CN103223556A - 一种薄膜切割光路系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种薄膜切割光路系统，包括用于发射激光的激光器、与该激光器配合的第一反射镜组件、与该第一反射镜组件配合的第二反射镜组件、与该第二反射镜组件配合的第三反射镜组件、X轴导轨组件和Y轴导轨组件；X轴导轨组件设有沿着X轴方向的X轴导轨，Y轴导轨组件设有沿着Y轴方向的Y轴导轨；X轴导轨组件和Y轴导轨组件活动连接，且X轴导轨组件沿着Y轴导轨位移；第二反射镜组件和第三反射镜组件设于X轴导轨组件上，且第三反射镜组件和X轴导轨活动连接，第三反射镜组件沿着X轴导轨位移。本发明采用以上结构，使反射镜本体安装简易、薄膜切割设备生产效率高，激光能射向工作台上不同的位置。

Description

一种薄膜切割光路系统

技术领域

本发明涉及激光薄膜切割设备领域，具体涉及一种薄膜切割光路系统。

背景技术

目前，现有薄膜切割设备光路系统中，反射镜都是固定的，这就要求设备在安装时就得调整好位置，使反射镜和激光器配合；导致反射镜安装、调整难度大、薄膜切割设备生产效率低；同时设备在使用过程中如果反射镜发生偏移，得把反射镜拆卸后重装，调整不便。

同时固定的反射镜导致激光射向工作台上固定的一点，激光出射方向固定，切割不便。

发明内容

本发明的目的在于提供一种薄膜切割光路系统，解决反射镜安装、调整难度大，激光出射方向固定的问题。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种薄膜切割光路系统，包括用于发射激光的激光器、与该激光器配合的第一反射镜组件、与该第一反射镜组件配合的第二反射镜组件、与该第二反射镜组件配合的第三反射镜组件、X轴导轨组件和Y轴导轨组件；X轴导轨组件设有沿着X轴方向的X轴导轨，Y轴导轨组件设有沿着Y轴方向的Y轴导轨；X轴导轨组件和Y轴导轨组件活动连接，且X轴导轨组件沿着Y轴导轨位移；第二反射镜组件和第三反射镜组件设于X轴导轨组件上，且第三反射镜组件和X轴导轨活动连接，第三反射镜组件沿着X轴导轨位移。

进一步，Y轴导轨组件还包括Y轴驱动装置，Y轴驱动装置连接X轴导轨组件，且Y轴驱动装置驱动X轴导轨组件沿着Y轴导轨位移。

进一步，Y轴导轨由第一Y轴滑轨和第二Y轴滑轨构成，第一Y轴滑轨和第二Y轴滑轨分别设于X轴导轨组件底部的两端，第一反射镜组件位于第一Y轴滑轨的端部。

进一步，X轴导轨组件还包括X轴驱动装置，X驱动装置连接第三反射镜组件，且X轴驱动装置驱动第三反射镜组件沿着X轴导轨位移。

进一步，第一反射镜组件包括第一万向调整座结构，还包括设于该第一万向调整座结构上的第一反射镜本体；第二反射镜组件包括第二万向调整座结构，还包括设于该第二万向调整座结构上的第二反射镜本体；第三反射镜组件包括第三万向调整座结构，还包括设于该第三万向调整座结构上的第三反射镜本体。

进一步，第一万向调整座结构包括第一Y轴微调结构、第一反射镜架座板、第一镜片支撑座和至少一个第一调节轮；第一Y轴微调结构固定在激光器座板上；第一反射镜架座板安装在第一Y轴微调结构上，第一镜片支撑座通过第一调节轮连接第一反射镜架座板，第一反射镜本体设于第一镜片支撑座上；第一Y轴微调结构驱动第一反射镜架座板沿着Y轴方向位移，第一调节轮调节第一反射镜架座板的位置，从而调整第一反射镜本体的位置，使第一反射镜本体和激光器配合。

进一步，第二万向调整座结构包括与Y轴导轨组件连接的L形固定板、设于L形固定板上的第二反射镜架座板、设于第二反射镜架座板上的第一调节板、设于第一调节板上的第二调节板、设于第二调节板上的第二镜片固定块、设于第二调节板上的第二反射镜座板和至少一个第二调节轮；第二反射镜本体设于第二反射镜座板；第二反射镜架座板、第一调节板和第二调节板之间活动连接，从而调节第二镜片固定块和第二反射镜座板在Y轴方向上位置；第二镜片固定块通过第二调节轮和第二反射镜座板活动连接，第二调节轮调节第二反射镜座板的位置；从而使第二反射镜本体和第一反射镜本体配合。

进一步，第三万向调整座包括与X轴导轨组件连接的Z轴转接板、设于Z轴转接板的Z轴底板、与Z轴底板活动连接的第三反射镜座座板和设于第三反射镜座座板上的第三反射镜座；第三反射镜本体通过反射镜固定环和反射镜调节环连接第三反射镜座；反射镜固定环和反射镜调节环调节对第三反射镜本体位置的微调功能，使第三反射镜本体和第二反射镜本体配合。

进一步，还包括聚焦镜组件，聚焦镜组件由聚焦镜固定套和聚焦镜本体构成，聚焦镜固定套设于第三反射镜组件下方，聚焦镜本体套设在聚焦镜固定套内。

进一步，还包括扩束镜本体，该扩束镜本体设于激光器与第一反射镜组件之间、第一反射镜组件与第二反射镜组件之间和/或第二反射镜组件与第三反射镜组件之间。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

本发明采用以上结构，激光器发出的激光依次经过第一反射镜本体、第二反射镜本体和第三反射镜本体反射至工作台；第二反射镜本体、第三反射镜本体利用X轴导轨、Y轴导轨调节位置，同时第一反射镜本体、第二反射镜本体和第三反射镜本体分别利用第一万向调整座结构、第二万向调整座结构和第三万向调整座结构微调自身位置，从而调整激光的射向工作台的位置，且使激光器和第一反射镜本体、反射镜本体之间定位精密；本发明整体结构设计合理，使反射镜本体安装简易、薄膜切割设备生产效率高，激光能射向工作台上不同的位置；同时设备在使用过程中如果反射镜发生偏移，可利用万向调整座结构调整，调整方便。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明一种薄膜切割光路系统实施例的立体示意图；

图2是图1的俯视示意图；

图3是图1中第一反射镜组件的结构示意图；

图4是图1中X轴导轨组件的结构示意图；

图5是图1中第二反射镜组件和第三反射镜组件的结构示意图一；

图6是图5的结构示意图二；

图中，1-激光器；2-第一反射镜组件；21-第一反射镜本体；22-第一Y轴微调结构；221-微调旋杆；23-第一反射镜架座板；24-第一镜片支撑座；25-第一调节轮；26-第一拉簧；3-第二反射镜组件；31-第二反射镜本体；32-L形固定板；33-第二反射镜架座板；34-第一调节板；35-第二调节板；36-第二镜片固定块；37-第二反射镜座板；38-第二调节轮；4-第三反射镜组件；41-第三反射镜本体；42-Z轴转接板；43-Z轴底板；44-第三反射镜座座板；45-第三反射镜座；46-反射镜固定环；47-反射镜调节环；5-X轴导轨组件；51-X轴导轨；52-模组连接板；53-X轴丝杆；54-X轴驱动装置；55-X轴夹板联轴器；6-Y轴导轨组件；61-Y轴导轨；611-第一Y轴滑轨；612-第二Y轴滑轨；62-Y轴护盖座；63-Y轴驱动装置；64-Y轴夹板联轴器；65-Y轴丝杆；66-Y轴滑块；7-工作台；8-扩束镜调整组件；81-扩束镜本体；9-激光器座板；10-聚焦镜组件；101-聚焦镜固定套；11-密封套；12-固定筒；13-镜筒夹持座；14-喷嘴固定座；15-喷嘴；16-CCD定位组件。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

如图1至图6实施例所示一种薄膜切割光路系统，包括用于发射激光的激光器1、与该激光器1配合的第一反射镜组件2、与该第一反射镜组件2配合的第二反射镜组件3、与该第二反射镜组件3配合的第三反射镜组件4、X轴导轨组件5和Y轴导轨组件6。X轴导轨组件5设有沿着X轴方向的X轴导轨51，Y轴导轨组件6设有沿着Y轴方向的Y轴导轨61。X轴导轨组件5和Y轴导轨组件6活动连接，且X轴导轨组件5沿着Y轴导轨61位移；第二反射镜组件3和第三反射镜组件4设于X轴导轨组件5上，且第三反射镜组件4和X轴导轨51活动连接，第三反射镜组件4沿着X轴导轨51位移；激光器1发出的激光依次经过第一反射镜组件2、第二反射镜组件3和第三反射镜组件4反射至用于承载薄膜的工作台7。本实施例中，X轴方向、Y轴方向和Z轴方向相互垂直。

进一步，激光器1和第一反射镜组件2之间可设有扩束镜调整组件8。激光器1、扩束镜调整组件8和第一反射镜组件2安装在激光器座板9上，激光器1、扩束镜调整组件8和第一反射镜组件2沿着X轴方向布置。扩束镜调整组件8包括扩束镜本体81。作为对本实施例的进一步说明，扩束镜调整组件8不局限于安装在激光器1和第一反射镜组件2之间，也可安装在第一反射镜组件2与第二反射镜组件3之间和/或第二反射镜组件3与第三反射镜组件4之间。

本实施例中，Y轴导轨61由分别设于X轴导轨组件5底部两端的第一Y轴滑轨611和第二Y轴滑轨612构成，第一反射镜组件2位于第一Y轴滑轨611的端部。Y轴导轨组件6还包括Y轴驱动装置63，Y轴驱动装置63依次通过Y轴夹板联轴器64、Y轴丝杆65、Y轴滑块66和Y轴护盖座62连接X轴导轨组件5，Y轴丝杆65设于第一Y轴滑轨611内。Y轴驱动装置63驱动X轴导轨组件5沿着Y轴导轨61位移。

X轴导轨51通过模组连接板52和Y轴护盖座62连接。第二反射镜组件3设于模组连接板52上，第三反射镜组件3和X轴导轨51活动连接。X轴导轨组件5还包括X轴驱动装置54，X驱动装置54依次通过X轴夹板联轴器55、X轴丝杆53连接第三反射镜组件4，X轴丝杆53设于X轴导轨51内。

X轴驱动装置54和Y轴驱动装置63可以为伺服电机、气缸、液压驱动装置或手动驱动装置。

本实施例中，第一反射镜组件2包括第一万向调整座结构，还包括设于该第一万向调整座结构上的第一反射镜本体21。第一万向调整座结构包括第一Y轴微调结构22、第一反射镜架座板23、第一镜片支撑座24、呈三角形布置的三个第一调节轮25和一个第一拉簧26。第一Y轴微调结构22固定在激光器座板9上；第一反射镜架座板23安装在第一Y轴微调结构22上；第一镜片支撑座24通过第一调节轮25和第一拉簧26连接第一反射镜架座板23；第一反射镜本体21设于第一镜片支撑座24上。设于第一Y轴微调结构22的微调旋杆221驱动第一反射镜架座板23沿着Y轴方向位移；三个第一调节轮25可调节第一反射镜架座板23的位置，使其绕竖直方向Z轴和/或水平面摆动；采用以上结构，可调整第一反射镜本体21的位置，使第一反射镜本体21和激光器1精密配合。

第二反射镜组件3包括第二万向调整座结构，还包括设于该第二万向调整座结构上的第二反射镜本体31。第二万向调整座结构包括设于模组连接板上的L形固定板32、设于L形固定板32上的第二反射镜架座板33、设于第二反射镜架座板33上的第一调节板34、设于第一调节板34上的第二调节板35、设于第二调节板35上的第二镜片固定块36、设于第二调节板36上的第二反射镜座板37、呈三角形布置的三个第二调节轮38。第二反射镜本体31设于第二反射镜座板37。第二反射镜架座板37、第一调节板34和第二调节板35之间活动连接，从而可以微调第二镜片固定块36和第二反射镜座板37在Y轴方向上位移。第二镜片固定块36通过第二调节轮35和第二反射镜座板37活动连接，三个第二调节轮35可调节第二反射镜座板37的位置，使其绕竖直方向Z轴和/或水平面摆动。采用以上结构，可调整第二反射镜本体31的位置，使第二反射镜本体31和第一反射镜本体21精密配合。

第三反射镜组件4包括第三万向调整座结构，还包括设于该第三万向调整座结构上的第三反射镜本体41。第三万向调整座包括与X轴丝杆53连接的Z轴转接板42、设于Z轴转接板42的Z轴底板43、与Z轴底板43活动连接的第三反射镜座座板44、设于第三反射镜座座板44上的第三反射镜座45。第三反射镜本体41通过反射镜固定环46和反射镜调节环47连接第三反射镜座45，反射镜固定环46和反射镜调节环47实现对第三反射镜本体41位置的微调功能。第三反射镜本体41使激光沿着Z轴方向射向工作台7。

进一步，本实施例还包括聚焦镜组件10，由聚焦镜固定套101和套设其内的聚焦镜本体构成。聚焦镜组件10位于第三反射镜组件4的下方，聚焦镜本体和第三反射镜本体41沿着Z轴方向布置。第三反射镜座座板45和聚焦镜固定套101上端之间依次通过密封套11和固定筒12连接。密封套11和固定筒12、固定筒12和聚焦镜固定套101之间伸缩配合连接，以调整聚焦镜本体和第三反射镜本体41之间的距离。进一步，固定筒12和聚焦镜固定套101之间通过镜筒夹持座13连接，镜筒夹持座13和Z轴底板43连接，进一步固定聚焦镜组件10。聚焦镜固定套101下端连接喷嘴固定座14和用于对工作台发出激光的喷嘴15。

进一步，本实施例还包括CCD定位组件16（CCD：Charge-coupledDevice，电荷耦合元件），该CCD定位组件16位于聚焦镜组件10一侧，且沿着Z轴方向放置。

本实施例一种薄膜切割光路系统的其它结构参见现有技术。

作为对本实施例的进一步说明，现说明其工作原理：激光器1发出的激光依次经过第一反射镜本体21、第二反射镜本体31和第三反射镜本体41反射至工作台7；第二反射镜本体31、第三反射镜本体41利用X轴导轨组件5、Y轴导轨组件6调节位置，同时第一反射镜本体21、第二反射镜本体31和第三反射镜本体41分别利用第一万向调整座结构、第二万向调整座结构和第三万向调整座结构微调自身位置，从而调整激光的射向工作台7的位置，且使激光器1和第一反射镜本体、反射镜本体之间定位精密。

本实施例采用以上结构，使反射镜本体安装简易、薄膜切割设备生产效率高，激光能射向工作台上不同的位置；同时设备在使用过程中如果反射镜发生偏移，可利用万向调整座结构调整，调整方便。

本发明并不局限于上述实施方式，如果对本发明的各种改动或变型不脱离本发明的精神和范围，倘若这些改动和变型属于本发明的权利要求和等同技术范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型。

Claims (10)

1.一种薄膜切割光路系统，其特征在于：包括用于发射激光的激光器、与该激光器配合的第一反射镜组件、与该第一反射镜组件配合的第二反射镜组件、与该第二反射镜组件配合的第三反射镜组件、X轴导轨组件和Y轴导轨组件；X轴导轨组件设有沿着X轴方向的X轴导轨，Y轴导轨组件设有沿着Y轴方向的Y轴导轨；X轴导轨组件和Y轴导轨组件活动连接，且X轴导轨组件沿着Y轴导轨位移；第二反射镜组件和第三反射镜组件设于X轴导轨组件上，且第三反射镜组件和X轴导轨活动连接，第三反射镜组件沿着X轴导轨位移。

2.根据权利要求1所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：Y轴导轨组件还包括Y轴驱动装置，Y轴驱动装置连接X轴导轨组件，且Y轴驱动装置驱动X轴导轨组件沿着Y轴导轨位移。

3.根据权利要求2所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：Y轴导轨由第一Y轴滑轨和第二Y轴滑轨构成，第一Y轴滑轨和第二Y轴滑轨分别设于X轴导轨组件底部的两端，第一反射镜组件位于第一Y轴滑轨的端部。

4.根据权利要求1所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：X轴导轨组件还包括X轴驱动装置，X驱动装置连接第三反射镜组件，且X轴驱动装置驱动第三反射镜组件沿着X轴导轨位移。

5.根据权利要求1至4任意一项所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：第一反射镜组件包括第一万向调整座结构，还包括设于该第一万向调整座结构上的第一反射镜本体；第二反射镜组件包括第二万向调整座结构，还包括设于该第二万向调整座结构上的第二反射镜本体；第三反射镜组件包括第三万向调整座结构，还包括设于该第三万向调整座结构上的第三反射镜本体。

6.根据权利要求5所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：第一万向调整座结构包括第一Y轴微调结构、第一反射镜架座板、第一镜片支撑座和至少一个第一调节轮；第一Y轴微调结构固定在激光器座板上；第一反射镜架座板安装在第一Y轴微调结构上，第一镜片支撑座通过第一调节轮连接第一反射镜架座板，第一反射镜本体设于第一镜片支撑座上；第一Y轴微调结构驱动第一反射镜架座板沿着Y轴方向位移，第一调节轮调节第一反射镜架座板的位置，从而调整第一反射镜本体的位置，使第一反射镜本体和激光器配合。

7.根据权利要求5所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：第二万向调整座结构包括与Y轴导轨组件连接的L形固定板、设于L形固定板上的第二反射镜架座板、设于第二反射镜架座板上的第一调节板、设于第一调节板上的第二调节板、设于第二调节板上的第二镜片固定块、设于第二调节板上的第二反射镜座板和至少一个第二调节轮；第二反射镜本体设于第二反射镜座板；第二反射镜架座板、第一调节板和第二调节板之间活动连接，从而调节第二镜片固定块和第二反射镜座板在Y轴方向上位置；第二镜片固定块通过第二调节轮和第二反射镜座板活动连接，第二调节轮调节第二反射镜座板的位置；从而使第二反射镜本体和第一反射镜本体配合。

8.根据权利要求5所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：第三万向调整座包括与X轴导轨组件连接的Z轴转接板、设于Z轴转接板的Z轴底板、与Z轴底板活动连接的第三反射镜座座板和设于第三反射镜座座板上的第三反射镜座；第三反射镜本体通过反射镜固定环和反射镜调节环连接第三反射镜座；反射镜固定环和反射镜调节环调节对第三反射镜本体位置的微调功能，使第三反射镜本体和第二反射镜本体配合。

9.根据权利要求1所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：还包括聚焦镜组件，聚焦镜组件由聚焦镜固定套和聚焦镜本体构成，聚焦镜固定套设于第三反射镜组件下方，聚焦镜本体套设在聚焦镜固定套内。

10.根据权利要求1或9所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：还包括扩束镜本体，该扩束镜本体设于激光器与第一反射镜组件之间、第一反射镜组件与第二反射镜组件之间和/或第二反射镜组件与第三反射镜组件之间。

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