CN103184530A - 带镁棒接口的单晶炉上炉体 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种带镁棒接口的单晶炉上炉体，其特征在于：它包括上炉体本体（1），所述上炉体本体（1）包括内壁（2）和外壁（3），所述内壁（2）和外壁（3）之间设有水夹层（4），所述外壁（3）上开设有镁棒接口（5），所述镁棒接口（5）与水夹层（4）相连通，所述外壁（3）上开设有与水夹层（4）相连通的进水口（6）和出水口（7），所述内壁（2）和外壁（3）的上下两端分别连有上法兰（8）和下法兰（9）。这种带镁棒接口的单晶炉上炉体在外壁上开设了镁棒接口，镁棒接口与内壁与外壁之间的水夹层相连通，镁棒接口中插入镁棒后，将代替内壁和外壁上的铁与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀。
Description
技术领域
本发明涉及一种带镁棒接口的单晶炉上炉体，属于单晶硅的生产制造设备领域。
背景技术
单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、下炉体、上炉体、炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。
以往的单晶炉上炉体只有单层炉壁，而单晶炉工作过程中上炉体部分长时间处于高温状态，所以炉壁很容易损坏，从而影响了上炉体的使用寿命，因此在上炉体的内壁与外壁之间增设了水夹层来对炉壁降温，但自来水中含有大量的氯离子，氯离子对不锈钢炉壁会产生腐蚀作用，这会缩短副体的使用寿命。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足，提供一种炉壁不易腐蚀、使用寿命较长的单晶炉上炉体。
本发明的目的是这样实现的：
本发明带镁棒接口的单晶炉上炉体，包括上炉体本体，所述上炉体本体包括内壁和外壁，所述内壁和外壁之间设有水夹层，所述外壁上开设有镁棒接口，所述镁棒接口与水夹层相连通，所述外壁上开设有与水夹层相连通的进水口和出水口，所述内壁和外壁的上下两端分别连有上法兰和下法兰。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
这种带镁棒接口的单晶炉上炉体在外壁上开设了镁棒接口，镁棒接口与内壁与外壁之间的水夹层相连通，镁棒接口中插入镁棒后，将代替内壁和外壁上的铁与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀。
附图说明
图1为本发明带镁棒接口的单晶炉上炉体的结构示意图。
其中：上炉体本体1、内壁2、外壁3、水夹层4、镁棒接口5、进水口6、出水口7、上法兰8、下法兰9。
具体实施方式
参见图1，本发明涉及的带镁棒接口的单晶炉上炉体，它包括上炉体本体1，所述上炉体本体1包括内壁2和外壁3，所述内壁2和外壁3之间设有水夹层4，所述水夹层4中通入自来水用于对上炉体降温，所述外壁3上开设有镁棒接口5，所述镁棒接口5与水夹层4相连通，镁棒接口5中插入镁棒后，将代替内壁2和外壁3上的铁与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀，所述外壁3上开设有与水夹层4相连通的进水口6和出水口7，所述内壁2和外壁3的上下两端分别连有上法兰8和下法兰9，其中上法兰8用于连接上炉体上方的单晶炉隔离阀，下法兰9用于连接单晶炉下炉体。
Claims (1)
1.一种带镁棒接口的单晶炉上炉体，其特征在于：它包括上炉体本体（1），所述上炉体本体（1）包括内壁（2）和外壁（3），所述内壁（2）和外壁（3）之间设有水夹层（4），所述外壁（3）上开设有镁棒接口（5），所述镁棒接口（5）与水夹层（4）相连通，所述外壁（3）上开设有与水夹层（4）相连通的进水口（6）和出水口（7），所述内壁（2）和外壁（3）的上下两端分别连有上法兰（8）和下法兰（9）。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 201110455599 CN103184530A (zh) | 2011-12-31 | 2011-12-31 | 带镁棒接口的单晶炉上炉体 |
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Publications (1)
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| CN103184530A true CN103184530A (zh) | 2013-07-03 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2011
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C05 | Deemed withdrawal (patent law before 1993) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130703 |