CN103280495A - 一种控制背面刻蚀量的方法 - Google Patents

一种控制背面刻蚀量的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103280495A
CN103280495A CN2013102384711A CN201310238471A CN103280495A CN 103280495 A CN103280495 A CN 103280495A CN 2013102384711 A CN2013102384711 A CN 2013102384711A CN 201310238471 A CN201310238471 A CN 201310238471A CN 103280495 A CN103280495 A CN 103280495A
Authority
CN
China
Prior art keywords
control
etching amount
size
back face
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2013102384711A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103280495B (zh
Inventor
赵晨
张辉
孟津
张斌
邢国强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Altusvia Energy Taicang Co Ltd
Original Assignee
Altusvia Energy Taicang Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Altusvia Energy Taicang Co Ltd filed Critical Altusvia Energy Taicang Co Ltd
Priority to CN201310238471.1A priority Critical patent/CN103280495B/zh
Publication of CN103280495A publication Critical patent/CN103280495A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103280495B publication Critical patent/CN103280495B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Weting (AREA)

Abstract

本发明公开了一种控制背面刻蚀量的方法，通过控制抽气量的大小来控制背面刻蚀量；所述抽气量的大小通过在硅片下方、滚轮旁边安置抽气管道来实现；在所述的抽气管上的设有大小均匀的抽气孔，且每个抽气孔均由阀门控制抽气时开放孔洞的大小。该控制背面刻蚀量的方法，通过控制硅片背面、液面上方空间的抽风量实现对背面刻蚀量灵敏、准确、灵活的控制。有效解决现有工艺方法下各道背面刻蚀量不均匀，背面刻蚀量调节不准确的问题。通过实验证实，改善后各个传送道之间的背面刻蚀量差异（STDEV值）有明显的减小，由0.05左右降低到0.004左右，减低了一个数量级，说明改善后背面刻蚀量的均匀性有了明显改善，该方法切实有效，具有很好的实用性。

Description

一种控制背面刻蚀量的方法
技术领域
本发明涉及太阳电池制造技术领域，具体涉及一种控制背面刻蚀量的方法。 
背景技术
太阳电池制造工艺过程中，在扩散后需要将硅片边缘及背面的PN结去除，以防止电池漏电的情况发生。目前采用的刻蚀方法有等离子体刻蚀和湿法刻蚀两种。 
在湿法刻蚀中，首先用滚轮将硝酸带出将滚轮与硅片接触的背面氧化，形成氧化硅，然后利用氢氟酸与氧化硅反应生成络合物六氟硅酸（H2SiF6），刻断PN结，从而使正面与背面绝缘。一般用背面刻蚀量（减重等）来表征湿法刻蚀的效果。 
一般通过调节滚轮传送速度、刻蚀槽温度及酸浓度几种方法来实现对背面刻蚀量的控制。在这三种方法中，滚轮传送速度同时关系到正面刻蚀量的大小；刻蚀槽温度的大小和酸浓度的调节则需要较长的时间达到平衡。均无法实现对背面刻蚀量的及时迅速的调节。 
现有的湿法刻蚀中，背面抽气管一般采用靠近总抽气管的一端气孔直径较小、随着与总抽气管距离的增加气孔的直径逐渐增加的方式来设计。这种设计导致了在传送过程中靠近总抽气管的硅片的背面刻蚀量大，而远离总抽气管的硅片的背面刻蚀量小，严重影响了后续电池片生产的工艺均匀性。 
发明内容
发明目的：针对现有技术存在的不足，本发明的目的是提供一种控制背面刻蚀量的方法，通过控制硅片背面、液面上方空间的抽风量实现对背面刻蚀量灵敏、准确、灵活的控制。 
技术方案：为了实现上述发明目的，本发明采用的技术方案为： 
一种控制背面刻蚀量的方法，通过控制抽气量的大小来控制背面刻蚀量；所述抽气量的大小通过在硅片下方、滚轮旁边安置抽气管道来实现；在所述的抽气管上的设有大小均匀的抽气孔，且每个抽气孔均由阀门控制抽气时开放孔洞的大小。
所述抽气孔的直径为0.1mm～50mm。 
所述抽气孔在抽气管道上的分布密度为1～2500个/cm2 。 
所述抽气管道的材料包括但不限于PVP、PVDF。 
所述阀门安装在抽气管道的外表面、内表面或者管壁体内。 
所述阀门的包括但不限于闸阀、截止阀、蝶阀、隔膜阀。 
所述抽气量的大小采用以下方法来控制：通过设定总抽风量来控制各通风口的抽风量大小，或通过控制通风口大小来控制抽风量的大小，或同时改变各道抽风口的抽风量，或分别为各道设定不同的抽风量大小。 
有益效果：与现有技术相比，本发明的控制背面刻蚀量的方法，通过控制硅片背面、液面上方空间的抽风量实现对背面刻蚀量灵敏、准确、灵活的控制。有效解决现有工艺方法下各道背面刻蚀量不均匀，背面刻蚀量调节不准确的问题。通过实验证实，改善后各个传送道之间的背面刻蚀量差异（STDEV值）有明显的减小，由0.05左右降低到0.004左右，减低了一个数量级，说明改善后背面刻蚀量的均匀性有了明显改善，该方法切实有效，具有很好的实用性。 
附图说明
图1是抽气管道安置示意图； 
图2是抽气管道的结构示意图。
具体实施方式
    下面结合具体实施例对本发明做进一步的说明。 
     实施例1 
  一种控制背面刻蚀量的方法，通过控制抽气量的大小来控制背面刻蚀量。在硅片下方、滚轮3旁边安置抽气管道2，各抽气管道2连接到总管道1上，如图1所示，抽气管2上的抽气孔4大小均匀，且每个孔均由阀门4控制抽气时开放孔洞的大小，由此控制抽气量。而通过对抽气量的控制可以实现对背面刻蚀量的大小以及均匀性的迅速调节。
使用特殊的抽气管道，其特殊性在于带有均匀大小（0.1mm～50mm）抽气孔洞的抽气管道，每个抽气孔上设置有阀门以控制抽气时的通风口大小。可以改善对背面刻蚀量控制的灵活性和均匀性。 
在抽气孔内设置阀门以控制抽气时的通风口大小。抽气管道上抽气孔的直径为0.1mm～50mm；抽气孔在抽气管道上的分布密度为1～2500个/cm2 。抽气管道的材料包括但不限于PVP、PVDF等耐腐蚀材料。控制通风口大小的阀门可以安装在抽气管道的外表面、内表面或者管壁体内。阀门的种类包括但不限于闸阀、截止阀、蝶阀、隔膜阀等。 
可以通过设定总抽风量来控制各通风口的抽风量大小，也可以通过控制通风口大小来控制抽风量的大小；可以同时改变各道抽风口的抽风量，也可以分别为各道设定不同的抽风量大小。 
表1是改善前后背面刻蚀减重的对比表，背面刻蚀的减重可以有效表征背面刻蚀量的大小。由表1可以看出相对改善前，改善后各个传送道之间的背面刻蚀量差异（STDEV值）有明显的减小，由0.05左右降低到0.004左右，减低了一个数量级，说明改善后背面刻蚀量的均匀性有了明显改善，该方法切实有效。 
Figure 2013102384711100002DEST_PATH_IMAGE001

Claims (7)

1.一种控制背面刻蚀量的方法，通过控制抽气量的大小来控制背面刻蚀量；其特征在于：所述抽气量的大小通过在硅片下方、滚轮旁边安置抽气管道来实现；在所述的抽气管上的设有大小均匀的抽气孔，且每个抽气孔均由阀门控制抽气时开放孔洞的大小。
2.根据权利要求1所述的控制背面刻蚀量的方法，其特征在于：所述抽气孔的直径为0.1mm～50mm。
3.根据权利要求1所述的控制背面刻蚀量的方法，其特征在于：所述抽气孔在抽气管道上的分布密度为1～2500个/cm2 。
4.根据权利要求1所述的控制背面刻蚀量的方法，其特征在于：所述抽气管道的材料包括但不限于PVP、PVDF。
5.根据权利要求1所述的控制背面刻蚀量的方法，其特征在于：所述阀门安装在抽气管道的外表面、内表面或者管壁体内。
6.根据权利要求1所述的控制背面刻蚀量的方法，其特征在于：所述阀门的包括但不限于闸阀、截止阀、蝶阀、隔膜阀。
7.根据权利要求1所述的控制背面刻蚀量的方法，其特征在于：所述抽气量的大小采用以下方法来控制：通过设定总抽风量来控制各通风口的抽风量大小，或通过控制通风口大小来控制抽风量的大小，或同时改变各道抽风口的抽风量，或分别为各道设定不同的抽风量大小。
CN201310238471.1A 2013-06-17 2013-06-17 一种控制背面刻蚀量的方法 Expired - Fee Related CN103280495B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310238471.1A CN103280495B (zh) 2013-06-17 2013-06-17 一种控制背面刻蚀量的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310238471.1A CN103280495B (zh) 2013-06-17 2013-06-17 一种控制背面刻蚀量的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103280495A true CN103280495A (zh) 2013-09-04
CN103280495B CN103280495B (zh) 2016-08-17

Family

ID=49062978

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310238471.1A Expired - Fee Related CN103280495B (zh) 2013-06-17 2013-06-17 一种控制背面刻蚀量的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103280495B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109065431A (zh) * 2018-07-27 2018-12-21 上海华力集成电路制造有限公司 氧化物气化去除装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1345081A (zh) * 2000-10-03 2002-04-17 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司 半导体处理系统及其控制湿度的方法
CN101308789A (zh) * 2007-05-17 2008-11-19 钰衡科技股份有限公司 一种用于真空制程的气体导流装置
CN101656192A (zh) * 2008-08-22 2010-02-24 北京京东方光电科技有限公司 干蚀刻装置
CN102586779A (zh) * 2011-11-30 2012-07-18 常州亿晶光电科技有限公司 一种离液式硅片湿法刻蚀装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1345081A (zh) * 2000-10-03 2002-04-17 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司 半导体处理系统及其控制湿度的方法
CN101308789A (zh) * 2007-05-17 2008-11-19 钰衡科技股份有限公司 一种用于真空制程的气体导流装置
CN101656192A (zh) * 2008-08-22 2010-02-24 北京京东方光电科技有限公司 干蚀刻装置
CN102586779A (zh) * 2011-11-30 2012-07-18 常州亿晶光电科技有限公司 一种离液式硅片湿法刻蚀装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109065431A (zh) * 2018-07-27 2018-12-21 上海华力集成电路制造有限公司 氧化物气化去除装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN103280495B (zh) 2016-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105261670A (zh) 晶体硅电池的低压扩散工艺
CN100541732C (zh) 气体分布控制系统及多晶硅栅极刻蚀与硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法
CN103280495A (zh) 一种控制背面刻蚀量的方法
CN201601137U (zh) 太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统
CN203382822U (zh) 一种用于控制背面刻蚀量的抽气管道
CN105551948A (zh) 一种提高太阳电池扩散均匀性的装置及其方法
CN104752565A (zh) 多级吹扫式硅片制绒处理装置及其控制方法
CN203858138U (zh) 一种安装调节阀门水稻田间氨挥发收集装置
CN104979411A (zh) 一种气流保护湿法刻蚀扩散面的装置
CN209345703U (zh) 一种人工降雨模拟器
CN110867399B (zh) 一种适用于负压扩散炉的压力控制系统
CN204114448U (zh) 进水渐扩管结构
CN104409404B (zh) 一种太阳能电池片的微吸力位置调整方法
CN101097971B (zh) 一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽
CN109346555A (zh) 一种黑硅微纳结构宽范围调控的连续制造设备及方法
CN106505016B (zh) 具有工艺管压力控制装置的半导体热处理设备及控制方法
CN205856656U (zh) 一种碳化硅单晶炉用压力控制系统
CN203674239U (zh) 一种湿法刻蚀的切水装置
CN104362116A (zh) 一种气悬浮式下部电极及干法刻蚀装置
CN202576567U (zh) 一种用于湿刻蚀机的排风装置
CN204301419U (zh) 一种太阳能电池片干燥装置
CN209537623U (zh) 一种12管高产能pecvd设备
WO2019129263A1 (zh) 细胞培养箱及其工作方法
CN106495084B (zh) 一种功率可自动调节的污水输送设备及其输送方式
CN104315295B (zh) 进水渐扩管结构和泵站整流方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160817

Termination date: 20180617