CN103510704A - 电子车间洁净系统施工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种电子车间洁净系统施工方法，包括净化空调系统施工、洁净室施工、电气设施安装、设备安装、配管工程、洁净室综合性能调试、检测等步骤。本发明本工法可确保洁净室的施工质量，减少施工难度，缩短工程工期，具有明显的社会经济效益。
Description
技术领域
本发明涉及一种电子车间洁净系统施工方法。
背景技术
随着现代工业技术和生产的发展，对于清洁生产的要求越来越高，如食品、烟草、电子、精密仪器仪表、医药、医疗手术室、多晶硅等生产制作场所，均涉及洁净室、洁净车间施工。洁净车间工程施工难度大，洁净度要求高，一直以来难以解决。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可确保洁净室的施工质量，减少施工难度，缩短工程工期的电子车间洁净系统施工方法。
本发明的技术解决方案是：
一种电子车间洁净系统施工方法，其特征是：包括下列步骤：
（一）净化空调系统施工
（A）通风管道制作的施工
（1）板材的验收
1）材料到货必须有质保书；
2）材料外观检查必须平整、光滑、无锈蚀、无划痕、如是镀锌钢板要求无锌层锐落现象；
（2）清除材料油污：在放样下料前必须清除板料表面的油污，保证彻底清除板料表面油污；
（3）放样下料：为避免在放样下料时在板料表面划磨出伤痕，破坏镀锌层，沾污灰尘，在平整的水泥地面上铺以厚度δ=3mm的夹布橡胶皮板上下料；
（4）制咬口：镀锌钢板在剪切成片料后，存放架或四轮小车进行转运，制作咬口；
（5）清除咬口油污：由于咬口机械的污染，在制作咬口时往往在咬口中含有油污杂物，在组合成型必须再次清洗板材片料的内外表面及咬口处。
（6）制成半成品：咬口油污清除后，将板材片料组合成型，制成风管的半成品；
（7）清洗表面的油污杂物：在板材片料组合成型后，再次清洗风管半成品的表面油污杂物；
（8）铆接成型：风管片料组合成型后，与风管法兰铆接成型，铆钉经过镀锌处理，铆接后采用涂胶或锡焊的方法填塞缝隙或孔洞，需要加固的风管，加固时加固筋设在风管在外表面；
（9）清洗内外表面：铆接成型的风管进行最后的清洗，其顺序如下：
1）用机械吸尘器清除风内外的浮尘；
2）用稀释的清洗剂进行内外擦洗，再用清洗剂擦洗内表面，以污物全部溶解为限；
3）继续用清水擦洗风管直到刷洗干净；
4）用漂白新布擦干风管的内外表面，要求无水迹，无露珠；
5）最后用丝绸在内壁擦试两遍；
（10）验收、封口、入库：预制好的风管随同填写好的报验表交检查员检查，经检查合格后入库，具体的操作程序如下：
1）检验设专人负责，对风管进行全面的检查，方法是用白丝绸布对负管上有可疑的地方作局部试擦，以达到确无污物为合格；
2）负责鉴证验收合格进行封口，封口材料选用素性薄膜，各边超出法兰边100mm；
3）为解决塑料薄膜易碰破而造成污染，在塑料薄膜外加盖一层涂塑纺织布进行保护；
4）最后封口部分用胶布箍扎严密，再入库存放；
（B）风管法兰制作的施工
（1）短形法兰内边或圆形法兰内径尺寸允许偏差为±2mm。
（2）法兰组焊对缝不平整度不大于0.5mm，铆钉孔间距不应大于100mm，螺栓孔间距不应大于120mm；
（3）清除焊渣，擦净浮锈；
（4）涂刷防锈漆两度，螺孔及转角处不得有油漆淋滴现象；
（C）通风管道安装的施工
（1）风管安装从主管根部向前安装，避免风管对口时，被灰尘污梁，故安装前必须做到：
1）对所需安装的风管走向进行测位放样，把所需加设的吊、托、支架提前安装好，不允许安装边打吊点，以避免开启封口时灰尘侵入管内；
2）洁净风管开封安装过程中不得与其它工种交叉作业；
3）净化区域的外墙全部砌好，门窗安装完毕，并装好玻璃，所有孔洞封闭严密，以达到无外界污物侵入；
4）净化区域的内隔墙等待洁净风管安装完毕，端口封闭好再进行施工，以防止隔间的砖缝积灰被震动飞出侵入风管内；
5）地坪和墙面须进行全面清帚，并用吸尘器清除浮尘，地面用清水冲刷干净；
（2）风管一经开封立即与法兰连接，避免风管开启时间太长，灰尘侵入管内，暂不连接的一边不得开封，以保持管内洁净；
（3）法兰连接垫料采用阴燃型密封胶条；
（4）待装的成品件应进行清理，经检查达到洁净要求时进行封口；
（D）空调设备安装的施工
（1）空调机、新风机组在安装前检查验收合格进行清洁处理，要求达到无油污、无浮尘，并对所有孔、口进行封闭；
（2）设备与系统风管相接，预先做好尺寸准确的配管，并按照净化风管的制作方法，做好封口，运至现场；
（3）高效过滤器安装：
1）高效过滤器应按出厂标志竖向搬运和存放；
2）高效过滤器安装前逐个检查，过滤器的纸无裂缝针孔及其损坏；
3）高效过滤器必须待洁净系统全部工程安装完毕，并进行全面清帚吹试车达到洁净要求后，开箱检查合格后立即安装就位；
4）过滤器与框架之间的密封垫料定位贴在过滤器边框上，粘贴前先除净过滤器边框上的污物；
5）高效过滤器安装时，注意外框上的箭头应与气流方向一致，用波纹板组合的过滤器在竖向安装时波纹垂直地地面；
（二）洁净室、洁净车间彩钢隔板施工
抄平放线：
（1）核查原有地面标高，用2米靠尺检验，误差在5mm内即为合格，不合格处采取打磨等措施，合格后进行放线工作；
（2）根据设计院设计的净化车间平面布置图，放出净化车间四周走廊外围护隔墙线，并用经纬仪校验此线的直线度，再以此为基准放出内墙轴线；
（3）用经纬仪将彩钢板隔墙轴线测绘至吊顶板，以此为基准点，确定吊筋位置；
（4）用水平仪测定净化车间外走道四周砖墙上的吊顶线水平位置，做到四周吊顶面在同水平线上，误差不超过5mm；
（5）吊点、吊筋及吊顶配件的安装
1）连杆用圆钢作拉杆，一头与固定吊筋配件焊接，一头套丝100mm与花兰调节螺丝连接；花兰螺丝另一端用吊钩与钢梁连接；
隔墙板安装：
（1）根据弹好的隔墙轴心线，用塑料胀杆螺丝固定地槽铝，螺丝间距400～500mm，呈梅花形布置；其中防爆区的地槽铝全部用Ф8铁胀杆螺栓固定；
（2）由于彩钢板连接是企口式，安装时由一个固定点安装起，逐块拼接，安装时上下垂直水平，板与板之间的接缝严密，企口内采用发泡聚苯乙烯树脂充填；
（3）隔墙板安装时按照二次设计排版图预留门窗洞；
吊顶板安装：
（1）根据二次设计吊顶板排版布置图，吊顶板从固定一个方向开始安装，从第一块板起要测好它的对角度及吊顶板的水平度，之后每一块逐块拼接；两板之间企口一定要接触紧密，板缝一致；
（2）吊顶板施工时做到上一块板固定牢固后才能进行下一块的安装，吊顶板下面在安装时用平木板顶撑顶部，以防损坏顶板；
（3）吊顶板面用专用钢梁固定，钢梁另一端用花兰调节螺丝与吊筋连接；
彩钢门、不锈钢固定窗、传递窗安装：
（1）彩钢门：
门框采用不锈钢框料，门扇采用金属板面或不锈钢板面；门框加工时焊接平整，焊后抛光好，立门框做到横平竖直，保证整樘门外观美观；门扇与门框之间加密封条，门扇与地面的之间加扫地条以保证整个门的密封程度；
（2）不锈钢固定窗安装：
固定窗中空玻璃安装时，两块玻璃中间擦拭干净无污点，然后加密封条以保证其气密性；
（3）传递窗安装：
传递窗的安装牢固、严密；
空气吹淋室：
设置在洁净室人员的入口处，它是利用高速的洁净气流吹落并带走附着在人身服装或物料表面上的尘和菌，减少入室人员的带尘带菌量；
圆弧型铝安装：
（1）净化车间走道砖墙与地面，砖墙与吊顶板，彩钢板墙与地面，彩钢板墙与彩钢板吊顶的交接处均采用R=55°圆弧形铝材连接，在三面交接处，采用专门的三维圆角；
（2）根据净化车间彩钢板施工顺序，地面圆弧铝尽可能在自流坪地面环氧胶泥中层间完工后3天做完；
送回风口开洞：
先在顶板画好线，确认同一房间同一走廊中心线，成统一条直线；孔洞开好，四周用槽铝嵌边，一方面做到加固彩钢板；一方面做到密封；。
揭膜打胶：
揭膜、打胶是保证净化彩钢板围护结构工程外观质量的重要因素；揭膜之后，打胶之前，对彩钢板之间的隙缝彻底清理干净，以免缝道内有灰尘使胶与彩钢板之间的粘接力不强；打完胶做到表面均匀一致，所述胶采用硅酮胶；
（三）电气安装
电气材料和电气安装人员可同时进场，净化灯具开始安装，并同时在顶板上进行排管和敷线；在围护板上穿电线、安装电气插座、开关工作；
（四）设备安装
根据现场条件，进行空调机组、风机、高效送风口设备安装；净化区工艺设备的就位在工艺间围护封闭前进行；
（五）管道连接
彩钢吊顶板大部分完成后，可开始管道连接工作；待设备就位后，进行二次管路连接；所有管道配接完后进行压力试验，合格后再进行绝热工程；
（六）洁净室综合性能调试与检测
过滤器检漏：对于安装于送、排风末端的高效过滤器，用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏；扫描法有检漏仪法和采样量最小为H/min的粒子计数器法两种，对于超高效过滤器，采用扫描有凝结核计数器和激光粒子计数器法；
检漏仪法检漏：
（1）被检漏过滤器须已测过风量，在设计风速的80-120%之间进行。
（2）在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定；
（3）当几台或全部过滤器必须都暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，在风机吸入端或这些过滤器向支干管中引入检漏用气溶胶，立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度；
粒子计数器法标准：
（1）被检过滤器须已测过风量，在设计风速的80-120%之间运行；
（2）在被检过滤器上风侧测定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5μm微粒为准，其浓度大于或等于3.5×104粒/L；
（3）若上风侧浓度不符合上项规定，则引入不经过过滤的空气，如果还达不到规定，则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器法检漏；
（4）检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2-3cm处，以5-20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描；
风量和风速检测：
（1）风量风速检测必须首先进行，净化空调各项效果在设计的风量风速条件下获得；
（2）风量检测前检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍，所有阀门固定在一定的开启位置上，并且实际测量被测风口、风管尺寸；
（3）对单向流洁净室，采用室截面积取距地面0.8m的水平截面；水平单向流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面；截面上测点间距不大于2m，测点数不少于10个，均匀布置；仪器用热球风速仪；
（4）对于安装过滤器的风口，根据风口形式选用辅助风管，即用硬质板材制成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段，连接于过滤器风口外部，在辅助风管出口平面上，按最少测点数不少于6点均匀布置测点，用热球风速仪测定各点风速，以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量；
（5）对于安有同类扩散板的风口，根据扩散板的风量阻力曲线，即出厂风量阻力曲线或现场实测风量阻力曲线，和实测扩散板阻力，即孔板内静压与室内压力之差，查出风量；测定时用微压计和细毕托管，或用细橡胶管代替毕托管，但都须使测孔平面与气流方向平行；
（6）对于风口上风侧有较长的支管段且已经或可打孔时，用风管法测定风量；测定断面距局部阻力部件距离，在局部阻力部件前者不少于3倍管或3倍大边长度，在局部阻力部件后者不少于5倍管径或5倍大边长度；
（7）对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面边长不大于200mm，测点设于小截面中心，但整个截面上的点数不宜少于3个。
对于圆形风管，按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数；
静压差的检测
（1）静压差测定在所有的门关闭时进行，并从平面上最里面的房间依次向外测定；
（2）对于洁净度高于100级的单向流洁净室，测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数；
单向流洁净室截面平均风速、速度不均匀度的检测：
测定风速用测定架固定风速仪以避免人体干扰，不得已手持风速仪测定时，手臂应伸直至最长位置，使人体远离测头；
室内洁净度的检测
（1）测定洁净度的最低限度采样点数按下表的规定确定；每点采样次数不少于3次，各点采样次数可以不同；
最低限度采样点数
表中面积的含义是：对于单向流洁净室，是指送风面面积，对于乱流洁净室，是指房间面积；
（2）测定洁净度的最小采样量：按下表确定每次采样的最小采样量；
每次采样的最小采样量（L）
（3）对于单向流洁净室，采样口对着气流方向，对于乱流洁净室，采样口向上；采样速度均尽可能接近室内气流速度；
洁净度测点布置原则是：
（1）多于5点时可分层布置，但每层不少于5点；
（2）5点或5点以下均布置在离地0.8m高平面对角线上；
室内浮游菌和沉降菌的检测：
（1）室内浮游菌测点和洁净度测点相同；
（2）沉降菌测定时，培养皿数最少数量应满足下表的规定；
室内空气温度和相对湿度的检测：
（1）室内空气温度和相对湿度测定之前，净化空调系统已连续运行至少24h；对有恒温要求所场所，根据对温度和相对湿度活动范围的要求，测定连续进行8-48h，每次测定间隔不大于30min；
（2）室内测点布置在以下各处：
送、回风口处；恒温工作区内沿着工艺设备周围布置或等距离布置；室中心；敏感元件处；
所有测点在同一高度，高地面0.8m；
（3）测点数按下表确定：
温、湿度测点数
室内噪声的检测
（1）测噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计；
（2）测点位置：按5点设置，但对面积在15m2以下者，用室中心1点，测点高度距地面1.1m；
照度的检测:
（1）室内照度用便携式照度计测定；
（2）室内照度在室温已稳定、光源光输出稳定后进行；
（3）测点平面离地面0.8m，按1-2m间距测点距离墙面1m；
室内微振的检测：
（1）用振动分析计测定；
（2）测点选室中心地面以及各壁板表面的中心处；
（3）应分别测出室内全部净化空调设备正常运转和停止运转两种情况下X、Y、Z即长轴、横轴和垂直三个方向的振辐值；
表面导静电性能的检测：
（1）地面、墙面和工作台面等表面导静电性能用高阻计检测；
（2）在表面上选定两点间检测；
室内气流流型的检测：
（1）测点布置：
垂直单向流洁净室选择纵、横剖面各一个，以及距地面高度0.8m、16.2m、5m的水平面各一个；水平单向流洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个，以及距送、回风墙0.5m和房间中心处3个横剖面，所有面上的测点间距均为0.2-1m；
乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各一个，剖面上测点间距为0.2-0.5m，水平面上测点间距为0.5-1m。两个风口之间的中线上有测点；
（2）测点方法：用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，并在有测点布置的剖面上标出流向；
流线平等性的检测：
（1）用单丝线观察送风平面的气流流向，每台过滤器对应一个观察点；
（2）用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度。
本发明本工法可确保洁净室的施工质量，减少施工难度，缩短工程工期，具有明显的社会经济效益。
下面结合实施例对本发明作进一步说明。
具体实施方式
一种电子车间洁净系统施工方法，包括下列步骤：
（一）净化空调系统施工
（A）通风管道制作的施工
（1）板材的验收
1）材料到货必须有质保书；
2）材料外观检查必须平整、光滑、无锈蚀、无划痕、如是镀锌钢板要求无锌层锐落现象；
（2）清除材料油污：在放样下料前必须清除板料表面的油污，保证彻底清除板料表面油污；
（3）放样下料：为避免在放样下料时在板料表面划磨出伤痕，破坏镀锌层，沾污灰尘，在平整的水泥地面上铺以厚度δ=3mm的夹布橡胶皮板上下料；
（4）制咬口：镀锌钢板在剪切成片料后，存放架或四轮小车进行转运，制作咬口；
（5）清除咬口油污：由于咬口机械的污染，在制作咬口时往往在咬口中含有油污杂物，在组合成型必须再次清洗板材片料的内外表面及咬口处。
（6）制成半成品：咬口油污清除后，将板材片料组合成型，制成风管的半成品；
（7）清洗表面的油污杂物：在板材片料组合成型后，再次清洗风管半成品的表面油污杂物；
（8）铆接成型：风管片料组合成型后，与风管法兰铆接成型，铆钉经过镀锌处理，铆接后采用涂胶或锡焊的方法填塞缝隙或孔洞，需要加固的风管，加固时加固筋设在风管在外表面；
（9）清洗内外表面：铆接成型的风管进行最后的清洗，其顺序如下：
1）用机械吸尘器清除风内外的浮尘；
2）用稀释的清洗剂进行内外擦洗，再用清洗剂擦洗内表面，以污物全部溶解为限；
3）继续用清水擦洗风管直到刷洗干净；
4）用漂白新布擦干风管的内外表面，要求无水迹，无露珠；
5）最后用丝绸在内壁擦试两遍；
（10）验收、封口、入库：预制好的风管随同填写好的报验表交检查员检查，经检查合格后入库，具体的操作程序如下：
1）检验设专人负责，对风管进行全面的检查，方法是用白丝绸布对负管上有可疑的地方作局部试擦，以达到确无污物为合格；
2）负责鉴证验收合格进行封口，封口材料选用素性薄膜，各边超出法兰边100mm；
3）为解决塑料薄膜易碰破而造成污染，在塑料薄膜外加盖一层涂塑纺织布进行保护；
4）最后封口部分用胶布箍扎严密，再入库存放；
（B）风管法兰制作的施工
（1）短形法兰内边或圆形法兰内径尺寸允许偏差为±2mm。
（2）法兰组焊对缝不平整度不大于0.5mm，铆钉孔间距不应大于100mm，螺栓孔间距不应大于120mm；
（3）清除焊渣，擦净浮锈；
（4）涂刷防锈漆两度，螺孔及转角处不得有油漆淋滴现象；
（C）通风管道安装的施工
（1）风管安装从主管根部向前安装，避免风管对口时，被灰尘污梁，故安装前必须做到：
1）对所需安装的风管走向进行测位放样，把所需加设的吊、托、支架提前安装好，不允许安装边打吊点，以避免开启封口时灰尘侵入管内；
2）洁净风管开封安装过程中不得与其它工种交叉作业；
3）净化区域的外墙全部砌好，门窗安装完毕，并装好玻璃，所有孔洞封闭严密，以达到无外界污物侵入；
4）净化区域的内隔墙等待洁净风管安装完毕，端口封闭好再进行施工，以防止隔间的砖缝积灰被震动飞出侵入风管内；
5）地坪和墙面须进行全面清帚，并用吸尘器清除浮尘，地面用清水冲刷干净；
（2）风管一经开封立即与法兰连接，避免风管开启时间太长，灰尘侵入管内，暂不连接的一边不得开封，以保持管内洁净；
（3）法兰连接垫料采用阴燃型密封胶条；
（4）待装的成品件应进行清理，经检查达到洁净要求时进行封口；
（D）空调设备安装的施工
（1）空调机、新风机组在安装前检查验收合格进行清洁处理，要求达到无油污、无浮尘，并对所有孔、口进行封闭；
（2）设备与系统风管相接，预先做好尺寸准确的配管，并按照净化风管的制作方法，做好封口，运至现场；
（3）高效过滤器安装：
1）高效过滤器应按出厂标志竖向搬运和存放；
2）高效过滤器安装前逐个检查，过滤器的纸无裂缝针孔及其损坏；
3）高效过滤器必须待洁净系统全部工程安装完毕，并进行全面清帚吹试车达到洁净要求后，开箱检查合格后立即安装就位；
4）过滤器与框架之间的密封垫料定位贴在过滤器边框上，粘贴前先除净过滤器边框上的污物；
5）高效过滤器安装时，注意外框上的箭头应与气流方向一致，用波纹板组合的过滤器在竖向安装时波纹垂直地地面；
（二）洁净室、洁净车间彩钢隔板施工
抄平放线：
（1）核查原有地面标高，用2米靠尺检验，误差在5mm内即为合格，不合格处采取打磨等措施，合格后进行放线工作；
（2）根据设计院设计的净化车间平面布置图，放出净化车间四周走廊外围护隔墙线，并用经纬仪校验此线的直线度，再以此为基准放出内墙轴线；
（3）用经纬仪将彩钢板隔墙轴线测绘至吊顶板，以此为基准点，确定吊筋位置；
（4）用水平仪测定净化车间外走道四周砖墙上的吊顶线水平位置，做到四周吊顶面在同水平线上，误差不超过5mm；
（5）吊点、吊筋及吊顶配件的安装
1）连杆用圆钢作拉杆，一头与固定吊筋配件焊接，一头套丝100mm与花兰调节螺丝连接；花兰螺丝另一端用吊钩与钢梁连接；
隔墙板安装：
（1）根据弹好的隔墙轴心线，用塑料胀杆螺丝固定地槽铝，螺丝间距400～500mm，呈梅花形布置；其中防爆区的地槽铝全部用Ф8铁胀杆螺栓固定；
（2）由于彩钢板连接是企口式，安装时由一个固定点安装起，逐块拼接，安装时上下垂直水平，板与板之间的接缝严密，企口内采用发泡聚苯乙烯树脂充填；
（3）隔墙板安装时按照二次设计排版图预留门窗洞；
吊顶板安装：
（1）根据二次设计吊顶板排版布置图，吊顶板从固定一个方向开始安装，从第一块板起要测好它的对角度及吊顶板的水平度，之后每一块逐块拼接；两板之间企口一定要接触紧密，板缝一致；
（2）吊顶板施工时做到上一块板固定牢固后才能进行下一块的安装，吊顶板下面在安装时用平木板顶撑顶部，以防损坏顶板；
（3）吊顶板面用专用钢梁固定，钢梁另一端用花兰调节螺丝与吊筋连接；
彩钢门、不锈钢固定窗、传递窗安装：
（1）彩钢门：
门框采用不锈钢框料，门扇采用金属板面或不锈钢板面；门框加工时焊接平整，焊后抛光好，立门框做到横平竖直，保证整樘门外观美观；门扇与门框之间加密封条，门扇与地面的之间加扫地条以保证整个门的密封程度；
（2）不锈钢固定窗安装：
固定窗中空玻璃安装时，两块玻璃中间擦拭干净无污点，然后加密封条以保证其气密性；
（3）传递窗安装：
传递窗的安装牢固、严密；
空气吹淋室：
设置在洁净室人员的入口处，它是利用高速的洁净气流吹落并带走附着在人身服装或物料表面上的尘和菌，减少入室人员的带尘带菌量；
圆弧型铝安装：
（1）净化车间走道砖墙与地面，砖墙与吊顶板，彩钢板墙与地面，彩钢板墙与彩钢板吊顶的交接处均采用R=55°圆弧形铝材连接，在三面交接处，采用专门的三维圆角；
（2）根据净化车间彩钢板施工顺序，地面圆弧铝尽可能在自流坪地面环氧胶泥中层间完工后3天做完；
送回风口开洞：
先在顶板画好线，确认同一房间同一走廊中心线，成统一条直线；孔洞开好，四周用槽铝嵌边，一方面做到加固彩钢板；一方面做到密封；。
揭膜打胶：
揭膜、打胶是保证净化彩钢板围护结构工程外观质量的重要因素；揭膜之后，打胶之前，对彩钢板之间的隙缝彻底清理干净，以免缝道内有灰尘使胶与彩钢板之间的粘接力不强；打完胶做到表面均匀一致，所述胶采用硅酮胶；
（三）电气安装
电气材料和电气安装人员可同时进场，净化灯具开始安装，并同时在顶板上进行排管和敷线；在围护板上穿电线、安装电气插座、开关工作；
（四）设备安装
根据现场条件，进行空调机组、风机、高效送风口设备安装；净化区工艺设备的就位在工艺间围护封闭前进行；
（五）管道连接
彩钢吊顶板大部分完成后，可开始管道连接工作；待设备就位后，进行二次管路连接；所有管道配接完后进行压力试验，合格后再进行绝热工程；
（六）洁净室综合性能调试与检测
过滤器检漏：对于安装于送、排风末端的高效过滤器，用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏；扫描法有检漏仪法和采样量最小为H/min的粒子计数器法两种，对于超高效过滤器，采用扫描有凝结核计数器和激光粒子计数器法；
检漏仪法检漏：
（1）被检漏过滤器须已测过风量，在设计风速的80-120%之间进行。
（2）在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定；
（3）当几台或全部过滤器必须都暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，在风机吸入端或这些过滤器向支干管中引入检漏用气溶胶，立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度；
粒子计数器法标准：
（1）被检过滤器须已测过风量，在设计风速的80-120%之间运行；
（2）在被检过滤器上风侧测定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5μm微粒为准，其浓度大于或等于3.5×104粒/L；
（3）若上风侧浓度不符合上项规定，则引入不经过过滤的空气，如果还达不到规定，则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器法检漏；
（4）检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2-3cm处，以5-20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描；
风量和风速检测：
（1）风量风速检测必须首先进行，净化空调各项效果在设计的风量风速条件下获得；
（2）风量检测前检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍，所有阀门固定在一定的开启位置上，并且实际测量被测风口、风管尺寸；
（3）对单向流洁净室，采用室截面积取距地面0.8m的水平截面；水平单向流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面；截面上测点间距不大于2m，测点数不少于10个，均匀布置；仪器用热球风速仪；
（4）对于安装过滤器的风口，根据风口形式选用辅助风管，即用硬质板材制成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段，连接于过滤器风口外部，在辅助风管出口平面上，按最少测点数不少于6点均匀布置测点，用热球风速仪测定各点风速，以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量；
（5）对于安有同类扩散板的风口，根据扩散板的风量阻力曲线，即出厂风量阻力曲线或现场实测风量阻力曲线，和实测扩散板阻力，即孔板内静压与室内压力之差，查出风量；测定时用微压计和细毕托管，或用细橡胶管代替毕托管，但都须使测孔平面与气流方向平行；
（6）对于风口上风侧有较长的支管段且已经或可打孔时，用风管法测定风量；测定断面距局部阻力部件距离，在局部阻力部件前者不少于3倍管或3倍大边长度，在局部阻力部件后者不少于5倍管径或5倍大边长度；
（7）对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面边长不大于200mm，测点设于小截面中心，但整个截面上的点数不宜少于3个。
对于圆形风管，按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数；
静压差的检测
（1）静压差测定在所有的门关闭时进行，并从平面上最里面的房间依次向外测定；
（2）对于洁净度高于100级的单向流洁净室，测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数；
单向流洁净室截面平均风速、速度不均匀度的检测：
测定风速用测定架固定风速仪以避免人体干扰，不得已手持风速仪测定时，手臂应伸直至最长位置，使人体远离测头；
室内洁净度的检测
（1）测定洁净度的最低限度采样点数按下表的规定确定；每点采样次数不少于3次，各点采样次数可以不同；
最低限度采样点数
表中面积的含义是：对于单向流洁净室，是指送风面面积，对于乱流洁净室，是指房间面积；
（2）测定洁净度的最小采样量：按下表确定每次采样的最小采样量；
每次采样的最小采样量（L）
（3）对于单向流洁净室，采样口对着气流方向，对于乱流洁净室，采样口向上；采样速度均尽可能接近室内气流速度；
洁净度测点布置原则是：
（1）多于5点时可分层布置，但每层不少于5点；
（2）5点或5点以下均布置在离地0.8m高平面对角线上；
室内浮游菌和沉降菌的检测：
（1）室内浮游菌测点和洁净度测点相同；
（2）沉降菌测定时，培养皿数最少数量应满足下表的规定；
室内空气温度和相对湿度的检测：
（1）室内空气温度和相对湿度测定之前，净化空调系统已连续运行至少24h；对有恒温要求所场所，根据对温度和相对湿度活动范围的要求，测定连续进行8-48h，每次测定间隔不大于30min；
（2）室内测点布置在以下各处：
送、回风口处；恒温工作区内沿着工艺设备周围布置或等距离布置；室中心；敏感元件处；
所有测点在同一高度，高地面0.8m；
（3）测点数按下表确定：
温、湿度测点数
室内噪声的检测
（1）测噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计；
（2）测点位置：按5点设置，但对面积在15m2以下者，用室中心1点，测点高度距地面1.1m；
照度的检测:
（1）室内照度用便携式照度计测定；
（2）室内照度在室温已稳定、光源光输出稳定后进行；
（3）测点平面离地面0.8m，按1-2m间距测点距离墙面1m；
室内微振的检测：
（1）用振动分析计测定；
（2）测点选室中心地面以及各壁板表面的中心处；
（3）应分别测出室内全部净化空调设备正常运转和停止运转两种情况下X、Y、Z即长轴、横轴和垂直三个方向的振辐值；
表面导静电性能的检测：
（1）地面、墙面和工作台面等表面导静电性能用高阻计检测；
（2）在表面上选定两点间检测；
室内气流流型的检测：
（1）测点布置：
垂直单向流洁净室选择纵、横剖面各一个，以及距地面高度0.8m、16.2m、5m的水平面各一个；水平单向流洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个，以及距送、回风墙0.5m和房间中心处3个横剖面，所有面上的测点间距均为0.2-1m；
乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各一个，剖面上测点间距为0.2-0.5m，水平面上测点间距为0.5-1m。两个风口之间的中线上有测点；
（2）测点方法：用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，并在有测点布置的剖面上标出流向；
流线平等性的检测：
（1）用单丝线观察送风平面的气流流向，每台过滤器对应一个观察点；
（2）用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度。
Claims (1)
1.一种电子车间洁净系统施工方法，其特征是：包括下列步骤：
（一）净化空调系统施工
（A）通风管道制作的施工
（1）板材的验收
1）材料到货必须有质保书；
2）材料外观检查必须平整、光滑、无锈蚀、无划痕、如是镀锌钢板要求无锌层锐落现象；
（2）清除材料油污：在放样下料前必须清除板料表面的油污，保证彻底清除板料表面油污；
（3）放样下料：为避免在放样下料时在板料表面划磨出伤痕，破坏镀锌层，沾污灰尘，在平整的水泥地面上铺以厚度δ=3mm的夹布橡胶皮板上下料；
（4）制咬口：镀锌钢板在剪切成片料后，存放架或四轮小车进行转运，制作咬口；
（5）清除咬口油污：由于咬口机械的污染，在制作咬口时往往在咬口中含有油污杂物，在组合成型必须再次清洗板材片料的内外表面及咬口处；
（6）制成半成品：咬口油污清除后，将板材片料组合成型，制成风管的半成品；
（7）清洗表面的油污杂物：在板材片料组合成型后，再次清洗风管半成品的表面油污杂物；
（8）铆接成型：风管片料组合成型后，与风管法兰铆接成型，铆钉经过镀锌处理，铆接后采用涂胶或锡焊的方法填塞缝隙或孔洞，需要加固的风管，加固时加固筋设在风管在外表面；
（9）清洗内外表面：铆接成型的风管进行最后的清洗，其顺序如下：
1）用机械吸尘器清除风内外的浮尘；
2）用稀释的清洗剂进行内外擦洗，再用清洗剂擦洗内表面，以污物全部溶解为限；
3）继续用清水擦洗风管直到刷洗干净；
4）用漂白新布擦干风管的内外表面，要求无水迹，无露珠；
5）最后用丝绸在内壁擦试两遍；
（10）验收、封口、入库：预制好的风管随同填写好的报验表交检查员检查，经检查合格后入库，具体的操作程序如下：
1）检验设专人负责，对风管进行全面的检查，方法是用白丝绸布对负管上有可疑的地方作局部试擦，以达到确无污物为合格；
2）负责鉴证验收合格进行封口，封口材料选用素性薄膜，各边超出法兰边100mm；
3）为解决塑料薄膜易碰破而造成污染，在塑料薄膜外加盖一层涂塑纺织布进行保护；
4）最后封口部分用胶布箍扎严密，再入库存放；
（B）风管法兰制作的施工
（1）短形法兰内边或圆形法兰内径尺寸允许偏差为±2mm；
（2）法兰组焊对缝不平整度不大于0.5mm，铆钉孔间距不应大于100mm，螺栓孔间距不应大于120mm；
（3）清除焊渣，擦净浮锈；
（4）涂刷防锈漆两度，螺孔及转角处不得有油漆淋滴现象；
（C）通风管道安装的施工
（1）风管安装从主管根部向前安装，避免风管对口时，被灰尘污梁，故安装前必须做到：
1）对所需安装的风管走向进行测位放样，把所需加设的吊、托、支架提前安装好，不允许安装边打吊点，以避免开启封口时灰尘侵入管内；
2）洁净风管开封安装过程中不得与其它工种交叉作业；
3）净化区域的外墙全部砌好，门窗安装完毕，并装好玻璃，所有孔洞封闭严密，以达到无外界污物侵入；
4）净化区域的内隔墙等待洁净风管安装完毕，端口封闭好再进行施工，以防止隔间的砖缝积灰被震动飞出侵入风管内；
5）地坪和墙面须进行全面清帚，并用吸尘器清除浮尘，地面用清水冲刷干净；
（2）风管一经开封立即与法兰连接，避免风管开启时间太长，灰尘侵入管内，暂不连接的一边不得开封，以保持管内洁净；
（3）法兰连接垫料采用阴燃型密封胶条；
（4）待装的成品件应进行清理，经检查达到洁净要求时进行封口；
（D）空调设备安装的施工
（1）空调机、新风机组在安装前检查验收合格进行清洁处理，要求达到无油污、无浮尘，并对所有孔、口进行封闭；
（2）设备与系统风管相接，预先做好尺寸准确的配管，并按照净化风管的制作方法，做好封口，运至现场；
（3）高效过滤器安装：
1）高效过滤器应按出厂标志竖向搬运和存放；
2）高效过滤器安装前逐个检查，过滤器的纸无裂缝针孔及其损坏；
3）高效过滤器必须待洁净系统全部工程安装完毕，并进行全面清帚吹试车达到洁净要求后，开箱检查合格后立即安装就位；
4）过滤器与框架之间的密封垫料定位贴在过滤器边框上，粘贴前先除净过滤器边框上的污物；
5）高效过滤器安装时，注意外框上的箭头应与气流方向一致，用波纹板组合的过滤器在竖向安装时波纹垂直地地面；
（二）洁净室、洁净车间彩钢隔板施工
抄平放线：
（1）核查原有地面标高，用2米靠尺检验，误差在5mm内即为合格，不合格处采取打磨等措施，合格后进行放线工作；
（2）根据设计院设计的净化车间平面布置图，放出净化车间四周走廊外围护隔墙线，并用经纬仪校验此线的直线度，再以此为基准放出内墙轴线；
（3）用经纬仪将彩钢板隔墙轴线测绘至吊顶板，以此为基准点，确定吊筋位置；
（4）用水平仪测定净化车间外走道四周砖墙上的吊顶线水平位置，做到四周吊顶面在同水平线上，误差不超过5mm；
（5）吊点、吊筋及吊顶配件的安装
1）连杆用圆钢作拉杆，一头与固定吊筋配件焊接，一头套丝100mm与花兰调节螺丝连接；花兰螺丝另一端用吊钩与钢梁连接；
隔墙板安装：
（1）根据弹好的隔墙轴心线，用塑料胀杆螺丝固定地槽铝，螺丝间距400～500mm，呈梅花形布置；其中防爆区的地槽铝全部用Ф8铁胀杆螺栓固定；
（2）由于彩钢板连接是企口式，安装时由一个固定点安装起，逐块拼接，安装时上下垂直水平，板与板之间的接缝严密，企口内采用发泡聚苯乙烯树脂充填；
（3）隔墙板安装时按照二次设计排版图预留门窗洞；
吊顶板安装：
（1）根据二次设计吊顶板排版布置图，吊顶板从固定一个方向开始安装，从第一块板起要测好它的对角度及吊顶板的水平度，之后每一块逐块拼接；两板之间企口一定要接触紧密，板缝一致；
（2）吊顶板施工时做到上一块板固定牢固后才能进行下一块的安装，吊顶板下面在安装时用平木板顶撑顶部，以防损坏顶板；
（3）吊顶板面用专用钢梁固定，钢梁另一端用花兰调节螺丝与吊筋连接；
彩钢门、不锈钢固定窗、传递窗安装：
（1）彩钢门：
门框采用不锈钢框料，门扇采用金属板面或不锈钢板面；门框加工时焊接平整，焊后抛光好，立门框做到横平竖直，保证整樘门外观美观；门扇与门框之间加密封条，门扇与地面的之间加扫地条以保证整个门的密封程度；
（2）不锈钢固定窗安装：
固定窗中空玻璃安装时，两块玻璃中间擦拭干净无污点，然后加密封条以保证其气密性；
（3）传递窗安装：
传递窗的安装牢固、严密；
空气吹淋室：
设置在洁净室人员的入口处，它是利用高速的洁净气流吹落并带走附着在人身服装或物料表面上的尘和菌，减少入室人员的带尘带菌量；
圆弧型铝安装：
（1）净化车间走道砖墙与地面，砖墙与吊顶板，彩钢板墙与地面，彩钢板墙与彩钢板吊顶的交接处均采用R=55°圆弧形铝材连接，在三面交接处，采用专门的三维圆角；
（2）根据净化车间彩钢板施工顺序，地面圆弧铝尽可能在自流坪地面环氧胶泥中层间完工后3天做完；
送回风口开洞：
先在顶板画好线，确认同一房间同一走廊中心线，成统一条直线；孔洞开好，四周用槽铝嵌边，一方面做到加固彩钢板；一方面做到密封；
揭膜打胶：
揭膜、打胶是保证净化彩钢板围护结构工程外观质量的重要因素；揭膜之后，打胶之前，对彩钢板之间的隙缝彻底清理干净，以免缝道内有灰尘使胶与彩钢板之间的粘接力不强；打完胶做到表面均匀一致，所述胶采用硅酮胶；
（三）电气安装
电气材料和电气安装人员可同时进场，净化灯具开始安装，并同时在顶板上进行排管和敷线；在围护板上穿电线、安装电气插座、开关工作；
（四）设备安装
根据现场条件，进行空调机组、风机、高效送风口设备安装；净化区工艺设备的就位在工艺间围护封闭前进行；
（五）管道连接
彩钢吊顶板大部分完成后，可开始管道连接工作；待设备就位后，进行二次管路连接；所有管道配接完后进行压力试验，合格后再进行绝热工程；
（六）洁净室综合性能调试与检测
过滤器检漏：对于安装于送、排风末端的高效过滤器，用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏；扫描法有检漏仪法和采样量最小为H/min的粒子计数器法两种，对于超高效过滤器，采用扫描有凝结核计数器和激光粒子计数器法；
检漏仪法检漏：
（1）被检漏过滤器须已测过风量，在设计风速的80-120%之间进行；
（2）在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定；
（3）当几台或全部过滤器必须都暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，在风机吸入端或这些过滤器向支干管中引入检漏用气溶胶，立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度；
粒子计数器法标准：
（1）被检过滤器须已测过风量，在设计风速的80-120%之间运行；
（2）在被检过滤器上风侧测定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5μm微粒为准，其浓度大于或等于3.5×104粒/L；
（3）若上风侧浓度不符合上项规定，则引入不经过过滤的空气，如果还达不到规定，则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器法检漏；
（4）检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2-3cm处，以5-20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描；
风量和风速检测：
（1）风量风速检测必须首先进行，净化空调各项效果在设计的风量风速条件下获得；
（2）风量检测前检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍，所有阀门固定在一定的开启位置上，并且实际测量被测风口、风管尺寸；
（3）对单向流洁净室，采用室截面积取距地面0.8m的水平截面；水平单向流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面；截面上测点间距不大于2m，测点数不少于10个，均匀布置；仪器用热球风速仪；
（4）对于安装过滤器的风口，根据风口形式选用辅助风管，即用硬质板材制成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段，连接于过滤器风口外部，在辅助风管出口平面上，按最少测点数不少于6点均匀布置测点，用热球风速仪测定各点风速，以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量；
（5）对于安有同类扩散板的风口，根据扩散板的风量阻力曲线，即出厂风量阻力曲线或现场实测风量阻力曲线，和实测扩散板阻力，即孔板内静压与室内压力之差，查出风量；测定时用微压计和细毕托管，或用细橡胶管代替毕托管，但都须使测孔平面与气流方向平行；
（6）对于风口上风侧有较长的支管段且已经或可打孔时，用风管法测定风量；测定断面距局部阻力部件距离，在局部阻力部件前者不少于3倍管或3倍大边长度，在局部阻力部件后者不少于5倍管径或5倍大边长度；
（7）对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面边长不大于200mm，测点设于小截面中心，但整个截面上的点数不宜少于3个；
对于圆形风管，按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数；
静压差的检测
（1）静压差测定在所有的门关闭时进行，并从平面上最里面的房间依次向外测定；
（2）对于洁净度高于100级的单向流洁净室，测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数；
单向流洁净室截面平均风速、速度不均匀度的检测：
测定风速用测定架固定风速仪以避免人体干扰，不得已手持风速仪测定时，手臂应伸直至最长位置，使人体远离测头；
室内洁净度的检测
（1）测定洁净度的最低限度采样点数按下表的规定确定；每点采样次数不少于3次，各点采样次数可以不同；
最低限度采样点数
表中面积的含义是：对于单向流洁净室，是指送风面面积，对于乱流洁净室，是指房间面积；
（2）测定洁净度的最小采样量：按下表确定每次采样的最小采样量；
每次采样的最小采样量（L）
（3）对于单向流洁净室，采样口对着气流方向，对于乱流洁净室，采样口向上；采样速度均尽可能接近室内气流速度；
洁净度测点布置原则是：
（1）多于5点时可分层布置，但每层不少于5点；
（2）5点或5点以下均布置在离地0.8m高平面对角线上；
室内浮游菌和沉降菌的检测：
（1）室内浮游菌测点和洁净度测点相同；
（2）沉降菌测定时，培养皿数最少数量应满足下表的规定；
室内空气温度和相对湿度的检测：
（1）室内空气温度和相对湿度测定之前，净化空调系统已连续运行至少24h；对有恒温要求所场所，根据对温度和相对湿度活动范围的要求，测定连续进行8-48h，每次测定间隔不大于30min；
（2）室内测点布置在以下各处：
送、回风口处；恒温工作区内沿着工艺设备周围布置或等距离布置；室中心；敏感元件处；
所有测点在同一高度，高地面0.8m；
（3）测点数按下表确定：
温、湿度测点数
室内噪声的检测
（1）测噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计；
（2）测点位置：按5点设置，但对面积在15m2以下者，用室中心1点，测点高度距地面1.1m；
照度的检测:
（1）室内照度用便携式照度计测定；
（2）室内照度在室温已稳定、光源光输出稳定后进行；
（3）测点平面离地面0.8m，按1-2m间距测点距离墙面1m；
室内微振的检测：
（1）用振动分析计测定；
（2）测点选室中心地面以及各壁板表面的中心处；
（3）应分别测出室内全部净化空调设备正常运转和停止运转两种情况下X、Y、Z即长轴、横轴和垂直三个方向的振辐值；
表面导静电性能的检测：
（1）地面、墙面和工作台面等表面导静电性能用高阻计检测；
（2）在表面上选定两点间检测；
室内气流流型的检测：
（1）测点布置：
垂直单向流洁净室选择纵、横剖面各一个，以及距地面高度0.8m、16.2m、5m的水平面各一个；水平单向流洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个，以及距送、回风墙0.5m和房间中心处3个横剖面，所有面上的测点间距均为0.2-1m；
乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各一个，剖面上测点间距为0.2-0.5m，水平面上测点间距为0.5-1m，两个风口之间的中线上有测点；
（2）测点方法：用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，并在有测点布置的剖面上标出流向；
流线平等性的检测：
（1）用单丝线观察送风平面的气流流向，每台过滤器对应一个观察点；
（2）用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度。
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