CN103392119B - 气密性检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种能够在短时间内进行气密性检查的检查对象物的气密性检查装置。该气密性检查装置的特征在于，所述气密性检查装置具备：储存容器（2），用于储存检查对象物（X）；吸引单元（3），用于吸引该储存容器（2）内部的气体；气体检测单元（4），可以检测从检查对象物（X）漏出的气体状态的检测对象物；所述吸引单元（3）从吸引口（22c）吸引所述检查对象物（X）的周围的气体至设置于所述储存容器（2）内的所述气体检测单元（4），所述吸引口（22c）设置于储存容器（2）内的位置。

Description

气密性检查装置

技术领域

本发明涉及一种具有密封结构的容器的气密性检查装置，尤其涉及一种二次电池等检查对象物的气密性检查装置。

背景技术

在现有技术中，在锂离子电池的制造过程中，实施用于检查是否充分维持其气密性的气密性检查。通常，锂离子电池具备密封有机电解液等电解质的密封容器。若该密封容器中存在针孔（pinhole）等不良情况，则密封容器的气密性便会不充分。于是，封入该密封容器内部的电解液泄漏的可能性会变大。

因此，实施如专利文献1中所述那样的气密性检查。用于实施该气密性检查的气密性检查装置具备可将电池收容于内部的密闭容器、和连接于该密闭容器的真空排气管。真空排气管包括真空泵、切换阀以及氢气浓度检测仪而构成。并且，在真空排气管中，真空泵、切换阀以及氢气浓度检测仪从密闭容器串联连接。而且，通过真空泵工作，密闭容器的内部被减压。此时，从真空泵排出的密闭容器内的气体通过切换阀而排放到大气中。若密闭容器的内部达到规定条件，切换阀便被切换。另外，从真空泵排出的气体送往氢气浓度检测仪。氢气浓度检测仪测定该气体中含有的氢气的浓度。该气密性检查装置将其测定结果与大气中的氢气浓度进行比较。于是，气密性检查装置判断气密性是否严密。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本国特开2001-236986号公报

发明内容

发明要解决的课题

通常，锂离子电池以生产线方式大量生产。气密性检查需要配合生产线的生产速度而实施。这并不限于锂离子电池。在其他的二次电池或一次电池为检查对象物时也有共通的课题。但是，在所述气密性检查中，（氢气浓度）检测仪设置于真空泵的出口侧。为此，该检测仪无法直接检出包含在气体中的氢气浓度。因此，在这样的气密性检查中，无法配合生产线的生产速度而在短时间内对检查对象物的气密性进行检查。

在此，本发明鉴于以上事实，以提供一种能够在短时间内进行气密性检查的气密性检查装置为课题。

解决课题的方法

本发明所述的气密性检查装置是一种具备：储存容器，用于储存检查对象物；吸引单元，用于吸引该储存容器内部的气体；以及气体检测单元，可检测从所述检查对象物漏出的气体状态的检测对象物，其特征在于，所述气体检测单元设置于所述储存容器的内部，所述吸引单元从吸引口吸引所述检查对象物周围的气体，所述吸引口可将所述检查对象物周围的气体引导至所述气体检测单元，而且为了吸引所述检查对象物周围的气体，所述吸引口设置于所述储存容器内的位置。

根据该结构，气体检测单元设置于用于储存检查对象物的储存容器的内部。在气体状态的检测对象物从检查对象物漏出时，储存容器内部的气体通过吸引单元从吸引口被吸引，由此该检测对象物也和检查对象物的周围的气体一起引导至气体检测单元。以这种方式，气体检测单元能够检测该检测对象物。因此，本发明的气密性检查装置能够在储存容器的内部检测是否从检查对象物漏出检测对象物。而且，气密性检查装置能够在短时间内对检查对象物的气密性进行检查。

根据本发明，所述储存容器优选具备：第一储存部，用于储存所述检查对象物；第二储存部，可使该第一储存部内部的气体流通，且设置成使所述吸引口位于可将从所述第一储存部流通的气体吸引至外部的位置。

根据该结构，检查对象物储存于第一储存部。从检查对象物漏出的气体状态的检测对象物排放至该第一储存部的内部。在第二储存部中设置有吸引口。通过使吸引单元进行吸引，将第二储存部内部的气体吸引至吸引口。继而，第一储存部内部的气体被吸引至吸引口。第二储存部内部的气体通过吸引单元从吸引口被吸引，由此从检查对象物漏出的检测对象物从第一储存部与检查对象物的周围的气体一起被引导至气体检测单元。以这种方式，气体检测单元能够检测该检测对象物。因此，本发明的气密性检查装置能够在储存容器的内部检测是否从检查对象物漏出检测对象物。而且，气密性检查装置能够在短时间内对检查对象物的气密性进行检查。

根据本发明，所述吸引单元优选具备用于将所述第一储存部内部的气体吸引至所述第二储存部的连通口。

根据该结构，连通口能够设置在离用于储存检查对象物的第一储存部近的位置。该连通口能够快速吸引检查对象物周围的气体。

根据本发明，所述吸引单元优选具备调整单元，所述调整单元可调整从所述吸引口吸引所述储存容器内部气体的流量。

根据该结构，储存容器内部的气体被引导至气体检测单元。调整单元能够将流量调整为就气体检测单元对检测对象物进行检测而言适当的流量。

根据本发明，所述气体检测单元优选具备：检测部，用于检测所述检测对象物；引导路径，将所述储存容器内部的气体引导至该检测部；排气孔，设置于与通过该引导路径引导至所述检测部的气体流向相交差的位置。

根据该结构，储存容器内部的气体通过吸引单元被吸引。之后，该气体通过引导路径被引导至检测部。该气体由排气孔排出时，该气体的流向在检测部转向从而其流速减慢。该气体检测单元以能够使被吸引气体的流速减慢的方式构成。因此，气体检测单元能够提高对检测对象物进行检测的灵敏度。

另外，本发明的气密性检查装置是一种具备：储存容器，用于储存检查对象物；吸引单元，用于吸引该储存容器内部的气体；以及气体检测单元，可检测从所述检查对象物漏出的气体状态的检测对象物，其特征在于，所述气体检测单元设置于所述储存容器的内部；所述吸引单元从吸引口吸引所述检查对象物周围的气体，所述吸引口可将所述检查对象物周围的气体引导至所述气体检测单元，而且为了吸引所述检查对象物周围的气体，所述吸引口设置于所述储存容器内的位置；所述储存容器具备：第一储存部，用于储存所述检查对象物；第二储存部，可使该第一储存部内部的气体流通，且设置成使所述吸引口位于可将从所述第一储存部流通的气体吸引至外部的位置；所述吸引单元具备：连通口，用于将所述第一储存部内部的气体吸引至所述第二储存部；和盖子，用于塞住该连通口；所述盖子具有流通孔，吸引至所述第二储存部的气体可以通过所述流通孔，而且该流通孔的开口面积小于所述连通口的开口面积。

根据该结构，气体检测单元设置于用于储存检查对象物的储存容器的内部。在气体状态的检测对象物从检查对象物漏出时，储存容器内部的气体通过吸引单元从吸引口被吸引，由此该检测对象物也和检查对象物的周围的气体一起引导至气体检测单元。以这种方式，气体检测单元能够检测该检测对象物。因此，本发明的气密性检查装置能够在储存容器的内部检测是否从检查对象物漏出检测对象物。而且，气密性检查装置能够在短时间内对检查对象物的气密性进行检查。

另外，就盖子而言，能够通过流通口来限制连通口的开口面积。因此，流通孔能够限制通过连通口的气体的流量。

发明效果

如上所述，根据本发明所述的气密性检查装置，产生了能够在短时间内进行气密性检查的优良效果。

附图说明

图1是第一实施方案的气密性检查装置的整体概述图（overviewdiagram）。图1（a）表示主视图。图1（b）表示侧视图。

图2表示用于上述实施方案的气密性检查装置的储存容器。图2（a）表示主视图。图2（b）表示俯视图。图2（c）表示侧视图。

图3表示用于上述实施方案的气密性检查装置的、储存容器的剖面图。

图4表示上述实施方案的气密性检查装置内的、气体流向的气体流程图。

图5表示用于上述实施方案的气密性检查装置的气体检测单元。图5（a）和（b）表示纵剖面图。图5（c）表示底面图。

图6是与用于上述实施方案的气密性检查装置的、气体检测单元的检测部相关的图。图6（a）表示气体减压时的工作特性图。图6（b）表示等效电路图。

图7表示上述实施方案的气密性检查装置的控制框图。

图8表示上述实施方案的气密性检查装置的控制流程图。

图9表示上述实施方案的气密性检查装置的控制流程图。

图10表示上述实施方案的气密性检查装置的、气体检测单元的检测部的传感器输出电压。

图11是表示第二实施方案的气密性检查装置的图。图11（a）表示整体概述图。图11（b）表示储存容器内部的主视图。

图12表示第三实施方案的气密性检查装置的剖面图。

图13表示上述实施方案的气密性检查装置的盖子。图13（a）是剖面图。图13（b）是仰视图。

图14表示其他实施方案的气密性检查装置的整体示意图。

具体实施方案

参照附图对本发明的第一实施方案的气密性检查装置进行说明。首先，参照图1-图7对上述实施方案的气密性检查装置的结构进行详细说明。

上述实施方案的气密性检查装置是一种通过检测封入于检查对象物的检测对象物的漏出来对该检查对象物的气密性进行检查的检查装置。在本实施方案中，将以锂离子电池作为检查对象物的气密性检查为例子进行说明。在锂离子电池中，稀硫酸等水溶液或醇系列的有机电解液等电解液（电解质）与正极或负极等一并封入于密封容器。若该密封容器存在针孔或裂纹等不良，则电解液从该密封容器的不良部分漏出。因此，在该锂离子电池的气密性检查装置中，将在检查过程中从密封容器漏出而呈气体状态的有机电解液作为检测对象物而进行检测。而且，在该气密性检查装置中，判断该密封容器的气密性是否良好。在本实施方案中，对如锂离子电池的气密性检查装置的这种检查进行说明。

如图1（a）和（b）的整体概述图所示，气密性检查装置1具备：储存容器2，用于储存检查对象物X；吸引单元3，用于吸引该储存容器2内部的气体；气体检测单元4，可以对从检查对象物X漏出的气体状态的检测对象物进行检测；控制单元5，用于控制吸引单元3和气体检测单元4；以及外壳6，用于一体式存放这些装置。

如图2（a）-（c）以及图3中详细所示，储存容器2划分为两个空间。储存容器2具备：第一储存部21，用于储存检查对象物X；和第二储存部22，可以使该第一储存部21内部的气体流通。第一储存部21和第二储存部22是通过突出部20a和壁20b来被划分的，其中，所述突出部20a在储存容器2内部的高度方向上的中途部向内侧突出而设置；所述壁20b通过螺栓和螺母固定于该突出部20a、并以气体不能流通的方式屏蔽第一储存部21和第二储存部22之间。

第一储存部21具备：第一腔室21a，通过吸出内部的气体使其呈减压气氛；储存单元21b，用于在该第一腔室21a的内部储存检查对象物X（具体而言，是锂离子电池）；大气开放单元21c，向外部开放被减压的第一腔室21a内部的气体；检查单元21d，用于检查第一腔室21a内部的检查对象物X等的状况；压力表21e（参照图3），用于计测第一腔室21a内部的压力。

第一腔室21a呈如下结构：在其内部放置检查对象物X，并呈可以与第一储存部21的外部隔绝的封闭结构。进而，第一腔室21a呈也可以与相邻的第二储存部22隔绝的封闭结构。为此，若将第一腔室21a内部的气体吸引至外部，则其内部呈减压气氛或真空状态。即，第一腔室21a是用于使其内部的氧气浓度降低装置。

储存单元21b是具有可使第一腔室21a与外部隔绝的功能的储存用门，以在关闭时使第一腔室21a变成相对其外部密闭的结构。进而，储存单元21b也用于在对第一腔室21a的内部进行减压后从第一腔室21a的内部取出检查对象物X的时候。当然，若打开储存单元21b，则第一腔室21a内部的气体向外部放出。

大气开放单元21c在中途部分或端部具备大气开放阀。因此，大气开放单元21c是可以将第一储存部21的内部和外部连通的连通管。大气开放单元21c是为了在对第一腔室21a的内部进行减压后，使第一腔室21a内部的压力恢复至大气压而设置的。

检查单元21d设置于储存单元21b。检查单元21d是可以从外部目视第一腔室21a内部的检查窗口。

压力表21e连接于控制单元5。压力表21e具有对所计测的第一腔室21a的内部压力可进行数字输出或模拟输出的送信部。

第二储存部22具备：第二腔室22a，通过吸出内部的气体使其呈减压气氛；连通口22b，以气体可以在第一腔室21a和第二腔室22a之间流通的方式使第一腔室21a和第二腔室22a连通；吸引口22c，设置于可以将从第一腔室21a流通的气体吸引至（第一储存部21和第二储存部22的）外部的位置；检查单元22d，用于安装并检查在第二腔室22a的内部安装的气体检测单元4等装置；以及压力表22e（参照图3），用于计测第二腔室22a内的压力。

就第二腔室22a而言，在其内部放置检查对象物X，并呈可以与第二储存部22的外部隔绝的封闭结构。进而，第二腔室22a呈也可以与相邻的第一储存部21隔绝的封闭结构。为此，若将第二腔室22a内部的气体吸引至外部，则其内部呈减压气氛或真空状态。即，第二腔室22a是用于吸引第一腔室21a内部的气体，而使第一腔室21a的内部呈减压气氛或真空状态的装置。

在本实施方案中，连通口22b是使气体流通的开口。进而，连通口22b具有可以安装控制其气体流通的装置的结构。该连通口22b设置于壁20b的两处。一侧的连通口22b（下面，称为“第一连通口22b1”。参照图3）安装有调整单元32。该第一流通口22b1配置在对通过第二储存部22将第一储存部21内部的气体吸引至外部而言效率高的位置。为此，第一连通口22b1配置在比另一侧的连通口22b更靠向吸引口22c侧的位置。

另外，另一侧的连通口22b（下面称为“第二连通口22b2”。参照图3）安装有气体检测单元4。该第二连通口22b2配置在对通过吸引口22c将检查对象物X周围的气体吸引至外部而言效率高的位置。更具体而言，第二连通口22b2设置在最容易收集检查对象物X的周围的气体的（从检查对象物X流出检测对象物时，指该检测对象物）的位置。

吸引口22c设置于可将检查对象物X的周围的气体引导至在储存容器2内设置的气体检测单元4的位置。吸引口22c设置于容易吸引该气体的位置，以将检查对象物X的周围的气体即第一储存部21内部的气体从第一连通口22b1和第二连通口22b2的任意一侧或两侧吸引至第二储存部22。

检查单元22d设置于第二腔室22a的顶面。检查单元22d是具有如下结构的检查盖子：由螺栓和螺母紧固于该顶面而封口，由此使第二腔室22a呈可封闭的结构。

压力表22e连接于控制单元5。压力表22e具有对所计测的第二腔室22a内部的压力可进行数字输出或模拟输出的送信部。

如图3和图4所示，吸引单元3从吸引口22c吸引。该吸引口22c可将检查对象物X的周围的气体引导至在储存容器22内设置的气体检测单元4的、储存容器2内的位置。吸引单元3具备：吸引装置31（参照图1（a）和（b）、及图3），用于吸引储存容器2内部的气体；切换单元32，可以切换多个连通口22b1、22b2以调整从检查对象物X的周围引导至气体检测单元4的气体的流量；调整单元33（参照图4），可以调整从吸引口22c吸引储存容器2内部的气体的流量。

如图4中的吸引路径所示，吸引装置31通过调整单元33连接于储存容器2（具体而言，第二储存部22的吸引口22c）。吸引装置31是吸引该储存容器2内部气体的真空泵。

如图3和图4所示，调整单元32调整流过第二储存部22的两个连通口22b1、22b2的流量，由此来调整引导至气体检测单元4气体的流量。本实施方案的调整单元32是安装于这些连通口22b1、22b2中的一侧的连通口22b（第一连通口22b1）的气体断流阀32a。在另一侧的连通口22b（第二连通口22b2）安装有气体检测单元4。下面，将使第一储存部21内部的气体从第一连通口22b1通过气体断流阀32a流入于第二储存部22的通道称为第一通道Ra-1而进行说明。另外，使第一储存部21内部的气体从第二连通口22b2通过气体检测单元4而流入于第二储存部22的通道称为第二通道Ra-2而进行说明。

调整单元通过32通过断开气体断流阀32a来断开第一通道Ra-1，使第一储存部21内部的气体（不具备断流机构）只通过第二通道Ra-2而流入于第二储存部22。即，流向第二通道Ra-2中的气体检测单元4的气体的流量可以为从第一储存部21流入于第二储存部22的气体的全部量。

另外，调整单元32通过打开气体断流阀32a，使第一储存部21内部的气体通过第一通道Ra-1和第二通道Ra-2的两侧而通过第二储存部22。此外，第一连通口22b1配置于比第二连通口22b2更靠近吸引口22c侧，从而容易吸引的位置。因此，从第一储存部21被吸引至第二储存部22的气体，其大部分流向第一通道Ra-1，实际上基本不会流向第二通道Ra-2。

第二流量调整单元33通过切换将第二储存部22内部的气体从吸引口22c以吸引装置31的（最大）吸引流量进行吸引的第一吸引通道Rb-1、和减少吸引装置31的吸引流量来使流速减慢而进行吸引的第二吸引通道Rb-2，来调整吸引的流量。

第二流量调整单元33具备：第一配管33a，从吸引口33c引导第二储存部22内部的气体；通路切换阀（通路切换单元）33b，连接于该第一配管33a并用于切换第一吸引通道Rb-1和第二吸引通道Rb-2；第二配管33c，是构成第一吸引通道Rb-1的配管并用于将气体引导至与第二吸引通道Rb-2的合流部；第三配管33d，是构成第二吸引通道Rb-2的配管并用于将气体引导至与第一吸引通道Rb-1的合流部；流量调整阀（流量调整单元）33e，设置于该第三配管33d，且可以调整通过配管内的气体的流量；第四配管33f，用于将气体从第一吸引通道Rb-1和第二吸引通道Rb-2的合流部引导至吸引装置31。

如图5（a）-（c）所示，气体检测单元4具备：检测部41，对检测对象物进行检测；和保持架42，用于将第一储存部21内部的气体从第二连通口22b2引导至检测部41。

检测部41是可以检测作为检测对象物的有机溶媒的半导体方式气敏传感器（gas sensor）。在本实施方案中，对于检测部41采用氧化锡半导体气敏传感器的例子进行说明。该半导体方式的气敏传感器利用在金属酸化物半导体元件的表面附着有检测对象物由此使电导率改变的这一事实，计测其电导率由此来检测有无检测对象物。进而，该气敏传感器检测器检测对象物的漏出量。

首先，参照图6对该气敏传感器的工作特性进行说明。首先，在图6中示出该气敏传感器在气体减压时的工作特性。在图6（a）中，横轴表示对储存容器的内部进行减压后的减压水准（kPa）/（Torr），另外在图6（a）中，纵轴表示此时的氧气浓度（％）和该气敏传感器的传感器输出（mV）。氧气浓度是用虚线表示的a线。气敏传感器的传感器输出用实线表示的b线。此外，如图6（b）的气敏传感器的等效电路所示，该气敏传感器的传感器输出是与半导体元件41a以串联方式连接的负载电阻RL的两端电压VRL的值。

如图6（a）的结果所示，若使减压程度升高，理所当然地储存容器内部的氧气浓度（虚线a）会降低，随着该降低，该气敏传感器的传感器输出（负载电阻两端的电压VRL。实线b）与氧气浓度成反比上升。即，（因为电路电压VC是一定的）传感器电阻RS与氧气浓度成正比降低。由此可知，即使将储存容器的内部减压至相当于真空状态的93.3（kPa）（＝700（Torr）），该气敏传感器也能够耐得起使用。

如图5（a）-（c）所示，保持架42具备：保持架主体42a，用于保持检测部41；引导路径42b，用于将第一储存部21内部的气体引导至检测部41；排气孔42c，设置于与通过该引导路径42b引导至检测部41气体的流向交差的位置。此外，图5（a）的纵剖面图表示沿图5（c）中箭头Ａ-Ａ的剖面。图5（b）的纵剖面图表示沿图5（c）中箭头B-B的剖面。

保持架主体42a具备：安装单元44，可以在第二连通口22b2安装保持架42；和保持单元45，用于保持检测部41。

在第二连通口22b2的内周面形成有内螺纹。就安装单元44而言，与该第二连通口22b2的内螺纹进行螺纹结合的外螺纹形成于保持架主体42a的下端侧周面。因此，安装单元44呈以装卸自如的方式安装于第二连通口22b2的结构。若保持架主体42a安装于第二连通口22b2，则引导路径42b配置于可以从第一储存部21侧吸引第一储存部21内部气体的位置。就保持架主体42a而言，排气孔32c配置于可将第一储存部21内部的气体排向第二储存部22侧的位置。

保持单元45以使检测部41的检测面41b与流过引导路径42b的气体的流向垂直相交的方式配置。保持单元45以不会与检测部41（的检测面43）之间产生间隙的方式保持，以使流过引导路径42b的气体难以流向比检测部41更靠后侧（图5（a）和（b）的上侧）的位置。

引导路径42b是从吸引口46朝向检测部41a的检测面43以直线状延伸的通路，该吸引口46设置于从保持架主体42a的下端（在图5（a）和（b）中是下侧），而该检测部41a被保持架主体42a保持。

排气孔42c是在保持架主体42a的侧面贯穿其外周面和引导路径42b之间的孔。更具体而言，排气孔42c是将保持架主体42a的宽度方向的长度作为长边、将轴方向的长度作为短边的长孔。在第二储存部22的连通口22b安装保持架主体42a时，排气孔42c配置于至少与第二储存部22侧相通的位置。优选排气孔42c最好配置于检测部41的最近处。

像这样，排气孔42c能够以气体不会通过检测部41内部的方式，使由引导路径42b引导的气体流向在检测部41的检测面43垂直地向侧方弯曲从而向第二储存部22侧排出。并且，流向引导路径42b的气体在检测部41的检测面43其流向以直角弯曲，由此其流速降低。因此，检测部41能够用检测面43来降低气体流速后进行检测，因此能够抑制内部安装的加热器的温度降低。并且，防止由内部安装的加热器的温度降低引起的传感器电阻增加的情况，检测部41能够正常工作。

如图7的控制框图所示，控制单元5具备：操作部51，由从事气密性检查的检查负责人操作该装置；输入输出部52，用于进行储存容器2、吸引单元3及气体检测单元4的信号的输入输出；控制部53，基于从该输入输出部52输入的信号控制吸引单元3等；以及通知部54，用于通知该控制部53的检查结果等。

操作部51连接于控制部53。操作部51具备检查开始开关或向各装置供给电源的电源开关等，该检查开始开关用于检查对象者对该装置指示气密性检查的开始。

输入输出部52连接于第一储存部21的压力表21e、第二储存部22的压力表22e、以及气体检测单元4的检测部41，在提供这些的电源的同时，接收各种信号。从第一储存部21的压力表21e输入计测第一储存部21内部压力的计测信号。从第二储存部22的压力表22e同样地输入计测第二储存部22内部的压力的计测信号。从气体检测单元4的检测部41输入传感器输出。

进而，输入输出部52还连接于吸引装置31、切换单元32的气体断流阀32a、调整单元33的通路切换阀33b、以及第一储存部21的大气开放阀21c。并且，输入输出部52在供给电源的同时输出各种信号。向吸引装置31提供泵驱动用电源。向气体断流阀32a输出断开信号。对通路切换阀33b输出通路切换信号。

控制部53具备：用于存储有关气密性检查的控制程序的非易失性存储器ROM、用于存储来自输入输出部52输入输出信号等的易失性存储器RAM、以及用于进行各种运算处理的运算部。

控制部53具备：压力控制部53a，通过控制吸引装置31、气体断流阀32a、通路切换阀33b及大气开放阀21c来控制储存容器2内部的气体压力；状态监视部53b，基于来自第一储存部21的压力表21e和第二储存部22的压力表22e的计测信号来监视储存容器2内部的状态；气密性判断部53c，由判断储存容器2内部的压力来检查对象物的气密性。

通知部54具备：第一压力显示计54a，用于显示第一储存部21内部的气体压力；第二压力显示计54b，用于显示第二储存部22内部的气体压力；判断显示部（显示板或警报灯、警报蜂鸣器）54c，用于通知基于气密性判断部53c的检查对象物的气密性的判断结果。

外壳6在底面设置有滚动轮，以可以存放并搬运储存容器2、吸引单元3、控制单元5等。在外壳6的前面安装有控制单元5的各种计量仪器或操作开关等。

接着，参照图8和图9对本实施方案的气密性检查装置的作用进行说明。首先，按照图8的控制流程依次进行说明。最初在对检查对象物X的气密性进行检查时，在第一储存部21储存检查对象物X。将检查门（检查单元）21d封口而封闭第一储存部21（S1）。然后，操作操作部51的运转开始开关，开始进行气密性检查（S2），则气密性检查应分为如下阶段而实施：将第一储存部21减压至规定压力的减压阶段，以此来满足可以从检查对象物X漏出检测对象物的条件；判断阶段，根据检测部41的传感器输出信号来判断检查对象物X的气密性是否良好，所述检测部41从第一储存部21内部的气体检测检测对象物。

在气密性检查的减压阶段中，控制单元5的压力控制部53a控制切换单元32，以第一储存部21内部的气体主要从第一通道Ra-1被吸引至第二储存部22的方式进行调整。即，压力控制部53a打开气体断流阀32a（S3）。

压力控制部53a通过控制调整单元33，切换成第二储存部22内部的气体从第一吸引通道Rb-1被吸引。即，压力控制部53a将通路切换阀33b切换至第一吸引通道Rb-1侧（S4）。

以这种方式，若选择第一储存部21内部的气体吸引至吸引装置31的通路（在S3和S4之后），则压力控制部53a将驱动吸引装置31的驱动信号输出于输入输出部52（S5），以驱动吸引装置31。吸引装置31通过输入来自该输入输出部52的驱动信号来开始驱动。另外，吸引装置31吸引第二储存部22内部的气体。进而，吸引装置31主要从第一通道Ra-1吸引第一储存部21内部的气体。以这种方式，第一储存部21开始减压。

在状态监视部53b中，基于从第一储存部21压力表21e和第二储存部22的压力表22e输入的计测信号监视储存容器21、22内部的气体的压力。另外，状态监视部53b将计测其内部的气体压力的计测信号输出至压力控制部53a和通知部54。在通知部54中，使从状态监视部53b输入的计测信号（压力信号）显示于第一压力显示计54a和第二压力显示计54b以通知操作者。

若压力控制部53基于从状态监视部53b输入的压力信号来判断第一储存部21的压力已达到规定压力（在S6中为是），则满足从检查对象物漏出检测对象物的条件，气密性检查移至检测阶段。此外，在此处所说的规定压力是指使检测对象物从检查对象物X漏出所需要的压力。下面，将该压力称为“判断开始压力”。在实施方案中，使该判断开始压力设为93.3（kPa）/700（Torr）。

如图9的控制流程图所示，在检测阶段S4中，控制单元5的压力控制部53a通过控制调整单元33，切换成使第二储存部22内部的气体从第二吸引通道Rb-2被吸引。即，压力控制部53a将通路切换阀33b切换至第二吸引通道Rb-2侧（S7）。

进而，压力控制部53a通过控制切换单元32，调整为第一储存部21内部的气体从第二通道Ra-2被吸引至第二储存部22。即，压力控制部53a关闭气体断流阀32a（S8）。

以这种方式选择第一储存部21内部的气体吸引至吸引装置31的通路（在S7和S8之后），则使得第一储存部21的气体大量流入气体检测单元4的检测部41。如图10所示，在气密性判断部53c中，接受气体检测单元4的检测部41的、传感器输出信号的输入（检查的时间约为4秒的时候开始对储存容器2进行减压），但在达到判断开始压力的时间即约12秒之后，若有针孔等，则传感器输出电压（信号）便开始升高。

气密性判断部53c根据从第一储存部21内的气体压力达到判断开始压力开始经过规定时间时（在S9中为是）的、检测部41的传感器输出电压是否在规定电压以下，判断其检测对象物的气密性是否良好（S10）。

此外，在此处所说的规定时间是指检测部41在判断气密性时，使检测对象物漏出至可判别其气密性是否良好的阈值所需要的时间。下面，将该规定时间称为“漏出检测时间”。如图10所示，具体而言，若检查对象物X中有针孔（实线a以外的一点划线b、两点划线c、三点划线d），传感器输出电压在达到判断开始压力后（检查时间约为12秒之后）约4秒以内至少达到1.6Ｖ。只要有大约4秒的时间就能够判别检查对象物X中是否有针孔。由此，在本实施方案中该漏出检测时间设为达到判断开始压力后约4秒的时间（检查时间约为12-16秒之间）。

另外，在此处所说的规定电压是指作为阈值的传感器输出电压，该阈值是从判断开始压力经过漏出检测时间时的、可判别其气密性是否良好的值。下面将该规定电压称为“气密性判断电压”。就该气密性判断电压而言，根据形成于检查对象物X的针孔的规模（大小），电压值不同。例如，当检测针孔的直径至0.020mm时，气密性判断电压为2.1Ｖ。当检测针孔的直径至0.010mm时，气密性判断电压为2.0Ｖ。当检测针孔的直径至0.005mm时，气密性判断电压为1.6Ｖ。此外，图10的实线a表示不存在针孔时的传感器输出电压（Ｖ）。一点划线b表示针孔的直径为0.020mm时的传感器输出电压（Ｖ）。两点划线c表示针孔的直径为0.010mm时的传感器输出电压（Ｖ）。三点划线d表示针孔的直径为0.005mm时的传感器输出电压（Ｖ）。

当传感器输出电压在该气密性判断电压以下时，气密性判断部52判断气密性无异常、保持着气密性（S10中的是，S11）。另一方面，当传感器输出电压超过该气密性判断电压时，气密性判断部52判断气密性存在异常、并不充分保持气密性（S10中的否，S12）。气密性判断部52将这些判断结果（判断结果信号）输出至通知部54（S13）。在通知部54中由判断显示部54c来通知其结果。

若判断结果出来、气密性检查结束，则压力控制部53a开放大气开放阀21c，将储存容器2向大气开放，使储存容器2的内部恢复至大气压，以取出检查对象物（S14）。若储存容器2的压力恢复至大气压，则检查负责人打开检查门21d取出检查对象物X，而结束检查。

以这种方式，气体检测单元4设置于用于储存检查对象物X的储存容器2的内部。当气体状态的检测对象物从检查对象物X漏出时，储存容器2内部的气体在吸引单元3从吸引口22c被吸引，由此该检测对象物X与检查对象物X的周围的气体一起也引导至气体检测单元4。以这种方式，气体检测单元4能够对该检测对象物进行检测。

尤其是，检查对象物X储存于第一储存部21。从检查对象物X漏出的气体状态的检测对象物排放至该第一储存部21的内部。在第二储存部22设置有吸引口22c。通过吸引单元3将该第二储存部22内部的气体吸引至吸引口22c。继而，第一储存部21内部的气体被吸引至吸引口22c。通过用吸引单元3吸引第二储存部22内部的气体至吸引口22c，从检查对象物X漏出的检测对象物与检查对象物X的周围的气体一起从第一储存部21引导至气体检测单元4。以这种方式，气体检测单元4能够对该检测对象物X进行检测。因此，本实施方案的气密性检查装置1能够检测在储存容器2的内部是否有检测对象物从检查对象物X漏出。另外，气密性检查装置1能够在短时间内对检查对象物X的气密性进行检查。

连通口22b1、22b2能够配置于离储存检查对象物X的第一储存部21近的位置。该连通口22b1、22b2能够快速吸引检查对象物X的周围的气体。

储存容器2内部的气体被引导至气体检测单元4。调整单元33能够将流量调整为适合气体检测单元4检测检测对象物的流量。

储存容器2内部的气体通过吸引单元3吸引。并且，该气体通过引导路径42b引导至检测部41。该气体从排气孔42c排出时，该气体的流向在检测部41弯曲从而其速度减慢。该气体检测单元4以能够将被吸引的气体流速减慢的方式构成。因此，气体检测单元4能够提高检测检测对象物的灵敏度。

此外，即使在检测部41的传感器输出（电压）超过气密性判断电压之后，只要将储存容器2内部的压力恢复至大气压，附着于半导体元件表面的检测对象物便会脱离。因此，如图10所示，能够将检测部41的传感器输出（电压）恢复至检查初期的电压，且能够恢复至判断前的传感器输出电压。因此，根据本发明的气密性检查装置，即使连续实施气密性检查，该检测精度也不会降低。

接着，参照图11对本发明的第二实施方案的气密性检查装置进行说明。此外，对与第一实施方案的气密性检查装置1为相同结构使用相同附图标记，并省略其说明。

首先，本实施方案的气密性检查装置100与第一实施方案相同，具备储存容器102、吸引单元3、气体检测单元4、控制单元5、以及外壳6。

如图11所示，储存容器102具备第一储存部121和第二储存部122。但是，第一储存部121和第二储存部122没有以分别可密闭的方式分隔，在储存容器102内部的高度方向中途部向着内侧突出而设置的突出部120a放置有壁120b。即，壁120b通过向前方滑动，可以从储存容器102卸载。第一储存部121可以存放多个托架121f、…，以同时检查多个检查对象物。通过向前方滑动该托架121f，第一储存部121设置有能以从储存容器102可拆卸的方式保持的突出部121g、…。

第二储存部122，假设同时检查本实施方案的多个检查对象物。由此，第一储存部121的容积变大，从第一储存部121吸引的气体的流量也理所当然增加。因此，设置有多个连通口122b、…。另外，吸引口122c设置于储存容器102的上部。因此，吸引口122c配置于能更有效地吸引储存容器102内部气体的位置。在连通口122b、…配合第一储存部121的容积安装有多个气体断流阀32、…和气体检测单元4、…。

以这种方式，第一储存部121和第二储存部122分别没有完全密闭。例如，即使第一储存部121内部的气体可以从突出部120a和壁120b的接合部分流通，第一储存部121内部的气体的大部分还是通过多个连通口122b、…流入于第二储存部122。因此，通过安装于该连通口122b、…的气体检测单元4、…，可以对检测对象物进行检测。

另外，即使在检查对象物的容积增加的情况下，由于增加了连通口122b、…的数量，也不会对检测检测对象物造成阻碍。另外，由于设置多个连通口122b、…，气体检测单元4、…和气体断流阀32、…也设置多个。但是，本实施方案的储存容器102以其壁120b可以卸载的方式构成，因此能够容易进行维护。另外，能够通过增加可以从第一储存部121吸引的气体流量，（与从一处吸引的情况相比而言）在短时间内将第一储存部121的内部降低至规定压力。此外，通过扩大一处连通口的开口面积，得到相同效果也可。

接着，参照图1-图4、图12及图13对本发明的第三实施方案的气密性检查装置进行说明。

如图1（a）和（b）的整体概述图所示，气密性检查装置1具备：储存容器2，用于储存检查对象物X；吸引单元3，用于吸引该储存容器2内部的气体；气体检测单元4，可以对从检查对象物X漏出的气体状态的检测对象物进行检测；控制单元5，用于控制吸引单元3和气体检测单元4；以及外壳6，用于一体式存放这些装置。

如图2（a）-（c）以及图3中详细所示，储存容器2具备:第一储存部21，用于储存检查对象物X；和第二储存部22，可以使该第一储存部21内部的气体流通。第一储存部21和第二储存部22由壁20b划分，所述壁20b以气体不能在第一储存部21和第二储存部22之间流通的方式屏蔽第一储存部21和第二储存部22之间。

第一储存部21具备：第一腔室21a，通过吸出内部气体使其呈减压气氛；储存单元21b，用于在该第一腔室21a的内部储存检查对象物X；大气开放单元21c，向外部开放被减压的第一腔室21a内部的气体；检查单元21d，用于检查第一腔室21a内部的检查对象物X等的状况；压力表21e（参照图3），用于计测第一腔室21a内部的压力。

第二储存部22具备：第二腔室22a，通过吸出内部的气体使其呈减压气氛；连通口22b，以气体可以在第一腔室21a和第二腔室22a之间流通的方式使第一腔室21a和第二腔室22a连通；盖子322f（参照图12），通过安装部347可以间接堵住该连通口22b；吸引口22c，设置于可以将从第一腔室21a流通的气体吸引至外部的位置；检查单元22d，用于安装在第二腔室22a的内部安装的气体检测单元4等装置并进行检查；压力表22e（参照图3），用于计测第二腔室22a内的压力。

另外，连通口22b是为了通过吸引单元3将第一腔室21a（第一储存部21）内部的气体吸引至第二腔室22a（第二储存部22）而设置的。即，连通口22b作为吸引单元3的一部分而发挥功能。

连通口22b设置于壁20b的两处。在一侧的连通口22b（下面称为“第一连通口22b1”。参照图3）安装有调整单元32。在另一侧的连通口22b（下面称为“第二连通口22b2”。参照图3）安装有气体检测单元4。

如图12、图13（a）及图13（b）所示，盖子322f具备：盖子主体322f1，通过安装部347间接堵住连通口22b、流通孔322f2，可以使将吸引于第二腔室22a（第二储存部22）的气体通过。盖子322f2优选在多个连通口22b中安装于第二连通口22b2侧。此外，图12是第二连通口22b2周围的部分剖面图。图13（a）是盖子322f的纵剖面图。图13（b）是盖子322f的仰视图。

盖子主体322f1以有底筒状形成，具备用于堵住连通口22b的板状的基底部322f3、和从该基底部322f3的一侧的面延伸而设置的圆筒部322f4。基底部322f3以具有大于连通口22b的外径的圆盘状形成。另外，基底部322f3的一部分圆弧的边缘以直线状形成。圆筒部322f4在其外周面具备外螺纹322f5，以此来以可装卸的方式安装连通口22b。外螺纹322f5螺纹连接于设置在安装部347的内螺纹347b。因此，盖子322f呈以装卸自如的方式安装于安装部347的结构。圆筒部322f4以圆筒形状形成，以使其内周面将通过流通孔322f2的气体向连通口22b流动。

流通孔322f2由一个或多个孔构成。本实施方案的流通孔322f2由四个孔构成。另外，以该四个流通孔322f2、…的各开口面积的总和小于连通口22b的开口面积的方式设置。流通孔322f2贯通盖子主体322f1的基底部322f3而设置。流通孔322f2配置于比圆筒部322f4的内周面个更靠里的内侧，以使气体流向圆筒部322f4的内侧。

如图12所示，气体检测单元4具备：检测部41，用于对检测对象物进行检测；保持架42，用于使第一储存部21内部的气体从第二连通口22b2引导至检测部41；安装部347，用于将该保持架42以可装卸的方式固定于壁20b。

检测部41是可以检测作为检测对象物的有机溶媒的半导体方式的气敏传感器。

如图12所示，保持架42具备：保持架主体42a，用于保持检测部41；引导路径42b，用于向检测部41引导第一储存部21内部的气体；排气孔42c，设置于与由该引导路径42b引导至检测部41的气体的流向交差的位置。

保持架主体42a具备：安装单元44，可以在第二连通口22b2安装保持架42；和保持单元45，用于保持检测部41。

安装单元44具备：筒部344a，以圆筒形状形成；外螺纹344b，形成于该筒部344a的外周面。筒部344a具有可以插入安装部347的外径。外螺纹344b与设置在安装部347的内螺纹347b进行螺纹连接。因此，安装单元44呈以装卸自如的方式安装在安装部347的结构。

保持单元45以检测部41的检测面41b与流过引导路径42b的气体的流向垂直相交的方式配置。保持单元45以不会与检测部41（的检测面43）之间产生间隙的方式被保持，以使流过引导路径42b的气体难以流动至比检测部41的检测面43更靠后侧（图12的上侧）的位置。

安装部347插通于连通口22b而配置。安装部347以一端侧位于第一储存部21侧、另一端侧位于第二储存部22侧的方式设置。另外，安装部347固定于壁20b。安装部347具备：筒部347a，以圆筒形状形成；内螺纹347b，在从该筒部347a的筒芯方向的一端侧到另一端侧的内周面形成。

安装部347的内螺纹347b以能够从筒芯方向的一端侧螺纹连接保持架主体42a、从另一端侧螺纹连接盖子322f的方式设置。本实施方案的安装部347的内螺纹347b形成得充分长，以使在保持架主体42a和盖子322f螺纹连接于安装部347的状态下，各自的顶端部之间有空隙。

以这种方式，气体检测单元4设置于用于储存检查对象物X的储存容器2的内部。在气体状态的检测对象物从检查对象物X漏出时，储存容器2内部的气体通过吸引单元3从吸引口22c吸引，该检测对象物X也和检查对象物X的周围的气体一起被引导至气体检测单元4。以这种方式，气体检测单元4能够检测该检测对象物。

另外，盖子322f的流通孔322f2能够将气体的流量限制为适合通过气体检测单元4对检测对象物进行检测。另外，检测部41将通过检测面43的气体的流量限制为最适合的流量，因此能够抑制内置的加热器的温度降低。由于能够防止传感器电阻增加，检测部41能够正常工作。

此外，本发明所述的气密性检查装置并不限于上述实施方案，在不脱离本发明主旨的范围内当然可以进行各种变更。

关于上述实施方案的气密性检查装置1、100，对适用于锂离子电池的例子进行了说明，但并不限于该用途。例如，本发明所述的气密性检查装置也能够适用于如锂离子电池以外的镍氢电池等在放电后进行再充电从而可以重复使用的二次电池（所谓的充电电池）或、如碱性干电池或锰干电池的一次电池等电池。另外，也能够适用于与这些电池相同地具有密封结构的容器的检查对象物。例如，也能够适用于电解电容器，和具有阳极、阴极、以及浸渍于该两个电极之间的电解液的检查对象物。该检查对象物存在与锂离子电池相同的课题，若使用本发明所述的气密性检查装置进行气密性检查，则能够达成相同课题。

关于上述实施方案的气密性检查装置1、100，对检测部41为氧化锡半导体气敏传感器的例子进行了说明，但并不限于此。检测部根据本发明的气密性检查装置所检查的检查对象物X而选择检测对象物，只要是适合检测该检测对象物的传感器，便可以是任意一种传感器。此外，在上述实施方案公开的检测部的特性是一例。检测部的特性要与根据检测对象物而选择的传感器的特性相配合而适当，确认传感器的特性并要根据传感器进行适当的控制，这是毫无疑问的。

关于上述实施方案的气密性检查装置1、100，对通过检查负责人将检查对象物X储存于储存容器2，102的例子进行了说明，但并不限于此。例如，如图14所示，气密性检查装置200设置于检查对象物X的生产线Ｙ上，自动地储存于储存容器202内，在实施气密性检查后自动回到生产线Ｙ上也可。此时，气密性检查装置200向生产线设备发送实施气密性检查的检查结果，在生产线设备设置可以输出检查结果的外部输出端子，以自动地从生产线Ｙ去除气密性并不严密的检查对象物X。

关于上述实施方案的气密性检查装置1，对第一连通口22b1相对第二连通口22b2配置于吸引口22c侧的例子进行了说明，通过这个以外的方法或组合这个以外的方法以高效率通过第二储存部22将第一储存部21内部的气体吸引至外部也可。例如，通过将第一连通口22b1的开口面积设定为大于第二连通口22b2的开口面积，使得能够更加高效率地流通也可。另外，相对于第一连通口22b1设置多个第二连通口22b2，由此使得够更加高效率地流通也可。

关于上述实施方案的气密性检查装置1、100，对保持架主体42a在与由引导路径42b引导至检测部41的气体的流向交差的位置设置排气孔42c的例子进行了说明，但并不限于此。例如，保持架主体，以使得检测部41将检测的气体通过检测部41的方式，在由引导路径42b引导至检测部41的气体流向的延长线上的位置设置排气孔也可。在这种情况下，存在检测部的传感器输出降低的情况，因此优选设置检测气体后的复归时间（约20秒左右），使得维持该传感器的灵敏度，以使传感器输出复归。

关于上述实施方案的气密性检查装置1、100，对作为切换单元32在第一连通口22b1侧设置气体断流阀32a的例子进行了说明，但并不限于此。例如，在安装有气体检测单元4的第二连通口22b2侧安装该切换单元，从而调整从第一储存部21吸引至第二储存部22的气体的流量也可。此时，优选在气体检测单元的出口侧安装气体断流阀，在减压阶段关闭气体断流阀，由此在减压时使气体流向第一连通口22b1侧。另外，仅在判断阶段打开气体断流阀，使气体流向第一连通口22b1和第二连通口22b2两侧，对其中包含于流向第二连通口22b2的气体中的检测对象物进行检测也可。因此，与本实施方案相比流向第二连通口22b2的气体的流量存在降低，因此优选通过延长测定时间来确保该气体的流量。

关于上述实施方案的气密性检查装置1、100，对储存容器2划分为第一储存部21和第二储存部22两个的例子进行了说明，但并不限于此。例如，如果不会对第一储存部内部的气体通过第二储存部的第一连通口和第二连通口流通产生阻碍，便没有必要将第一储存部和第二储存部分别以完全封闭的方式构成，也没有必要划分为两部分。即，只要吸引口设置于如下位置，即可以将所述检查对象物周围的气体引导至设置于所述储存容器内的所述气体检测单元的储存容器内的位置，便能够将从检查对象物漏出的检测对象物引导至气体检测单元，从而能够进行检测。但是，无法集中地把气体引导至气体检测单元，因此上述实施方案的结构是最优选的。此外，若是在对气密性没有高度要求的情况下，从气体检测单元漏出的检测对象物的量（包含于气体中的浓度）当然也会增加，不按上述实施方案构成也能够进行检测，并能够低价制造，在这种情况下优选以这种方式构成。

关于上述实施方案的气密性检查装置1、100，对排气孔42c设置于保持架主体42a侧面的一处的例子进行了说明，但并不限于此。例如，排气孔设置于两处也可。设置于两处的排气孔的位置，位于在保持架主体42a的半径方向上相互对置的位置也可。另外，排气孔设置于三处以上的多处也可。

关于上述实施方案的气密性检查装置1、100，对使吸引单元31的吸引能力保持在一定水平，而通过调整单元33调整吸引储存容器2内部气体的流量的例子进行了说明，但并不限于此。例如，吸引单元可以是调整其吸引能力或进行多级切换从而可以调整气体流量的真空泵、或者调整吸引能力或搭载可进行多级切换的控制部的真空泵。即，调整单元装入于吸引单元从而成为一体，并调整储存容器内部的气体也可。

关于上述实施方案的气密性检查装置1、100，对盖子322f通过安装部347可以间接堵住连通口22b的例子进行了说明，但并不限于此。例如，盖子不用通过安装部便可以直接堵住连通口22b也可。

关于上述实施方案的气密性检查装置1、100，对流通孔322f2为多个的例子进行了说明，但并不限于此。例如，流通孔也可以是一个。优选流通孔为圆形的孔，具有比连通口22b的内径小的外径。另外，流通孔其开口形状并不限定于圆形形状。例如，流通孔可以是以多角形形状形成于盖子的盖子主体的基底部的孔，也可以是以椭圆形形状形成的孔。

附图标记说明

1…气密性检查装置、2…储存容器、20a…突出部、20b…壁、21…第一储存部、21a…第一腔室、21b…储存单元、21c…大气开放单元、21d…检查单元（检查门）、21e…压力表、22…第二储存部、22a…第二腔室、22b…连通口、22b1…第一连通口、22b2…第二连通口、22c…吸引口、22d…检查单元（检查盖子）、22e…压力表、3…吸引单元、31…吸引装置、32…切换单元、32a…气体断流单元（气体断流阀）、33…调整单元、33a…第一配管、33b…通路切换单元（通路切换阀）、33c…第二配管、33d…第三配管、33e…流量调整单元（流量调整阀）、33f…第四配管、4…气体检测单元、41…检测部、41a…半导体元件、42…保持架、42a…保持架主体、42b…引导路径、43…检测面、44…安装单元、45…保持单元、46…吸引口、42c…排气孔、5…控制单元、51…操作部、52…输入输出部、53…控制部、53a…压力控制部、53b…状态监视部、53c…气密性判断部、54…通知部、54a…第一压力显示计、54b…第二压力显示计、54c…判断显示部、6…外壳、100…气密性检查装置、102…储存容器、120a…突出部、120b…壁、121…第一储存部、121g…突出部、121f…托架、122…第二储存部、122b…连通口、122c…吸引口、200…气密性检查装置、202…储存容器、322f…盖子、322f1…盖子主体、322f2…流通孔、322f3…基底部、322f4…圆筒部、322f5…外螺纹、344a…筒部、344b…外螺纹、347…安装部、347a…筒部、347b…内螺纹、Ra-1…第一通道、Ra-2…第二通道、Rb-1…第一吸引通道、Rb-2…第二吸引通道、X…检查对象物、Ｙ…生产线

Claims (6)

1.一种气密性检查装置，其具备：储存容器，用于储存检查对象物；吸引单元，用于吸引该储存容器内部的气体；以及气体检测单元，可检测从所述检查对象物漏出的气体状态的检测对象物，其特征在于，

所述气体检测单元设置于所述储存容器的内部，

所述吸引单元从吸引口吸引所述检查对象物周围的气体，所述吸引口可将所述检查对象物周围的气体引导至所述气体检测单元，而且为了吸引所述检查对象物周围的气体，所述吸引口设置于所述储存容器内，

所述储存容器具备：第一储存部，用于储存所述检查对象物；第二储存部，可使该第一储存部内部的气体流通，且设置成使所述吸引口位于可将从所述第一储存部流通的气体吸引至外部的位置。

2.权利要求1所述的气密性检查装置，其中，所述吸引单元具备用于将所述第一储存部内部的气体吸引至所述第二储存部的连通口。

3.权利要求1所述的气密性检查装置，其中，所述吸引单元具备调整单元，所述调整单元可调整从所述吸引口吸引所述储存容器内部气体的流量。

4.权利要求2所述的气密性检查装置，其中，所述吸引单元具备调整单元，所述调整单元可调整从所述吸引口吸引所述储存容器内部气体的流量。

5.权利要求1-4任一项所述的气密性检查装置，其中，所述气体检测单元具备：检测部，用于检测从所述检查对象物漏出的气体；引导路径，将所述储存容器内部的气体引导至该检测部；排气孔，设置于与通过该引导路径引导至所述检测部的气体流向相交差的位置。

6.一种气密性检查装置，其具备：储存容器，用于储存检查对象物；吸引单元，用于吸引该储存容器内部的气体；以及气体检测单元，可检测从所述检查对象物漏出的气体状态的检测对象物，其特征在于，

所述气体检测单元设置于所述储存容器的内部，

所述吸引单元从吸引口吸引所述检查对象物周围的气体，所述吸引口可将所述检查对象物周围的气体引导至所述气体检测单元，而且为了吸引所述检查对象物周围的气体，所述吸引口设置于所述储存容器内，

所述储存容器具备：第一储存部，用于储存所述检查对象物；第二储存部，可使该第一储存部内部的气体流通，且设置成使所述吸引口位于可将从所述第一储存部流通的气体吸引至外部的位置，

所述吸引单元具备：连通口，用于将所述第一储存部内部的气体吸引至所述第二储存部；和盖子，用于塞住该连通口，

所述盖子具有流通孔，吸引至所述第二储存部的气体可以通过所述流通孔，而且该流通孔的开口面积小于所述连通口的开口面积。