CN103295759A - 永磁体的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种Nd-Fe-B永磁体的制造方法，其是采用电阻加热与微波加热相结合的技术对Nd-Fe-B永磁体的烧结、回火方法。Nd-Fe-B合金粉末压坯在300℃～350℃以下时，在真空电阻加热炉中使用电阻加热方式升温；Nd-Fe-B合金粉末压坯达到300℃～350℃以上时，在真空微波加热炉中使用微波加热方式升温。采用本发明的方法能够大幅度提高Nd-Fe-B永磁体在升温、保温过程中的热利用效率，显著缩短烧结和回火周期，降低能耗、和生产成本，同时明显改善产品质量。

Description

永磁体的制造方法

技术领域

本发明涉及Nd-Fe-B永磁体的制造方法，特别涉及采用电阻加热与微波加热相结合的技术对Nd-Fe-B永磁体的烧结、回火方法。

背景技术

烧结Nd-Fe-B永磁体广泛应用于计算机的硬件驱动设备、各种家用电器、电声设备、多媒体设备、电子仪器、仪表、医疗设备、工业电动机、风力发电机、以及汽车传感器、电动汽车和混合动力汽车的驱动电机等，已经成为现代工业和社会经济发展不可或缺的重要功能材料。

烧结Nd-Fe-B永磁体是用粉末冶金方法制造的：通过合金冶炼、制粉、取向压型、烧结、回火、以及表面防护处理、充磁工序来完成。

由于Nd-Fe-B合金中含有30～35％wt.的稀土元素，容易被氧化而劣化永磁性能。在已有的烧结Nd-Fe-B永磁体的制造工序中，制粉是先将冶炼好的母合金装入真空炉中，抽真空后充入氢气；Nd-Fe-B合金具有强烈的吸收氢气的特性，并在吸氢反应的过程中释放出大量的热，同时，Nd-Fe-B合金发生剧烈的晶格膨胀，合金内部发生爆裂，合金被大幅度脆化，这一过程称为氢爆；这样处理的目的是为了使Nd-Fe-B合金很容易在下一步的气流磨过程中被粉碎至3～5μm这一最佳粒径。然而，氢爆处理完成后的合金粗粉还不能直接进行气流磨加工，还需要将合金粗粉中的大量氢气排走。因为若不将氢爆处理完成后的合金粗粉中的大量氢气及时排走，则会产生气流磨后微粉粒度分布不良、取向压型过程中取向度低劣、烧结过程中排气困难并产生密度不良等微观缺陷，导致磁体的最终磁性能恶化。将氢爆处理完成后的合金粗粉中的大量氢气排除的过程，称为除氢。现有的工艺是将合金粗粉升温到400～600℃，进行真空抽气排氢。

如所周知，即便是将合金粗粉升温到400～600℃，进行真空抽气排氢后，Nd-Fe-B合金粉末中仍然含有约1000～2000ppm的氢。

随后，将所述Nd-Fe-B合金粗粉用气流磨加工成平均粒度为3～5μm的微粉，经过取向压型后，在真空中进行烧结、回火。通常的真空烧结、回火是在传统的电阻式真空炉中进行的。用传统的电阻式真空炉进行Nd-Fe-B合金的烧结、回火存在以下缺点：一方面，根据热量的传递机理可知，在真空环境下电阻热向工件的传递主要靠电阻元件的热辐射，热的对流和传导比例很低。因此，烧结、回火过程中，升温效率很低，导致大量热能耗散，烧结、回火周期很长，生产效率低劣；例如，一台500kg容量的烧结炉，填装满Nd-Fe-B合金后，升温至1050℃进行烧结时，单单升温过程就需要长达10小时以上的时间。另外，由于电阻式真空炉中热的对流和传导比例很低，工件的加热首先发生在靠近电阻元件的表面区域，再通过工件自身从表面向心部传递，这样一来，在加热过程中工件的表面与心部之间就不可避免地存在巨大的温度差，即真空工程中所谓的“热滞后”。为消除工件表面与心部之间的热滞后，就不得不大幅度延长保温时间，造成热能利用率和生产效率进一步降低。例如，500kg容量的烧结炉中填装满Nd-Fe-B合金后，在温度仪表指示到达1050℃进行烧结时，实践证明，为使填装在炉膛心部和边沿的Nd-Fe-B合金的温度一致，至少还需要3小时以上的保温时间。Nd-Fe-B合金在高温下的加热时间越长，其内部晶粒就会越粗大化，磁性能就越差。另一方面，Nd-Fe-B磁体的最终磁性能，特别是内禀矫顽力和退磁曲线方形度对烧结、回火温度非常敏感，由于工业上都是在炉腔内填装大量磁体进行回火处理，在真空环境下电阻式加热过程中炉料表面与心部之间巨大的温度差会直接造成同一炉中的磁体与磁体之间、以及每块磁体的内部与外表之间磁性能的显著差异。

另外，由于存在上述热滞后现象，在加热过程中Nd-Fe-B工件的表面与心部之间巨大的温度差会产生巨大的热应力，造成Nd-Fe-B工件在加热过程中开裂。为避免工件在加热过程中开裂，就不得不降低升温速度，这又进一步造成热能利用率和生产效率的降低。

近年来，微波加热技术迅速发展，已经广泛应用于各种物料的干燥、加热以及粉末烧结。微波是一种频率在300MHz～3000MHz的电磁波，微波加热是通过在材料内部产生微观电流，造成材料内部的介质耗散而发热。因此，微波加热不需要象传统的电阻式加热那样的传热过程，由微波发生器所产生的能量可直接由物料吸收而实现整体均匀升温。

如所周知，微波加热对被加热的物料具有强烈的选择性。例如，氧化铝陶瓷、石英以及有机绝缘材料等几乎不吸收微波，微波发生器产生的微波可以自由地穿过这些材料而几乎不损失能量；Nd-Fe-B合金具有良好的吸收微波能量的特性，因此，将Nd-Fe-B合金置于用氧化铝陶瓷、石英等不吸收微波的材料制作的容器内，便可实现对Nd-Fe-B合金的快速、均匀加热。另外，导电性能良好的金属材料如不锈钢、碳钢、铝、铜等对微波产生全反射，因此可以用导电性能良好的金属材料做成密封容器，使微波的作用局限在特定的范围内，防止微波泄漏而不损失微波的有效能量。

为此，本发明人曾提出一种用微波加热的方法制造Nd-Fe-B永磁体的技术(201010208453.5)。然而，在微波的频率范围内，为使得Nd-Fe-B永磁体可以在不产生辉光放电的情况下被快速、均匀地烧结，烧结炉内的真空度必须大于1000Pa并小于100Pa。前文已述，即便是将Nd-Fe-B合金粗粉升温到400～600℃，进行真空抽气排氢后，Nd-Fe-B合金粉末中仍然含有约1000～2000ppm的氢。另外，气流磨制粉需要采用氮气，Nd-Fe-B微粉中还吸附有大量的氮。在微波烧结过程中，这些气体会在约300℃前剧烈释放，造成炉内真空度超出额定范围，被微波电离的气体分子在Nd-Fe-B永磁体周围形成等离子屏蔽层，造成在约300℃之前的加热速度极其缓慢，严重制约生产效率。

发明内容

本发明就是针对现有技术的不足而提出的，本发明的主要目的是提供一种采用电阻加热与微波加热相结合的技术对Nd-Fe-B永磁体的烧结、回火方法。采用本发明的方法能够大幅度提高Nd-Fe-B永磁体在升温、保温过程中的热利用效率，显著缩短烧结和回火周期，降低能耗、和生产成本，同时明显改善产品质量。

本发明的具体实施方式提供一种Nd-Fe-B永磁体的制造方法，包括以下步骤：将Nd-Fe-B合金进行冶炼、氢爆和除氢、制粉、和取向压型形成Nd-Fe-B合金粉末压坯；将所述Nd-Fe-B合金粉末压坯进行烧结和回火，其中烧结和回火步骤中，所述Nd-Fe-B合金粉末压坯在300℃～350℃以下时，在真空电阻加热炉中使用电阻加热方式升温；所述Nd-Fe-B合金粉末压坯达到300℃～350℃以上时，在真空微波加热炉中使用微波加热方式升温，所述真空电阻加热炉和所述真空微波加热炉一起构成整个加热系统。

本发明的实施方式中，将真空电阻加热炉与真空微波加热炉联结，二者之间用自动阀门分隔开，先将Nd-Fe-B粉末压坯在真空电阻加热炉中加热到300℃～350℃之后，打开隔离阀门，通过传送装置将坯料移送至真空微波加热炉中，用微波照射所述Nd-Fe-B永磁体，在300℃～350℃以上实施快速升温，到达900～1100℃后实现保温烧结。由于Nd-Fe-B粉末压坯内的氮、氢等气体绝大部分已经在300℃～350℃之前的真空电阻加热炉中排除，在加热到300℃～350℃之后的Nd-Fe-B粉末压坯，可以在微波炉中有选择性地快速自加热到900～1100℃。在微波加热过程中，所有的Nd-Fe-B粉末压坯被均匀地升高温度，因而可以得到晶粒和密度都很均匀，因而磁性能很均匀的烧结的Nd-Fe-B永磁体。通过微波照射，所整个烧结过程的时间可以成倍缩短，并可避免因压坯内巨大温度差所产生的热应力。

根据本发明的一个方面，将真空电阻加热炉与真空微波加热炉联结，二者之间用自动阀门分隔开，Nd-Fe-B工件通过安装在炉内的陶瓷传送装置实现从电阻加热炉与真空微波加热炉之间的传送。

根据本发明的另一方面，整个加热系统由六个部分联结而成：真空电阻加热炉-真空微波加热炉-真空电阻加热炉-真空微波加热炉-真空电阻加热炉-真空微波加热炉，其中，每个真空电阻加热炉与真空微波加热炉的联结处用自动阀门分隔开，Nd-Fe-B工件通过安装在炉内的陶瓷传送装置实现从电阻加热炉与真空微波加热炉之间的连续传送。

根据本发明的又一方面，在所述真空电阻加热炉中加热到300℃～350℃之后，打开隔离阀门，通过传送装置将坯料移送至真空微波加热炉中，关闭隔离阀门，用微波照射所述Nd-Fe-B永磁体，在300℃～350℃以上实施快速升温，到达900～1100℃后实现保温、烧结和气淬冷却。

根据本发明的又一方面，在所述微波炉中保温烧结完成后，通过气淬冷却到300℃以下，打开隔离阀门，再将所述Nd-Fe-B永磁体移至真空电阻加热炉中，关闭隔离阀门，加热到300℃～350℃之后，再打开隔离阀门，通过传送装置将坯料移送至真空微波加热炉中，关闭隔离阀门，用微波照射所述Nd-Fe-B永磁体，在300℃～350℃以上实施快速升温，到达850～950℃后实现保温、回火和气淬冷却。

根据本发明的再一方面，在所述微波炉中保温烧结完成后，通过气淬冷却到300℃以下，打开隔离阀门，再将所述Nd-Fe-B永磁体移至真空电阻加热炉中，关闭隔离阀门，加热到300℃～350℃之后，再打开隔离阀门，通过传送装置将坯料移送至真空微波加热炉中，关闭隔离阀门，用微波照射所述Nd-Fe-B永磁体，在300℃～350℃以上实施快速升温，到达450～650℃后实现保温、回火和气淬冷却。

根据本发明的另一方面，在所述烧结、回火步骤中施加的微波的频率范围：300MHz～3000MHz，微波炉内真空度：大于1000Pa，并小于100Pa，优选大于2000Pa，并小于10Pa；在烧结、回火温度下的保温时间：5～120分钟，优选15～60分钟。

烧结或回火处理完成后，优选用高纯度的氮气或氩气对炉料施行循环式快速冷却。

采用本发明的方法，大幅度提高了Nd-Fe-B永磁体在烧结、回火的升温、保温过程中的热利用效率，显著缩短加工周期，降低生产成本，同时明显改善在升温过程中Nd-Fe-B永磁体工件表面与心部之间的温度差，提高了工业化大批量生产中Nd-Fe-B永磁体的品质。

附图说明

图1根据本发明第一实施例的能进行电阻加热与微波加热相结合的对Nd-Fe-B永磁体的烧结、回火的装置的侧视剖面图。

图2表示根据本发明第二实施例的能进行电阻加热与微波加热相结合的对Nd-Fe-B永磁体的烧结、回火的装置的侧视剖面图。

图中，1表示微波发生器，2表示波导管，3表示带水冷的微波炉外壁，4表示微波炉外炉门，5表示陶瓷传动轮系统，6表示带水冷的微波炉底座，7表示支坐，8表示料盒，9表示Nd-Fe-B磁体块，10表示真空电阻炉外炉门，11表示料盖，12表示电热元件，13表示带水冷的真空电阻炉外壁，14表示联结循环气体冷却机组的接口，15联结真空机组的抽气管道，16表示隔离真空电阻炉与微波炉的自动升降阀门，17表示微波炉内腔，18表示真空电阻炉内腔。

具体实施方式

下面将参照附图具体说明根据本发明的优选实施例。

实施例一

图1表示根据本发明第一实施例的能进行Nd-Fe-B磁体的烧结与回火装置的侧视剖面图。首先，打开真空电阻炉外炉门10，将装有Nd-Fe-B磁体压坯9的料盒8推入炉中，关闭炉门10，开启联结抽气管道15的真空机组；当电阻炉内的真空度达到指定值后，联结电热元件12的加热系统开启，与此同时，开启联结于带水冷的微波炉外壁上的抽气管道15的真空系统；当电阻炉内的Nd-Fe-B磁体压坯9的温度达到350℃时，抽开隔离真空电阻炉与微波炉的自动升降阀门16，启动陶瓷传动轮系统5，将装有Nd-Fe-B磁体压坯9的料盒8移入微波炉腔17中；接着，关闭隔离阀门16，启动微波发生器1，将吸波性能良好的Nd-Fe-B磁体快速升温到1060℃，并保温60分钟；嗣后，开启联结于带水冷的微波炉外壁上的接口14上的循环气体冷却机组，将Nd-Fe-B磁体冷却到300℃以下，由此完成Nd-Fe-B磁体的烧结过程。随后，抽开隔离真空电阻炉与微波炉的自动升降阀门16，启动陶瓷传动轮系统5，将装有烧结好的Nd-Fe-B磁体9的料盒8再移回真空电阻炉腔18中；再次关闭隔离阀门16，开启联结于带水冷的真空电阻炉外壁上的抽气管道15的真空系统，同时开启联结电热元件12的加热系统；当电阻炉内的Nd-Fe-B磁体9的温度达到350℃时，再抽开隔离阀门16，启动陶瓷传动轮系统5，将装有Nd-Fe-B磁体9的料盒8再次移入微波炉腔17中；接着，关闭隔离阀门16，启动微波发生器1，将吸波性能良好的Nd-Fe-B磁体快速升温到900℃，并保温30分钟；紧接着，开启联结于带水冷的微波炉外壁上的接口14上的循环气体冷却机组，将Nd-Fe-B磁体冷却到300℃以下，由此完成Nd-Fe-B磁体的一级回火过程。随后，抽开隔离阀门16，启动陶瓷传动轮系统5，将装有一级回火好的Nd-Fe-B磁体9的料盒8再移回真空电阻炉腔18中；再次关闭隔离阀门16，开启联结于带水冷的真空电阻炉外壁上的抽气管道15的真空系统，同时开启联结电热元件12的加热系统；当电阻炉内的Nd-Fe-B磁体9的温度达到350℃时，再抽开隔离阀门16，启动陶瓷传动轮系统5，将装有Nd-Fe-B磁体9的料盒8再次移入微波炉腔17中；接着，关闭隔离阀门16，启动微波发生器1，将吸波性能良好的Nd-Fe-B磁体快速升温到480℃，并保温60分钟；紧接着，开启联结于带水冷的微波炉外壁上的接口14上的循环气体冷却机组，将Nd-Fe-B磁体9冷却到300℃以下，由此完成Nd-Fe-B磁体的二级回火过程。最后，开启微波炉外炉门4，将烧结、回火好的Nd-Fe-B磁体9取出。

本实施例中，使用不与Nd-Fe-B合金9发生化学反应的氮气或氩进行循环气体冷却。

本实施例中，先用常规的真空电阻炉将Nd-Fe-B磁体升温到350℃后，再用微波照射使得Nd-Fe-B永磁合金的内部和外部同时均匀、快速升高到所需温度，以实现Nd-Fe-B磁体的烧结、回火加工。这样，既充分利用了Nd-Fe-B磁体在300～350℃以上的良好的吸收微波的特性，实现均匀、快速升温，节约能源，又避免了在300～350℃以下因Nd-Fe-B磁体释放氢气而造成的对微波的屏蔽。这样一来，整个烧结、回火的加工时间显著缩短，大幅度提高了生产效率，降低生产成本和能耗，并且Nd-Fe-B永磁体的最终磁性能的不均匀度、开裂缺陷大幅度下降。

在本实施例中，微波发生器所产生微波的频率范围：300MHz～3000MHz，微波炉腔17内的真空度范围：大于1000Pa，并小于100Pa，在这一频率和真空度范围，可以使Nd-Fe-B永磁合金在不产生辉光放电的情况下被快速、均匀地加热。真空度优选大于2000Pa，并小于10Pa。

实施例二

图2表示根据本发明第二实施例的能进行烧结和回火处理的装置的侧视剖面图。该装置实际上是本发明第一实施例的组合：即将多个真空电阻炉与微波炉逐一串联组合以实现Nd-Fe-B永磁体的连续式烧结、回火，达到进一步节约能源、提高生产效率的目的。为了便于说明，将图2中自左至右的真空电阻炉与微波炉依次分别命名为1#真空电阻炉、1#微波炉、2#真空电阻炉、2#微波炉、3#真空电阻炉、3#微波炉。

本发明的实施方式中，首先，打开1#真空电阻炉外炉门10，将装有Nd-Fe-B磁体压坯9的料盒8推入炉中，关闭炉门10，开启联结抽气管道15的真空机组；当电阻炉内的真空度达到指定值后，联结电热元件12的加热系统开启，与此同时，开启联结于带水冷的微波炉外壁上的抽气管道15的真空系统；当电阻炉内的Nd-Fe-B磁体压坯9的温度达到350℃时，抽开隔离真空电阻炉与微波炉的自动升降阀门16，启动陶瓷传动轮系统5，将装有Nd-Fe-B磁体压坯9的料盒8移入1#微波炉腔17中；接着，关闭隔离阀门16，启动微波发生器1，将吸波性能良好的Nd-Fe-B磁体快速升温到1060℃，并保温60分钟；嗣后，开启联结于带水冷的微波炉外壁上的接口14上的循环气体冷却机组，将Nd-Fe-B磁体冷却到300℃以下，由此完成Nd-Fe-B磁体的烧结过程。随后，抽开隔离1#微波炉与2#真空电阻炉的自动升降阀门16，启动陶瓷传动轮系统5，将装有烧结好的Nd-Fe-B磁体9的料盒8移至2#真空电阻炉腔18中；关闭隔离阀门16，开启联结于带水冷的真空电阻炉外壁上的抽气管道15的真空系统，同时开启联结电热元件12的加热系统；当电阻炉内的Nd-Fe-B磁体9的温度达到350℃时，抽开隔离2#真空电阻炉与2#微波炉的自动升降阀门16，启动陶瓷传动轮系统5，将装有Nd-Fe-B磁体9的料盒8移入2#微波炉腔17中；接着，关闭隔离阀门16，启动微波发生器1，将吸波性能良好的Nd-Fe-B磁体快速升温到900℃，并保温30分钟；紧接着，开启联结于带水冷的微波炉外壁上的接口14上的循环气体冷却机组，将Nd-Fe-B磁体冷却到300℃以下，由此完成Nd-Fe-B磁体的一级回火过程。随后，隔离2#微波炉与3#真空电阻炉的自动升降阀门16，启动陶瓷传动轮系统5，将装有一级回火好的Nd-Fe-B磁体9的料盒8移至3#真空电阻炉腔18中；关闭隔离阀门16，开启联结于带水冷的真空电阻炉外壁上的抽气管道15的真空系统，同时开启联结电热元件12的加热系统；当电阻炉内的Nd-Fe-B磁体9的温度达到350℃时，再抽开隔离3#真空电阻炉与3#微波炉的自动升降阀门16，启动陶瓷传动轮系统5，将装有Nd-Fe-B磁体9的料盒8移入3#微波炉腔17中；接着，关闭隔离阀门16，启动微波发生器1，将吸波性能良好的Nd-Fe-B磁体快速升温到480℃，并保温60分钟；紧接着，开启联结于带水冷的微波炉外壁上的接口14上的循环气体冷却机组，将Nd-Fe-B磁体9冷却到300℃以下，由此完成Nd-Fe-B磁体的二级回火过程。最后，开启3#微波炉外炉门4，将烧结、回火好的Nd-Fe-B磁体9取出。

本实施例中，使用不与Nd-Fe-B合金9发生化学反应的氮气或氩进行循环气体冷却。

本实施例中，先用常规的真空电阻炉将Nd-Fe-B磁体升温到350℃后，再用微波照射使得Nd-Fe-B永磁合金的内部和外部同时均匀、快速升高到所需温度，以实现Nd-Fe-B磁体的烧结、回火加工。这样，既充分利用了Nd-Fe-B磁体在300～350℃以上的良好的吸收微波的特性，实现均匀、快速升温，节约能源，又避免了在300～350℃以下因Nd-Fe-B磁体释放氢气而造成的对微波的屏蔽。这样一来，整个烧结、回火的加工时间显著缩短，大幅度提高了生产效率，降低生产成本和能耗，并且Nd-Fe-B永磁体的最终磁性能的不均匀度、开裂缺陷大幅度下降。

在本实施例中，微波发生器所产生微波的频率范围：300MHz～3000MHz，微波炉腔17内的真空度范围：大于1000Pa，并小于100Pa，在这一频率和真空度范围，可以使Nd-Fe-B永磁合金在不产生辉光放电的情况下被快速、均匀地加热。真空度优选大于2000Pa，并小于10Pa。

与第一实施例相比，本实施例将多个真空电阻炉与微波炉逐一串联组合以实现Nd-Fe-B永磁体的连续式烧结、回火，达到进一步节约能源、提高生产效率的目的。例如，当Nd-Fe-B磁体压坯9的料盒8被移入1#微波炉腔17中，并启动微波发生器1对磁体进行烧结处理时，就可以同时打开1#真空电阻炉外炉门10，将另一批装有Nd-Fe-B磁体压坯的料盒推入炉中，实施真空抽气和加热操作。类似地，当Nd-Fe-B磁体在1#微波炉中完成烧结操作并进入2#真空炉进行处理的同时，另一批Nd-Fe-B磁体就可以进入1#微波炉中进行烧结操作了。如此循环下去，则1#、2#、3#真空炉与1#、2#、3#微波炉中皆同时进行着Nd-Fe-B磁体的加热、烧结或回火处理，与第一实施例相比，本实施例的生产效率进一步提高。

Claims (8)

1.一种烧结Nd-Fe-B永磁体的制作方法，包括以下步骤：将Nd-Fe-B合金进行冶炼、氢爆和除氢、制粉、和取向压型形成Nd-Fe-B合金粉末压坯；将所述Nd-Fe-B合金粉末压坯进行烧结和回火，其中烧结和回火步骤中，所述Nd-Fe-B合金粉末压坯在300℃～350℃以下时，在真空电阻加热炉中使用电阻加热方式升温；所述Nd-Fe-B合金粉末压坯达到300℃～350℃以上时，在真空微波加热炉中使用微波加热方式升温，所述真空电阻加热炉和所述真空微波加热炉一起构成整个加热系统。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：将所述真空电阻加热炉与真空微波加热炉联结，二者之间用自动隔离阀门分隔开，Nd-Fe-B合金粉末压坯通过安装在炉内的陶瓷传送装置实现从真空电阻加热炉与真空微波加热炉之间的传送。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中：所述整个加热系统由六个部分联结而成：真空电阻加热炉-真空微波加热炉-真空电阻加热炉-真空微波加热炉-真空电阻加热炉-真空微波加热炉，其中，每个真空电阻加热炉与真空微波加热炉的联结处用自动隔离阀门分隔开，Nd-Fe-B合金粉末压坯通过安装在炉内的陶瓷传送装置实现从真空电阻加热炉与真空微波加热炉之间的连续传送。

4.根据权利要求1～3之一所述的方法，将所述Nd-Fe-B合金粉末压坯在所述真空电阻加热炉中加热到300℃～350℃之后，打开隔离阀门，通过传送装置将所述Nd-Fe-B合金粉末压坯移送至真空微波加热炉中，关闭隔离阀门，用微波照射所述Nd-Fe-B合金粉末压坯，在300℃～350℃以上实施快速升温，到达900～1100℃后实现保温和烧结，形成Nd-Fe-B永磁体。

5.根据权利要求4所述的方法，在所述真空微波炉中保温烧结完成后，通过气淬将所述Nd-Fe-B永磁体冷却到300℃以下，打开隔离阀门，再将所述Nd-Fe-B永磁体移至真空电阻加热炉中，关闭隔离阀门，加热到300℃～350℃之后，再打开隔离阀门，通过传送装置将所述Nd-Fe-B永磁体移送至真空微波加热炉中，关闭隔离阀门，用微波照射所述Nd-Fe-B永磁体，在300℃～350℃以上实施快速升温，到达850～950℃后实现保温、回火和气淬冷却。

6.根据权利要求5所述的方法，在所述微波炉中保温、回火完成后，通过气淬将所述Nd-Fe-B永磁体冷却到300℃以下，打开隔离阀门，再将所述Nd-Fe-B永磁体移至真空电阻加热炉中，关闭隔离阀门，加热到300℃～350℃之后，再打开隔离阀门，通过传送装置将坯料移送至真空微波加热炉中，关闭隔离阀门，用微波照射所述Nd-Fe-B永磁体，在300℃～350℃以上实施快速升温，到达450～650℃后实现保温、回火和气淬冷却。

7.根据权利要求1～6之一所述的方法，其中在所述烧结、回火步骤中施加的微波的频率范围：300MHz～3000MHz，微波炉内真空度：大于1000Pa，并小于100Pa，烧结、回火温度下的保温时间：5～120分钟。

8.一种根据权利要求1～7的方法制作的Nd-Fe-永磁体。

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