CN103334152A - 一种单晶炉的加料方法 - Google Patents

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方中期
汪国锋
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Abstract

本发明涉及一种单晶炉的加料方法，该方法包括下列步骤：A、在单晶炉中按单晶炉总加硅料量第一次加足硅料，再将硅料熔化后开始拉第一根晶棒；B、当单晶炉第一次拉晶至单晶炉中硅料剩余10～20%时，停止第一根拉晶；C、在单晶炉中缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，待其完全熔化；D、再次缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，再待其完全熔化；E、又再次缓缓加入单晶炉总加料量的余量，待该余量完全熔化；F、重新开始第二根晶棒的拉晶，直到单晶炉中硅料完全拉完为止。采用本发明，由于每炉可拉二根晶棒，不仅节省能耗，而且提高了坩埚等材料的利用率。

Description

一种单晶炉的加料方法
技术领域
本发明涉及一种单晶炉的加料方法。
背景技术
    目前，采用单晶炉直拉晶棒时，一般先在单晶炉中一次性加入硅料，再给单晶炉加热，等硅熔化后拉出一根晶棒，就要停炉后更换坩埚等材料，然后重新加料，再重新加热后再拉。这样的方法，不仅能耗大，而且浪费材料。
发明内容
本发明的目的是提供无需停炉，就可直接再次加料的一种单晶炉的加料方法。
本发明采取的技术方案是：一种单晶炉的加料方法，其特征在于它包括下列步骤：A、在单晶炉中按单晶炉总加硅料量第一次加足硅料，再将硅料熔化后开始拉第一根晶棒；B、当单晶炉第一次拉晶至单晶炉中硅料剩余10～20%时，停止第一根拉晶；C、在单晶炉中缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，待其完全熔化；D、再次缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，再待其完全熔化；E、又再次缓缓加入单晶炉总加料量的余量，待该余量完全熔化；F、重新开始第二根晶棒的拉晶，直到单晶炉中硅料完全拉完为止。
采用本发明，由于每炉可拉二根晶棒，不仅节省能耗，而且提高了坩埚等材料的利用率。
具体实施方式
下面对本发明作进一步说明。它包括下列步骤；
一、、在单晶炉中按单晶炉总加硅料量第一次加足硅料，再将硅料熔化后开始拉第一根晶棒；
二、当单晶炉第一次拉晶至单晶炉中硅料剩余10～20%时，停止第一根拉晶；三、在单晶炉中缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，待其完全熔化；
四、再次缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，再待其完全熔化；
五、又再次缓缓加入单晶炉总加料量的余量，待该余量完全熔化；
六、重新开始第二根晶棒的拉晶，直到单晶炉中硅料完全拉完为止。

Claims (1)

1.一种单晶炉的加料方法，其特征在于它包括下列步骤：A、在单晶炉中按单晶炉总加硅料量第一次加足硅料，再将硅料熔化后开始拉第一根晶棒；B、当单晶炉第一次拉晶至单晶炉中硅料剩余10～20%时，停止第一根拉晶；C、在单晶炉中缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，待其完全熔化；D、再次缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，再待其完全熔化；E、又再次缓缓加入单晶炉总加料量的余量，待该余量完全熔化；F、重新开始第二根晶棒的拉晶，直到单晶炉中硅料完全拉完为止。
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PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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