CN103477082B - 真空泵及其转子 - Google Patents

Abstract

提供一种真空泵及其转子，不会导致泵内部的耐腐蚀性恶化及泵构造的复杂化，能够将设在旋转的圆筒部件与包围在其外周的固定部件之间的间隙设定在最小限度，谋求该间隙的最小限度化而实现的泵性能的提高。真空泵（P1）的转子（6）具备被驱动而旋转的圆形部件（60）和与其外周接合的圆筒部件（62），并且在圆筒部件（62）与包围在其外周的固定部件（18）之间形成螺纹泵流路（S）。圆筒部件（62）是，由具有热膨胀比圆形部件（60）小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成。使圆筒部件（32）上的非接合部（N）与固定部件（18）之间的第2区域的间隙（δ2）小于圆筒部件（62）上的接合部（J）与固定部件（18）之间的第1区域的间隙（δ1）。

Description

真空泵及其转子

技术领域

本发明例如涉及一种半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中作为处理腔室或其它密闭腔室的气体排气单元加以利用的真空泵及其转子。

背景技术

以往，作为这种真空泵，公知的有例如专利文献1的螺纹槽式真空泵或专利文献2的真空泵。这些真空泵均具有圆柱或者圆筒状的旋转部件和包围在该旋转部件的外周的固定部件。

并且在专利文献1的螺纹槽式真空泵中，采用了通过在旋转部件的外周面上形成螺纹槽，而在旋转部件与固定部件之间形成螺纹泵流路的结构，以及由于旋转部件的旋转，通过其螺纹泵流路排出气体的结构，而且，在专利文献2的真空泵中，通过在固定部件的内周面上形成螺纹槽，而在旋转部件与固定部件之间形成螺纹泵流路的结构，以及由于旋转部件的旋转，通过其螺纹泵流路排出气体的结构。

但是，在先前所说明的专利文献1或专利文献2这种构造的真空泵中，可知若旋转部件与固定部件之间的间隙大，则泵性能显著降低这一现象。

因此，在上述构造的真空泵中，通过考虑伴随于旋转的离心力、热膨胀、蠕变现象等产生的旋转部件的形状变形、及旋转部件与固定部件的零件制造上的离散等，将设在旋转部件与固定部件之间的间隙设定成其两部件不接触而能够安全运行的最小限度的间隙，防止了泵性能的降低。

特别是，作为上述这种设定最小限度的间隙的手段，在专利文献1中，是通过用软质材料形成固定部件的内周，使由该软质材料构成的固定部件的内周在最初的泵运行时与旋转部件接触，削除干涉部分而制成最小限度的间隙。而且，在专利文献2中，使旋转部件的外周面与固定部件的内周面为锥形，在异常时通过使固定部件在泵的轴向上移动，能够防止旋转部件与固定部件的接触。

但是，在以专利文献1的这种方式设定最小限度的间隙的情况下，由于最初的运行时通过与旋转部件的接触而削除固定部件的内周，所以破坏了在固定部件的内周或旋转部件的外周施加的耐腐蚀涂层，存在泵内部的耐腐蚀性恶化的问题。而且，在以专利文献2的这种方式设定最小限度的间隙的情况下，由于需要使固定部件在泵的轴向上移动的移动机构，所以存在真空泵的构造复杂的问题。

专利文献1：日本国特开昭63-75389号公报。

专利文献2：日本国实开平5-36094号公报。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提到的，其目的在于提供一种真空泵及其转子，不会导致泵内部的耐腐蚀性恶化及泵构造的复杂化，能够将设在旋转的圆筒部件与包围在其外周的固定部件之间的间隙设定在最小限度，谋求该间隙的最小限度化而实现的泵性能的提高。

为了实现上述目的，本发明所涉及的真空泵具备：圆形部件，驱动上述圆形部件绕其中心旋转的驱动单元，与上述圆形部件的外周接合的圆筒部件，包围在上述圆筒部件的外周的固定部件，以及形成在上述圆筒部件与上述固定部件之间的螺纹泵流路，由于上述圆形部件以及上述圆筒部件的旋转，通过上述螺纹泵流路排出气体，其特征在于，上述圆筒部件是，由具有热膨胀比上述圆形部件小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成，使上述圆筒部件上的非接合部与上述固定部件之间的第2区域的间隙小于上述圆筒部件上的接合部与上述固定部件之间的第1区域的间隙。

在上述本发明所涉及的真空泵中，也可以采用上述第1区域的间隙与上述第2区域的间隙的边界的间隙是，随着从上述接合部朝向上述非接合部的方向离开而逐渐减小成为锥形的结构。这在后述的本发明所涉及的真空泵的转子中也同样。

在上述本发明所涉及的真空泵中，也可以采用在使沿着上述圆筒部件的轴线的长度为上述锥形的轴向长度的情况下，上述边界的间隙的上述锥形的上述轴向长度为上述圆筒部件的壁厚的3倍以上的结构。这在后述的本发明所涉及的真空泵的转子中也同样。

在上述本发明所涉及的真空泵中，也可以采用上述圆筒部件上的上述接合部设在上述螺纹泵流路的上游一侧的结构。这在后述的本发明所涉及的真空泵的转子中也同样。

本发明所涉及的真空泵的转子为具备被驱动而旋转的圆形部件和与其外周接合的圆筒部件，并且在上述圆筒部件与包围在其外周的固定部件之间形成螺纹泵流路的真空泵的转子，其特征在于，上述圆筒部件是，由具有热膨胀比上述圆形部件小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成，使上述圆筒部件上的非接合部与上述固定部件之间的第2区域的间隙小于上述圆筒部件上的接合部与上述固定部件之间的第1区域的间隙。

在本发明中，作为真空泵及其转子具体的结构如上所述，采用了圆筒部件是由具有热膨胀比圆形部件小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成的结构，以及使圆筒部件上的非接合部与固定部件之间的第2区域的间隙小于圆筒部件上的接合部与固定部件之间的第1区域的间隙的结构。因此，不会像以往那样导致泵内部的耐腐蚀性的恶化及泵构造的复杂化，能够如下述（B）那样避免旋转的圆筒部件与包围在其外周的固定部件的接触，并且如下述（A）那样将设在圆筒部件与固定部件之间的间隙设定在最小限度，能够提供谋求该间隙的最小限度化而实现的泵性能的提高的真空泵及其转子。

（A）设在旋转的圆筒部件与固定部件之间的间隙的最小限度化

由于圆筒部件与圆形部件相比不易因热膨胀或蠕变现象而产生向径向的扩张变形，所以能够将设在圆筒部件与包围在其外周的固定部件之间的第2区域的间隙设定在最小限度，能够谋求该间隙的最小限度化而实现的泵性能的提高。

（B）避免旋转的圆筒部件与固定部件的接触

即使在圆筒部件上的接合部附近因热膨胀或蠕变现象而产生了形状变形，由于设在其接合部与固定部件之间的第1区域的间隙比设在非接合部与固定部件之间的第2区域的间隙大，所以有效地防止了形状变形后的圆筒部件与固定部件的接触。

附图说明

图1是适用本发明所涉及的真空泵的复合泵的剖视图；

图2是图1的接合部J附近的放大图（圆形部件上的接合部附近因蠕变现象或热膨胀而形状变形前的状态）；

图3是图1的接合部J附近的放大图（圆形部件上的接合部附近因蠕变现象或热膨胀而形状变形后的状态）；

图4是图1的接合部J附近的放大图（在采用了壁厚比图3的第2圆筒部件薄的圆筒部件的情况下，其圆形部件上的接合部附近因蠕变现象或热膨胀而形状变形后的状态）；

图5是图1的接合部J附近的放大图（使第1区域的间隙δ1与第2区域的间隙δ2的边界的间隙δ3～δ5（参照图2）为锥形的情况下，使其锥形的始端附近以及终端附近为圆弧形状的例子）；

图6是适用本发明所涉及的真空泵的螺纹泵的剖视图。

附图标记说明：

1：封装壳，1A：泵壳，1B：泵座，1C：凸缘，2：气体吸气口，3：气体排气口，4：定子柱，5：转子轴，6：转子，60：圆形部件，61：第1圆筒部件，62：第2圆筒部件，63：端部件，7：轴毂孔，9：转子轴肩部，10：径向磁力轴承，10A：径向电磁铁标靶，10B：径向电磁铁，10C：径向方向位移传感器，11：轴向磁力轴承，11A：电枢齿，11B：轴向电磁铁，11C：轴向方向位移传感器，12：驱动马达，12A：固定体，12B：旋转体，13：旋转翼，14：固定翼，18：固定部件，19：螺纹槽，L：锥形的轴向长度，P1：复合泵（真空泵），P2：螺纹泵（真空泵），Pｔ：翼排气部，Pｓ：螺纹泵部，S：螺纹泵流路，ｔ：圆筒部件的壁厚，δ1：第1区域的间隙，δ2：第2区域的间隙，δ3、δ4、δ5：第1区域与第2区域的边界的间隙。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

图1是适用本发明所涉及的真空泵的复合泵的剖视图，图2是图1的接合部J附近的放大图（圆形部件上的接合部附近因蠕变现象或热膨胀而形状变形前的状态）。

图1的复合泵P1例如在半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中作为处理腔室或其它的密闭腔室的排气单元加以利用。

图1的复合泵P1在封装壳1内具有通过旋转翼13和固定翼14排出气体的翼排气部Pt，和利用螺纹槽19排出气体的螺纹泵部Ps。

封装壳1成为用螺栓将筒状的泵壳1A和有底筒状的泵座1B在其筒轴方向上一体连结的有底圆筒形。泵壳1A的上端部作为气体吸气口2而开口，在泵座1B的下端部侧面设有气体排气口3。

气体吸气口2通过设在泵壳1A上缘的凸缘1C上的未图示的螺栓与例如半导体制造装置的处理腔室等、成为高真空的未图示的密闭腔室相连。气体排气口3与未图示的辅助泵连通地相连。

在泵壳1A内的中央部设有内置各种电装品的圆筒状的定子柱4，定子柱4以其下端侧螺纹固定在泵座1B上的形态立设。

在定子柱4的内侧设有转子轴5，转子轴5配置成其上端部朝向气体吸气口2的方向，其下端部朝向泵座1B的方向。而且，转子轴5的上端部设成从定子柱4圆筒上端面向上方突出。

转子轴5由径向磁力轴承10和轴向磁力轴承11支撑而能够径向和轴向旋转，在该状态下被驱动马达12驱动而旋转。

驱动马达12是由固定体12A和旋转体12B构成的构造，设在转子轴5的大致中央附近。这种驱动马达12的固定体12A设置在定子柱4的内侧，相同的驱动马达12的旋转体12B一体地安装在转子轴5的外周面一侧。

径向磁力轴承10在驱动马达12的上下各配置一组，合计配置两组，轴向磁力轴承11在转子轴5的下端部一侧配置一组。

两组的径向磁力轴承10、10分别具备安装在转子轴5的外周面的径向电磁铁标靶10A，设置在与其对向的定子柱4内侧面的多个径向电磁铁10B，以及径向方向位移传感器10C。径向电磁铁标靶10A由将高透磁率材料的钢板叠层而成的叠层钢板构成，径向电磁铁10B通过径向电磁铁标靶10A以磁力向径向吸引转子轴5。径向方向位移传感器10C检测转子轴5的径向位移。并且基于径向方向位移传感器10C的检测值（转子轴5的径向位移）控制径向电磁铁10B的励磁电流，转子轴5被磁力支撑而上浮在径向的规定位置。

轴向磁力轴承11具备安装在转子轴5的下端部外周的圆盘形状的电枢齿11A，隔着电枢齿11A上下对向的轴向电磁铁11B，以及设置在稍稍离开转子轴5的下端面的位置的轴向方向位移传感器11C。电枢齿11A由透磁率高的材料构成，上下的轴向电磁铁11B以磁力从上下方向吸引电枢齿11A。轴向方向位移传感器11C检测转子轴5的轴向位移。并且基于轴向方向位移传感器11C的检测值（转子轴5的轴向位移）控制上下的轴向电磁铁11B的励磁电流，转子轴5被磁力上浮支撑在轴向的规定位置。

在上述定子柱4的外侧，作为复合泵P1的旋转体设有转子6。转子6为包围在定子柱4的外周的圆筒形状，在其大致中间位置具有铝或者其合金制成的圆形部件60，并且成为经由该圆形部件60而将直径不同的两个圆筒部件（第1圆筒部件61和第2圆筒部件62）在其轴向上接合在一起的构造。

上述第1圆筒部件61由与圆形部件60相同的材料（例如铝或者其合金）形成。另一方面，上述第2圆筒部件62是由具有热膨胀比第1圆筒部件61或圆形部件60小的材料、或者具有蠕变速度比第1圆筒部件61或圆形部件60低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成。作为这种材料，例如能够采用钛合金、析出硬化系不锈钢等金属材料，由聚酰胺纤维、硼纤维、碳纤维、玻璃纤维、或者聚乙烯纤维等高强度纤维强化的纤维强化塑料（FRP），但并不仅限于这些例子。

而且，上述第1圆筒部件61是通过切削加工等从铝块或者其合金块上切出的。在图1的复合泵P1中，上述圆形部件60成为设在第1圆筒部件61的端部外周的凸缘那样的形态，与第1圆筒部件61一同从上述铝块或者其合金块上切出的。另一方面，上述第2圆筒部件62是在分体地形成了圆形部件60及第1圆筒部件61后，通过压入而嵌入圆形部件60的外周接合的。另外，也可以通过粘接将第2圆筒部件62接合在圆形部件60的外周。

在第1圆筒部件61的上端设有端部件63，转子6和转子轴5经由该端部件63而一体化。作为这种一体化的构造的一例，在图1的复合泵P1中，在端部件63的中心设置轴毂孔7，并且在转子轴5的上端部外周形成台阶状的肩部（以下称为「转子轴肩部9」）。并且转子6与转子轴5的一体化是将该转子轴肩部9之上的转子轴5顶端部嵌入端部件63的轴毂孔7中，并且用螺栓将端部件63与转子轴肩部9紧固而固定。

由上述第1和第2圆筒部件61、62以及圆形部件60构成的转子6由径向磁力轴承10、10以及轴向磁力轴承11经由转子轴5支撑，能够绕其轴心（转子轴5）旋转。被支撑的转子6通过驱动马达12产生的转子轴5的旋转被驱动而绕其转子轴5旋转。因此，在图1的复合泵P1中，由转子轴5，径向磁力轴承10、10以及轴向磁力轴承11，驱动马达12构成的泵支撑系统、旋转驱动系统作为驱动上述圆形部件60及第1和第2圆筒部件61、62绕其中心旋转的驱动单元发挥功能。

《翼排气部Pｔ的详细结构》

在图1的复合泵P1中，转子6的大致中间位置（具体地说是圆形部件60的位置。以下也同样）的上游（从转子6的大致中间位置至转子6的气体吸气口2侧端部的范围。以下也同样）作为翼排气部Pｔ发挥功能。翼排气部Pｔ的详细结构如以下所述。

转子6的大致中間位置的上游一侧的转子6构成部分、即第1圆筒部件61是作为翼排气部Pｔ的旋转体旋转的部分，在第1圆筒部件61外周面上一体地设有多个旋转翼13。这多个旋转翼13以转子6的旋转轴心、即转子轴5或者封装壳1的轴心（以下称为「泵轴心」）为中心放射状地排列。另一方面，在泵壳1A的内周面一侧设有多个固定翼14，这多个固定翼14也以泵轴心为中心放射状地排列配置。并且这种旋转翼13和固定翼14沿着泵轴心交互地配置多级，从而形成翼排气部Pｔ。

任一个旋转翼13均是通过切削加工与第1圆筒部件61的外径加工部一体地切出形成的桨叶状的切削加工品，以最利于气体分子的排气的角度倾斜。而且，任一个固定翼14也以最利于气体分子的排气的角度傾斜。

《翼排气部Pｔ的动作说明》

在由以上的结构构成的翼排气部Pｔ中，通过驱动马达12的起动，转子轴5，转子6以及多个旋转翼13一体地高速旋转，最上级的旋转翼13相对于从气体吸气口2入射的气体分子赋予从气体吸气口2朝向气体排气口3一侧的方向的运动量。具有该排气方向的运动量的气体分子被固定翼14向下一级的旋转翼13一侧送入。这种向气体分子赋予运动量和送入动作重复地进行多级，从而气体吸气口2一侧的气体分子朝向转子6的下游依次转移，到达螺纹泵部Pｓ的上游一侧。

《螺纹泵部Pｓ的详细结构》

在图1的复合泵P1中，转子6的大致中间位置的下游（从转子6的大致中间位置至转子6的气体排气口3侧端部的范围。以下也同样）作为螺纹泵部Pｓ发挥功能。螺纹泵部Pｓ的详细结构如下所述。

转子6的大致中间的下游一侧的转子6构成部分、即第2圆筒部件62是作为螺纹泵部Pｓ的旋转部件旋转的部分，在其第2圆筒部件62的外周，作为螺纹泵部固定筒设有筒状的固定部件18，该筒状的固定部件（螺纹泵部固定筒）18成为包围在第2圆筒部件62的外周的构造。另外，上述固定部件18是其下端部由泵座1B支撑。

在固定部件18与第2圆筒部件62之间设有螺旋状的螺纹泵流路S。在图1的例子中，采用了第2圆筒部件62的外周面为没有凹凸的曲面，并且在固定部件18的内表面一侧形成螺旋状的螺纹槽19，从而在第2圆筒部件62与固定部件18之间形成螺纹泵流路S的结构。也可以构成为取代上述结构，构成为将这种螺纹槽19形成在第2圆筒部件62的外周面上，并且使固定部件18的内表面为没有凹凸的曲面，从而在第2圆筒部件62与固定部件18之间形成螺纹泵流路S。

上述螺纹槽19形成为其深度随着靠近下方而变化成小直径化的圆锥形状。而且，上述螺纹槽19从固定部件18的上端朝向下端刻设成螺旋状。

在该螺纹泵部Pｓ中，由于通过螺纹槽19与第2圆筒部件62外周面处的拖曳效果而将气体一边压缩一边移送，所以螺纹槽19的深度设定成在螺纹泵流路S的上游入口一侧（靠近气体吸气口2的流路开口端）最深，在其下游出口一侧（靠近气体排气口3的流路开口端）最浅。

如先前所说明的那样，第2圆筒部件62嵌入在圆形部件60的外周接合，设在这种接合部（以下称为「第2圆筒部件62上的接合部J」）与固定部件18之间的第1区域的间隙δ1如图2所示，设定成比设在其接合部J以外的部分（以下称为「第2圆筒部件62上的非接合部N」）与固定部件18之间的第2区域的间隙δ2～δ5大（δ1＞δ2、δ1＞δ3、δ1＞δ4、δ1＞δ5）。即，在图2的例子中，将第2区域的间隙δ2～δ5设定成比第1区域的间隙δ1小。

但是，由于圆形部件60如上所述是由铝或者其合金等金属材料构成的，所以因热膨胀或蠕变现象而在径向上多少会扩张变形，但由于与圆形部件60接合的第2圆筒部件62如上所述是由热膨胀比圆形部件60小、并且蠕变速度低的材料来形成的，所以与圆形部件60相比，不易产生因热膨胀或蠕变现象而导致径向上的扩张变形。

因此，在图1的复合泵P1中，因长时间连续运行时的热和离心力等产生的蠕变现象或热膨胀，仅在圆形部件60上的接合部J附近变形成图3那样的形状，圆形部件60上的非接合部N的大部分在复合泵P1长时间连续运行后也几乎不变形。

因此，根据图1的复合泵P1，能够将设在第2圆筒部件62上的非接合部N与固定部件18之间的第2区域的间隙δ2如图2所示尽可能窄地设定在最小限度，这样一来，能够谋求泵性能的提高。而且，关于设在第2圆筒部件62上的接合部J与固定部件18之间的第1区域的间隙δ1，考虑了先前所说明的接合部J附近的形状变形后如图2所示设定成比第2区域的间隙δ2大，从而能够防止因接合部J附近的形状变形而产生的第2圆筒部件62与固定部件18的接触。

第2圆筒部件62上的接合部J如图1所示位于螺纹泵流路S的上游一侧。在螺纹泵流路S的上游一侧，由于其流路内圧力低，所以即使将设在接合部J与固定部件18之间的第1区域的间隙δ1如上所述地设定成较大，穿过第1区域的间隙δ1的气体的逆流也是微小的，气体的逆流对泵性能的影响小到能够忽略的程度。

如图2所示，上述第1区域的间隙δ1与第2区域的间隙δ2的边界的间隙δ3～δ5通过将固定部件18内周面形成为锥形，从而形成为随着从接合部J朝向非接合部N的方向离开而逐渐减小成为锥形。该锥形的始端附近以及终端附近如图5所示形成为圆弧形状R。

先前所说明的第2圆筒部件62上的接合部J附近的形状变形（因蠕变现象或热膨胀而产生的形状变形。以下也同样）随着从接合部J朝向非接合部N的方向离开而逐渐减小成为锥形。在图1的复合泵P1中，如上所述，由于采用了使第1区域的间隙δ1与第2区域的间隙δ2的边界的间隙δ3～δ5与接合部J附近的形状变形相对应地为锥形的结构，所以浪费的间隙减少，谋求了泵性能的进一步提高。

如图2所示，在使第2圆筒部件62的沿着圆筒轴线的长度为上述锥形的轴向长度L的情况下，上述边界的间隙δ3～δ5的锥形的轴向长度L设定成第2圆筒部件62的壁厚ｔ的3倍以上。

虽然第2圆筒部件62的壁厚ｔ例如也可以如图2及图3那样加厚或者如图4那样减薄，但在其壁厚ｔ厚的情况和薄的情况下，通过图3与图4的比较可知，与壁厚ｔ相对应地第2圆筒部件62上的接合部J附近的形状变形的形态不同。

例如图3所示，在第2圆筒部件62的壁厚ｔ厚的情况下，接合部J附近的形状变形产生的锥形的倾斜梯度变缓。另一方面，如图4所示，在其壁厚ｔ薄的情况下，接合部J附近的形状变形产生的锥形的倾斜梯度变陡。在图1的复合泵P1中，如上所述，由于通过将第1区域的间隙δ1与第2区域的间隙δ2的边界的间隙δ3～δ5的锥形的轴向长度L设定成第2圆筒部件62的壁厚ｔ的3倍以上，考虑了第2圆筒部件62的壁厚ｔ后设定上述边界的间隙δ3～δ5的锥形的轴向长度L，所以浪费的间隙减少，谋求了泵性能的进一步提高。

《螺纹泵部Pｓ的动作说明》

如在之前的《翼排气部Pｔ的动作说明》中所说明的那样，到达螺纹泵部Pｓ的上游一侧的气体分子进一步向螺纹泵流路S转移。转移的气体分子通过因第2圆筒部件62的旋转产生的效果、即第2圆筒部件62的外周面与螺纹槽19处的拖曳效果，一边从迁移流向粘性流压缩一边朝向气体排气口3转移，最终通过未图示的辅助泵向外部排出。

图6是适用本发明所涉及的真空泵的螺纹泵的剖视图。该图的螺纹泵P2是省略了图1的复合泵P1中的翼排气部Pｔ的形式，作为其基本的结构，具备：圆形部件60，驱动圆形部件60绕其中心旋转的驱动单元（具体地说是由转子轴5，径向磁力轴承10、10以及轴向磁力轴承11，驱动马达12构成的泵支撑系统、旋转驱动系统），与圆形部件60的外周接合的圆筒部件62，作为包围在圆筒部件62的外周的螺纹泵部固定筒的固定部件18，以及形成在圆筒部件62与固定部件18之间的螺纹泵流路S，并且由于圆形部件60以及圆筒部件62的旋转而通过螺纹泵流路S排出气体与图1的复合泵P1同样，所以对相同的部件赋予相同的附图标记而省略其详细说明。另外，由圆形部件60和圆筒部件62构成的转子6以与图1的转子6同样的构造与转子轴5一体化。

但是，在图6的螺纹泵P2中，由于与图1的复合泵P1同样，采用了圆筒部件62是由热膨胀比圆形部件60小、并且蠕变速度低的材料来形成的结构，以及设在圆筒部件62上的接合部J与固定部件18之间的第1区域的间隙δ1设定成比设在圆筒部件62上的非接合部N与固定部件18之间的第2区域的间隙δ2大的结构，所以与图1的复合泵P1相同，能够同时谋求泵性能的提高以及防止圆筒部件62与固定部件18的接触。

即使在图6的螺纹泵P2中，圆筒部件62上的接合部J也如该图所示位于螺纹泵流路S的上游一侧。在螺纹泵流路S的上游一侧，由于其流路内圧力低，所以即使将设在接合部J与固定部件18之间的第1区域的间隙δ1如上所述设定成较大，穿过第1区域的间隙δ1的气体的逆流也是微小的，气体的逆流对泵性能的影响小能够忽视的程度。

而且，即使在图6的螺纹泵P2中，由于采用了第1区域的间隙δ1与第2区域的间隙δ2的边界的间隙（参照图2的δ3～δ5）是随着从上述接合部J朝向上述非接合部N的方向离开而逐渐减小成为锥形的结构，所以与图1的复合泵P1同样，谋求了泵性能的进一步提高。

进而，即使在该图6的螺纹泵P2中，上述边界的间隙的锥形的轴向长度也优选设定成圆筒部件62的壁厚的3倍以上。这与先前所说明的图1的复合泵P1同样。

本发明并不仅限于以上所说明的实施方式，在本发明的技术构思内，本领域中具有通常知识的技术人员能够进行多种变更。

Claims (5)

1.一种真空泵，具备：圆形部件，驱动上述圆形部件绕其中心旋转的驱动单元，与上述圆形部件的外周接合的圆筒部件，包围在上述圆筒部件的外周的固定部件，以及形成在上述圆筒部件与上述固定部件之间的螺纹泵流路，由于上述圆形部件以及上述圆筒部件的旋转，通过上述螺纹泵流路排出气体，其特征在于，

上述圆筒部件是，由具有热膨胀比上述圆形部件小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成，

使上述圆筒部件上的非接合部与上述固定部件之间的第2区域的间隙小于上述圆筒部件上的接合部与上述固定部件之间的第1区域的间隙，所述第2区域的间隙是上述非接合部与上述固定部件之间的间隙中最窄的间隙。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述第1区域的间隙与上述第2区域的间隙的边界的间隙，随着从上述接合部朝向上述非接合部的方向离开而逐渐减小成为锥形。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，在使沿着上述圆筒部件的轴线的长度为上述锥形的轴向长度的情况下，上述边界的间隙的上述锥形的上述轴向长度为上述圆筒部件的壁厚的3倍以上。

4.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，上述圆筒部件上的上述接合部设在上述螺纹泵流路的上游一侧。

5.一种转子，具备被驱动而旋转的圆形部件和与其外周接合的圆筒部件，用于真空泵中，其特征在于，

上述圆筒部件是，由具有热膨胀比上述圆形部件小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成，

通过上述转子组装在上述真空泵内，在上述转子的上述圆筒部件与包围在其外周的固定部件之间形成螺纹泵流路，使上述圆筒部件上的非接合部与上述固定部件之间的第2区域的间隙小于上述圆筒部件上的接合部与上述固定部件之间的第1区域的间隙，所述第2区域的间隙是上述非接合部与上述固定部件之间的间隙中最窄的间隙。