CN103481386A

CN103481386A - 一种多线切割机工作台摇摆机构

Info

Publication number: CN103481386A
Application number: CN201210189529.3A
Authority: CN
Inventors: 金万斌; 李方俊; 李智; 周军; 赵洋; 赵鹏
Original assignee: SUZHOU HRT ELECTRONIC EQUIPMENT TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: SUZHOU HRT ELECTRONIC EQUIPMENT TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date: 2012-06-11
Filing date: 2012-06-11
Publication date: 2014-01-01

Abstract

本发明公开了一种多线切割机工作台摇摆机构，包括固定架组焊、轴，固定架组焊与电机安装座组焊固连，电机安装座组焊与减速机固连，减速机输入端固连有电机，输出端固连有主动轮，轴固连于安装座上，安装座一端固连有盖板，另一端固连有从动轮，轴的两端用轴承支撑于所述固定架组焊与活动块上，并用压盖进行轴向定位，压盖与固定架组焊及活动块固连，活动块与固定架组焊固连，安装座下方设有工件安装台，工件安装台下方固连有粘料板，粘料板下方粘有工件。本发明的多线切割机工作台摇摆机构，保证了工件加工的高精度和稳定性，有效降低成本，提升切割效率，改善切片质量，且拆装方便，维护成本低。

Description

一种多线切割机工作台摇摆机构

技术领域

本发明属于多线切割机领域，具体的涉及一种多线切割机工作台摇摆机构。

背景技术

目前，多线切割技术是世界上比较先进的硅片加工技术，其原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给，可将半导体等硬脆材料一次同时切割成数百片，多线切割技术与其他技术相比有效率高，产能高，精度高等优点。随之，多线切割技术已逐渐取代了传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割，成为目前采用最广泛的半导体等硬脆材料切割技术。

作为多线切割机，采用摆动式工作台切割可有效降低成本，提升切割效率，改善切片质量。

发明内容

本发明旨在提供一种多线切割机工作台摇摆机构。该多线切割机工作台摇摆机构采用伺服驱动，伺服电机直连减速机，通过齿轮传动，实现工作台的摇摆。采用两端成对安装的圆锥滚子轴承支撑定位，有效的保证了工作台的支撑刚度及摇摆精度，采用接近传感器控制最大摆动角度。为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：

一种多线切割机工作台摇摆机构，包括固定架组焊、轴，固定架组焊与电机安装座组焊固连，电机安装座组焊与减速机固连，减速机输入端固连有电机，输出端固连有主动轮，轴固连于安装座上，安装座一端固连有盖板，另一端固连有从动轮，轴的两端用轴承支撑于所述固定架组焊与活动块上，并用压盖进行轴向定位，压盖与固定架组焊及活动块固连，活动块与固定架组焊固连，安装座下方设有工件安装台，工件安装台下方固连有粘料板，粘料板下方粘有工件。

进一步的，工件安装台两侧都设有定位边条，定位边条固连于安装座上，工件安装台的一侧与安装座之间设有顶块，顶块通过固连与安装座上的螺钉将工件安装台顶紧。

进一步的，安装座两侧都固连有挡边，固定架组焊外部固连有护罩，护罩及挡边共同起防护作用。

进一步的，从动轮与主动轮相啮合，实现了工件的摇摆切割功能。

进一步的，固定架组焊上固连有两个传感器固定架，两个传感器固定架上分别装有接近传感器，从动轮上固连有传感器检测架，接近传感器通过感应摇摆的传感器检测架，实现工作台摇摆角度的限定。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

本发明的多线切割机工作台摇摆机构，结构简单，采用轴承支撑定位，满足了摇摆切割对工作台刚度和精度的要求，且拆装方便，维护成本低，并可有效降低成本，提升切割效率，改善切片质量。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本发明的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为多线切割机工作台摇摆机构的主体结构轴向剖视示意图；

图2为多线切割机工作台摇摆机构的主体结构径向剖视示意图。

图中标号说明：1、固定架组焊；2、电机安装座组焊；3、减速机；4、电机；5、主动轮；6、安装座；7、从动轮；8、轴；9、压盖；10、轴承；11、工件安装台；12、盖板；13、粘料板；14、定位边条；15、护罩；16、活动块；17、挡边；18、顶块；19、传感器固定架；20、接近传感器；21、传感器检测架。

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。

参见图1所示，一种多线切割机工作台摇摆机构，包括固定架组焊1、轴8，固定架组焊1与电机安装座组焊2固连，电机安装座组焊2与减速机3固连，减速机3输入端固连有电机4，输出端固连有主动轮5，轴8固连于安装座6上，安装座6一端固连有盖板12，另一端固连有从动轮7，轴8的两端用轴承10支撑于固定架组焊1与活动块16上，并用压盖9进行轴向定位，压盖9与固定架组焊1及活动块16固连，活动块16与固定架组焊1固连，安装座6下方设有工件安装台11，工件安装台11下方固连有粘料板13，粘料板13下方粘有工件。

并且，工件安装台11两侧都设有定位边条14，定位边条14固连于安装座6上，工件安装台11的一侧与安装座6之间设有顶块18，顶块18通过固连于安装座6上的螺钉将工件安装台11顶紧。

此外，安装座6两侧都固连有挡边17，固定架组焊1外部固连有护罩15，护罩15及挡边17共同起防护作用。

再者，从动轮7与主动轮5相啮合，实现了工件的摇摆切割功能。

作为上述技术方案更进一步地优化，固定架组焊1上固连有两个传感器固定架19，传感器固定架19上分别装有接近传感器20，从动轮7上固连有传感器检测架21，接近传感器20通过感应摇摆的传感器检测架21，实现工作台摇摆角度的限定。

综上所述，本发明的多线切割机工作台摇摆机构，结构简单，采用轴承支撑定位，满足了摇摆切割对工作台刚度和精度的要求，且拆装方便，维护成本低，并可有效降低成本，提升切割效率，改善切片质量。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种多线切割机工作台摇构摆机，其特征在于：包括固定架组焊（1）、轴（8），所述固定架组焊（1）与电机安装座组焊（2）固连，所述电机安装座组焊（2）与减速机（3）固连，所述减速机（3）输入端固连有电机（4），输出端固连有主动轮（5），所述轴（8）固连于安装座（6）上，所述安装座（6）一端固连有盖板（12），另一端固连有从动轮（7），所述轴（8）的两端用轴承（10）支撑于所述固定架组焊（1）与活动块（16）上，并用压盖（9）进行轴向定位，所述压盖（9）与所述固定架组焊（1）及所述活动块（16）固连，所述活动块（16）与所述固定架组焊（1）固连，所述安装座（6）下方设有工件安装台（11），所述工件安装台（11）下方固连有粘料板（13），所述粘料板（13）下方粘有工件。

2. 根据权利要求1所述的多线切割机工作台摇摆机构，其特征在于：所述的工件安装台（11）两侧都设有定位边条（14），所述定位边条（14）固连于所述安装座（6）上，所述工件安装台（11）的一侧与所述安装座（6）之间设有顶块（18），所述顶块（18）通过固连于所述安装座（6）上的螺钉将所述工件安装台（11）顶紧。

3.根据权利要求1所述的多线切割机工作台摇摆机构，其特征在于：所述的安装座（6）两侧都固连有挡边（17），所述固定架组焊（1）外部固连有护罩（15），所述护罩（15）及所述挡边（17）共同起防护作用。

4. 根据权利要求1所述的多线切割机工作台摇摆机构，其特征在于：所述从动轮（7）与所述主动轮（5）相啮合，实现了工件的摇摆切割功能。

5.根据权利要求1所述的多线切割机工作台摇摆机构，其特征在于：所述固定架组焊（1）上固连有两个传感器固定架（19），两个所述传感器固定架（19）上分别装有接近传感器（20），所述从动轮（7）上固连有传感器检测架（21），所述接近传感器（20）通过感应摇摆的传感器检测架（21），实现工作台摇摆角度的限定。