CN103419289B - 一种硅晶体切割机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种硅晶体切割机，该机的平面滑轨组件、放线排线机构、收线排线机构和凸轮曲轴传动机构设置在机座的工作平台上；放线导线轮组件、放线张力机构、收线导线轮组件、收线张力机构和传动轴座固定设置在平面滑轨组件上；线轮固定架的一端与平面滑轨组件固定连接，传动轴座和凸轮曲轴传动机构通过连动杆相连接；砂浆箱和垂直滑轨组件设置在机座的工作平台下，砂浆箱活动连接在垂直滑轨组件上，线轮固定架的另一端位于砂浆箱中，进给丝杆与砂浆箱相连接，进给丝杆通过丝杆轴承座连接在机座上。采用本发明，可以更好地控制切割截面的垂直度，提高切割质量，更有利于后道多线切割硅片的出片率和正品率。

Description

一种硅晶体切割机

技术领域

本发明涉及一种硅晶体切割机。

背景技术

目前，在硅电子行业中，通常使用带锯对硅晶体（单晶硅棒、多晶硅块等）进行切除头尾的切割，这种切割设备及方法一是造成硅晶体的截面垂直度不好，影响后续多线切割硅片的出片率和正品率；二是带锯锯片损耗大，成本高。

发明内容

本发明的目的是提供切割硅晶体时的截面垂直度好的一种硅晶体切割机。

本发明采取的技术方案是：一种硅晶体切割机，包括机座、平面滑轨组件、放线排线机构、放线导线轮组件、放线张力机构、收线排线机构、收线导线轮组件、收线张力机构、传动轴座、连动杆、凸轮曲轴传动机构、放线张力机构、切割进给机构、线轮固定架、砂浆箱、垂直滑轨组件、进给丝杆、丝杆轴承座组成，其特征在于平面滑轨组件、放线排线机构、收线排线机构和凸轮曲轴传动机构设置在机座的工作平台上；放线导线轮组件、放线张力机构、收线导线轮组件、收线张力机构和传动轴座固定设置在平面滑轨组件上；线轮固定架的一端与平面滑轨组件固定连接，传动轴座和凸轮曲轴传动机构通过连动杆相连接；砂浆箱和垂直滑轨组件设置在机座的工作平台下，砂浆箱活动连接在垂直滑轨组件上，线轮固定架的另一端位于砂浆箱中，进给丝杆与砂浆箱相连接，进给丝杆通过丝杆轴承座连接在机座上。

所述的包括砂浆管和硅棒夹，砂浆管设置在砂浆箱上部，硅棒夹设置在砂浆箱底部。

采用本发明，不但可以更好地控制切割截面的垂直度，提高切割质量，更有利于后道多线切割硅片的出片率和正品率，而且可以利用多线切割硅片后的废钢线进行切割，降低生产成本。

附图说明

图1是本发明的正视示意图。

图2是本发明的右侧示意图。

图3是本发明俯视示意图。

图中序号表示：收线张力机构1、收线导线轮组件2、钢线3、收线排线机构4、平面滑轨组件5、线轮固定架6、放线排线机构7、放线导线轮组件8、放线张力机构9、传动轴座10、连动杆11、凸轮曲轴传动机构12、机座13、砂浆箱14、垂直滑轨组件15、丝杆螺母16、硅棒17、丝杆轴承座18、进给动力装置19、进给丝杆20、硅棒夹21和砂浆管22。

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。

参照图1、图2和图3，该硅晶体切割机包括收线张力机构1、收线导线轮组件2、收线排线机构4、平面滑轨组件5、线轮固定架6、放线排线机构7、放线导线轮组件8、放线张力机构9、传动轴座10、连动杆11、凸轮曲轴传动机构12、机座13、砂浆箱14、垂直滑轨组件15、丝杆螺母16、硅棒17、丝杆轴承座18、进给动力装置19、进给丝杆20、硅棒夹21和砂浆管22；其中，平面滑轨组件5、放线排线机构7、收线排线机构4和凸轮曲轴传动机构12设置在机座13的工作平台上；放线导线轮组件8、放线张力机构9、收线导线轮组件2、收线张力机构1和传动轴座10固定设置在平面滑轨组件5上；线轮固定架6的一端与平面滑轨组件5固定连接，传动轴座10和凸轮曲轴传动机构12通过连动杆11相连接；砂浆箱14和垂直滑轨组件15设置在机座13的工作平台下，砂浆箱14活动连接在垂直滑轨组件15上，线轮固定架6的另一端位于砂浆箱14中，进给丝杆20通过丝杆螺母16与砂浆箱14相连接，进给丝杆20通过丝杆轴承座18连接在机座13上。砂浆管22设置在砂浆箱14上部且高于硅棒17的位置，硅棒夹21设置在砂浆箱14底部。

使用时，将钢线3通过放线排线机构7放出，依次经过放线导线轮组件8、放线张力机构9、线轮固定架6上的线轮、收线张力机构1、收线导线轮组件2，最后由收线排线机构4收回。切割时，将砂浆箱14通过丝杆20降到垂直滑轨组件15的最低位置。再把硅棒17安装在两气压式的硅棒夹21之间，启动气压式的硅棒夹21将硅棒17夹紧。然后启动凸轮曲轴传动机构12和进给动力装置19，通过凸轮曲轴传动机构12带动连动杆11作来回周期性运动，从而通过传动轴座10带动平面滑轨组件5以及线轮固定架6作来回周期性运动。与此同时，进给动力装置19带动进给丝杆20在丝杆轴承座18转动，在丝杆螺母16的作用下使砂浆箱14慢慢经垂直滑轨组件15向上升起，同时硅棒17也随着砂浆箱14同步向上升起，钢线3对硅棒17均匀切割，与此同时，在砂浆管22中通入砂浆，将砂浆喷到钢线3切割硅棒17的位置即可。

这样切割后，不但切割截面的垂直度很高，提高了切割质量，有利于后道多线切割硅片的出片率和正品率，同时，可以利用多线切割硅片后的废钢线进行切割，降低生产成本。与原有带锯式切割方法相比，效益明显提升。

Claims (2)

1.一种硅晶体切割机，包括机座、平面滑轨组件、放线排线机构、放线导线轮组件、放线张力机构、收线排线机构、收线导线轮组件、收线张力机构、传动轴座、连动杆、凸轮曲轴传动机构、切割进给机构、线轮固定架、砂浆箱、垂直滑轨组件、进给丝杆、丝杆轴承座组成，其特征在于平面滑轨组件、放线排线机构、收线排线机构和凸轮曲轴传动机构设置在机座的工作平台上；放线导线轮组件、放线张力机构、收线导线轮组件、收线张力机构和传动轴座固定设置在平面滑轨组件上；线轮固定架的一端与平面滑轨组件固定连接，传动轴座和凸轮曲轴传动机构通过连动杆相连接；砂浆箱和垂直滑轨组件设置在机座的工作平台下，砂浆箱活动连接在垂直滑轨组件上，线轮固定架的另一端位于砂浆箱中，进给丝杆与砂浆箱相连接，进给丝杆通过丝杆轴承座连接在机座上。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶体切割机，其特征在于它包括砂浆管和硅棒夹，砂浆管设置在砂浆箱上部，硅棒夹设置在砂浆箱底部。