CN103566722B - 等离子体一体化脱硫脱硝除尘的方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种能够同时实现脱硫、脱硝、除尘的一体化处理方法，并提供了采用该处理方法的装置。锅炉燃烧后的烟气，主要成分为SO₂、NO_X、灰尘，通过等离子体发生电极，产生的等离子体中含有大量高能电子，作用于O₂、H₂O产生大量H、O、OH、O₃等活性粒子。SO₂、NO_X在活性粒子的作用下能发生化学反应，生成高价态的硫氧化物、氮氧化物，然后与通入的氨气结合，生成铵盐，作为二次产物进行回收，实现脱硫脱硝。在此过程中，等离子体中的带电粒子能够使灰尘颗粒带电，使其在外加直流偏置电场的作用下作定向运动，从而实现除尘的功能。本发明将静电除尘与等离子体脱硫脱硝一体化，减少了电源数量，提高放电电源的效率，能够降低能耗；节省投资，减小占地面积，降低成本。

Description

等离子体一体化脱硫脱硝除尘的方法及装置

技术领域

本发明属于火力发电厂烟气处理技术和空气净化领域，具体地说，本发明涉及一种等离子体脱硫脱硝除尘一体化处理方法，以及采用一体化处理方法的装置。

背景技术

燃煤产生的SO₂、NO_X是酸雨、光化学烟雾的主要物质，给生态环境和居民健康带来严重危害。国家在“十一五”期间实施了SO₂减排战略，同时将在“十二五”实施更加严格的SO₂和NO_X排放控制标准。但是，现阶段的烟气脱硫脱硝除尘技术只是针对SO₂、NO_X、灰尘颗粒等污染物分别进行处理，存在诸多不足，还没有实现一体化处理方式。

目前，烟气脱硫技术中，湿法石灰石/石膏脱硫（FGD）是应用最广泛的技术。该方法具有反应速度快、设备简单、脱硫效率高等优点。但是普遍存在腐蚀严重、运行维护费用高及易造成二次污染等问题。脱硝技术广泛采用的是选择性催化还原法(SCR)，其脱氮率可高达90%以上。但我国的脱硝催化剂生产技术和原材料还依赖国外，催化剂价格十分昂贵，成本高。另外，现行的技术一般均需要单独的两套设备，耗资高，占地面积大。因此，开发能同时脱硫脱硝的技术即脱硫脱硝一体化技术成为近年来研究的热点。其中等离子体技术能同时去除烟气中的细小颗粒、SO₂、NO_X、VOCs和重金属，被认为是最具发展前景的烟气净化技术，已成为我国重点支持的科技发展方向之一。

等离子体脱硫脱硝的方法主要有电子束辐照烟气脱硫脱硝技术（EA-FGD）、脉冲电晕脱硫脱硝技术和流光放电等离子体脱硫脱硝技术等。各种等离子体技术的原理基本相同，均利用放电或电子束辐照产生由电子、离子、原子、分子和自由基等粒子组成的一种新的集聚态物质，通过物理和化学作用实现脱硫脱硝，其可用性已经在近年来的科学研究过程中得到证实。但是，制约等离子体烟气处理技术广泛应用的最主要问题是电能的消耗量过大，一般要占到厂发电量的5%左右。

综上所述，目前的烟气脱硫脱硝除尘技术中，存在着一些问题：1、普遍存在腐蚀严重、运行维护费用高及易造成二次污染等问题；2、催化剂价格十分昂贵，成本高；3、单一脱硫或者单一脱硝，二者不能同时进行；4、流程复杂、占地面积大、运行成本高；5、单一处理效率高、联合处理效率低等不足；6、现有等离子体技术所要消耗的电能过大。因此，开发出能够在粉尘、潮湿等恶劣环境下，同时处理SO₂、NO_X、细小颗粒等污染物，占地面积小、放电电源效率高、能耗小、成本低的技术，成为燃煤烟气净化技术研发的重要方向之一。

针对现有技术存在的缺陷，提出本发明。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足，本发明提供了一种能够一体化脱硫脱硝除尘的方法，并提供了采用该方法的一体化处理装置。

本发明提供的技术方案是：一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的方法，应用于火力发电厂或工业锅炉烟气的处理，包括以下步骤：

A）烟气通过等离子体发生电极，使得烟气中产生包括电子、正离子、中性粒子的呈电中性的等离子体；并且使得烟气中的灰尘颗粒表面带电；

其中，等离子体发生电极的结构包括一组高电压电极和一组接地电极，高电压电极与接地电极均为圆柱形导体并包裹有绝缘介质，高电压电极与接地电极相互交叉并直接接触成形为多个绝缘接触交叉点的网状结构；

B）烟气通过施加直流偏置电场的装置，使其中的灰尘颗粒被吸附除去；

C）等离子体与烟气中的O₂、H₂O分子作用，生成具有强氧化性的H、O、OH、O₃活性粒子；烟气中的SO₂、NO_X在活性粒子的作用下进行化学反应，生成高价的NO₃ ^—和SO₄ ^2—；

D）通入氨气，氨气与烟气中的高价NO₃ ^—和SO₄ ^2—反应生成带电铵盐颗粒；

E）带电铵盐颗粒通过施加直流偏置电场的装置吸附除去，净化后的烟气通过管道排出。

其中，

所述步骤B）和步骤E）中的施加直流偏置电场的装置为多组正、负电极板交替竖直分布排列，正、负电极板垂直于等离子体发生电极表面设置，使得直流偏置电场的方向水平，且与气流方向垂直。

所述步骤D）中，氨气的通入量为：其中，和Q分别为NH₃和烟气的通入量，η_NO分别为脱硫效率和脱硝效率，C_NO分别表示烟气中SO₂和NO的体积浓度。

本发明的反应过程如下：

1、烟气脱硫过程

OH+SO₂→HSO₃

OH+HSO₃→H₂SO₄

O+SO₂→SO₃

SO₃+H₂O→H₂SO₄

2、烟气脱硝过程

OH+NO→HNO₂

O+NO→NO₂

OH+NO₂→HNO₃

O+HNO₂→HNO₃

3、副产物的生成

HNO₃+NH₃→NH₄NO₃

H₂SO₄+2NH₃→(NH₄)₂SO₄

本发明处理的烟气主要成分有SO₂、NO_X、灰尘颗粒等污染物。由于烟气中的重金属元素大多数在烟气中的灰尘颗粒上，于是本发明也能够去除烟气中的重金属。

本发明中的等离子体发生电极采用高频高压脉冲电源：由220V、50Hz工频交流供电，经过交流调压器、升压变压器变换成0-10kV、50Hz工频高压交流电，再经过全桥式高压整流硅堆、高压电容滤波器，变成0-10kV可调直流电，接着由大功率电力电子开关器件（如IGBT）串联组成的全桥电路对高压直流电压进行逆变，输出一定占空比的正负脉冲。其中输出占空比D和输出频率f由脉冲宽度调制（PWM）控制器控制，工作频率范围为1～100kHz。当电极间的电场强度达到起始放电场强时，就可以生成低温等离子体。

本发明中等离子体发生电极采用点接触式交叉网状电极：一组平行高电压电极和一组平行接地电极分布在同一平面内，高电压电极与接地电极均为圆柱形导体并包裹有绝缘介质，两组电极相互垂直交叉并直接接触形成有多个绝缘接触交叉点的网状结构。每层等离子体发生电极正对烟气流通方向竖直安放。

等离子体发生电极之间的绝缘介质采用具有耐腐蚀、耐高温性质的材料（例如聚四氟乙烯）。

等离子体发生电极的层数不固定，可根据脱硫脱硝除尘的效果，适当改变电极层数可以增加等离子体的生成量，从而增加脱除率；但是层数过多会增加成本和功耗。

等离子体发生电极的网孔密度可变，可根据脱硫脱硝除尘的效果，调整网孔的密度：增大网孔密度，等离子体生成量大，处理面积大，脱除率升高；但是当网孔密度太大时，气体通透率减小，使得气流通过网孔时的速度增大，处理时间减少，反而会降低脱除率。

等离子体是由电子、正离子、中性粒子组成的呈电中性的集合。烟气刚进入等离子体反应器时，带电粒子将附着在灰尘颗粒表面，令其带电，在直流偏置电场的作用下被除去。

等离子体与O₂、H₂O分子作用，生成具有强氧化性的活性粒子：H、O、OH、O₃等。

烟气中的SO₂、NO_X在活性粒子的作用下进行一系列化学反应，生成高价的NO₃ ^-和SO₄ ^2-。在灰尘颗粒被除去后，向反应器内通入氨气与烟气混合，生成铵盐颗粒，作为化肥在直流偏置电场的作用下被除去。

在两个等离子体之间都加有直流偏置电场，多组正负电极板交替排列，极板竖直分布，垂直于接触式电极表面。电场方向水平，且与气流方向垂直。带电的灰尘颗粒和铵盐颗粒在直流偏置电场中会定向运动到直流电极板上，利用振打锤或声波等方法除去。

本发明还提供了另一种技术方案，具体为：

一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的方法，应用于火力发电厂或工业锅炉烟气的处理，包括以下步骤：

1）烟气与氨气混合后通过等离子体发生电极，使得烟气中产生包括电子、正离子、中性粒子的呈电中性的等离子体；

其中，等离子体发生电极的结构包括一组高电压电极和一组接地电极，高电压电极与接地电极均为圆柱形导体并包裹有绝缘介质，高电压电极与接地电极相互交叉并直接接触成形为多个绝缘接触交叉点的网状结构；

2）等离子体与烟气中的O₂、H₂O分子作用，生成具有强氧化性的H、O、OH、O₃活性粒子；烟气中的SO₂、NO_X在活性粒子的作用下进行化学反应，生成高价的NO₃ ^—和SO₄ ^2—；氨气与烟气中的高价NO₃ ^—和SO₄ ^2—反应生成铵盐颗粒；

3）烟气与氨气的混合气体通过等离子体发生电极时，使得灰尘颗粒和铵盐颗粒表面带电；

4）烟气中的灰尘颗粒和铵盐颗粒通过施加直流偏置电场的装置吸附除去，净化后的烟气通过管道排出。

其中，

所述步骤1）中，氨气的通入量为：其中，和Q分别为NH₃和烟气的通入量，η_NO分别为脱硫效率和脱硝效率，C_NO分别表示烟气中SO₂和NO的体积浓度。

所述步骤4）中的施加直流偏置电场的装置为多组正、负电极板交替竖直分布排列，正、负电极板垂直于等离子体发生电极表面设置，使得直流偏置电场的方向水平，且与气流方向垂直。

本发明还提供了采用上述方法的装置，具体为：

一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的装置，安装在烟尘管道上，包括一罩体，罩体的入口和出口分别连接在烟尘管道上，所述的罩体内间隔平行设置有等离子体烟气处理单元，每个处理单元正对烟气流通方向竖直放置在罩体中，每两个等离子体烟气处理单元之间设有施加直流偏置电场的装置；

其中，等离子体烟气处理单元包含多层紧密排列的等离子体发生电极；每层等离子体发生电极采用点接触式交叉网状电极结构，具体为：一组平行高电压电极和一组平行接地电极分布在同一平面内，高电压电极与接地电极均为圆柱形导体并包裹有绝缘介质，两组电极相互垂直交叉并直接接触形成有多个绝缘接触交叉点的网状结构；每层等离子体发生电极正对烟气流通方向竖直安放。

所述的施加直流偏置电场的装置为多组正、负电极板交替竖直分布排列，正、负电极板垂直于等离子体发生电极表面设置，使得直流偏置电场的方向水平，且与气流方向垂直。

所述的正、负电极板上设有振动装置。

所述的罩体上部设有氨气管道通入接口，罩体的下部设有回收料排出口。

所述的罩体的入口处设有氨气管道通入接口，罩体底部设有回收料排出口。

高电压电极与接地电极包裹的绝缘介质为具有耐腐蚀、耐高温性质的聚四氟乙烯等材料。

本发明的有益效果是：

本申请的发明人进行了深入研究，提出了一种等离子体烟气脱硫脱硝除尘一体化的方法，通过点接触式交叉网状电极放电产生大面积低温等离子体对SO₂、NO_X进行处理，同时运用静电除尘的原理，将直流电源加在平行极板上，对灰尘颗粒进行吸附去除。

采用点接触式交叉网状电极结构，能够在较低的电场强度下得到较电晕放电更大面积的类辉光等离子体：接触点处存在局部强电场区域，能够在较低的电压下放电生成等离子体；接触点处等离子体能够向接触点周围区域扩散，增加了初始电子的数量，从而周围区域能够在较低的电场强度下实现放电，生成更大面积的等离子体；较低的电场强度、狭小的电极间距均抑制了电子崩的发展，降低了电流密度，避免了向弧光放电转化。

本发明的装置将原有的静电除尘装置与等离子体脱硫脱硝反应器一体化，减少了电源数量，提高放电电源的效率，能够降低能耗；节省投资，减小占地面积，降低成本。该方法可应用于高温、粉尘、潮湿等恶劣环境。

1）完全资源化。在处理过程中，还要向等离子体烟气脱硫脱硝除尘一体化装置中通入氨气，氨为催化剂，最终生成物可以用作化肥，不产生二次污染。产物氮肥附加值高，具有明显的经济效益，尤其复合石化行业的操作特性和需求。

2）同时可以对脱硫、脱硝、除尘进行处理。脱硫率大于90%，脱硝率大于70%，除尘率大于90%，实现脱硫脱硝除尘一体化，能够适应更高的环保要求；

3）所述的等离子体脱硫脱硝除尘一体化装置可应用于高温、粉尘、潮湿等恶劣环境；

4）所述的等离子体脱硫脱硝除尘一体化装置，电极的起始放电电压很低，有利于提高放电电源的效率、能耗低、降低成本。

附图说明

当结合附图考虑时，通过参照下面的详细描述，能够更完整更好地理解本发明以及容易得知其中许多伴随的优点，但此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定，其中：

图1为本发明的等离子体发生电极结构示意图；

图2为本发明的等离子体烟气处理单元结构示意图（以三层等离子体发生电极为例）；

图3为本发明的等离子体脱硫脱硝除尘一体化第一实施例流程图；

图4为本发明的等离子体脱硫脱硝除尘一体化第一实施例处理装置图（以三个等离子体烟气处理单元为例）；

图5为本发明的等离子体脱硫脱硝除尘一体化第二实施例流程图；

图6为本发明的等离子体脱硫脱硝除尘一体化第二实施例处理装置图（以三个等离子体烟气处理单元为例）。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

实施例1：

图3为本发明的等离子体脱硫脱硝除尘一体化第一实施例流程图；图4为本发明的等离子体脱硫脱硝除尘一体化第一实施例处理装置图；参考附图3、4，本发明的一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的装置，安装在烟尘管道5上，包括一罩体6，罩体6的入口61和出口62分别连接在烟尘管道5上，罩体6内间隔平行设置有等离子体烟气处理单元4，其结构参照附图2，等离子体烟气处理单元4包含多层等离子体发生电极（本实施例采用三层），等离子体发生电极结构参照附图1，包括一组高电压电极1和一组接地电极2，高电压电极与接地电极均为圆柱形导体并包裹有绝缘介质3，高电压电极1与接地电极2相互交叉并直接接触成形为多个绝缘接触交叉点的网状结构；每两个等离子体烟气处理单元4之间设有施加直流偏置电场的装置7。施加直流偏置电场的装置7为多组正、负电极板交替竖直分布排列，正、负电极板垂直于等离子体发生电极表面设置，使得直流偏置电场的方向水平，且与气流方向垂直。正、负电极板上设有振动装置（图中未示出）。罩体上设有氨气管道通入接口以及回收料排出口（图3中箭头方向示意）。

下面具体介绍采用上述装置的等离子体一体化脱硫脱硝除尘的处理方法：

A）将火力发电厂或工业锅炉烟气通过等离子体烟气处理单元，等离子体烟气处理单元中的等离子体发生电极使得烟气中产生包括电子、正离子、中性粒子的呈电中性的等离子体；并使得烟气中的灰尘颗粒表面带电；

B）烟气通过施加直流偏置电场的装置7，使其中的灰尘颗粒被吸附并通过振动装置振动使其通过回收料排出口排出；

C）等离子体与烟气中的O₂、H₂O分子作用，生成具有强氧化性的H、O、OH、O₃等活性粒子；烟气中的SO₂、NO_X在活性粒子的作用下进行化学反应，生成高价的NO₃ ^—和SO₄ ^2—；

D）通入氨气，氨气与烟气混合，与烟气中高价NO₃ ^—和SO₄ ^2—反应生成带电铵盐颗粒；

氨气的通入量由如下方程式决定：

$Q_{{\mathrm{NH}}_3}=(2C_{{\mathrm{SO}}_2}\·{\mathrm{\η}}_{{\mathrm{SO}}_2}+C_{\mathrm{NO}}\·{\mathrm{\η}}_{\mathrm{NO}})Q$

其中，和Q分别为NH₃和烟气的通入量，η_NO分别为脱硫效率和脱硝效率，C_NO分别表示烟气中SO₂和NO的体积浓度。煤的成分变化很大（硫：1%～10%、氮：1%～2%），因此会导致烟气中SO₂和NO的浓度有所变化。在实际生产中为了达到更好的脱除效率，通常是将多于理论量的氨气喷入系统。

E）带电铵盐颗粒通过直流电场发生装置7吸附除去，净化后的烟气通过管道排出。

本发明中的等离子体发生电极采用高频高压脉冲电源：由220V、50Hz工频交流供电，经过交流调压器、升压变压器变换成0-10kV、50Hz工频高压交流电，再经过全桥式高压整流硅堆、高压电容滤波器，变成0-10kV可调直流电，接着由大功率电力电子开关器件串联组成的全桥电路对高压直流电压进行逆变，输出一定占空比的正负脉冲。其中输出占空比D和输出频率f由脉冲宽度调制（PWM）控制器控制，工作频率范围为1～100kHz。当电极间的电场强度达到放电场强时，就可以生成低温等离子体。

实施例2：

图5为本发明的等离子体脱硫脱硝除尘一体化第二实施例流程图；图6为本发明的等离子体脱硫脱硝除尘一体化第二实施例处理装置图。

本实施例的结构是在实施例1的基础上作出的变形，改变之处在于在罩体6的入口61处设有氨气管道通入接口，罩体6底部设有回收料排出口（参照附图6），其余未作出改变。

下面结合附图5、附图6具体介绍另一实施例的等离子体一体化脱硫脱硝除尘的处理方法，包括以下步骤：

1）烟气与氨气混合后通过等离子体发生电极，使得烟气中产生包括电子、正离子、中性粒子的呈电中性的等离子体；

其中，等离子体发生电极的结构包括一组高电压电极和一组接地电极，高电压电极与接地电极均为圆柱形导体并包裹有绝缘介质，高电压电极与接地电极相互交叉并直接接触成形为多个绝缘接触交叉点的网状结构；

氨气的通入量为： $Q_{{\mathrm{NH}}_3}=(2C_{{\mathrm{SO}}_2}\·{\mathrm{\η}}_{{\mathrm{SO}}_2}+C_{\mathrm{NO}}\·{\mathrm{\η}}_{\mathrm{NO}})Q$

其中，和Q分别为NH₃和烟气的通入量，η_NO分别为脱硫效率和脱硝效率，C_NO分别表示烟气中SO₂和NO的体积浓度。煤的成分变化很大（硫：1%～10%、氮：1%～2%），因此会导致烟气中SO₂和NO的浓度有所变化。在实际生产中为了达到更好的脱除效率，通常是将多于理论量的氨气喷入系统。

2）等离子体与烟气中的O₂、H₂O分子作用，生成具有强氧化性的H、O、OH、O₃活性粒子；烟气中的SO₂、NO_X在活性粒子的作用下进行化学反应，生成高价的NO₃ ^—和SO₄ ^2—；氨气与烟气中的高价NO₃ ^—和SO₄ ^2—反应生成铵盐颗粒；

3）烟气与氨气的混合气体通过等离子体发生电极时，使得灰尘颗粒和铵盐颗粒表面带电；

4）烟气中的灰尘颗粒和铵盐颗粒通过施加直流偏置电场的装置吸附除去，净化后的烟气通过管道排出。

本实施例的电源与实施例1相同的高频高压电源。

以上实例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (11)

1.一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的方法，应用于火力发电厂或工业锅炉烟气的处理，其特征在于，包括以下步骤：

A）烟气通过等离子体发生电极，使得烟气中产生包括电子、正离子、中性粒子的呈电中性的等离子体；并且使得烟气中的灰尘颗粒表面带电；

其中，等离子体发生电极的结构包括一组高电压电极和一组接地电极，高电压电极与接地电极均为圆柱形导体并包裹有绝缘介质，高电压电极与接地电极相互交叉并直接接触成形为多个绝缘接触交叉点的网状结构；

B）烟气通过施加直流偏置电场的装置，使其中的灰尘颗粒被吸附除去；

C）等离子体与烟气中的O₂、H₂O分子作用，生成具有强氧化性的H、O、OH、O₃活性粒子；烟气中的SO₂、NO_X在活性粒子的作用下进行化学反应，生成高价的NO₃ ^—和SO₄ ^2—；

D）通入氨气，氨气与烟气中的高价NO₃ ^—和SO₄ ^2—反应生成带电铵盐颗粒；

E）带电铵盐颗粒通过施加直流偏置电场的装置吸附除去，净化后的烟气通过管道排出。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的方法，其特征在于，

所述步骤B）和步骤E）中的施加直流偏置电场的装置为多组正、负电极板交替竖直分布排列，正、负电极板垂直于等离子体发生电极表面设置，使得直流偏置电场的方向水平，且与气流方向垂直。

3.根据权利要求1所述的一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的方法，其特征在于，

所述步骤D）中，氨气的通入量为：其中，和Q分别为NH₃和烟气的通入量，η_NO分别为脱硫效率和脱硝效率，C_NO分别表示烟气中SO₂和NO的体积浓度。

4.一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的方法，应用于火力发电厂或工业锅炉烟气的处理，其特征在于，包括以下步骤：

1）烟气与氨气混合后通过等离子体发生电极，使得烟气中产生包括电子、正离子、中性粒子的呈电中性的等离子体；

其中，等离子体发生电极的结构包括一组高电压电极和一组接地电极，高电压电极与接地电极均为圆柱形导体并包裹有绝缘介质，高电压电极与接地电极相互交叉并直接接触成形为多个绝缘接触交叉点的网状结构；

2）等离子体与烟气中的O₂、H₂O分子作用，生成具有强氧化性的H、O、OH、O₃活性粒子；烟气中的SO₂、NO_X在活性粒子的作用下进行化学反应，生成高价的NO₃ ^—和SO₄ ^2—；氨气与烟气中的高价NO₃ ^—和SO₄ ^2—反应生成铵盐颗粒；

3）烟气与氨气的混合气体通过等离子体发生电极时，使得灰尘颗粒和铵盐颗粒表面带电；

4）烟气中的灰尘颗粒和铵盐颗粒通过施加直流偏置电场的装置吸附除去，净化后的烟气通过管道排出。

5.根据权利要求4所述的一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的方法，其特征在于，

所述步骤1）中，

氨气的通入量为： $Q_{{\mathrm{NH}}_3}=(2C_{{\mathrm{SO}}_2}\·{\mathrm{\η}}_{{\mathrm{SO}}_2}+C_{\mathrm{NO}}\·{\mathrm{\η}}_{\mathrm{NO}})Q$

其中，和Q分别为NH₃和烟气的通入量，η_NO分别为脱硫效率和脱硝效率，C_NO分别表示烟气中SO₂和NO的体积浓度。

6.根据权利要求4所述的一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的方法，其特征在于，

所述步骤4）中的施加直流偏置电场的装置为多组正、负电极板交替竖直分布排列，正、负电极板垂直于等离子体发生电极表面设置，使得直流偏置电场的方向水平，且与气流方向垂直。

7.一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的装置，安装在烟尘管道上，包括一罩体，罩体的入口和出口分别连接在烟尘管道上，其特征在于，所述的罩体内间隔平行设置有等离子体烟气处理单元，每个处理单元正对烟气流通方向竖直放置在罩体中，每两个等离子体烟气处理单元之间设有施加直流偏置电场的装置；

其中，等离子体烟气处理单元包含多层紧密排列的等离子体发生电极；每层等离子体发生电极采用点接触式交叉网状电极结构，具体为：一组平行高电压电极和一组平行接地电极分布在同一平面内，高电压电极与接地电极均为圆柱形导体并包裹有绝缘介质，两组电极相互垂直交叉并直接接触形成有多个绝缘接触交叉点的网状结构；每层等离子体发生电极正对烟气流通方向竖直安放。

8.根据权利要求7所述的一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的装置，其特征在于，所述的施加直流偏置电场的装置为多组正、负电极板交替竖直分布排列，正、负电极板垂直于等离子体发生电极表面设置，使得直流偏置电场的方向水平，且与气流方向垂直。

9.根据权利要求8所述的一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的装置，其特征在于，所述的正、负电极板上设有振动装置。

10.根据权利要求7所述的一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的装置，其特征在于，所述的罩体上部设有氨气管道通入接口，罩体的下部设有回收料排出口。

11.根据权利要求7所述的一种等离子体一体化脱硫脱硝除尘的装置，其特征在于，所述的罩体的入口处设有氨气管道通入接口，罩体底部设有回收料排出口。