CN204530016U - 一种单晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型是一种单晶炉，包括炉塔、炉本体，所述炉塔位于所述炉本体上方，所述炉本体内部下方设有坩埚，所述坩埚上方设有导流筒，所述导流筒由挂台和导流筒本体组成，所述导流筒本体为至上而下直径逐渐缩小的筒体，所述挂台位于所述导流筒本体顶部两侧，所述挂台下方设有护板，所述挂台固定在所述护板上，其特征在于，所述挂台上设有凹槽，所述护板上设有与所述凹槽配合的凸台，所述凸台嵌入所述凹槽内，本实用新型在导流筒的挂台上设计凹槽，在支撑挂台的护板上设计与凹槽配合的凸台，当生产大尺寸晶硅棒，需要将导流筒的直径变大时，凹槽和凸台可以起到固定导流板的作用，不会造成导流板松动、不稳固。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅材料生产设备技术领域，尤其涉及一种单晶炉。
背景技术
单晶炉拉制单晶硅棒时，盛装多晶硅块等原料的石英坩埚放入位于埚托之上的石墨坩埚托内，在保护性气氛中加热融化，调控到工艺温度后，籽晶经导流筒插入溶融多晶硅液中，与坩埚作逆向旋转并向上提升，使多晶硅液按籽晶的硅原子排列顺序结晶凝固成单晶硅棒。
在连续向上提拉的硅单晶生长工艺过程中，工艺气体(高纯氩气)从硅单晶生长炉顶部充入，为了保证硅单晶的稳定快速生长和挥发物的及时排除，在坩埚上面安装有导流筒，氩气经过导流筒和保温罩的内壁，再通过真空泵从硅单晶生长炉下部抽气口排出。
现有的单晶炉由于受导流筒直径的限制，对生产的硅晶棒的尺寸也会有限制，如果要生产大尺寸的硅晶棒的话，就需要加大导流筒的直径，但这样容易导致导流筒不容易固定在单晶炉内的护板上，不稳定。
发明内容
本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种能实现生产大尺寸硅晶棒的单晶炉。
本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：一种单晶炉，包括炉塔、炉本体，所述炉塔位于所述炉本体上方，所述炉本体内部下方设有坩埚，所述坩埚上方设有导流筒，所述导流筒由挂台和导流筒本体组成，所述导流筒本体为至上而下直径逐渐缩小的筒体，所述挂台位于所述导流筒本体顶部两侧，所述挂台下方设有护板，所述挂台固定在所述护板上，其特征在于，所述挂台上设有凹槽，所述护板上设有与所述凹槽配合的凸台，所述凸台嵌入所述凹槽内。
本实用新型的有益效果是：本实用新型在导流筒的挂台上设计凹槽，在支撑挂台的护板上设计与凹槽配合的凸台，当生产大尺寸晶硅棒，需要将导流筒的直径变大时，凹槽和凸台可以起到固定导流板的作用，不会造成导流板松动、不稳固。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图中：1-炉塔；2-挂台；3-护板；4-坩埚；5-炉本体；6-导流筒本体；7-凹槽；8-凸台；
以下将结合本实用新型的实施例参照附图进行详细叙述。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：
如图1所示，一种单晶炉，包括炉塔1、炉本体5，所述炉塔1位于所述炉本体5上方，所述炉本体5内部下方设有坩埚4，所述坩埚4上方设有导流筒，所述导流筒由挂台2和导流筒本体6组成，所述导流筒本体6为至上而下直径逐渐缩小的筒体，所述挂台2位于所述导流筒本体6顶部两侧，所述挂台2下方设有护板3，所述挂台2固定在所述护板3上，其特征在于，所述挂台2上设有凹槽7，所述护板3上设有与所述凹槽7配合的凸台8，所述凸台8嵌入所述凹槽7内。
上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种单晶炉，包括炉塔(1)、炉本体(5)，所述炉塔(1)位于所述炉本体(5)上方，所述炉本体(5)内部下方设有坩埚(4)，所述坩埚(4)上方设有导流筒，所述导流筒由挂台(2)和导流筒本体(6)组成，所述导流筒本体(6)为至上而下直径逐渐缩小的筒体，所述挂台(2)位于所述导流筒本体(6)顶部两侧，所述挂台(2)下方设有护板(3)，所述挂台(2)固定在所述护板(3)上，其特征在于，所述挂台(2)上设有凹槽(7)，所述护板(3)上设有与所述凹槽(7)配合的凸台(8)，所述凸台(8)嵌入所述凹槽(7)内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520179346.2U CN204530016U (zh) | 2015-03-27 | 2015-03-27 | 一种单晶炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201520179346.2U CN204530016U (zh) | 2015-03-27 | 2015-03-27 | 一种单晶炉 |
Publications (1)
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| CN204530016U true CN204530016U (zh) | 2015-08-05 |
Family
ID=53744032
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| CN201520179346.2U Expired - Fee Related CN204530016U (zh) | 2015-03-27 | 2015-03-27 | 一种单晶炉 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN204530016U (zh) |
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2015
- 2015-03-27 CN CN201520179346.2U patent/CN204530016U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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Granted publication date: 20150805 Termination date: 20160327 |
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