CN103213061B - 图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，包括以下步骤：A倒角；B用规格为W14~W20的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨；C用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；D用规格为W5~W7的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面细研磨；E用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；F对蓝宝石衬底片进行退火；G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨；H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光；J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光；K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗。本发明可以在一种双面研抛机上进行图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工过程中的全部研磨和抛光程序，并提高了产品的加工精度。
Description
技术领域
本发明涉及一种晶体材料的加工工艺，尤其是一种蓝宝石衬底片的加工工艺。
背景技术
LED照明是新一轮高科技高科技企业发展的焦点，图形化的蓝宝石衬底可以有效提高LED芯片的亮度，提升光效达30%以上。在高功率LED芯片需求增加的情况下，图形化的蓝宝石衬底需求也大幅增加。因此图形化衬底专用的蓝宝石衬底片的加工是LED全产业链中非常重要的一环，成熟的生产技术显得尤为关键。但目前但技术壁垒的存在加上市场的高度不成熟，形成了信息的蔽塞，导致业内缺乏蓝宝石衬底片的详细标准化工艺流程，导致业内蓝宝石衬底片次品率高，生产效率偏低。目前业内生产出的蓝宝石衬底片各项参数为背面粗糙度范围0.80μm~1.20μm，正面粗糙度≤0.30nm，总厚度偏差TTV≤5.00μm，翘曲度warp≤10.00μm，弯曲度bow≤30.00μm，其中背面粗糙度、翘曲度、弯曲度的精度较低，导致后续使用蓝宝石衬底片进行图形化衬底制造过程中，容易变形翘曲。
此外，目前业内在进行图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工过程中，至少需要一台双面研磨机/研抛机和一台单面抛光机/研抛机，不仅设备投资高，也增加维修成本和使用成本。
发明内容
本发明的目的是提供一种标准化的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，填补了行业空白。采用本工艺制造蓝宝石衬底片，生产效率大幅提高，且各方面参数完全能够满足行业标准，背面粗糙度、翘曲度、弯曲度优于行业标准，且成品率高。而且使用本发明提供的技术方案，可以在一种双面研抛机上进行图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工过程中的全部研磨和抛光程序。
为了达到上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，包括以下步骤：
A倒角：将蓝宝石衬底片边缘修整成圆弧状；
B用规格为W14~W20的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨；
C用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；
D用规格为W5~W7的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面细研磨；
E用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，并将蓝宝石衬底片烘干；
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1200℃~1550℃，恒温60~240分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨；
H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；
I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光；
J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光；
K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗。
作为优选，所述步骤G包括：
G1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴一片规格为W180的碳化硅片；
G2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；
G3在所述游星盘上设置压块，所述压块向游星盘中的蓝宝石衬底片施加压力值为50~250g/cm2，所述压块与游星盘之间还包括一个以上的缓冲垫，所述缓冲垫与所述压块之间还包括固定层；
G4启动双面研抛机，上磨盘始终保持与下磨盘不接触的状态，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5~W5的碳化硼；
作为优选，所述步骤I包括：
I1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴厚度为0.5~1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；
I2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；
I3在所述游星盘上设置压块，所述压块向游星盘中的蓝宝石衬底片施加的压力值为50~250g/cm2，所述压块与游星盘之间还包括一个以上的缓冲垫，所述缓冲垫与所述压块之间还包括固定层；
I4启动研抛机，上磨盘始终保持与下磨盘不接触的状态，下磨盘转速为12~60 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~45℃，PH值为10~11.5，流量为120~600ml/min。
作为一种改进，所述步骤G包括：
G1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴一片相同大小、粒度为W180的碳化硅片；
G2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；
G3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，或者将一个以上的蓝宝石衬底片的背面用粘合剂粘贴在载物盘的上表面和/或下表面上，所述粘合剂耐受温度≥80℃；
G4盖上上磨盘，启动双面研抛机，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5~W5的碳化硼；
作为一种改进，所述步骤I包括：
I1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴厚度为0.5~1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；
I2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；
I3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，或者将一个以上的蓝宝石衬底片的背面用粘合剂粘贴在载物盘的上表面和/或下表面上，所述粘合剂耐受温度≥80℃；
I4盖上上磨盘，启动双面研抛机，下磨盘转速为12~60 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~45℃，PH值为10~11.5，流量为120~600ml/min。
作为优选，所述步骤J之前包括：
BJ1用水基除蜡剂或有机溶剂清洗附着在蓝宝石衬底片上的粘合剂。
作为一种改进，采用水基除蜡剂进行清洗时，温度≥80℃。
作为优选，所述步骤J包括：
J1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴阻尼布，阻尼布的直径与磨盘的相同；
J2在下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；
J3在所述游星盘上设置压块，所述压块向游星盘中的蓝宝石衬底片施加的压力值为50~150g/ cm2，所述压块与游星盘之间还包括一个以上的缓冲垫，所述缓冲垫与所述压块之间还包括固定层；
J4启动双面研抛机，上磨盘始终保持与下磨盘不接触的状态，下磨盘转速为10~30 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~30℃，PH值为8.5~10.5，流量为120~300ml/min。
作为一种改进方案，步骤D中，研磨完成后，将蓝宝石衬底片背面粗糙度控制在0.10~0.40μm之间。
作为一种改进，所述步骤J之前包括：
BJ2在蓝宝石衬底片背面添加激光标识。
通过本发明提供的工艺，能够在同一种双面研抛机上进行蓝宝石衬底片的单面研磨、单面粗抛光、单面精抛光的工序，无需另外购置专用的单面研抛机，充分节约成本，并能进一步提高加工效率，有利于产业化。
采用蓝宝石衬底片背面对粘方式进行单面研磨、单面粗抛光时，在一次研磨或粗抛光过程中加工的蓝宝石衬底片的数量增加为普通单面抛光方法加工产品的2倍，大幅提高了抛光效率。此外，在抛光表面积更小的蓝宝石衬底片时，还可以将一个以上的蓝宝石衬底片的背面分别用粘合剂粘贴在载物盘的上表面和/或下表面上，载物盘的尺寸与通孔尺寸相适应，再将载物盘放入通孔，用上下磨盘进行研磨或抛光，这样不仅在双面研抛机上实现了单面研磨或粗抛光，而且进一步增加了一次加工蓝宝石衬底片的数量，大幅提高加工效率，更重要的是，无需修改游星盘上的通孔尺寸即可加工不同尺寸的蓝宝石衬底片。
通过本发明提供的技术方案，加工出的蓝宝石衬底片达到背面粗糙度0.10~0.40μm，更有利于其后步骤中翘曲度、弯曲度、总厚度偏差的精度控制。正面粗糙度≤0.30nm，总厚度偏差TTV≤3.00μm，翘曲度warp≤5.00μm，弯曲度bow≤5.00μm，优于行业标准，且成品率达到98%以上，大幅提高了生产效率。
附图说明
图1为双面研抛机的示意图。
图2为安装好内齿圈、外齿太阳轮和游星盘的双面研抛机的下磨盘结构正面示意图。
图3为游星盘、缓冲垫、固定层、压块的侧面示意图。
图4为不锈钢片上表面或下表面上晶体材料的粘贴示意图。
具体实施方法
下面将结合说明书附图对本发明的具体实施方式作进一步详述。
第一实施例：
图1为本实施例采用的双面研抛机的结构示意图。
检测切割好的蓝宝石衬底片，检测合格后按照大小进行分类，然后进行下述步骤：
A倒角：将蓝宝石衬底片边缘修整成圆弧状改善薄片边缘的机械强度，避免应力集中造成缺陷；
B对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨：在双面研抛机的上、下磨盘5表面各粘贴一片相同大小、规格为W180的碳化硅片；如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行粗研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W14~W20的碳化硼；
C用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
D对蓝宝石衬底片进行双面细研磨：将经过双面粗研磨且清洗干净的蓝宝石衬底片放在游星盘2上的通孔3中，启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行细研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W5~W7的碳化硼；
经过双面粗研磨和双面细研磨，将蓝宝石衬底片背面粗糙度控制在0.10~0.40μm之间，更有利于其后步骤中翘曲度、弯曲度、总厚度偏差的精度控制。
E用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，并将蓝宝石衬底片烘干；
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至300℃，恒温10分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至700℃，恒温10分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1200℃，恒温60分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至700℃，恒温10分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至300℃，恒温10分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨，优选在双面研抛机上进行以下操作：
G1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴一片相同大小、规格为W180的碳化硅片；
G2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
G3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加压力值为150g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
G4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5~W5的碳化硼；
上述步骤G也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面研磨。
H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
I1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴厚度为0.5~1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；
I2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
I3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为150g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
I4启动研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，下磨盘5转速为12~60 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~45℃，PH值为10~11.5，流量为120~600ml/min。
上述步骤I也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面粗抛光。
作为优选，在对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光后，用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
根据实际需要，还可以包括以下步骤：BJ2在蓝宝石衬底片背面添加激光标识。
J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
J1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴阻尼布，阻尼布的直径与磨盘的相同；
J2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
J3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为100g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
J4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，下磨盘5转速为10~30 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~30℃，PH值为8.5~10.5，流量为120~300ml/min。
上述步骤J也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面精抛光。
K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物。
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
具体实验结果见表1。
第二实施例：
除F退火步骤外，其他操作步骤和参数与第一实施例相同，退火各步骤如下：
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温20分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温20分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1200℃，恒温90分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温20分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温20分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第三实施例：
除F退火步骤外，其他操作步骤和参数与第一实施例相同，退火各步骤如下：
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温30分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温30分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1280℃，恒温120分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温30分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温30分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第四实施例：
除F退火步骤外，其他操作步骤和参数与第一实施例相同，退火各步骤如下：
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温40分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温40分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1380℃，恒温180分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温40分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温40分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第五实施例：
除F退火步骤外，其他操作步骤和参数与第一实施例相同，退火各步骤如下：
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至500℃，恒温60分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至900℃，恒温60分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1450℃，恒温240分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至900℃，恒温60分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至500℃，恒温60分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第六实施例：
除F退火步骤外，其他操作步骤和参数与第一实施例相同，退火各步骤如下：
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至500℃，恒温60分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至900℃，恒温60分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1550℃，恒温240分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至900℃，恒温60分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至500℃，恒温60分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第七实施例：
图1为本实施例采用的双面研抛机的结构示意图。
检测切割好的蓝宝石衬底片，检测合格后按照大小进行分类，然后进行下述步骤：
A倒角：将蓝宝石衬底片边缘修整成圆弧状改善薄片边缘的机械强度，避免应力集中造成缺陷；
B对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨：在双面研抛机的上、下磨盘5表面各粘贴一片相同大小、规格为W180的碳化硅片；如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行粗研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W14的碳化硼；
C用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
D对蓝宝石衬底片进行双面细研磨：将经过双面粗研磨且清洗干净的蓝宝石衬底片放在游星盘2上的通孔3中，启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行细研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W5的碳化硼；
经过双面粗研磨和双面细研磨，将蓝宝石衬底片背面粗糙度控制在0.10~0.40μm之间，更有利于其后步骤中翘曲度、弯曲度、总厚度偏差的精度控制。
E用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，并将蓝宝石衬底片烘干；
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温30分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温30分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1280℃，恒温120分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温30分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温30分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨，优选在双面研抛机上进行以下操作：
G1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴一片相同大小、规格为W180的碳化硅片；
G2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
G3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加压力值为50g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
G4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5的碳化硼；
上述步骤G也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规加工。
H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
I1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴厚度为0.5毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；
I2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
I3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为50g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
I4启动研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，下磨盘5转速为15 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃，PH值为10，流量为120ml/min。
上述步骤I也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面粗抛光。
作为优选，在对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光后，用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
根据实际需要，还可以包括以下步骤：BJ2在蓝宝石衬底片背面添加激光标识。
J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
J1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴阻尼布，阻尼布的直径与磨盘的相同；
J2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
J3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为50g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
J4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，下磨盘5转速为10 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃，PH值为8.5，流量为120ml/min。
上述步骤J也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规加工。
K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物。
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
具体实验结果见表1。
第八实施例：
图1为本实施例采用的双面研抛机的结构示意图。
检测切割好的蓝宝石衬底片，检测合格后按照大小进行分类，然后进行下述步骤：
A倒角：将蓝宝石衬底片边缘修整成圆弧状改善薄片边缘的机械强度，避免应力集中造成缺陷；
B对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨：在双面研抛机的上、下磨盘5表面各粘贴一片相同大小、规格为W180的碳化硅片；如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行粗研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W14的碳化硼；
C用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
D对蓝宝石衬底片进行双面细研磨：将经过双面粗研磨且清洗干净的蓝宝石衬底片放在游星盘2上的通孔3中，启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行细研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W5的碳化硼；
经过双面粗研磨和双面细研磨，将蓝宝石衬底片背面粗糙度控制在0.10~0.40μm之间，更有利于其后步骤中翘曲度、弯曲度、总厚度偏差的精度控制。
E用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，并将蓝宝石衬底片烘干；
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温30分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温30分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1280℃，恒温120分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温30分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温30分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨，优选在双面研抛机上进行以下操作：
G1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴一片相同大小、规格为W180的碳化硅片；
G2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
G3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加压力值为150g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
G4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5的碳化硼；
上述步骤G也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面研磨。
H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
I1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴厚度为1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；
I2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
I3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为150g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
I4启动研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，下磨盘5转速为30 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为30℃，PH值为11，流量为300ml/min。
上述步骤I也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面粗抛光。
作为优选，在对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光后，用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
根据实际需要，还可以包括以下步骤：BJ2在蓝宝石衬底片背面添加激光标识。
J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
J1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴阻尼布，阻尼布的直径与磨盘的相同；
J2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
J3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为100g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
J4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，下磨盘5转速为20 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为25℃，PH值为9.5，流量为200ml/min。
上述步骤J也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规加工。
K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物。
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第九实施例：
图1为本实施例采用的双面研抛机的结构示意图。
检测切割好的蓝宝石衬底片，检测合格后按照大小进行分类，然后进行下述步骤：
A倒角：将蓝宝石衬底片边缘修整成圆弧状改善薄片边缘的机械强度，避免应力集中造成缺陷；
B对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨：在双面研抛机的上、下磨盘5表面各粘贴一片相同大小、规格为W180的碳化硅片；如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行粗研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W20的碳化硼；
C用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
D对蓝宝石衬底片进行双面细研磨：将经过双面粗研磨且清洗干净的蓝宝石衬底片放在游星盘2上的通孔3中，启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行细研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W7的碳化硼；
经过双面粗研磨和双面细研磨，将蓝宝石衬底片背面粗糙度控制在0.10~0.40μm之间，更有利于其后步骤中翘曲度、弯曲度、总厚度偏差的精度控制。
E用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，并将蓝宝石衬底片烘干；
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温30分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温30分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1280℃，恒温120分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温30分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温30分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨，优选在双面研抛机上进行以下操作：
G1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴一片相同大小、规格为W180的碳化硅片；
G2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
G3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加压力值为250g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
G4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W5的碳化硼；
上述步骤G也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面研磨。
H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
I1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴厚度为1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；
I2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
I3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为250g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
I4启动研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，下磨盘5转速为60 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为45℃，PH值为11.5，流量为600ml/min。
作为优选，在对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光后，用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
根据实际需要，还可以包括以下步骤：BJ2在蓝宝石衬底片背面添加激光标识。
J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
J1在双面研抛机的下磨盘5表面粘贴阻尼布，阻尼布的直径与磨盘的相同；
J2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
J3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为150g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
J4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘5不接触的状态，下磨盘5转速为30 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为30℃，PH值为10.5，流量为300ml/min。
上述步骤J也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面精抛光。
K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物。
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1
第十实施例：
图1为本实施例采用的双面研抛机的结构示意图。
检测切割好的蓝宝石衬底片，检测合格后按照大小进行分类，然后进行下述步骤：
A~F（包括F1~F7）步骤与实施例一中A~F（包括F1~F7）步骤相同。
G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨，优选在双面研抛机上进行以下操作：
G1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴一片相同大小、粒度为W180的碳化硅片；
G2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块开有五个通孔3的带有外齿的游星盘2，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
G3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，所述粘合剂耐受温度≥80℃；
G4盖上上磨盘6，启动双面研抛机，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5~W5的碳化硼。
步骤G中研磨的蓝宝石衬底片数量为实施例一~八中G步骤研磨数量的2倍，提高了单面研磨的效率。
上述粘合剂优选采用高温蜡，上述步骤G也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面研磨。
H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
I1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴厚度为0.5~1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；
I2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
I3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，所述粘合剂耐受温度≥80℃；如果上述G步骤采用粘合方式进行单面研磨，则无需进行本步骤操作；
I4盖上上磨盘6，上磨盘6施加压力值为50~250g/cm2，启动双面研抛机，下磨盘转速为12~60 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~45℃，PH值为10~11.5，流量为120~600ml/min。
步骤I中抛光的蓝宝石衬底片数量为实施例一~八中I步骤抛光数量的2倍，提高了单面粗抛光的效率。
上述粘合剂优选采用高温蜡，上述步骤I也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面粗抛光。
当前述G或I步骤中使用粘合剂如高温蜡时，在后续步骤之前还包括
BJ1用水基除蜡剂或有机溶剂清洗附着在蓝宝石衬底片上的高温蜡。采用水基除蜡剂进行清洗时，为了保证高温蜡被完全去除，水基除蜡剂的温度≥80℃。
作为优选，在对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光后，用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
根据需要，还可以包括以下步骤：BJ2在蓝宝石衬底片背面添加激光标识。
J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
J1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴阻尼布，阻尼布的直径与磨盘的相同；
J2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块开有五个通孔3的带有外齿的游星盘2，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
J3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为100g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
J4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘不接触的状态，下磨盘转速为10~30 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~30℃，PH值为8.5~10.5，流量为120~300ml/min。
上述步骤J也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规加工。
K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物。
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第十一实施例：
除F退火步骤外，其他操作步骤和参数与第九实施例相同，退火各步骤如下：
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温20分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温20分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1200℃，恒温90分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温20分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温20分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第十二实施例：
除F退火步骤外，其他操作步骤和参数与第九实施例相同，退火各步骤如下：
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温30分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温30分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1280℃，恒温120分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温30分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温30分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第十三实施例：
除F退火步骤外，其他操作步骤和参数与第九实施例相同，退火各步骤如下：
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温40分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温40分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1380℃，恒温180分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温40分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温40分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第十四实施例：
除F退火步骤外，其他操作步骤和参数与第九实施例相同，退火各步骤如下：
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至500℃，恒温60分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至900℃，恒温60分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1450℃，恒温240分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至900℃，恒温60分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至500℃，恒温60分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第十五实施例：
除F退火步骤外，其他操作步骤和参数与第九实施例相同，退火各步骤如下：
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至500℃，恒温60分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至900℃，恒温60分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1550℃，恒温240分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至900℃，恒温60分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至500℃，恒温60分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第十六实施例：
图1为本实施例采用的双面研抛机的结构示意图。
检测切割好的蓝宝石衬底片，检测合格后按照大小进行分类，然后进行下述步骤：
A~E步骤与第七实施例中A~E步骤相同
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温30分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温30分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1280℃，恒温180分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温30分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温30分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨，优选在双面研抛机上进行以下操作：
G1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴一片相同大小、粒度为W180的碳化硅片；
G2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块开有五个通孔3的带有外齿的游星盘2，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
G3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，所述粘合剂耐受温度≥80℃；
G4盖上上磨盘6，启动双面研抛机，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5的碳化硼；
步骤G中研磨的蓝宝石衬底片数量为实施例一~八中G步骤研磨数量的2倍，提高了单面研磨的效率。
上述粘合剂优选采用高温蜡，上述步骤G也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面研磨。
H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
I1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴厚度为0.5毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；
I2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
I3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，所述粘合剂耐受温度≥80℃；如果上述G步骤采用粘合方式进行单面研磨，则无需进行本步骤操作；
I4盖上上磨盘6，上磨盘6施加压力值为50g/cm2，启动双面研抛机，下磨盘转速为12 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃，PH值为10，流量为120ml/min。
步骤I中抛光的蓝宝石衬底片数量为实施例一~八中I步骤抛光数量的2倍，提高了单面粗抛光的效率。
上述粘合剂优选采用高温蜡，上述步骤I也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规加工。
当前述G或I步骤中使用粘合剂如高温蜡时，在后续步骤之前还包括
BJ1需用水基除蜡剂或有机溶剂清洗附着在蓝宝石衬底片上的高温蜡。采用水基除蜡剂进行清洗时，为了保证高温蜡被完全去除，水基除蜡剂的温度≥80℃。
作为优选，在对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光后，用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
根据需要，还可以包括以下步骤：BJ2在蓝宝石衬底片背面添加激光标识。
J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
J1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴阻尼布，阻尼布的直径与磨盘的相同；
J2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块开有五个通孔3的带有外齿的游星盘2，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
J3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为50g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
J4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘不接触的状态，下磨盘转速为10 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃，PH值为8.5，流量为120ml/min。
上述步骤J也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规加工。
K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物。
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第十七实施例：
图1为本实施例采用的双面研抛机的结构示意图。
检测切割好的蓝宝石衬底片，检测合格后按照大小进行分类，然后进行下述步骤：
A倒角：将蓝宝石衬底片边缘修整成圆弧状改善薄片边缘的机械强度，避免应力集中造成缺陷；
B对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨：在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴一片相同大小、规格为W180的碳化硅片；在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块开有五个通孔3的带有外齿的游星盘2，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行粗研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W14的碳化硼；
C用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
D对蓝宝石衬底片进行双面细研磨：将经过双面粗研磨且清洗干净的蓝宝石衬底片放在游星盘2上的通孔3中，启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行细研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W5的碳化硼；
经过双面粗研磨和双面细研磨，将蓝宝石衬底片背面粗糙度控制在0.10~0.40μm之间，更有利于其后步骤中翘曲度、弯曲度、总厚度偏差的精度控制。
E用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，并将蓝宝石衬底片烘干；
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温20分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温20分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1200℃，恒温90分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温20分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温20分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨，优选在双面研抛机上进行以下操作：
G1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴一片相同大小、粒度为W180的碳化硅片；
G2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块开有五个通孔3的带有外齿的游星盘2，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
G3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，所述粘合剂耐受温度≥80℃；
G4盖上上磨盘6，启动双面研抛机，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5的碳化硼；
步骤G中研磨的蓝宝石衬底片数量为实施例一~八中G步骤研磨数量的2倍，提高了单面研磨的效率。
上述粘合剂优选采用高温蜡，上述步骤G也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面研磨。
H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
I1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴厚度为1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；
I2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
I3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，所述粘合剂耐受温度≥80℃；如果上述G步骤采用粘合方式进行单面研磨，则无需进行本步骤操作；
I4盖上上磨盘6，上磨盘6施加压力值为150g/cm2，启动双面研抛机，下磨盘转速为30 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为30℃，PH值为10.5，流量为300ml/min。
步骤I中抛光的蓝宝石衬底片数量为实施例一~八中I步骤抛光数量的2倍，提高了单面粗抛光的效率。
上述粘合剂优选采用高温蜡，上述步骤I也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规加工。
当前述G或I步骤中使用粘合剂如高温蜡时，在后续步骤之前还包括
BJ1用水基除蜡剂或有机溶剂清洗附着在蓝宝石衬底片上的高温蜡。采用水基除蜡剂进行清洗时，为了保证高温蜡被完全去除，水基除蜡剂的温度≥80℃。
作为优选，在对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光后，用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
根据需要，还可以包括以下步骤：BJ2在蓝宝石衬底片背面添加激光标识。
J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
J1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴阻尼布，阻尼布的直径与磨盘的相同；
J2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块开有五个通孔3的带有外齿的游星盘2，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
J3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为100g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
J4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘不接触的状态，下磨盘转速为20 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为25℃，PH值为9，流量为200ml/min。
上述步骤J也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规加工。
K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物。
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第十八实施例：
图1为本实施例采用的双面研抛机的结构示意图。
检测切割好的蓝宝石衬底片，检测合格后按照大小进行分类，然后进行下述步骤：
A倒角：将蓝宝石衬底片边缘修整成圆弧状改善薄片边缘的机械强度，避免应力集中造成缺陷；
B对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨：在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴一片相同大小、规格为W180的碳化硅片；在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块开有五个通孔3的带有外齿的游星盘2，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行粗研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W20的碳化硼；
C用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
D对蓝宝石衬底片进行双面细研磨：将经过双面粗研磨且清洗干净的蓝宝石衬底片放在游星盘2上的通孔3中，启动双面研抛机，对蓝宝石衬底片进行细研磨，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W7的碳化硼；
经过双面粗研磨和双面细研磨，将蓝宝石衬底片背面粗糙度控制在0.10~0.40μm之间，更有利于其后步骤中翘曲度、弯曲度、总厚度偏差的精度控制。
E用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，并将蓝宝石衬底片烘干；
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至400℃，恒温30分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至800℃，恒温30分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1280℃，恒温120分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至800℃，恒温30分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至400℃，恒温30分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨，优选在双面研抛机上进行以下操作：
G1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴一片相同大小、粒度为W180的碳化硅片；
G2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块开有五个通孔3的带有外齿的游星盘2，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
G3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，所述粘合剂耐受温度≥80℃；
G4盖上上磨盘6，启动双面研抛机，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W5的碳化硼；
步骤G中研磨的蓝宝石衬底片数量为实施例一~八中G步骤研磨数量的2倍，提高了单面研磨的效率。
上述粘合剂优选采用高温蜡，上述步骤G也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面研磨。
H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
I1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴厚度为1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；
I2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
I3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，所述粘合剂耐受温度≥80℃；如果上述G步骤采用粘合方式进行单面研磨，则无需进行本步骤操作；
I4盖上上磨盘6，上磨盘6施加压力值为250g/cm2，启动双面研抛机，下磨盘转速为60 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为45℃，PH值为10~11.5，流量为600ml/min。
步骤I中抛光的蓝宝石衬底片数量为实施例一~八中I步骤抛光数量的2倍，提高了单面粗抛光的效率。
上述粘合剂优选采用高温蜡，上述步骤I也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规加工。
当前述G或I步骤中使用粘合剂如高温蜡时，在后续步骤之前还包括
BJ1需用水基除蜡剂或有机溶剂清洗附着在蓝宝石衬底片上的高温蜡。采用水基除蜡剂进行清洗时，为了保证高温蜡被完全去除，水基除蜡剂的温度≥80℃。
作为优选，在对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光后，用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物；
根据需要，还可以包括以下步骤：BJ2在蓝宝石衬底片背面添加激光标识。
J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
J1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴阻尼布，阻尼布的直径与磨盘的相同；
J2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块开有五个通孔3的带有外齿的游星盘2，将蓝宝石衬底片放在通孔3中；
J3如图3所示，在所述游星盘2上设置压块11，所述压块11向游星盘2中的蓝宝石衬底片施加的压力值为150g/cm2，所述压块11与游星盘2之间还包括一个以上的缓冲垫9，所述缓冲垫9与所述压块11之间还包括固定层10；
J4启动双面研抛机，上磨盘6始终保持与下磨盘不接触的状态，下磨盘转速为30 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为30℃，PH值为10.5，流量为300ml/min。
上述步骤J也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规加工。
K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，去除其上的附着物。
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第十九实施例：
除G（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤外，其他操作步骤和参数与第九实施例相同，G步骤如下：
对蓝宝石衬底片7正面进行单面研磨，优选在双面研抛机上进行以下操作：
G1在双面研抛机的上、下磨盘5表面各粘贴一片相同大小、粒度为W180的碳化硅片；
G2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块开有五个通孔3的带有外齿的游星盘2，将蓝宝石衬底片7放在通孔3中；
G3如图4所示，将三个较小尺寸的蓝宝石衬底片7的背面用粘合剂粘在载物盘8的上表面上，将另外三个较小尺寸的蓝宝石衬底片7的背面用粘合剂粘在载物盘8的下表面上，载物盘8与游星盘2上的通孔3尺寸相适应，所述粘合剂耐受温度≥80℃；
G4盖上上磨盘，启动双面研抛机，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5~W5的碳化硼；
载物盘8应选用可耐高温的材料制作，本实施例中，载物盘8为不锈钢片。
上述G步骤增加了一次研磨蓝宝石衬底片的数量，大幅提高效率，更重要的是，无需修改游星盘上的通孔尺寸即可研磨不同尺寸的蓝宝石衬底片
上述粘合剂优选采用高温蜡，上述步骤G也可以采用单面研磨机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面研磨。
I步骤如下：
对蓝宝石衬底片7正面进行单面粗抛光，优选在双面研抛机上进行以下操作：
I1在双面研抛机的上、下磨盘5表面各粘贴厚度为0.5~1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；
I2如图2所示，在双面研抛机的下磨盘5上安装相互啮合的内齿圈1、外齿太阳轮4和五块带有外齿的游星盘2，每块游星盘2上开有五个通孔3，将蓝宝石衬底片7放在通孔3中；
I3如图4所示，将三个较小尺寸的蓝宝石衬底片7的背面用粘合剂粘在载物盘8的上表面上，将另外三个较小尺寸的蓝宝石衬底片7的背面用粘合剂粘在载物盘8的下表面上，载物盘8与游星盘2上的通孔3尺寸相适应，所述粘合剂耐受温度≥80℃；如果上述G步骤采用粘合方式进行单面研磨，则无需本步骤操作；
I4盖上上磨盘，上磨盘对下磨盘5施加压力值为50~250g/cm2，启动双面研抛机，下磨盘5转速为12~60 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~45℃，PH值为10~11.5，流量为120~600ml/min。
载物盘8应选用可耐高温的材料制作，本实施例中，载物盘8为不锈钢片。
上述I步骤增加了一次粗抛光蓝宝石衬底片的数量，大幅提高效率，更重要的是，无需修改游星盘上的通孔尺寸即可抛光不同尺寸的蓝宝石衬底片
上述粘合剂优选采用高温蜡，上述步骤I也可以采用单面抛光机或单面研抛机在同样参数条件下进行常规单面粗抛光。
本实施例中采用的磨料碳化硼的规格为业内常规采用的型号。
实验结果见表1。
第二十实施例
用第十九实施例中的G（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤替换第十一实施例中的G（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤，其余步骤与第十一实施例相同。实验结果见表1。
第二十一实施例
用第十九实施例中的G（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤替换第十二实施例中的G（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤，其余步骤与第十二实施例相同。实验结果见表1。
第二十二实施例
用第十九实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤替换第十三实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤，其余步骤与第十三实施例相同。实验结果见表1。
第二十三实施例
用第十九实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤替换第十四实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤，其余步骤与第十四实施例相同。实验结果见表1。
第二十四实施例
用第十九实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤替换第十五实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤，其余步骤与第十五实施例相同。实验结果见表1。
第二十五实施例
用第十九实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤替换第十六实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤，其余步骤与第十六实施例相同。实验结果见表1。
第二十六实施例
用第十九实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤替换第十七实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤，其余步骤与第十七实施例相同。实验结果见表1。
第二十七实施例
用第十九实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤替换第十八实施例中的（包括G1~G4）、I（包括I1~I4）两步骤，其余步骤与第十八实施例相同。实验结果见表1。
| 实施例编号 | 背面粗糙度 | 正面粗糙度 | 总厚度偏差 | 翘曲度 | 弯曲度 |
| 1 | 0.1~0.40μm | 0.22nm | 2.61μm | 4.12μm | 4.54μm |
| 2 | 0.1~0.40μm | 0.21nm | 2.13μm | 3.88μm | 4.21μm |
| 3 | 0.1~0.40μm | 0.19nm | 1.97μm | 3.27μm | 3.79μm |
| 4 | 0.1~0.40μm | 0.18nm | 1.95μm | 3.10μm | 3.51μm |
| 5 | 0.1~0.40μm | 0.22nm | 2.57μm | 3.96μm | 4.29μm |
| 6 | 0.1~0.40μm | 0.23nm | 2.61μm | 4.36μm | 4.71μm |
| 7 | 0.1~0.40μm | 0.26nm | 2.35μm | 3.71μm | 4.17μm |
| 8 | 0.1~0.40μm | 0.19nm | 1.97μm | 3.27μm | 3.79μm |
| 9 | 0.1~0.40μm | 0.14nm | 2.14μm | 3.45μm | 3.98μm |
| 10 | 0.1~0.40μm | 0.25nm | 2.89μm | 4.31μm | 4.66μm |
| 11 | 0.1~0.40μm | 0.24nm | 2.56μm | 4.04μm | 4.29μm |
| 12 | 0.1~0.40μm | 0.21nm | 2.27μm | 3.62μm | 3.89μm |
| 13 | 0.1~0.40μm | 0.20nm | 2.20μm | 3.41μm | 3.70μm |
| 14 | 0.1~0.40μm | 0.23nm | 2.78μm | 4.36μm | 4.61μm |
| 15 | 0.1~0.40μm | 0.24nm | 2.83μm | 4.53μm | 4.85μm |
| 16 | 0.1~0.40μm | 0.27nm | 2.61μm | 4.11μm | 4.43μm |
| 17 | 0.1~0.40μm | 0.21nm | 2.27μm | 3.62μm | 3.89μm |
| 18 | 0.1~0.40μm | 0.22nm | 2.42μm | 3.73μm | 4.10μm |
| 19 | 0.1~0.40μm | 0.26nm | 2.90μm | 4.39μm | 4.71μm |
| 20 | 0.1~0.40μm | 0.25nm | 2.57μm | 4.10μm | 4.36μm |
| 21 | 0.1~0.40μm | 0.22nm | 2.29μm | 3.65μm | 3.97μm |
| 22 | 0.1~0.40μm | 0.21nm | 2.25μm | 3.49μm | 3.81μm |
| 23 | 0.1~0.40μm | 0.24nm | 2.82μm | 4.40μm | 4.70μm |
| 24 | 0.1~0.40μm | 0.26nm | 2.91μm | 4.69μm | 4.98μm |
| 25 | 0.1~0.40μm | 0.28nm | 2.70μm | 4.16μm | 4.49μm |
| 26 | 0.1~0.40μm | 0.22nm | 2.30μm | 3.71μm | 4.02μm |
| 27 | 0.1~0.40μm | 0.23nm | 2.47μm | 3.89μm | 4.18μm |
表1
由表1可知，上述实施例中，加工出的蓝宝石衬底片各项参数均能达到背面粗糙度0.10~0.40μm，正面粗糙度≤0.30nm，总厚度偏差TTV≤3.00μm，翘曲度warp≤5.00μm，弯曲度bow≤5.00μm，成品率≥98％。
Claims (10)
1.一种图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，包括以下步骤：
A倒角：将蓝宝石衬底片边缘修整成圆弧状；
B用规格为W14~W20的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨；
C用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；
D用规格为W5~W7的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面细研磨；
E用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，并将蓝宝石衬底片烘干；
F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：
F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；
F2第一次升温：电加热炉升温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；
F3第二次升温：电加热炉升温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；
F4第三次升温：电加热炉升温至1200℃~1550℃，恒温60~240分钟；
F5第一次降温：电加热炉降温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；
F6第二次降温：电加热炉降温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；
F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；
G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨；
H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；
I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光；
J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光；
K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗。
2.根据权利要求1所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于所述步骤G包括：
G1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴一片规格为W180的碳化硅片；
G2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；
G3在所述游星盘上设置压块，所述压块向游星盘中的蓝宝石衬底片施加压力值为50~250g/cm2，所述压块与游星盘之间还包括一个以上的缓冲垫，所述缓冲垫与所述压块之间还包括固定层；
G4启动双面研抛机，上磨盘始终保持与下磨盘不接触的状态，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5~W5的碳化硼。
3.根据权利要求1或2所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于所述步骤I包括：
I1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴厚度为0.5~1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与下磨盘的相同；
I2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；
I3在所述游星盘上设置压块，所述压块向游星盘中的蓝宝石衬底片施加的压力值为50~250g/cm2，所述压块与游星盘之间还包括一个以上的缓冲垫，所述缓冲垫与所述压块之间还包括固定层；
I4启动研抛机，上磨盘始终保持与下磨盘不接触的状态，下磨盘转速为12~60 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~45℃，PH值为10~11.5，流量为120~600ml/min。
4.根据权利要求1所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于所述步骤G包括：
G1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴一片相同大小、粒度为W180的碳化硅片；
G2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；
G3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，或者将一个以上的蓝宝石衬底片的背面用粘合剂粘贴在载物盘的上表面和/或下表面上，所述粘合剂耐受温度≥80℃；
G4盖上上磨盘，启动双面研抛机，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5~W5的碳化硼。
5.根据权利要求1所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于所述步骤I包括：
I1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴厚度为0.5~1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径分别与上、下磨盘的相同；
I2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；
I3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，或者将一个以上的蓝宝石衬底片的背面用粘合剂粘贴在载物盘的上表面和/或下表面上，所述粘合剂耐受温度≥80℃；
I4盖上上磨盘，上磨盘对下磨盘施加压力值为50~250g/cm2，启动双面研抛机，下磨盘转速为12~60 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~45℃，PH值为10~11.5，流量为120~600ml/min。
6.根据权利要求4或5所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于所述步骤J之前包括：
BJ1用水基除蜡剂或有机溶剂清洗附着在蓝宝石衬底片上的粘合剂。
7.根据权利要求6所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于：采用水基除蜡剂进行清洗时，温度≥80℃。
8.根据权利要求1所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于所述步骤J包括：
J1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴阻尼布，阻尼布的直径与下磨盘的相同；
J2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；
J3在所述游星盘上设置压块，所述压块向游星盘中的蓝宝石衬底片施加的压力值为50~150g/cm2，所述压块与游星盘之间还包括一个以上的缓冲垫，所述缓冲垫与所述压块之间还包括固定层；
J4启动双面研抛机，上磨盘始终保持与下磨盘不接触的状态，下磨盘转速为10~30 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~30℃，PH值为8.5~10.5，流量为120~300ml/min。
9.根据权利要求1所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于所述步骤D中，研磨完成后，将蓝宝石衬底片背面粗糙度控制在0.10~0.40μm之间。
10.根据权利要求1所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于所述步骤J之前包括：
BJ2在蓝宝石衬底片背面添加激光标识。
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|---|---|---|---|
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