CN103184529A - 单晶炉的取棒装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种单晶炉的取棒装置,其特征在于:它包括机架(1)和升降杆(3),所述机架(1)上固定有上下两块夹持板(2),所述升降杆(3)穿过两块夹持板(2)上的通孔,所述升降杆(3)底部连有油缸(4),升降杆(3)的中部固定有钳子(5)。所述升降杆(3)的下部设有两个挡块(6),所述升降杆(3)与两个挡块(6)的连接处各开有一个环形凹槽(3.1),所述两个挡块(6)的一端套在环形凹槽(3.1)上,使挡块(6)与升降杆(3)活动连接。这种单晶炉的取棒装置能方便地将单晶硅晶棒取出,同时取出晶棒时不会抖动,使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会断裂,从而保证了操作的安全。
Description
技术领域
本发明涉及一种单晶炉的取棒装置,属于单晶硅的生产制造设备技术领域。
背景技术
单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体,是一种良好的半导体材料,目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。目前单晶硅的生长技术有两种:区熔法和直拉法,其中直拉法是目前普遍采用的方法。在直拉法制造单晶硅时,单晶硅会被拉拔成晶棒,需要将其从单晶炉中取出。目前将单晶硅晶棒取出的方法是由操作人员带上手套,用钳子将晶棒夹出。然而这样的操作方式存在一定危险性,单晶硅晶棒的破裂强度与抗拉强度均较小,且晶棒在下降过程中存在一定的晃动,因此晶棒很容易出现断裂,存在极大的安全隐患。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足,提供一种完全可靠,能保证不出现断裂的单晶炉的取棒装置。
本发明的目的是这样实现的:
本发明单晶炉的取棒装置,包括机架和升降杆,所述机架上固定有上下两块夹持板,所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔,所述升降杆底部连有油缸,升降杆的上部固定有钳子,所述升降杆的下部设有两个挡块,所述升降杆与两个挡块的连接处各开有一个环形凹槽,所述两个挡块的一端套在环形凹槽上,使挡块与升降杆活动连接。
这种单晶炉的取棒装置具有以下优点:
这种单晶炉的取棒装置将机架放置于单晶炉旁的地面上后,用钳子夹住单晶硅晶棒的上部,并将两个挡块一左一右夹持住晶棒下部,随后松开两块夹持板,并用油缸推动升降杆上升,从而取出单晶硅晶棒。这样便能方便地将单晶硅晶棒取出,同时取出晶棒时不会抖动,使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会断裂,从而保证了操作的安全。
附图说明
图1为本发明单晶炉的取棒装置的结构示意图。
图2为图1中升降杆的结构示意图。
图中:机架1、夹持板2、升降杆3、环形凹槽3.1、油缸4、钳子5、挡块6。
具体实施方式
参见图1和图2,本发明涉及的一种单晶炉的取棒装置,包括机架1和升降杆3,所述机架1上固定有上下两块夹持板2,所述升降杆3穿过两块夹持板2上的通孔,所述升降杆3底部连有油缸4,升降杆3的上部固定有钳子5,所述升降杆3的下部设有两个挡块6,所述升降杆3与两个挡块6的连接处各开有一个环形凹槽3.1,所述两个挡块6的一端套在环形凹槽3.1上,使得挡块6与升降杆3活动连接,挡块6能在升降杆3上360°范围内转动。
当需要夹起单晶硅晶棒时,将机架1放置于单晶炉旁的地面上,用钳子5夹住单晶硅晶棒的上部,随后将两个挡块6一左一右转动,夹持住单晶硅晶棒的下部,使其不会晃动,随后松开两块夹持板2,并用油缸4推动升降杆3上升,从而取出单晶硅晶棒。这样便能方便地将单晶硅晶棒取出,并且可以保证操作人员的完全,同时取出晶棒时不会抖动,使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会碰到单晶炉,从而保证了单晶硅晶棒的质量。
Claims (1)
1.一种单晶炉的取棒装置,其特征在于:它包括机架(1)和升降杆(3),所述机架(1)上固定有上下两块夹持板(2),所述升降杆(3)穿过两块夹持板(2)上的通孔,所述升降杆(3)底部连有油缸(4),升降杆(3)的上部固定有钳子(5),所述升降杆(3)的下部设有两个挡块(6),所述升降杆(3)与两个挡块(6)的连接处各开有一个环形凹槽(3.1),所述两个挡块(6)的一端套在环形凹槽(3.1)上,使挡块(6)与升降杆(3)活动连接。
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CN 201110455234 CN103184529A (zh) | 2011-12-31 | 2011-12-31 | 单晶炉的取棒装置 |
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CN 201110455234 CN103184529A (zh) | 2011-12-31 | 2011-12-31 | 单晶炉的取棒装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN103184529A true CN103184529A (zh) | 2013-07-03 |
Family
ID=48675963
Family Applications (1)
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CN 201110455234 Pending CN103184529A (zh) | 2011-12-31 | 2011-12-31 | 单晶炉的取棒装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103184529A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107299389A (zh) * | 2017-08-23 | 2017-10-27 | 马四海 | 一种cz直拉法硅单晶炉副室取棒装置 |
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2011
- 2011-12-31 CN CN 201110455234 patent/CN103184529A/zh active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C05 | Deemed withdrawal (patent law before 1993) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130703 |