固定，但是随着刀具到达使用场所（如实验室等），当用于存放刀具的塑料盒被打开之后，由于黏胶暴露于空气中，黏胶的粘性就会大为降低，这时的精密切割机刀具在塑料盒中的牢固性就会降低，从而在搬运的过程中不可避免的出现与盒体内壁发生碰撞，进而引起精密切割机刀具的损伤，尤其是可能引起精密切割机刀具的刀刃部分的损伤。

由于精密切割机刀具在使用过程中需要保证刀具的完好才能够保证其切割的精密度，因此，对于精密切割机刀具而言，一点细微的损伤便会对其使用造成不利影响。

在现有的精密切割机刀具盒中，通常都是仅存放一个刀具的盒子，这在一定程度对存放空间的利用不太经济。

中国专利（CN202728943U）公开了一种精密切割机刀具的存放器，通过把盒体内部设置成中空结构，形状与精密切割机刀具相契合，从而与刀具做到紧密贴合，且在顶部设有带有柔性缓冲装置的盖子，用来保护精密切割机刀具顶部。

中国专利（CN202754242U）公开了一种精密切割机刀具的存放器，通过将盒体内部设置成带斜坡的结构，且其形状与精密切割机刀具的形状相契合，并在盒体内部设置第一挡板槽、第二挡板槽和第三挡板槽，当挡板滑入盒体时精密切割机刀具能牢牢的嵌在里面，使得存放器与刀具紧密贴合。

上述两个专利并不仅仅限制于放置一个刀具，但是由于其存放器的结构中并没有涉及相关多个刀具之间的保护结构，因此，上述两个专利在放置一个刀具时才能达到最佳的保护效果。

可见，目前尚不存在一种刀具存放盒能够保证在放置一个及一个以上刀具时仍然能够起到良好的保护。

发明内容

鉴于上述问题，本发明提供一种精密切割机刀具存放盒。

本发明解决技术问题所采用的技术方案为：

一种精密切割机刀具存放盒，其中，所述存放盒包括：

横向挡板、纵向挡板和存放盒主体；

所述存放盒主体为一顶部和底部敞开的容器，所述横向挡板活动设置于所述存放盒主体的顶部和底部，所述纵向挡板固定设置于所述存放盒主体内部，通过该纵向挡板将所述存放盒主体内部分割成左右两个空间；

所述纵向挡板的表面能够与精密切割机刀具的刀头的侧边缘贴合。

所述的精密切割机刀具存放盒，其中，所述纵向挡板的形状呈之字形，其一边与向上放置的刀具侧边贴合，其另一侧与向下放置的刀具侧边贴合。

所述的精密切割机刀具存放盒，其中，所述存放盒主体的前后内壁上还设置有垫层，所述垫层的厚度与所述精密切割机刀具的厚度之和等于所述存放盒主体的厚度。

所述的精密切割机刀具存放盒，其中，在所述垫层与所述精密切割机刀具接触的表面的顶端设置有凹槽。

所述的精密切割机刀具存放盒，其中，所述垫层采用软性材料制成。

所述的精密切割机刀具存放盒，其中，所述软性材料为泡沫塑料。

所述的精密切割机刀具存放盒，其中，所述横向挡板与所述存放盒主体的连接处设置有滑槽，所述横向挡板通过所述滑槽实现相对于所述存放盒主体的左右移动。

所述的精密切割机刀具存放盒，其中，所述存放盒主体的顶部和底部还设置有截止器，所述截止器阻挡所述横向挡板滑落至所述存放盒主体内。

所述的精密切割机刀具存放盒，其中，所述横向挡板的一侧端部设置有高于所在表面的抬高结构。

所述的精密切割机刀具存放盒，其中，所述存放盒主体、所述横向挡板和所述纵向挡板均由塑料或金属制成。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：

本发明的精密切割机刀具存放盒通过一纵向固定挡板将存放盒内的空间分割成左右两个空间，通过该两个空间能够同时在存放盒中放置两个刀具，通过该固定纵向挡板来固定两个刀具在存放盒中的横向位置；并且该纵向固定挡板的中部被设置成与刀具端部形状相贴合的之字型，通过该结构能够对放入存放盒中的刀具在纵向上也给予固定；另外通过设置于存放盒内壁上的泡沫垫能够给予刀具在前后方向上的固定。可见，本发明存放盒的内部结构可以确保被放入存放盒中的刀具在空间的三个维度上都被固定住，同时还能一次存放两个刀具，在空间的利用上十分具有经济性。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。

图1是本发明精密切割机刀具存放盒的俯视结构示意图；

图2是本发明精密切割机刀具存放盒的横向挡板打开后的正视结构示意图；

图3是本发明精密切割机刀具存放盒的横向挡板关闭后的正视结构示意图；

图4是本发明精密切割机刀具存放盒的测试结构示意图。

具体实施方式

本发明提供一种精密切割机刀具存放盒，可用于技术节点为大于等于130nm、90nm、65/55nm、45/40nm、32/28nm或小于等于22nm等的工艺中；本发明同时可用于Logic、Memory、RF、HV、Analog/Power、MEMS、CIS、Flash、eFlash或Package等技术平台中。

本发明的主要思想是通过在存放盒的内部设置一呈之字形的纵向固定挡板，以将存放盒的内部空间分割为两部分的同时还对放入存放盒的刀具起到固定的作用，并且采用软性材料在存放盒的前后内壁上设置垫层来对刀具起到进一步的固定和缓冲避震作用。

下面结合具体实施例对本发明的精密切割机刀具存放盒进行详细说明。

如图1～4所示，本发明的精密切割机刀具存放盒主要包括横向挡板1、纵向挡板2和存放盒主体3三个部分。

其中，存放盒主体3为一个立方体的盒体，两个横向挡板1分别设置于该存放盒主体3的顶部和底部，用于对存放盒主体3的开启和关闭；纵向挡板2设置于存放盒主体3的内部，将存放盒主体3的内部空间分割成左右两个区域。

上述的横向挡板1为可活动的挡板，其可相对于存放盒主体3进行左右的移动，为了实现该相对移动的功能，横向挡板1与存放盒之间可设置一横向滑槽或其他可以实现该功能的结构。为了使横向挡板1便于横向滑动，在横向挡板1的端部可设置一定高起的抬高结构11，该抬高结构11的表面高于其所在的横向挡板的表面，从而使使用者在拉动横向挡板1时可以方便地找到着力点。上下两个横向挡板1的活动方向相反，即当上下两个横向挡板1都处于关闭状态时，位于上方的横向挡板1向左滑动，以开启存放盒右侧的存放区域，位于下方的横向挡板1向右滑动，以开启存放盒左侧的存放区域。

上述的纵向挡板2的侧面呈之字形，纵向挡板2的侧面与存放盒的内壁之间为固定连接，该纵向挡板2将存放盒主体3的内部空间分为左右两个区域，两个区域内均可被放入一个刀具6，从而使存放盒内部能够被放入两个刀具6。纵向挡板2的之字形结构能够与刀具6的一个侧面实现贴合，而刀具6的另一个侧面则与存放盒主体3的左右两侧的内壁实现贴合，这样就保证了刀具6在左右方向上的固定。另外，在存放盒主体3中还设有软性材料制成的垫层4，该垫层4设置于存放盒主体3的前后两个面的内壁上，用于进一步对刀具6进行固定，使得刀具6能够在前后方向上被固定住。当刀具6被装入存放盒主体3中后，位于上方的横向挡板1向右滑动，位于下方的横向挡板1向左滑动，从而将存放盒主体3关闭，此时，横向挡板1对于刀具6在上下方向上进行进一步的固定。这样，刀具6在存放盒主体3中，无论是其上下、左右或是前后都能够被牢牢固定，并且存放盒中的两个刀具6之间也不会相互产生碰撞等影响。

进一步的，在本发明的精密切割机刀具存放盒中还设置有截止器5，该截止器5设置于存放盒主体3的左上方和右下方，用于防止横向挡板1在拉动的过程中滑落到存放盒主体3中。

此外，设置于存放盒中的垫层4除了起到进一步固定刀具6的作用之外，由于其采用软性材料制程，其能够对刀具6起到一定的缓冲作用和减震作用，一旦存放盒由于掉落或者撞击而产生比较大的冲击后，可通过其内部的该垫层4来完全或部分消除冲击力，对刀具6起到更好的保护作用。为了使放于存放盒主体3中的刀具6在拿取时更为便捷，可在垫层4的表面开设可以伸入手指的凹槽41，通过该凹槽41，使用者可以很轻松地将刀具6取出。对于垫层4可优选采用泡沫材料来制备。

由于精密切割机刀具中的粗刀和细刀在刀具端部的形状是相同的，并且尺寸也是相同的。因此，本发明的精密切割机刀具存放盒不仅可以用于同时存放两个粗刀或细刀，还可以同时存放一个细刀和一个粗刀。

综上所述，本发明的精密切割机刀具存放盒由于是将刀具的前后、左右、上下都进行固定，从空间的三个维度上彻底杜绝了刀具相对于存放盒发生相对滑动的可能。这样可以保证装入存放盒的刀具在运送的过程中不会因为与存放盒的碰撞而导致刀具受损，使得刀具避免了不必要的非使用性损伤，在极大程度上延长了刀具的使用寿命。

对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。

Claims

1.一种精密切割机刀具存放盒，其特征在于，所述存放盒包括：

横向挡板、纵向挡板和存放盒主体；

2.如权利要求1所述的精密切割机刀具存放盒，其特征在于，所述纵向挡板的形状呈之字形，其一边与向上放置的刀具侧边贴合，其另一侧与向下放置的刀具侧边贴合。

3.如权利要求1所述的精密切割机刀具存放盒，其特征在于，所述存放盒主体的前后内壁上还设置有垫层，所述垫层的厚度与所述精密切割机刀具的厚度之和等于所述存放盒主体的厚度。

4.如权利要求3所述的精密切割机刀具存放盒，其特征在于，在所述垫层与所述精密切割机刀具接触的表面的顶端设置有凹槽。

5.如权利要求3所述的精密切割机刀具存放盒，其特征在于，所述垫层采用软性材料制成。

6.如权利要求5所述的精密切割机刀具存放盒，其特征在于，所述软性材料为泡沫塑料。

7.如权利要求1所述的精密切割机刀具存放盒，其特征在于，所述横向挡板与所述存放盒主体的连接处设置有滑槽，所述横向挡板通过所述滑槽实现相对于所述存放盒主体的左右移动。

8.如权利要求1所述的精密切割机刀具存放盒，其特征在于，所述存放盒主体的顶部和底部还设置有截止器，所述截止器阻挡所述横向挡板滑落至所述存放盒主体内。

9.如权利要求1所述的精密切割机刀具存放盒，其特征在于，所述横向挡板的一侧端部设置有高于所在表面的抬高结构。

10.如权利要求1所述的精密切割机刀具存放盒，其特征在于，所述存放盒主体、所述横向挡板和所述纵向挡板均由塑料或金属制成。