CN103134805A - 一种自动光学检测仪的光学装置 - Google Patents
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Abstract
自动光学检测仪的光学装置,包括被测物,其特征在于,所述被测物置于第一凸透镜的前方,顺次设置有棱镜、第二凸透镜、第一偏振器、单轴晶体、第二偏振器和CCD图像传感器,所述LED光源设置于棱镜的下方位置,采用偏振器及单轴晶体产生偏振光,使其产生干涉,利用偏振全息光实现对被测物的精确测量,本系统测试精度高,测量速度快,整体分辨率高,为自动光学检测系统提供良好的图像采集。
Description
技术领域
本发明涉及光学成像系统,具体说是一种面向缺陷检测的自动光学检测仪的光学装置。
背景技术
随着电子技术的发展,用于电子组装的PCB板线宽、间距、焊盘越来越细小,已到几十微米级,复合层数最高已到60层,传统的人工测试远远不能适应现在工艺技术水平和产品批量的要求,因此检验手段已成为工艺线上必须解决的问题。
AOI自动光学检测系统作为现代制造业的一种PCB质量监测系统设备,已在PCB检测行业广泛应用,利用拍摄采集的图像对缺陷进行检测。但由于使用光源不合适,光学成像系统成像率较低,系统分辨率不够,采集图像质量差,经常出现误检、漏检的现象,极大影响检测仪的整体质量。
发明内容
本发明利用偏振光干涉产生的全息像,对被测物体进行偏振全息光学测量,实现偏振自动成像。
一种自动光学检测仪的光学装置,包括被测物1,所述被测物1置于第一凸透镜2的前方,顺次设置有棱镜3、第二凸透镜5、第一偏振器6、单轴晶体7、第二偏振器8和CCD图像传感器9,所述LED光源4设置于棱镜3的下方位置;
所述LED光源4采用LED无频闪光源;
所述棱镜3由两块三棱镜组成,其三棱镜胶合面镀有半反半透膜,用于反射LED光源4光线及透射被测物体光学;
所述被测物体1位于第一凸透镜2的一倍焦距上或焦距以内;
所述CCD图像传感器9处于第一凸透镜2的焦距上或焦距以内,第一凸透镜2和第二凸透镜5采用不同焦距镜片,第二凸透镜5焦距较大。
所述LED光源4位于棱镜3另一侧,其发出的光线可经棱镜3半反半透面反射到被测物体上。
所述第一凸透镜2和第二凸透镜5置于被测物体1之后,棱镜3位于2个凸透镜之间,棱镜的3另一侧面对应LED光源4,第一偏振器6和第二偏振器8位于凸透镜之后,单轴晶体7位于两个偏振器之间。
附图说明
图1为一种自动光学检测仪的光学系统简图。
附图标记说明:
1—被测物 | 2—第一凸透镜 | 3—棱镜 |
4—LED光源 | 5—第二凸透镜 | 6—第一偏振器 |
7—单轴晶体 | 8—第二偏振器 | 9—CCD图像传感器 |
。具体实施方式
结合图示1所示,本系统主要由被测物、凸透镜1、棱镜、凸透镜2、LED光源、偏振器1、单轴晶体、偏振器2和CCD组成。
本例中,LED光源为整个光学系统提供光源照明,照明光线经棱镜胶合面,可将光线反射到第一凸透镜2,由于出射的光线平行,经第一凸透镜2后,可将光线聚合为被测物体提供照明。被测物发出的光线经凸透镜1使光线平行出射,再经棱镜半反半透面,使光线投射到凸透镜2表面,再次将光线进行汇聚,之后经过偏振器,使自然的非偏振光转化为线偏振光,在单轴晶体的作用下,产生寻常光线和非常光线分量,由于这两种光线产生的折射现象不同,在到达CCD时由于自身的相干性会产生干涉,形成被测物的全息图,由此实现光学成像系统。
本发明实现了偏振全息光学系统,其测试精度高,测量速度快,整体分辨率高,为自动光学检测系统提供良好的图像采集。
Claims (5)
1.自动光学检测仪的光学装置,包括被测物,其特征在于,所述被测物置于第一凸透镜的前方,顺次设置有棱镜、第二凸透镜、第一偏振器、单轴晶体、第二偏振器和CCD图像传感器,所述LED光源设置于棱镜的下方位置。
2.根据权利要求1所述的自动光学检测仪的光学装置,其特征在于,所述LED光源采用LED无频闪光源。
3.根据权利要求1所述的自动光学检测仪的光学装置,其特征在于,所述棱镜由两块三棱镜组成,其三棱镜胶合面镀有半反半透膜。
4. 根据权利要求1所述的自动光学检测仪的光学装置,其特征在于,所述被测物体位于第一凸透镜的一倍焦距上或焦距以内。
5.根据权利要求1所述的自动光学检测仪的光学装置,其特征在于,所述CCD图像传感器处于第一凸透镜的焦距上或焦距以内,第一凸透镜和第二凸透镜采用不同焦距镜片,第二凸透镜焦距较大。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104501721A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-04-08 | 广东威创视讯科技股份有限公司 | 一种拼接屏中相对位置的检查方法及系统 |
CN106018434A (zh) * | 2016-07-06 | 2016-10-12 | 康代影像科技(苏州)有限公司 | 一种光学检测设备 |
CN106289380A (zh) * | 2016-10-19 | 2017-01-04 | 北醒(北京)光子科技有限公司 | 一种新型超薄同轴光源探测系统 |
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2011
- 2011-11-26 CN CN 201110381312 patent/CN103134805A/zh active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104501721A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-04-08 | 广东威创视讯科技股份有限公司 | 一种拼接屏中相对位置的检查方法及系统 |
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PB01 | Publication | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130605 |