CN103182630B - 镭射开孔装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种制造金属屏蔽的方法，包括将一金属框套设于一工作台的支撑装置外围。接着，将一金属薄板平置于该金属框与该支撑装置共构的一顶面。接下来，将该金属薄板与该金属框焊接，以形成一屏蔽雏型。最后，藉由一镭射开孔装置对该屏蔽雏型执行一镭射开孔作业，用以在该金属薄板上形成复数个网孔。相较于先前技术，本发明是先将该金属薄板平置于该金属框上并与该金属框焊接后，才进行该镭射开孔作业，故可避免该金属屏蔽的网孔发生变形或位移的问题，进而提高该金属屏蔽的良率。

Description

镭射开孔装置

技术领域

本发明涉及金属屏蔽的制造方法及用于制造该金属屏蔽的镭射开孔装置，尤其涉及一种可提高良率的屏蔽制造方法及镭射开孔装置。

背景技术

现有技术中，主动矩阵有机发光二极管(Active-matrixorganiclight-emittingdiode,AMOLED)蒸镀罩的制造方法是先以图案化蚀刻的方式在一片厚度仅约40μm的金属薄板上形成多个微小的网孔，以作成一蒸镀网。该蒸镀网上的每一网孔的大小仅约50μm，且相邻网孔之间的间距仅约70μm。

另一种制造上述蒸镀网的方法，如美国专利公开第2011/0183271号所示，该方法是先在一金属薄板上形成复数个(长条)孔，再利用激光束将这些孔的孔壁修整成斜面状，从而形成该蒸镀网上的网孔。

如图10所示，当蒸镀网80完成后，将该蒸镀网80置于一金属框82上，并利用多个夹具(图中未示)将该蒸镀网80的各边(至少两边)加以夹持并向外拉伸，以拉平该蒸镀网80。然而，由于该蒸镀网80及其上的这些第一网孔801的尺寸都是微米等级。故，要在该蒸镀网80的第一网孔801不变形的前提下将该蒸镀网80拉平，并非易事。

一般来说，在拉平一张蒸镀网的过程中，通常需要将该蒸镀网与一母玻璃进行比对作业，若该蒸镀网的网孔与该母玻璃上的标准网孔位置相对齐，则代表该蒸镀网的网孔被这些夹具的拉过之后没有产生变形，随后即可将该蒸镀网焊接固定于该金属框，并藉由一总间距(Totalpitch)量测机执行总间距检查，以确认该蒸镀网的网孔位置是否位在可容许的误差范围内。该蒸镀网的网孔通常被要求需符合总间距误差(totalpitcherror)小于±5μm，及符合其与母玻璃的标准网孔的开孔精度误差小于±3μm的双重检查标准。然而，若比对结果不在上述的检查标准内，就表示该蒸镀网上的网孔在该些夹具拉伸该蒸镀网的过程中发生变形或位移，此时就需要去调整该些夹具的拉伸力道，直到比对结果符合检查标准为止。

上述蒸镀罩的制造方法不但步骤复杂，且在该些夹具拉伸该蒸镀网的过程中，很容易导致该蒸镀网的网孔变形或位移，而需要花费很多时间去调整该些夹具的拉伸力道。此外，在将该蒸镀网焊接到该金属框的过程中，该蒸镀网的网孔也有可能会发生变形或位移，故焊接完成后还需要花费许多工夫去执行Totalpitch检查。由此可知，这种习知的AMOLED蒸镀罩制造方法一直存在着制造效率差及良率低落的问题而亟待解决。

图11为台湾公开第200526794号专利申请案所揭露的又一种AMOLED蒸镀罩制造装置的分解结构示意图。该制造方法是先将一金属薄板91贴于一张网架92中间的网布920上，藉由该网布920使该金属薄板91的表面维持水平。接着，利用镭射切割在该金属薄板91形成多个第二网孔910。再将一固定框93置于该金属薄板91底部，并利用第一冶具94、第二冶具95将该固定框93及该金属薄板91压合，以进行焊接作业，使得该固定框93与该金属薄板91焊接在一起。最后，将该固定框93连同该金属薄板91从该张网架92上裁切下来，以得到该蒸镀罩。

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供了一种金属屏蔽的制造方法及用于制造金属屏蔽的镭射开孔装置，能够有效提高产品良率。

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：该制造方法包括执行一金属框入料作业，用以将一金属框置于一工作台上，该工作台具有一支撑装置，并使该金属框套设于该支撑装置外围。接着，执行一金属薄板入料作业，用以将一金属薄板平置于该金属框与该支撑装置所共构的一顶面上。接下来，执行一焊接作业，用以将该金属薄板与该金属框焊接在一起，以形成一屏蔽雏型。最后，藉由一镭射开孔装置执行一镭射开孔作业，用以在该屏蔽雏型的金属薄板上形成复数个网孔。

其中，该镭射开孔装置包括一机台、能够移动设于该机台上的一移载机构、设于该移载机构的一镭射头及一计算机装置。该计算机装置用以控制该移载机构连同该镭射头的移动，并控制该镭射头执行该雷射开孔作业。

较佳地，该镭射开孔装置还包括一检查装置，该检查装置设于该移载机构上。

本发明的制造方法还包括藉由该检查装置执行一检查作业及一校正作业。该计算机装置在该镭射头进行该镭射开孔作业时，控制该检查装置执行该检查作业，以及对该镭射头执行一校正作业，以使该金属薄板上由该镭射开孔作业所制作出来的网孔能符合标准。

另一方面，本发明的制造方法还包括藉由该检查装置执行另一种检查作业。该计算机装置在该镭射头进行该镭射开孔作业之后，控制该检查装置执行该检查作业，用以检查该金属薄板上由该镭射开孔作业所制作出来的该些网孔是否符合标准。

本发明的有益效果是：相较于先前技术，本发明是先将该金属薄板平置于该金属框上并与该金属框焊接后，才进行该镭射开孔作业，故可避免该金属屏蔽的网孔发生变形或位移的问题，进而提高该金属屏蔽的良率。

至于本发明的其它发明内容与更详细的技术及功能说明，将揭露于随后的说明。

附图说明

图1为本发明所述有机发光二极管蒸镀罩的制造方法流程图；

图2为本发明所述金属框置于一工作台的结构示意图；

图3为本发明所述金属薄板平置于一金属框架及一支撑装置的结构示意图；

图4为本发明所述镭射开孔装置的主视图；

图5为本发明所述镭射开孔装置的俯视图；

图6为本发明所述镭射开孔作业示意图；

图7为本发明所形成的一网孔的立体图；

图8为图7所示A-A剖面结构示意图；

图9为图7所示B-B剖面结构示意图；

图10为现有技术中一种AMOLED蒸镀罩制造装置的结构示意图；

图11为现有技术中另一种AMOLED蒸镀罩制造装置的分解结构示意图。

结合附图，作以下说明：

1——金属框2——金属薄板

20——网孔3——镭射开孔装置

35——机台350——轨道

355——支撑条37——移载机构

371——第一活动座372——第二活动座

39——镭射头6——检查头

7——工作台71——支撑装置

80——蒸镀网801——第一网孔

82——金属框91——金属薄板

910——第二网孔92——张网架

920——网布93——固定框

94——第一冶具95——第二冶具

具体实施方式

图1为本发明所述的金属屏蔽的制造方法的流程图。在本发明中，该制造方法是用来制造一种有机发光二极管的蒸镀罩(FinePitchMetalMask,FMM)，但并不以此为限，该制造方法也可运用于制造一般的金属屏蔽，例如：用于制造触控面板的印刷屏蔽或IC封装作业中所使用的印刷屏蔽。该制造方法包括一金属框入料作业S1、一金属薄板入料作业S2、一焊接作业S3及一镭射开孔作业S4。其中，该金属框入料作业S1、该金属薄板入料作业S2及该焊接作业S3系在一张平机上进行。

如图2所示，该张平机包括一工作台7、设于该工作台7顶面的一支撑装置71及一焊接装置(图中未示)。该金属框入料作业S1是将一金属框1置于该工作台7并套设于该支撑装置71外。该支撑装置71是包括多个支撑条710，但并不以此为限。参阅图3，该金属薄板入料作业S2是用以使一厚度仅约40μm的金属薄板2平置于该金属框1及该支撑装置71所共构的一顶面。该金属薄板入料作业S2亦可采用其它方式，例如：拉伸，来使该金属薄板2的顶面形成一平面。该焊接作业S3，是利用该焊接装置(图中未示)将该金属薄板2与该金属框1焊接在一起，以形成一蒸镀罩雏型。

该雷射开孔作业S4是利用一镭射开孔装置3，如图4和图5所示，在该金属薄板2上进行开孔。该镭射开孔装置3包括一机台35、一移载装置37、至少一镭射头39及一计算机装置(图中未示)。

该机台35是供承载焊接完成的该金属薄板7及该金属框1，该机台35具有一支撑装置，该支撑装置包括多个支撑条355，供支撑该金属薄板2，使其顶面保持水平。

该移载装置37包括一第一活动座371及一第二活动座372。该第一活动座371设于该机台35上的一组轨道350上，且可沿着该轨道350移动。该第二活动座372设于该第一活动座371上，且可相对于该第一活动座371移动。

该镭射头39设于该移载装置37的第二活动座372上，用以在该金属薄板2上进行镭射开孔(laseropening)。优选地，该镭射开孔装置3包括多个镭射头39，该镭射开孔作业S4能够同时控制该多个镭射头39在该金属薄板2上进行镭射开孔，以提升开孔的速度。另一方面，该镭射头39能够以垂直或倾斜的加工角度进行镭射开孔，图6显示了该镭射头39以倾斜的加工角度进行镭射开孔，进而使得藉由上述步骤所制成的蒸镀罩的每一网孔20的形状由下而上渐缩，如图7、8和9所示。

如图4和图5所示，该计算机装置用以控制该移载机构37的移动及控制该镭射头39对该金属薄板2的执行该镭射开孔作业S4。其中，该计算机装置藉由一种能精密量测长度的量测仪器(图中未示)来控制该移载机构37的运作，而使该移载装置37能将其上的镭射头39准确地移载到目标位置进行开孔。

优选地，如图4和图5所示，该镭射开孔装置3还包括一检查装置6，其设于该移载机构37的第二活动座372上，且该检查装置6具备一CCD摄像组件。优选地，本发明还包括藉由该检查装置6来执行一检查作业，该检查作业在此可分为两种形式，详如后述。

其中一种是在该镭射头39进行该镭射开孔作业S4的同时，藉由该镭射开孔装置3的计算机装置控制该检查装置6实时执行该检查作业，并根据该检查作业的结果决定是否需要对该镭射头39进行一校正作业，以使该金属薄板2上由该镭射开孔作业S4所制作出来的网孔能符合标准，例如：符合开孔精度小于±3μm的、网孔20的总间距误差小于±5μm之标准，但并不以此为限。透过这种一边开孔一边检查的作业方式，即可确保所形成的蒸镀罩的网孔是符合标准的。

另外一种则是在该镭射头39进行该镭射开孔作业S4之后，藉由该计算机装置控制该检查装置6执行另一种检查作业，用以检查该金属薄板上由该镭射开孔作业所所形成的蒸镀罩的网孔是否符合标准，例如：符合开孔精度小于±3μm的、网孔20的总间距误差小于±5μm之标准，但并不以此为限。

相较于先前技术，本发明所提供的金属屏蔽的制造方法是先将整片未开孔的金属薄板平置并焊接到该金属框上，再进行开孔的作业，故可避免该金属屏蔽的网孔在制造过程中发生变形或位移问题，而不需花费很多时间去调整该些夹具的拉伸力道，即可轻易地改善良率低落的问题。

无论如何，任何人都可以从上述说明获得足够教导，并据而了解本发明内容确实不同于先前技术，且具有产业上的利用性，及足具进步性。是本发明确已符合专利要件，并依法提出申请。

Claims (3)

1.一种镭射开孔装置，其特征在于：包括：

一机台，该机台供承载一屏蔽雏形，该屏蔽雏型包括一金属框和焊接在该金属框上的一金属薄板，其中，该机台还具有一供支撑该金属薄板的支撑装置；

一移载机构，该移载机构包括一第一活动座及一第二活动座，该第一活动座设于该机台上的一组轨道上，且可沿着该轨道移动，该第二活动座设于该第一活动座上，且可相对于该第一活动座移动；

一镭射头，该镭射头设于该移载机构的第二活动座上，且该镭射头能够以垂直或倾斜的加工角度对该金属薄板进行镭射开孔；

一计算机装置，该计算机装置能够控制该移载机构的移动及控制该镭射头对该金属薄板的镭射开孔作业；及

一检查装置，该检查装置设于该移载机构的第二活动座上，且该检查装置还具备一CCD摄像组件。

2.根据权利要求1所述的镭射开孔装置，其特征在于：该计算机装置还能够在该镭射头进行镭射开孔作业时，控制该检查装置执行一检查作业、以及对该镭射头执行一校正作业。

3.根据权利要求1所述的镭射开孔装置，其特征在于：该计算机装置还能够在该镭射头进行镭射开孔作业之后，控制该检查装置执行一检查作业。