CN103240215A - 减压干燥装置和减压干燥方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，能够对基板上的涂布液进行减压干燥的同时减少水分的混入而进行溶剂的回收，该减压干燥装置（1）包括：腔室部（2），收纳基板；排气装置（3），排出所述腔室部内的气体；回收装置（4），冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管（5），连接腔室部和排气装置，途中经由回收装置；其中，对腔室部内部的气体通过第一配管由排气装置排出而进行减压，由此将涂布在基板（W）上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液（R）挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却被液化后回收；该装置还设置有第二配管（6），连接腔室部和排气装置，途中不经由回收装置。

Description

减压干燥装置和减压干燥方法

技术领域

本发明涉及减压干燥装置和减压干燥方法，其中，对于涂布了涂布液的基板，通过在减压环境下使涂布液中的溶剂挥发而使涂布液干燥，并且进一步将挥发的溶剂液化而进行回收。

背景技术

在液晶显示器或者等离子体显示器等平板显示器中，使用涂布了抗蚀剂液的基板（称之为涂布基板）。在该涂布基板的生产工序中，首先，用涂布装置在基板上均匀地涂布抗蚀剂液，由此在基板上形成涂布膜，然后，通过例如被称为减压干燥装置的干燥装置使涂布膜干燥。

该减压干燥装置按照如下的方式进行干燥，即，在基板被收纳于腔室内的状态下，通过降低腔室内的压力来使涂布基板上的涂布液干燥。具体而言，在涂布基板内置于腔室内的状态下，将腔室内的空气向外部排气而使腔室内处于减压环境，由此包含在涂布基板上的涂布液的溶剂挥发，从而涂布液干燥。

在此，下述的专利文献1中记载了如下的内容，即，在腔室的外部设置溶剂液化装置，对在腔室内产生的溶剂蒸气通过在溶剂液化装置内进行冷却而使之液化，然后用回收箱进行回收。通过在减压干燥装置的排气机构中利用该方法，将所回收的溶剂能够再利用于清洗涂布装置的喷嘴或者配管等上，可以降低成本。另外，还能够减轻溶剂附着于排气机构的真空泵等排气设备的情况，从而减轻排气设备的负荷。

现有技术文献

专利文献1

特开2005-5469号公报

发明内容

但是，在上述专利文献1中记载的溶剂回收方法中，在所回收的液体中除了包含溶剂之外还包含水分，因此存在无法得到高纯度的溶剂的问题。具体而言，不仅在腔室内产生的溶剂蒸气，还有腔室内的空气也通过排气流入到溶剂液化装置，如果该空气在溶剂液化装置中被冷却，则包含空气的水蒸气被液化而变成水，因此这些水与溶剂混在一起而被贮存在回收箱中。因此，溶剂如果是与水难以分离的物质，则通过这样的回收方法可能无法得到高纯度的溶剂。

另外，如果为了提高溶剂回收效率而将溶剂液化装置内的温度设定在冰点以下，则空气中包含的水蒸气经过液化可能在溶剂液化装置内结冰，因此冷却效率会下降，或者溶剂液化装置和回收箱之间的配管有可能会堵住。

鉴于存在上述的现有技术问题，本发明的目的在于提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，在减压干燥基板上的涂布液的同时能够减少水分的混入而进行溶剂的回收。

为了解决上述课题，本发明的减压干燥装置包括：腔室部，收纳基板；排气装置，排出所述腔室部内的气体；回收装置，冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中经由所述回收装置；其中，对腔室部内部的气体通过所述第一配管并由所述排气装置排气而进行减压，由此对涂布在基板上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却被液化后回收，其特征在于，还进一步设置有第二配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中不经由所述回收装置。

根据上述减压干燥装置，通过进一步设置有途中不经由回收装置的第二配管，与仅仅使用第一配管的情况相比，能够减少水分的混入而进行回收。即，通过还使用第二配管进行涂布液的干燥，能够使包含在腔室部内的气体中的水分中流入到第一配管和回收装置的量变少。另外，由于向回收装置混入的水分的量少，因此能够防止回收装置结冰。

另外，优选的是，所述排气装置还具有切换部，对在排气装置排出所述腔室部内的气体时经由的配管在所述第一配管和第二配管之间进行切换。

通过进一步具有这样的切换部，与使用第一配管时还一起使用第二配管的情况相比，能够增加溶剂的回收量。即，当腔室部内的气体中包含的水分多时只使用第二配管，之后切换到第一配管后进行腔室部内部的减压干燥，由此切换到第一配管时能够使腔室部内的气体全部流入到回收装置，因此能够增加溶剂的回收量。

另外，为了解决上述课题的本发明的减压干燥方法，利用下述减压干燥装置，该装置包括：腔室部，收纳基板；排气装置，排出气体；回收装置，冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中经由所述回收装置；第二配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中不经由所述回收装置，其中，对腔室部内部的气体通过所述第一配管并由所述排气装置排气而进行减压，由此对涂布在基板上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却被液化后回收，其特征在于，该方法包括：不回收干燥工序，将所述腔室部内部的气体经由所述第二配管排气而将涂布液进行干燥；回收干燥工序，将所述腔室部内部的气体经由所述第一配管排气而将涂布液进行干燥。

通过具有这样的不回收干燥工序和回收干燥工序，与只具有回收干燥工序的情况相比，能够使腔室部内的气体中包含的水分中流入到第一配管和回收装置的量变少，因此，能够防止回收装置的结冰的同时，能够减少水分的混入而进行溶剂的回收。

另外，优选的是，在实施所述不回收干燥工序之后，针对在所述排气装置将所述腔室部内的气体进行排气时经由的配管，从所述第二配管切换到所述第一配管，并继续进行前述的回收干燥工序。

通过这样的处理，与实施回收干燥工序时还一同实施不回收干燥工序情况相比，能够增加溶剂回收量。即，当腔室部内部的气体中所包含的水分多时实施不回收干燥工序，包含的水分变得很少时将配管进行切换后实施回收干燥工序，由此使包含的水分少的气体全部流入到回收装置，因此能够增加溶剂的回收量。

根据本发明的减压干燥装置和减压干燥方法，能够对基板上的涂布液进行减压干燥的同时减少水分的混入而进行溶剂的回收。

附图说明

图1为本发明的一个实施方式的减压干燥装置的概略侧视图；

图2为表示溶剂和水的饱和蒸气压的图表；

图3为表示减压干燥装置内压的随时间变化和腔室部内的溶剂量、水分量随时间变化的图表；

图4为本发明的一个实施方式的减压干燥方法的动作流程图；

图5为本发明的其它实施方式的减压干燥装置的概略侧视图；

图6为本发明的其它实施方式的减压干燥装置的动作流程图；

图7为本发明的其它实施方式的减压干燥装置的概略侧视图。

附图标号说明

1减压干燥装置

2腔室部

3排气装置

4回收装置

5第一配管

6第二配管

7切换部

11腔室主体

12腔室盖部

13放置部

14排气口

21冷却容器

22冷却线圈

23回收容器

23a回收容器

23b回收容器

24阀

24a阀

24b阀

25阀

25a阀

25b阀

31阀

32阀

41阀

42阀

R涂布液

W基板

具体实施方式

下面，利用附图说明本发明的实施方式。

图1表示本发明的一个实施方式的减压干燥装置的侧视图。减压干燥装置1具有腔室部2、排气装置3和回收装置4，通过排气装置3对腔室部2内的气体进行排气来进行减压，由此溶剂从涂布于收纳在腔室部2的基板W表面上的涂布液R中挥发。另外，在下面的说明中，将溶剂挥发的现象称之为干燥。

另外，用于连接腔室部2和排气装置3的配管有途中经由回收装置4的第一配管5和不经由回收装置4的第二配管6两种，这些配管在切换部7被切换而进行涂布液R的减压干燥。在此，当腔室部2内的气体经由第一配管5来被排气时，该气体在回收装置4中被冷却，通过该冷却而液化的气体被回收在回收装置4的回收容器23中。

腔室部2具有腔室主体11、腔室盖部12、放置部13和排气口14。

通过驱动设置在腔室盖部12的未图示的升降机构来能够使腔室盖部12与腔室主体11接触和分开，当腔室盖部12与腔室主体11接触时腔室部2内形成封闭空间。涂布了抗蚀剂液等涂布液R的基板W在收纳于该封闭空间的状态下通过排气装置3将该封闭空间的气体排气而使其处于减压状态，由此溶剂从涂布液R挥发，涂布液R被干燥。另外，当腔室盖部12与腔室主体11呈分开的状态时，能够用未图示的搬运用机械手等将基板W搬入腔室部2或者从腔室部2搬出。

在本实施方式中，放置部13是设置在腔室主体11上的多个销，这些销的前端与基板W的内面接触，由此当进行减压干燥时能够支撑基板W。因此，机械手等能够穿过这些销之间进入到基板W的下面，因此，容易将基板搬入和搬出。

在此，基板W中与放置部13接触的部分和不接触的部分中，产生不小的温度差而涂布液R的干燥过程中产生局部的差异。为了防止这样的情况发生，将放置部13的与基板W接触的一侧的端部做成尖尖的形状，使与基板W的接触面积变小，从而基板W中不容易产生温度差。

排气口14是设置在腔室主体11的开口，通过该排气口14，腔室部2的内部和排气装置3用配管连接。

排气装置3可以是真空泵、鼓风机等，用于排气用配管连接的腔室部2内部的气体。在此，连接腔室部2和排气装置3的配管设置有途中经由回收装置4的第一配管5和不经由回收装置4的第二配管两种。另外，在第一配管5的腔室部2和回收装置4之间以及第二配管上设置有切换部7，在排气腔室部2内的气体时可以切换所经由的配管。

在本实施方式中，回收装置4具有冷却容器21、冷却线圈22和回收容器23，通过冷却线圈22冷却流入到维持低温状态的冷却容器21内的气体，从而使一部分液化。另外，将被液化的气体回收于回收容器23内。

冷却容器21是在其内部具有封闭空间的大致圆柱状的容器，其包括与第一配管5连接的两个接口和将冷却线圈22向内部引入用的开口、将冷却线圈22向外部拉出用的开口。在此，为了更有效地冷却流入到冷却容器21内的气体，优选的是，与第一配管5连接的两个接口位于从冷却容器21内部离开的位置。

另外，冷却容器21在底面具有与回收容器23连接用的接口，在冷却容器21内被冷却的气体从这里流入到回收容器23内。在此，为了使被液化的气体更好地流入到回收容器23内，冷却容器21的底面优选的是做成使与回收容器23的接口高度最低的、研钵状。

冷却线圈22是冷媒流动的配管，在冷却容器21内部穿过，且在冷却容器21内部中沿着冷却容器21内壁以螺旋形状卷绕。在本实施方式中，冷媒的温度为-50℃，通过冷媒被冷却的冷却线圈22将冷却容器21内部的温度保持在低温状态。另外，通过冷却线圈22在冷却容器21内部以螺旋形状卷绕，由此在冷却容器21内经过的冷却线圈22的整个长度变长，能够将冷却容器21内的温度保持为更低的温度。

回收容器23是通过冷却容器21的底面上设置的接口与冷却容器21连接的箱，在冷却容器21内被液化的气体流入到该回收容器23内而被储存。

另外，在本实施方式中，冷却容器21和回收容器23之间的配管上设置有阀24，另外，在回收容器23的底面上设置有配管，并在该配管上也设置有阀25。另外，通过涂布液R的减压干燥回收溶剂时，开启阀24、关闭阀25，由此溶剂被贮存于回收容器23内。另外，当再利用贮存的溶剂时，关闭阀24，开启阀25，由此溶剂被排出到未图示的移送容器等上。

切换部7具有阀31和阀32，阀31设置在第一配管5的腔室部2和回收装置4之间，阀32设置在第二配管上。在这里，通过未图示的控制装置进行控制使阀31开启、阀32关闭，由此腔室部2内的气体只经由第一配管5而被排气，使阀31关闭、阀32开启的状态下排气，由此腔室部2内的气体只经由第二配管6而排气。即，将腔室部2内的气体被排气时，通过切换部7能够切换气体经由的配管。

接着，说明利用具有上述结构的减压干燥装置1的减压干燥方法。

图2为表示发明人通常使用的涂布液R中含有的溶剂的饱和蒸气压的图表，在该图中也表示水的饱和蒸气压。

图2中表示五种溶剂和水的饱和蒸气压，在任何温度下所有溶剂的饱和蒸气压都低于水的饱和蒸气压，通常在光刻法等中使用的抗蚀剂中包含的溶剂可以认为是如此地具有比水低的饱和蒸气压的溶剂。

在此，以20℃时的饱和蒸气压为例子进行确认时，相对于水的饱和蒸气压约为2500Pa，最接近于水的饱和蒸气压的溶剂的饱和蒸气压为大约500Pa。

另外，如果假设针对涂布了包含液体状态的溶剂的涂布液R的基板W被收纳的腔室部2，将该腔室部2内温度保持在20℃、将压力从大气压减压，则首先在腔室部2的内压达到约2500Pa的时点上，水的沸腾点为20℃，假设在腔室部2内即使存在液体水，在此也会蒸发。此时，溶剂还没有达到沸腾点，因此挥发量为少量，大部分以液体状态存在于涂布液R中。

将腔室部2的内压从约2500Pa进一步降低时，腔室部2内的水分随着腔室部2的内压降低而减少，但溶剂在内压降低至500Pa之前，大部分以原来的液体状态残存于腔室部2内。另外，当腔室部2的内压达到500Pa的时点上，溶剂的沸腾点为20℃，因此溶剂的挥发变得活跃。

图3为表示减压干燥装置1中利用包含饱和蒸气压比水的饱和蒸气压低的溶剂的涂布液R来进行减压干燥时的腔室部2的内压随时间的变化以及腔室部2内的溶剂量、水分量随时间变化的图表。

图3（a）为表示腔室部2的内压的随时间变化。将涂布了涂布液R的基板W放置在腔室部2内部后开始进行减压干燥时，在开始的一段时间内腔室部2的内压顺利地持续下降，但内压达到某一个值（图3中表示的时间t1，压力P1的状态）时，压力的降低的进度突然变得缓慢。这是由于，腔室部2的内压达到P1的时点开始涂布液R内的溶剂的挥发变得活跃，相对于通过排气来使腔室部2内减压，溶剂的挥发向压力增大的方向起作用，其结果，腔室部2内的压力的降低量变小。

即，压力P1为溶剂的饱和蒸气压、时间t1为腔室部2的内压达到溶剂的饱和蒸气压的时间。

另外，随着溶剂的挥发、涂布液R的溶剂几乎全部变为没有时，腔室部2的内压的降低进度重新加快。

图3（b）表示溶剂量随时间的变化。如前面所述，腔室部2的内压达到溶剂的饱和蒸气压P1之前，从涂布液R挥发的溶剂的量为少量，从时间t1、内压达到P1的时刻开始溶剂的挥发变得活跃，溶剂量急剧减少。

图3（c）表示水分量随时间的变化。通常，在腔室部2内水分并不是以液体状态存在，而是在空气中以水蒸气的形式存在。另外，在时间t1之前，腔室部2内存在的气体基本上是在减压干燥开始时存在于腔室部2内的空气，因此，水分量与腔室部2的内压的降低成正比例地减少。在此，如前面所述的例子一样，如果将以温度为20℃时的情况作为例子，则相对于100000Pa的大气压，水的饱和蒸气压为2500Pa，因此，腔室部2的内压达到水的饱和蒸气压时在腔室部2内存在的水分量大约是减压干燥开始时的3%。因此，可以认为，在时间t1之前的腔室部2的内压达到水的饱和蒸气压（图3中表示的压力P0）的时间t0，腔室部2内的水分量也非常少。

由此可知，通过减压来挥发饱和蒸气压比水的饱和蒸气压低的溶剂时，在溶剂挥发变得活跃之前，大部分溶剂残留于腔室部2内，但腔室部2内的水分随着内压的降低稳步地减少。

因此，最好是从溶剂挥发开始变得活跃的时点便开始经由第一配管5的排气，使气体通过回收装置4。通过这样的处理，能够回收更多溶剂，且由于水分的混入几乎没有而能够防止回收装置的结冰，同时能够回收高纯度的溶剂。另外，此时，在实施经由第一配管5的排气之前，实施经由第二配管6的排气。

另外，在本发明中，经由第一配管5排气并通过回收装置4的减压干燥工序称之为回收干燥工序，经由第二配管6排气而不通过回收装置4的减压干燥工序称之为不回收干燥工序。

在此，开始进行回收干燥工序的具体时间可以设定为例如腔室部2的内压达到饱和蒸气压P0的时间或者达到溶剂的饱和蒸气压P1的时间。通过这样的设定，如上所述，水分的混入几乎没有，能够回收更多的溶剂，另外，P0和P1是水和溶剂的唯一的数值，因此通过在达到这些数值的时间点上进行控制，由此控制变得容易。另外，腔室部2的内压达到P1时开始进行回收干燥工序的情况与腔室部2的内压达到P0时开始进行回收干燥工序的情况相比，虽然溶剂的回收量略微减少，但在该回收中能够进一步减少水分。

作为在实际减压干燥处理中确认这些时机的方法，可以举出在腔室部2上进一步设置未图示的压力计、用该压力计测量腔室部2的内压的方法。并且，优选的是，其测量值为P0或者P1时，开始进行回收干燥工序。另外，还可以将比P0和P1值多少靠前后的值作为基准值。

另外，当不知道溶剂的饱和蒸气压P1时，用压力计继续测量腔室部2的内压的降低进度，可以在内压降低进度突然变得缓慢的时间（即，时间t1）开始进行回收干燥工序。

另外，能够靠经验判断腔室部2的内压达到P0或者P1的时间t0、t1时，不必使用压力计，从开始进行减压干燥到通过规定时间的时刻开始进行回收干燥工序。

接着，图4中表示利用减压干燥装置1的减压干燥方法的动作流程。在此，排气装置3一直处于运行状态，开始进行回收干燥工序的时间设定为腔室部2的内压达到溶剂的饱和蒸气压P1时的时间。

首先，涂布了涂布液R的基板W被搬入到腔室部2内（步骤S1）。具体而言，未图示的搬运机器人等将基板W放置在腔室主体11和腔室盖部12处于分离状态的腔室部2的放置部13上，然后，腔室盖部12下降，与腔室主体11抵接，由此在腔室部2内形成封闭空间。另外，在这个时间点上切换部7的阀31和阀32全都处于关闭状态，从腔室部2向排气装置3的气体流动被阻断。

接着，开启切换部7的阀32（步骤S2），由此实施经由第二配管6的涂布液R的减压干燥（不回收干燥工序）（步骤S3）。

该不回收干燥工序持续到腔室部2的内压达到P1为止（步骤S4），当腔室部2的内压达到P1时，关闭切换部7的阀32（步骤S5），然后开启切换部7的阀31（步骤S6），由此，减压干燥从经由第二配管6的减压干燥（不回收干燥工序）被切换成为经由第一配管5的减压干燥（回收干燥工序）。另外，通过第一配管5途中的回收装置4的挥发溶剂被冷却、液化并被回收（步骤S7）。

该回收干燥工序一直持续到涂布液R中的溶剂几乎全部挥发而减压干燥工序结束为止（步骤S8），当减压干燥工序结束时，关闭切换部7的阀31，由此从腔室部2向排气装置3的气体的流动被阻断（步骤S9）。

最后，将腔室部2的内部在大气中开放后，腔室盖部12上升而与腔室主体11分开，然后用未图示的搬运机器人等从放置部13搬出基板W。

接着，图5表示本发明的其它的实施方式。在图1中，只设置一个排气装置1，在腔室部2和排气装置3之间配管分歧为第一配管5和第二配管6，但如图5所示，还可以是分别独立设置第一配管5和第二配管6，在第一配管5和第二配管6上分别设置排气装置3。在此，在前面的实施方式中，第一配管5和第二配管6通过切换部7来进行切换，在不回收干燥工序之后实施回收干燥工序，不同时实施不回收干燥工序和回收干燥工序，但还可以是，不用切换配管，不回收干燥工序一直持续到减压干燥结束为止，在回收干燥工序开始后，同时实施回收干燥工序和不回收干燥工序。

图6中表示通过图5所示的减压干燥装置1同时实施回收干燥工序和不回收干燥工序时的减压干燥方法的动作流程。在此，排气装置3一直处于运行状态，将开始回收干燥工序的时间设定为腔室部2的内压达到溶剂的饱和蒸气压P1的时间。

首先，涂布了涂布液R的基板W被搬入到腔室部2内（步骤S21）。另外，在这个时间点上，关闭设置在第一配管5上的阀41和设置在第二配管上的阀42，从腔室部2向排气装置3的气体的流动被阻断。

接着，开启阀42（步骤S22），实施经由第二配管6的涂布液R的减压干燥（不回收干燥工序）（步骤S23）。

该不回收干燥工序在腔室部2的内压达到P1之前单独实施（步骤S24），当腔室部2的内压达到P1时，开启阀41（步骤S25），同时实施经由第二配管6的减压干燥（不回收干燥工序）和经由第一配管5的减压干燥（回收干燥工序）。并且，通过第一配管5中途的回收装置4的挥发溶剂被冷却、液化，并被回收（步骤S26）。

该不回收干燥工序和回收干燥工序一直持续到涂布液R中的溶剂几乎全部挥发而减压干燥结束为止（步骤S27），当减压干燥工序结束时，关闭阀41（步骤S28），接着关闭阀42（步骤S29），因此从腔室部2向排气装置3的气体的流动被阻断。

最后，基板W从腔室部2被搬出（步骤S30）。

根据这样的减压干燥方法，在腔室部2的内压达到P1后，将经由第一配管5和第二配管6这两个配管进行减压干燥，因此，虽然流入到回收装置4而被回收的溶剂的量变少，但能够加快干燥周期。

接着，图7中表示本发明的进一步的其它实施方式。当涂布液R中包含例如溶剂a和溶剂b等多种溶剂时，利用这些溶剂的饱和蒸气压的差异，可以将各种溶剂分开回收。

具体而言，在减压干燥装置1中，设有与溶剂种类等同数量的回收容器23（图7中表示的回收容器23a和回收容器23b），且在连接各回收容器和冷却容器21的配管上设有阀24（图7中表示的阀24a和阀24b）。在此，溶剂a的饱和蒸气压设为P1a，溶剂b的饱和蒸气压设为P1b，且设定为P1a＞P1b。

在该减压干燥装置1中进行腔室2的减压时，在减压开始时如前面所述经由第二配管6来进行减压，减少混入到回收容器21的水分，然后在腔室2的内压达到P1a的时间点附近，切换到经由第一配管5的减压，此时阀24a开启，其它阀24（阀24b）关闭。在压力P1a附近，溶剂a的挥发变得活跃，但溶剂b还未达到饱和蒸气压而其挥发量少。因此，此时通过开启阀24a，由此在回收容器23a内能够回收高纯度的溶剂a。

继续进行减压，当腔室2的内压达到P1b附近的时间点上，关闭阀24a，开启阀24b，由此被回收的溶剂流入到回收容器23b内。在该时间点上，溶剂a几乎全部被挥发掉，且，溶剂b的挥发变得活跃起来，因此在回收容器23b内能够回收高纯度的溶剂b。另外，通过开启阀25a和阀25b，溶剂a和溶剂b从回收容器23a和回收容器23b排出到未图示的移送容器等上。

另外，溶剂种类即使有三种以上，通过如上所述的阀的切换，在回收容器23内能够分别回收各种高纯度的溶剂。

另外，当上述的溶剂a和溶剂b包含在涂布液R时，当然，按照下述方式选择回收也是可以的：直到腔室部2的内压达到P1b为止，继续进行经由第二配管6的减压，并在该时间点上切换为经由第一配管5的减压，由此（虽然溶剂a没有被回收）能够选择性地仅回收高纯度的溶剂b。

通过以上的减压干燥装置和减压干燥方法，能够对基板上的涂布液进行减压干燥的同时，减少水分的混入而回收溶剂。

Claims (4)

1.一种减压干燥装置，包括：

腔室部，收纳基板；

排气装置，排出所述腔室部内的气体；

回收装置，冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；

第一配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中经由所述回收装置，

其中，对腔室部内部的气体通过所述第一配管并由所述排气装置排气而进行减压，由此对涂布在基板上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却而被液化后回收，

其特征在于，

该减压干燥装置进一步设有第二配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中不经由所述回收装置。

2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，该装置还具有切换部，对在所述排气装置排出所述腔室部内的气体时经由的配管在所述第一配管和第二配管之间进行切换。

3.一种减压干燥方法，利用下述减压干燥装置，该装置包括：

腔室部，收纳基板；

排气装置，排出气体；

回收装置，冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；

第一配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中经由所述回收装置，

第二配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中不经由所述回收装置，

其中，对腔室部内部的气体通过所述第一配管并由所述排气装置排气而进行减压，由此对涂布在基板上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却而被液化后回收，

其特征在于，该方法包括：

不回收干燥工序，将所述腔室部内部的气体经由所述第二配管排气而将涂布液进行干燥；

回收干燥工序，将所述腔室部内部的气体经由所述第一配管排气而将涂布液进行干燥。

4.根据权利要求3所述的减压干燥方法，其特征在于，进行所述不回收干燥工序后，针对在所述排气装置排出所述腔室部内的气体时经由的配管，从所述第二配管切换到所述第一配管，并继续进行所述回收干燥工序。

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