CN103132016A - 一种膜边调整器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种膜边调整器，其包括：用于分别遮挡待成膜基板的四周边缘部分面积的四个遮挡板，四个遮挡板两两相对设置，且至少一对相对设置的遮挡板之间的相对距离可调。本发明的膜边调整器，由于至少一对相对设置的遮挡板的相对距离可调，从而，可以调节遮挡板对待成膜基板的四周边缘的遮挡面积，以实现对膜边大小的调节，提高产线的良率。

Description

一种膜边调整器

技术领域

本发明涉及液晶显示器制造技术领域，尤其涉及一种膜边调整器。

背景技术

在目前的TFT-LCD（Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管-液晶显示器）生产线上，玻璃基板进入工艺成膜室内成膜。如图1所示，现有的工艺成膜腔室内通常采用一个位置和宽度均固定的遮挡板框架20对膜边（指膜到玻璃基板边缘的距离)进行调整。玻璃基板21放入遮挡板框架20的下方，遮挡板框架20的四个边框分别遮挡玻璃基板21的四周边缘部分面积，而玻璃基板21中未被该遮挡板框架20遮挡的中间部分即进行成膜，以实现对膜边的控制。

但是，由于玻璃基板在传送过程中会发生偏移，玻璃基板在进入工艺腔室后，如果玻璃基板的放入位置不当，就会导致成膜的膜边偏移及成膜不均匀，从而导致后续的曝光和刻蚀工序的不良产生，甚至会导致玻璃基板发生破碎，从而导致设备down机，造成生产延误，影响整个产线的产能和效益。

发明内容

为了解决现有技术中玻璃基板在成膜过程中存在的膜边偏移及成膜不均匀的问题，本发明提供了一种膜边调整器，能够调整玻璃基板成膜的膜边，提高产线良率。

本发明所提供的技术方案如下：

一种膜边调整器，包括：

用于分别遮挡待成膜基板的四周边缘部分面积的四个遮挡板，四个遮挡板两两相对设置，且至少一对相对设置的遮挡板之间的相对距离可调。

优选的，所述膜边调整器还包括两两相对设置并围设成一固定框架结构的四个固定边框；四个遮挡板一一对应地设置于所述四个固定边框上；且至少一个遮挡板以可移动的方式连接在所述固定框架结构上，并能够相对于与其相对设置的遮挡板移动。

优选的，所述膜边调整器还包括：一用于控制所述至少一对相对设置的遮挡板移动的第一控制装置。

优选的，所述膜边调整器还包括：

一用于获取各遮挡板的当前位置信息的第一获取装置；

一用于将各遮挡板的当前位置信息反馈至所述第一控制装置，以使得所述第一控制装置根据各遮挡板的当前位置信息控制所述至少一对相对设置的遮挡板移动的第一反馈装置，分别与所述第一获取装置和所述第一控制装置连接。

优选的，所述第一获取装置为光学感应器。

优选的，所述膜边调整器还包括：一用于将待成膜基板的位置调整至预定位置的对位机构。

优选的，所述对位机构包括：

一用于获取待成膜基板的当前位置信息的第二获取装置；

一用于移动待成膜基板的移动装置；

一用于根据所述待成膜基板的当前位置信息，控制所述移动装置将所述待成膜基板移动至预定位置的第二控制装置，与所述移动装置连接；

一用于将所述待成膜基板的位置信息反馈至所述第二控制装置的第二反馈装置，分别与所述第二获取装置和所述第二控制装置连接。

优选的，所述第二获取装置为光学感应器。

优选的，所述移动装置包括：

分别夹持固定待成膜基板的四个边角的四个夹持结构，每一所述夹持结构包括固定架以及间隔设置在所述固定架上的用于分别夹设于待成膜基板的边角的两侧外边缘，以固定待成膜基板的至少两个转轴；以及，

在所述第二控制装置控制下，驱动所述转轴在待成膜基板的边角的两侧外边缘转动，以推动待成膜基板移动的驱动结构，所述驱动结构与所述第二控制装置连接。

优选的，所述驱动结构为采用电动或者气动方式的驱动结构。

本发明的有益效果如下：

本发明的膜边调整器，由于至少一对相对设置的遮挡板的相对距离可调，从而，可以调节遮挡板对待成膜基板的四周边缘的遮挡面积，以实现对膜边大小的调节，提高产线的良率。

附图说明

图1表示现有技术中的遮挡板框架的示意图；

图2表示本发明所提供的膜边调整器的一种实施例的结构示意图；

图3表示本发明所提供的膜边调整器的另一种实施例的结构示意图；

图4表示本发明所提供的膜边调整器中的移动装置的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。

本实施例中提供了一种膜边调整器，可以在TFT-LCD生产线上，玻璃基板进入工艺成膜室内成膜时，实现对膜边大小的调节。

如图2所示，本实施例中所提供的膜边调整器包括用于分别遮挡待成膜基板的四周边缘部分面积的四个遮挡板100，四个遮挡板100两两相对设置，且相对设置的遮挡板100之间的相对距离可调。

以上方案，通过将用来遮挡待成膜基板的四周边缘部分面积的四个遮挡板100设计为相对设置的遮挡板100之间的相对距离可调的结构，在待成膜基板（如玻璃基板）进入工艺成膜腔室后，由于待成膜基板上未被遮挡板100遮挡的部分用于成膜，从而，可以通过调整相对设置的遮挡板100之间的相对距离，来调整遮挡板100对待成膜基板的四周边缘的遮挡面积，而实现对成膜的膜边大小的控制，满足产品设计要求，提高产线的良率。

需要说明的是，本实施例中所提供的膜边调整器中，两对相对设置的遮挡板100中可以有一对相对设置的遮挡板100的相对距离可调，也可以是两对相对设置的遮挡板100的相对距离均可调。

具体地，如图2所示，本实施例中所提供的膜边调整器的装配方式如下：

该膜边调整器还包括两两相对设置并围设成一固定框架结构的四个固定边框200，该固定框架结构用于固定在待成膜基板的上方；四个遮挡板100分别一一对应地设置于四个固定边框200上，并且至少有一个遮挡板100以可移动的方式连接在该固定框架结构上，并能够相对于与其相对设置的遮挡板100移动。

本实施例中，优选的，如图2所示，该固定框架结构的四个固定边框200上分别设有导轨，每一遮挡板100的一侧边插入设置到与其对应的固定边框200上，两端分别以可移动方式连接于与其相邻的两个固定边框200的导轨内，从而，每一遮挡板100能够沿与其两端连接的两个固定边框200上的导轨移动，以调整到与其相对设置的遮挡板100之间的距离（也就是说，每一遮挡板100可以调整其遮挡宽度），以调整待成膜基板的四周边缘遮挡面积。应当理解的是，在实际应用中，四个遮挡板100中也可以采用其他结构实现相对设置的遮挡板100之间的相对距离可调，在此不再一一列举。

此外，该膜边调整器可以通过人工手动控制各遮挡板100的移动。优选的，本实施例中所提供的膜边调整器还可以包括一第一控制装置（图中未示出），该第一控制装置用于控制各遮挡板100的移动，通过该第一控制装置便于精确控制遮挡板100的移动过程。

此外，为了进一步精确控制遮挡板100的移动，以实现对膜边大小的精确控制，本实施例中，优选的，该膜边调整器还可以包括：

一用于获取各遮挡板100的当前位置信息的第一获取装置（图中未示出）；

一用于将各遮挡板100的当前位置信息反馈至第一控制装置，以使得第一控制装置根据各遮挡板100的当前位置信息控制遮挡板100移动的第一反馈装置（图未示出），分别与第一获取装置和第一控制装置连接。

上述方案，通过第一获取装置获取各遮挡板100的当前位置信息，再通过第一反馈装置将各遮挡板100的当前位置信息反馈至第一控制装置，第一控制装置再根据各遮挡板100的当前位置信息来控制各遮挡板100的移动，以精确控制各遮挡板100移动至合适的位置。

需要说明的是，本实施例中，第一获取装置可以采用光学感应器，通过光学感应器来感应各遮挡板100的位置。当然，在实际应用中，第一获取装置也可以是采用其他装置实现。

此外，本实施例中，由于待成膜基板在进入到工艺成膜腔室内时，待成膜基板容易发生位置偏移，仅靠移动遮挡板100来控制膜边，仍然可能存在偏差，因此，为了进一步保证膜边控制精确度，本实施例中，如图3所示，优选的，该膜边调整器还包括一用于将待成膜基板的位置调整至预定位置的对位机构300。

本实施例中，优选的，如图3所示，该对位机构300包括：

一用于获取待成膜基板10的当前位置信息的第二获取装置301；

一用于移动待成膜基板10的移动装置302；

一用于根据待成膜基板10的当前位置信息，控制移动装置302将待成膜基板10移动至预定位置的第二控制装置（图中未示出），与移动装置302连接；以及，一用于将待成膜基板10的位置信息反馈至第二控制装置的第二反馈装置303，分别与第二获取装置301和第二控制装置连接。

上述方案，通过第二获取装置301获取待成膜基板10的当前位置信息，并通过第二反馈装置303将待成膜基板10的当前位置信息反馈至第二控制装置，则第二控制装置即根据待成膜基板10的当前位置信息发送控制信号给移动装置302，移动装置302再将待成膜基板10移动至预定位置。

需要说明的是，第二获取装置301可以采用光学感应器，感应待成膜基板10的当前位置信息。还需要说明的是，在本发明所提供的优选实施例中，第一获取装置和第二获取装置301可以为同一装置，同时获取遮挡板100和待成膜基板10的位置信息。

此外，第一控制装置和第二控制装置也可以集成为同一控制装置，从而，该控制装置可以在首先控制待成膜基板10移动到预定位置后，再根据遮挡板100的位置控制遮挡板100移动至合适的位置，实现对膜边大小的自动调节。

此外，还需要说明的是，本实施例中，待成膜基板10的预定位置优选的是待成膜基板10处于固定框架结构的中间位置。

此外，本实施例中，用于移动待成膜基板10的移动装置302可以有多种结构，本实施例中，如图3和图4所示，优选的，所述移动装置302包括：

分别夹持固定待成膜基板10的四个边角的四个夹持结构，每一夹持结构包括固定架3021以及间隔设置在固定架3021上的两个转轴3022；以及，

在第二控制装置控制下，驱动转轴3022在待成膜基板10的边角的两侧外边缘转动，以推动待成膜基板10移动的驱动结构（图中未示出），该驱动结构与第二控制装置连接；

其中，每一夹持结构中的固定架3021用于固连于固定框架结构的四个角，每一夹持结构中的两个转轴3022间隔设置，待成膜基板10的每个边角可以置于两个转轴3022之间，从而，如图3、图4所示的，两个转轴3022可以分别夹设于待成膜基板10的边角的两侧外边缘，以夹持固定待成膜基板10；驱动结构用于在第二控制装置下驱动转轴3022转动，由于转轴夹设于待成膜基板10的边角的两侧外边缘，从而转轴3022的转动会推动待成膜基板10的边缘，以推动待成膜基板10移动。采用上述结构，由于转轴3022与待成膜基板10之间的配合关系为：转轴3022与待成膜基板10的边角的两侧外边缘相接触，并且转轴3022转动以推动待成膜基板10，这样的配合方式可以保证待成膜基板10移动过程中不会产生不良。需要说明的是，本实施例中，驱动结构可以采用电动或气动方式驱动。

此外，还需要说明的是，在实际应用中，该移动装置302的结构并不仅限于此，还可以采用其他结构方式，比如：采用两个夹持臂夹持住待成膜基板10，并通过一驱动结构驱动夹持臂移动待成膜基板10，在此不再一一列举。

综合上述，本发明的优选实施例中所提供的膜边调整器，可以实现对待成膜基板10的实时对位调整，还可以对遮挡板100的遮挡面积进行自动调节，从而可实现对TFT-LCD生产线上待成膜基板10进入工艺成膜腔室后成膜过程中对膜边大小的自动调整，满足产品设计要求，提高产品的良率。

以上是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种膜边调整器，其特征在于，包括：

用于分别遮挡待成膜基板的四周边缘部分面积的四个遮挡板，四个遮挡板两两相对设置，且至少一对相对设置的遮挡板之间的相对距离可调。

2.根据权利要求1所述的膜边调整器，其特征在于，所述膜边调整器还包括两两相对设置并围设成一固定框架结构的四个固定边框；

四个遮挡板一一对应地设置于所述四个固定边框上；且至少一个遮挡板以可移动的方式连接在所述固定框架结构上，并能够相对于与其相对设置的遮挡板移动。

3.根据权利要求1所述的膜边调整器，其特征在于，所述膜边调整器还包括：一用于控制所述至少一对相对设置的遮挡板移动的第一控制装置。

4.根据权利要求3所述的膜边调整器，其特征在于，所述膜边调整器还包括：

一用于获取各遮挡板的当前位置信息的第一获取装置；

一用于将各遮挡板的当前位置信息反馈至所述第一控制装置，以使得所述第一控制装置根据各遮挡板的当前位置信息控制所述至少一对相对设置的遮挡板移动的第一反馈装置，分别与所述第一获取装置和所述第一控制装置连接。

5.根据权利要求4所述的膜边调整器，其特征在于，所述第一获取装置为光学感应器。

6.根据权利要求1所述的膜边调整器，其特征在于，所述膜边调整器还包括：一用于将待成膜基板的位置调整至预定位置的对位机构。

7.根据权利要求6所述的膜边调整器，其特征在于，所述对位机构包括：

一用于获取待成膜基板的当前位置信息的第二获取装置；

一用于移动待成膜基板的移动装置；

一用于根据所述待成膜基板的当前位置信息，控制所述移动装置将所述待成膜基板移动至预定位置的第二控制装置，与所述移动装置连接；

一用于将所述待成膜基板的位置信息反馈至所述第二控制装置的第二反馈装置，分别与所述第二获取装置和所述第二控制装置连接。

8.根据权利要求7所述的膜边调整器，其特征在于，所述第二获取装置为光学感应器。

9.根据权利要求7所述的膜边调整器，其特征在于，所述移动装置包括：

分别夹持固定待成膜基板的四个边角的四个夹持结构，每一所述夹持结构包括固定架以及间隔设置在所述固定架上的用于分别夹设于待成膜基板的边角的两侧外边缘，以固定待成膜基板的至少两个转轴；以及，

在所述第二控制装置控制下，驱动所述转轴在待成膜基板的边角的两侧外边缘转动，以推动待成膜基板移动的驱动结构，所述驱动结构与所述第二控制装置连接。

10.根据权利要求9所述的膜边调整器，其特征在于，所述驱动结构为采用电动或者气动方式的驱动结构。

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