CN103196439B - 转速传感器和用于运行转速传感器的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种转速传感器，其具有包括主延伸平面的衬底、借助探测弹簧能够运动地固定在衬底上的力传递装置和震动质量，其中震动质量通过力传递装置如此能够相对于衬底运动地悬挂，使得震动质量能够借助于驱动装置被激励成绕平行于主延伸平面的驱动轴线的驱动振动，并且在存在平行于主延伸平面并且垂直于驱动轴线的转速时震动质量由于科里奥利力能够被激励成绕垂直于主延伸平面的探测轴线的探测振动，其中，探测弹簧与力传递装置在振动节点的区域中耦合。
Description
技术领域
本发明从转速传感器出发。
背景技术
这样的结构是普遍公知的。例如由文献DE 101 08 196 A1公开了一种具有科里奥利元件的用于测量转速的转速传感器，所述转速垂直于传感器的衬底平面。所述传感器包括第一科里奥利元件和第二科里奥利元件，它们通过弹簧彼此连接并且被激励成平行于驱动轴线的振动，其中第一探测装置和第二探测装置探测第一科里奥利元件和第二科里奥利元件由于作用到科里奥利元件上的科里奥利力平行于衬底平面的偏转，从而第一探测装置的第一探测信号和第二探测装置的第二探测信号的差与科里奥利力相关并且由此也与转速传感器的转速相关。在此，科里奥利元件通过弹簧元件可运动地连接到驱动框架上并且通过驱动框架间接地连接到衬底上。弹簧元件构造为U形弹簧，其包括两个互相平行地延伸的弯曲弹簧，它们通过顶部固定地彼此连接。通过弯曲弹簧的弯曲能够实现驱动框架和科里奥利元件由于科里奥利力的平行于衬底平面的偏转。
此外，构造用于探测平行于衬底平面延伸的转速的转速传感器是已知的。这样的转速传感器例如由文献WO 2005/043 079 A2公开。所述转速传感器具有类似的功能原理，其中科里奥利元件被驱动成绕平行于主延伸平面并且垂直于转速延伸的驱动轴线的驱动振动并且由于科里奥利力被偏转成绕垂直于衬底平面的探测轴线的探测振动。
在所有所述的转速传感器中，驱动振动和探测振动是不可完全彼此分离的，从而由制造公差决定地产生从驱动运动到探测运动的串扰。所述串扰不利地产生正交信号，其振幅通常比真正的测量信号高四倍。必须耗费地通过合适的措施在设计转速传感器时(例如，有源的所连接的补偿电极)以及在测量信号的电处理时抑制所述正交信号。微机械转速传感器中的正交信号的主要原因在于，由于制造公差不能理想地加工用于悬挂科里奥利元件和驱动装置的所使用的弹簧元件。如果所述弹簧元件受力(例如产生驱动运动)，则其不仅与所施加的力平行地偏转也与所述方向(例如平行于探测方向)正交地偏转，从而实现驱动运动到探测运动中的串扰。
发明内容
根据本发明的转速传感器和根据本发明的用于运行转速传感器的方法相对于现有技术具有以下优点：正交信号显著降低。这通过如下方式实现：探测弹簧在振动节点的区域中耦合在力传递装置上。当激励震动质量进行驱动振动时，所述力传递装置优选在振动节点的区域中保持静止，从而抑制探测弹簧由于驱动振动的变形。通过所述方式抑制驱动振动到探测振动中的串扰，从而使正交信号的形成最小化。特别地因此实现由震动质量和力传递装置组成的系统在衬底上的几乎无力和力矩的悬挂。因此，有利地，不需要补偿结构或者耗费的信号处理。所述探测弹簧分别尤其间接地或直接地连接到衬底上或衬底锚定部上。根据本发明的转速传感器尤其包括MEMS部件(微机电系统)，所述MEMS部件在半导体生产工艺中制成。衬底优选包括半导体材料，尤其是硅，其被相应地结构化以构造震动质量、探测弹簧和力传递装置。在此，所述结构化优选在光刻法、蚀刻法、沉积法和/或键合法的范畴内实现。
根据一个优选实施方式，力传递装置通过弹簧元件如此与震动质量耦合，使得力传递装置能够通过震动质量的驱动振动被激励成具有振动节点的驻波。有利地，力传递装置如此构造，使得力传递装置通过由于力传递装置与以驱动振动形式振动的震动质量的耦合的激励被激励成驻波。驻波构成一些振动节点，这些振动节点与力传递装置的其余部分相比几乎保持静止，从而不会由于从震动质量串扰到力传递装置上的驱动振动引起探测弹簧的弯曲应力。力传递装置优选在驱动轴线的区域中与震动质量耦合，从而有利地不引起力传递装置垂直于主延伸平面的平移运动。由此有利于振动节点的静止位置。
根据一个有利的实施方式，转速传感器具有至少一个相邻的另外的震动质量，其借助于另外的驱动装置能够被激励成绕平行于驱动轴线的另外的驱动轴线的另外的驱动振动，其中所述驱动振动和所述另外的驱动振动是彼此反相地定向，其中所述震动质量和所述另外的震动质量优选通过至少一个弹簧区域彼此弹簧弹性地连接。因此，有利地能够实现转速的差分分析处理。所述震动质量和所述另外的震动质量通过弹簧区域的耦合有利地能够实现运动自由度的限制，从而抑制额外的振动模式和尤其寄生平行模式的形成。弹簧区域尤其包括将所述震动质量和所述另外的震动质量彼此连接的区域，其具有比所述振动质量和所述另外的振动模块更小的材料厚度，从而弹簧区域的刚性相对于所述震动质量和所述另外的震动质量降低并且因此能够实现所述震动质量相对于所述另外的振动质量的弹簧弹性的弯曲。
根据一个优选的实施方式，力传递装置通过至少一个驱动弹簧与震动质量耦合，其中所述驱动弹簧包括弯曲弹簧，所述弯曲弹簧沿着基本上平行于转速的感应方向在力传递装置与震动质量之间或在力传递装置的凸起与震动质量的另一凸起之间延伸。此外，驱动弹簧优选平行于驱动轴线延伸。因此，有利地实现震动质量在力传递装置上的悬挂，所述力传递装置能够实现震动质量绕驱动轴线的驱动振动的形成。驱动弹簧尤其按照薄膜铰链的方式间接或直接地构造在震动质量和力传递装置之间。特别地，仅仅导致驻波形成的转矩通过驱动弹簧引入力传递装置中。此外，驱动弹簧还用于为了探测转速而将震动质量绕探测轴线的探测运动传递到力传递装置上。构造为驱动弹簧的板式弹簧在转速传感器的功能层中如此确定尺寸，使得驱动弹簧不具有或者仅仅具有最小的固有正交运动。
根据一个优选的实施方式，探测弹簧包括弯曲弹簧，所述弯曲弹簧的一个端部区域在驻波的振动节点中配合在力传递装置上并且所述弯曲弹簧的另一端部区域配合在固定在衬底上的锚定点上，其中弯曲弹簧相对于绕平行于探测轴线的弯曲轴线的弯曲比相对于绕平行于主延伸平面的弯曲轴线的弯曲更软，其中弯曲弹簧优选基本上相对于探测轴线径向地设置。因此，探测弹簧有利地实现力传递装置由于震动质量的探测振动绕探测轴线的旋转。有利地，同时通过探测弹簧连接到振动节点上来抑制正交信号的产生，即使弯曲弹簧作为梁式弹簧原则上是正交性的。
根据一个优选的实施方式，震动质量包括第一质量元件和第二质量元件，其中驱动轴线在第一质量元件和第二质量元件之间延伸，其中第一质量元件和第二质量元件通过耦合弹簧彼此耦合，其中第一质量元件和第二质量元件优选分别通过驱动弹簧与力传递装置耦合。优选地，无论驱动弹簧还是耦合弹簧都设置在第一质量元件和第二质量元件之间。耦合弹簧尤其包括将第一质量区域和第二质量区域彼此连接的区域，具有相对于第一质量区域和第二质量区域减小的材料厚度(垂直于主延伸平面)，从而耦合弹簧的刚性相对于第一质量区域和第二质量区域降低和/或力传递装置的部分区域可以在第一质量区域和第二质量区域之间延伸，而不连接到所述部分区域上。此外可考虑：当力传递装置的部分区域连接到耦合弹簧上时，在所述区域中耦合弹簧充当驱动弹簧。
根据一个优选的实施方式，转速传感器具有框架，所述框架包括两个平行于感应方向延伸的力传递装置和至少一个平行于驱动轴线在两个力传递装置之间延伸的中间区段，其中中间区段优选设置在第一质量元件和第二质量元件之间。因此，有利地实现由力传递装置和震动质量构成的稳定的、扭转刚性且结构空间紧凑的结构。
根据一个有利的实施方式，力传递装置与配置用于探测探测振动的探测结构连接，其中所述探测结构包括刚性地与力传递装置连接的探测电极以及分配给探测电极的固定在衬底上的固定电极，其中探测电极有利地基本上平行于驱动轴线或基本相对于探测轴线径向地设置。因此，有利地实现探测运动的精确探测以确定转速。
本发明的另一主题是用于运行所述转速传感器的方法，其中借助于驱动装置激励震动质量绕驱动轴线进行驱动振动，其中将驱动振动如此耦合输入到力传递装置中，使得在力传递装置中产生驻波，其中借助于探测弹簧将力传递装置固定在驻波的振动节点上。有利地，将力传递装置固定在驻波的振动节点上，从而不产生由驱动振动引起的探测弹簧弯曲并且因此抑制正交信号的形成。
根据一个有利的实施方式，借助于与力传递装置刚性连接的探测结构电容式地探测震动质量的由科里奥利力引起的绕探测轴线的探测振动。因此，有利地能够实现探测振动的精确测量为确定转速。
优选地，构造为驱动弹簧的板式弹簧在转速传感器的功能层中如此确定尺寸，使得驱动弹簧不具有或至少仅仅具有最小的固有正交运动。
本发明的实施例在附图中示出并且在以下描述中详细阐述。
附图说明
附图示出：
图1a、1b和1c：根据本发明的第一实施方式的转速传感器的示意性视图和细节视图，
图2a、2b和2c：用于阐明根据本发明的第一实施方式的转速传感器的运动的示意性视图，
图3a、3b和3c：根据本发明的第二实施方式的转速传感器的示意性视图和细节视图。
具体实施方式
在不同的附图中相同的部分总是设有相同的参考标记并且因此通常也分别仅仅说明或提及一次。
在图1a中示出了根据本发明的第一实施方式的转速传感器1的示意图。转速传感器1具有衬底2，所述衬底具有主延伸平面100。衬底2优选包括已经在半导体制造工艺中结构化的硅衬底。转速传感器1还具有一个震动质量50和两个另外的震动质量51，其中震动质量50设置在两个另外的震动质量51之间。相邻的震动质量50和另外的震动质量51可选地通过共同的弹簧区域52弹簧弹性地彼此耦合。震动质量50可绕平行于主延伸平面100的驱动轴线102摆动并且可借助于未示出的驱动装置被驱动成绕驱动轴线102的转动振动形式的驱动振动102’。另外的震动质量51类似地可被驱动成分别绕平行于驱动轴线102的另外的驱动轴线的另外的驱动振动，其中所述另外的驱动振动分别相对于所述驱动振动102’反相。
转速传感器1还具有闭合的框架43，所述闭合的框架包括两个直线地并且平行于感应轴线103(平行于主延伸平面100并且垂直于驱动轴线102延伸)延伸的力传递装置40。两个力传递装置40通过三个平行于驱动轴线102延伸的中间区段44连接。震动质量50和两个另外的震动质量51分别包括一个第一质量元件53和一个第二质量元件54。第一和第二质量元件53、54分别通过耦合弹簧55弹簧弹性地或刚性地彼此连接。中间区段44以及驱动轴线102或者另一驱动轴线分别在第一和第二质量元件53、54之间延伸。第一和第二质量元件53、54还分别通过驱动弹簧41与中间区段44耦合并且因此与力传递装置40耦合。驱动弹簧41包括扁平地平行于主延伸平面100延伸的弯曲弹簧，所述弯曲弹簧按照薄膜铰链的方式起作用并且允许震动质量50相对于力传递装置40的驱动振动102’或者另外的震动质量51相对于力传递装置40的另外的驱动振动。力传递装置40在此在驱动轴线102或者另外的驱动轴线的区域中与震动质量50、51耦合，从而基本上仅仅相应的转矩从驱动振动102’耦合输入到力传递装置40中(在图2a中示意性地示出)。力传递装置40如此确定尺寸，使得由于所述转矩在力传递装置40中形成驻波70(图2b中示意性地示出)。驻波70具有振动节点71，在所述振动节点中力传递装置40与力传递装置40的其余区域相比几乎处于静止。
转速传感器1还具有四个探测弹簧30，所述四个探测弹簧用于框架43悬挂在衬底2上。探测弹簧30为此与力传递装置40如此耦合，使得探测弹簧30的一个端部区域31分别在振动节点71的区域中配合在力传递装置40上，而探测弹簧30的背离所述端部区域31的另一端部区域间接地或直接地与衬底2连接。由于探测弹簧30的所述定位，由驱动振动引起的力或力矩不从力传递装置40传递到探测弹簧30中，从而探测弹簧30也不会因为驱动振动而弯曲并且正交信号的产生因此被抑制。然而，同时探测弹簧30能够实现框架43绕垂直于主延伸平面100延伸的探测轴线101的旋转，因为探测弹簧30构造成相对于绕平行于探测轴线101的弯曲轴线的弯曲比相对于绕平行于主延伸平面100的弯曲轴线的弯曲更软。
在存在平行于感应轴线103的转速103’的情况下，绕探测轴线101的科里奥利力作用到绕驱动轴线102振动的震动质量50、51上(在图2c中示意性示出)，从而框架32通过驱动弹簧41激励成绕探测轴线101的探测振动101’。力传递装置40分别与探测结构60连接。两个探测结构60中的每一个包括与力传递装置40刚性连接的探测电极61和相应的固定在衬底上的固定电极，其中探测电极61基本上在径向上绕探测轴线101延伸。因此，绕探测轴线101的探测运动101’导致探测电极61和固定电极之间的距离改变，所述距离改变被电容式地以及差分式地分析处理并且被用于转速103’的确定。
在图1b中示出了根据在图1a中示出的第一实施方式的转速传感器1的细节视图，其中所述细节视图具有震动质量51和中间区段44。在图1a中可以看到中部区段200，在所述中部区段中第一和第二质量元件53、54通过基本上刚性的耦合弹簧55彼此连接。耦合弹簧55在此不直接与中间区段44连接，而是与中间区段44间隔开。在与中部区段200邻接的侧面区段201中，第一和第二质量元件53、54通过驱动弹簧41直接彼此连接并且与中间区段44耦合。驱动弹簧41在此尤其构造为板式弹簧。在图1c中示出了在图1b中示出的中部区段200的细节视图。可以看到中间区段44不直接与耦合区域55连接，而是在中部区段200中在中间区段44与耦合区域55之间构造有自由空间202。
在图2a、2b和2c中示意性地并且简化地示出了根据本发明的第一实施方式的转速传感器1的视图，以便阐明转速传感器的部件的工作原理和运动。震动质量50、51通过弹簧区域52如此彼此连接，使得同相运动明显位于反相运动的谐振频率以上。此外，驱动弹簧41和耦合弹簧55实施为在驱动振动时是非正交的，由此这些弹簧不产生正交信号。在图2a中在示意性侧视图中示出了驱动振动。可以看到震动质量50绕驱动轴线102振动并且另外的震动质量51反相地绕另外的驱动轴线振动。在转动点中，即在驱动轴线102和另外的驱动轴线的区域中，力传递装置40通过驱动弹簧41与震动质量50、51耦合。例如，借助于震动质量50、51与衬底2之间的面电极形式的驱动装置电容式性地激励震动质量50、51进行驱动振动102’(按照平板电容器驱动的方式)。在力传递装置40中形成在图2b中示意性示出的驻波70。震动质量50、51和力传递装置40和驱动弹簧41如此构造，使得所有耦合输入到力传递装置40中的转矩和力的总和基本上是零。因此没有使框架43朝一个方向加速的力耦合输出到框架43上。然而，在每个震动质量50、51上，一个力矩传递到力传递装置40上。在震动质量50、51的适当耦合的情况下，耦合区域55产生一个振动模式，在所述振动模式中这些力矩不导致摆动运动而使力传递装置40振动。详细地，框架43由于所施加的力矩而经受弯曲负荷。如果将力传递装置40(振动的震动质量50、51锚定到所述力传递装置中)看作弯曲梁，则可以确定所述梁的弯曲线。结果得到在图2b中示出的驻波70的形式的变形。因为力矩正弦状地以驱动振动102’的振动频率变化，所以在框架43的力传递装置40上产生具有三个振动节点71的驻波并且力传递装置40的振动的最终弯曲力矩补偿由震动质量50、51耦合输入到力传递装置40中的力矩。驻波70的振幅决定性地由框架43的刚性确定，然而在合适选择尺寸的情况下明显低于驱动振动102’振幅的1％。框架43的悬挂通过通常必须实施为具有正交性的梁式弹簧的探测弹簧30实现。因此，所介绍的转速传感器1的正交通过探测弹簧30上的驱动正比的运动定义。由框架43和震动质量50、51构成的结构的悬挂点通过力传递装置40的弯曲确定并且位于振动节点71上，因为振动节点71在纯驱动运动的情况下保持静止并且探测弹簧30因此不再承受驱动正比的力。有利地，由此正交信号可忽略，即使探测弹簧30实施为(原则上具有正交性的)梁式弹簧。
在图2c中示出了根据本发明的第一实施方式的转速传感器1的俯视图。在存在沿着感应方向103的转速103’的情况下(所述感应方向与沿着驱动轴线的驱动振动重合)，科里奥利力300作用到震动质量50、51上，由此绕平行于探测轴线101延伸的轴线的相应转矩301上作用到震动质量50、51上。这些转矩301相加得到作用到框架43上的最终转矩，其使框架43绕探测轴线101进行探测振动。随后借助于探测结构60来探测所述探测振动。为了获得探测信号，如此实施震动质量50、51之间的耦合区域55和/或驱动弹簧41，使得震动质量50、51或第一和第二质量元件53、54相互间的剪切运动是不可能的并且与驱动运动类似的振动模式被抑制。整个传感器结构关于科里奥利元件充当刚性体并且在施加的转速103’下开始旋转。耦合区域55和驱动弹簧41沿着平行于驱动轴线102的方向的最大刚性设计导致最大测量效果。所述特性例如由(不正交的)在图1b中示出并且构造为铰链弹簧的驱动弹簧41来满足。在根据本发明的转速传感器1中，通过探测弹簧61的弯曲负荷直接产生正交信号是可忽略的。然而，驱动正比的信号的另一可能的耦合输入通过力传递装置40的弯曲给出：在其上固定的探测电极61相应于框架弯曲与驱动运动成正比地运动并且这样可以引入不期望的驱动正比的信号。然而，通过探测电极61在力传递装置40两侧上的对称实施实现了所述运动的补偿。旋转的探测运动使两个电极面61反相偏转，其中所有与驱动运动成正比的电极运动由于力传递装置40的弯曲在两个探测结构60中是经调整的。因此，通过差分的分析处理，所述不期望的信号被补偿并且不作为转速信号出现。
在图3a、3b和3c中示出了根据本发明的第二实施方式的转速传感器1的示意图和细节视图，其中第二实施方式基本上与在图1a中示出的第一实施方式相同，其中不同的是根据第二实施方式的转速传感器1不具有中间区段44以及震动质量50、51不由第一和第二质量元件53、54组成。力传递装置40对于每个震动质量50、51分别具有两个凸起42，所述凸起朝着震动质量50、51的方向从力传递装置40伸出并且在两个凸起之间设置有相应的震动质量50、51的相应的另一凸起56。在两个凸起42和另一凸起56之间分别构造有构造为板式弹簧的驱动弹簧41。在图3b中示出了所述悬挂的细节视图。震动质量50通过弹簧区域52与相邻的另一震动质量51弹簧弹性地耦合，所述弹簧区域52在图3c中详细示出。此外，与第一实施方式不同地，探测电极61不是相对于探测轴线101径向构造的，而是取而代之地平行于驱动轴线102构造的。此外，转速传感器1还具有两个额外的驱动弹簧30’，其分别在中间的振动节点71的区域中配合到力传递装置40上。
Claims (15)
1.转速传感器(1)，其具有包括主延伸平面(100)的衬底(20)、借助于探测弹簧(30)能够运动地固定在所述衬底(20)上的力传递装置(40)和震动质量(50)，其中，所述震动质量(50)通过所述力传递装置(40)如此能够相对于所述衬底(20)运动地悬挂，使得所述震动质量(50)能够借助于驱动装置被激励成绕平行于所述主延伸平面(100)的驱动轴线(102)的驱动振动(102’)，并且在存在平行于所述主延伸平面(100)并且垂直于所述驱动轴线(102)的转速(103’)时所述震动质量(50)由于科里奥利力能够被激励成绕垂直于所述主延伸平面(100)的探测轴线(101)的探测振动(101’)，其特征在于，所述探测弹簧(30)与所述力传递装置(40)在振动节点(71)的区域中耦合。
2.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其中，所述力传递装置(40)通过驱动弹簧(41)与所述震动质量(50)耦合，使得力传递装置(40)能够通过所述震动质量(50)的驱动振动被激励成具有所述振动节点(71)的驻波(70)，和/或，所述力传递装置(40)在所述驱动轴线(102)的区域中与所述震动质量(50)耦合。
3.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其中，所述转速传感器(1)具有至少一个相邻的另外的震动质量(51)，其能够借助于另外的驱动装置被激励成绕平行于所述驱动轴线(102)的另外的驱动轴线的另外的驱动振动，其中，所述驱动振动和所述另外的驱动振动彼此反相地定向，其中，所述震动质量(50)和所述另外的震动质量(51)彼此连接。
4.根据权利要求2所述的转速传感器(1)，其中，所述驱动弹簧(41)包括弯曲弹簧，所述弯曲弹簧沿着基本上平行于所述转速的感应方向(103)在所述力传递装置(40)与所述震动质量(50)之间或者在所述力传递装置(40)的凸起(42)与所述震动质量(50)的另一凸起(56)之间延伸。
5.根据权利要求2所述的转速传感器(1)，其中，所述探测弹簧(30)包括弯曲弹簧，所述弯曲弹簧的一个端部区域(31)在所述驻波(70)的振动节点(71)中配合在所述力传递装置(40)上，并且所述弯曲弹簧的另一个端部区域(32)配合在固定在衬底上的锚定点上，其中，所述探测弹簧(30)相对于绕平行于所述探测轴线(101)的弯曲轴线的弯曲比相对于绕平行于所述主延伸平面的弯曲轴线的弯曲更软。
6.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其中，所述震动质量(50)包括第一质量元件(53)和第二质量元件(54)，其中，所述驱动轴线(102)在所述第一质量元件和所述第二质量元件之间延伸，其中，所述第一质量元件和所述第二质量元件通过耦合弹簧(55)彼此耦合，其中，所述第一质量元件和所述第二质量元件与所述力传递装置(40)耦合。
7.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其中，所述转速传感器(1)具有框架(43)，所述框架包括两个平行于感应方向(103)延伸的力传递装置(40)和至少一个平行于所述驱动轴线(102)在两个力传递装置(40)之间延伸的中间区段(44)。
8.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其中，所述力传递装置(40)与探测结构(60)连接，所述探测结构配置用于探测所述探测振动，其中，所述探测结构(60)包括与所述力传递装置(40)刚性连接的探测电极(61)和分配给所述探测电极(61)的固定在衬底上的固定电极。
9.根据权利要求3所述的转速传感器(1)，其中，所述震动质量(50)和所述另外的震动质量(51)通过至少一个弹簧区域(52)弹簧弹性地彼此连接。
10.根据权利要求5所述的转速传感器(1)，其中，所述探测弹簧(30)基本上相对于所述探测轴线(101)径向地设置。
11.根据权利要求6所述的转速传感器(1)，其中，所述第一质量元件和所述第二质量元件分别通过一驱动弹簧(41)与所述力传递装置(40)耦合。
12.根据权利要求7所述的转速传感器(1)，其中，所述中间区段(44)设置在第一质量元件(53)和第二质量元件(54)之间。
13.根据权利要求8所述的转速传感器(1)，其中，所述探测电极(61)基本上平行于所述驱动轴线(102)或者基本上相对于所述探测轴线(101)径向地设置。
14.用于运行根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1)的方法，其中，借助于所述驱动装置激励所述震动质量(50)进行绕所述驱动轴线(102)的驱动振动，其中，所述驱动振动如此耦合输入到所述力传递装置(40)中，使得产生所述力传递装置(40)中的驻波(70)，其中，借助于探测弹簧(30)将所述力传递装置(40)固定在所述驻波的振动节点(71)上。
15.根据权利要求14所述的方法，其中，借助于与所述力传递装置(40)刚性连接的探测结构(60)电容式地探测由科里奥利力引起的所述震动质量(50)绕所述探测轴线(101)的探测振动。
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