CN103226238A - 基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描装置与方法 - Google Patents
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- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012113 quantitative test Methods 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
Description
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310176241.7A CN103226238B (zh) | 2013-05-14 | 2013-05-14 | 基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310176241.7A CN103226238B (zh) | 2013-05-14 | 2013-05-14 | 基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103226238A true CN103226238A (zh) | 2013-07-31 |
CN103226238B CN103226238B (zh) | 2014-12-17 |
Family
ID=48836740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310176241.7A Expired - Fee Related CN103226238B (zh) | 2013-05-14 | 2013-05-14 | 基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103226238B (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104102018A (zh) * | 2014-05-08 | 2014-10-15 | 北京理工大学 | 双小凹局部高分辨率成像系统 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108037075A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-05-15 | 哈尔滨工业大学 | 共焦显微镜模式像差矫正方法 |
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-
2013
- 2013-05-14 CN CN201310176241.7A patent/CN103226238B/zh not_active Expired - Fee Related
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CN110487212B (zh) * | 2019-08-02 | 2021-04-16 | 中北大学 | 一种基于涡旋光螺旋相位相移干涉检测物体面型装置 |
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Also Published As
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---|---|
CN103226238B (zh) | 2014-12-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C53 | Correction of patent of invention or patent application | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Zou Limin Inventor after: Pang Mingshu Inventor after: Li Dianmeng Inventor after: Tan Jiubin Inventor before: Zou Limin Inventor before: Li Dianmeng Inventor before: Tan Jiubin |
|
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: ZOU LIMIN LI DIANMENG TAN JIUBIN TO: ZOU LIMIN PANG MINGSHU LI DIANMENG TAN JIUBIN |
|
C53 | Correction of patent of invention or patent application | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Zou Limin Inventor after: Pang Mingshu Inventor after: Li Dianmeng Inventor after: Tan Jiubin Inventor before: Zou Limin Inventor before: Li Dianmeng Inventor before: Tan Jiubin |
|
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: ZOU LIMIN LI DIANMENG TAN JIUBIN TO: ZOU LIMIN PANG MINGSHU LI DIANMENG TAN JIUBIN |
|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20141217 |