CN203976973U - 一种石英坩埚炉上抽管式装料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石英坩埚炉上抽管式装料装置，包括石英坩埚、石墨埚帮、碳纤维网、钩挂网眼、送料管安装架和送料管，所述的底座与石英坩埚相匹配，所述的底座上铺有碳纤维网，石英坩埚置于碳纤维网上，所述石英坩埚上埚沿上交叉设有送料管安装架，所述送料管安装在送料管安装架上，所述送料管结构如下：所述料斗安装在管体上，所述料斗下部的管体上设有一个悬挂槽，所述管体的下部设有缓冲网阀，所述缓冲网阀上设有定时控制开关。该石英坩埚炉上抽管式装料装置，结构简单，采用的送料管在不破坏石英坩埚的基础上大大提高了装料速度，为我们提供了一种高效的石英坩埚炉装料方法。

Description

一种石英坩埚炉上抽管式装料装置

技术领域

本实用新型涉及坩埚技术领域，具体为一种石英坩埚炉上抽管式装料装置。

背景技术

直拉法生长单晶硅的过程中，装料前需要将石英坩埚放入石墨埚帮中，再将多晶原料放入石英坩埚中。为防止伤到石英坩埚，多晶原料需要缓慢放入，一般装80kg 多晶原料需要用时约60min，导致装料过程耗时费力。很多厂家应用各种技术，设法实现单晶炉外装料，将装料作业置于正常生产的作业流程之外，即可缩短单炉次作业周期，此种方法还可成为线外装料。常用的实现炉外快速装料的方法有，埚盖吊装法、连带埚帮吊装法等。所谓埚盖吊装法，即制作石英坩埚埚盖，装入多晶原料后，石英坩埚埚盖与石英坩埚组成腔体，将腔体抽空以提起整个腔体。此方法的缺陷在于，石英坩埚埚盖与石英坩埚直接接触，占据石英坩埚的上沿位置，使得在炉外装料时，多晶原料不能放置在此区域，需要在腔体吊装进入炉内后进行补装，即，既减少了炉内装料的量，又使得整个作业流程更加复杂，不适宜大规模推广应用。连带埚帮吊装法，即通过改造单晶炉体，使下轴可上升到高出热场，操作时，埚帮及石英坩埚正常装配，多晶原料装入完毕后，利用工具从埚帮处受力，将其吊装入炉内。此方法避免了埚盖吊装法的作业流程复杂的缺点，但对单晶炉体下轴的改造成本昂贵，石墨件特别是石墨埚帮需要重新设计，吊装工装需要专门设计，另外加高加长的下轴，使得运行过程中，易出现下轴晃动、抖动等异常情况，容易导致拉制单晶失败，为此，我们提出一种石英坩埚炉上抽管式装料装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石英坩埚炉上抽管式装料装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种石英坩埚炉上抽管式装料装置，包括石英坩埚、石墨埚帮、碳纤维网、钩挂网眼、送料管安装架和送料管，所述的底座与石英坩埚相匹配，所述的底座上铺有碳纤维网，石英坩埚置于碳纤维网上，所述石英坩埚上埚沿上交叉设有送料管安装架，所述送料管安装在送料管安装架上，所述送料管结构如下：所述料斗安装在管体上，所述料斗下部的管体上设有一个悬挂槽，所述管体的下部设有缓冲网阀，所述缓冲网阀上设有定时控制开关。

优选的，所述碳纤维网的厚度为0.2-0.5mm。

优选的，所述两个送料管安装架交叉处留有送料管活动孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该石英坩埚炉上抽管式装料装置，结构简单，采用的送料管在不破坏石英坩埚的基础上大大提高了装料速度，为我们提供了一种高效的石英坩埚炉装料方法。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种石英坩埚炉上抽管式装料装置，包括石英坩埚1、石墨埚帮2、碳纤维网3、钩挂网眼4、送料管安装架5和送料管6，所述的底座与石英坩埚1 相匹配，所述的底座上铺有碳纤维网3，石英坩埚1 置于碳纤维网3上，碳纤维网3材料选用高模量高强度碳纤维，该种碳纤维经2500℃处理，密度低、耐高温、耐腐蚀、耐摩擦、抗疲劳、电导及热导性高、热膨胀系数低、化学性能稳定。采用0.5mm 厚的碳纤维3 足以提起200kg 重的物体，耐2000℃高温，可重复利用30 炉次以上，利用单晶炉上轴( 或叉车) 起重，实现单晶炉外装料，碳纤维网3的厚度为0.2-0.5mm，外形尺寸根据石英坩埚1而定，利用吊钩直接钩挂网眼4，来实现单晶炉外装料的同时，碳纤维网3能够减缓石英坩埚1 和石墨埚帮2 的反应速率，延长石墨埚帮2 使用寿命，降低晶体碳含量，提升单晶品质，所述石英坩埚1上埚沿上交叉设有送料管安装架5，所述两个送料管安装架5交叉处留有送料管活动孔7，所述送料管6安装在送料管安装架5上，所述送料管结构如下：所述料斗64安装在管体61上，所述料斗64下部的管体上设有一个悬挂槽65，所述管体61的下部设有缓冲网阀62，所述缓冲网阀62上设有定时控制开关，动力装置通过悬挂槽65将送料管6按设定的速度轨迹向上吊，同时原料通过料斗64送入管体61内，原料经过缓冲网阀62缓冲输送到石英坩埚1内，随着石英坩埚1内的原料的增多，就可以加快输送速度了，石英坩埚1内的原料起着缓冲作用，管体61的运动为匀加速向上运动。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。 

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (3)

1.一种石英坩埚炉上抽管式装料装置，包括石英坩埚、石墨埚帮、碳纤维网、钩挂网眼、送料管安装架和送料管，其特征在于：所述的底座与石英坩埚相匹配，所述的底座上铺有碳纤维网，石英坩埚置于碳纤维网上，所述石英坩埚上埚沿上交叉设有送料管安装架，所述送料管安装在送料管安装架上，所述送料管结构如下：所述料斗安装在管体上，所述料斗下部的管体上设有一个悬挂槽，所述管体的下部设有缓冲网阀，所述缓冲网阀上设有定时控制开关。 

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚炉上抽管式装料装置，其特征在于：所述碳纤维网的厚度为0.2-0.5mm。 

3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚炉上抽管式装料装置，其特征在于：所述送料管安装架交叉处留有送料管活动孔。