CN103130244A - 回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法 - Google Patents

回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，主要为解决习用技术的处理含氨废气方法的未能解决废水中含有机金属及粉尘的问题，本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法包含：A.将含有有机金属或粉尘及氨气的废气导引至一第一空间中；B.在该第一空间中以一碱洗溶液施以一循环碱洗程序；C.使废气中的氨气在该循环碱洗程序中与废气中的有机金属或粉尘分离；D.收集上述C步骤所分离出的氨气。本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法可提供光电半导体或太阳能电池等产业回收进行有机金属化学气相沉积法(MOCVD)或电浆辅助化学气相沈积法(PECVD)或化学气相沉积法(CVD)后产生的废气的回收应用。

Description

回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法
技术领域
本发明涉及一种回收氨气的方法，特别是一种利用碱洗程序将氨气与有机金属或粉尘分离的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法。
背景技术
在光电半导体或太阳能电池等产业中，在基板上成长半导体薄膜的制程多半使用有机金属化学气相沉积法（Metal-Organic Chemical Vapor Deposition,简称MOCVD）或电浆辅助化学气相沈积法（Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition,简称PECVD）或化学气相沉积法（Chemical Vapor Deposition,简称CVD）在有机金属化学气相沉积法或电浆辅助化学气相沈积法或化学气相沉积法程序中会产生含有机金属或粉尘的含氨气的废气，这些含有机金属及粉尘的含氨气的废气目前仅能以酸洗或湿式洗涤方式处理，处理后的废水成为含有金属氧化物或金属氢氧化物且具酸性或碱性的含氨氮废水，会对环境造成影响。
有鉴于此，本发明人针对上述回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法上未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本案。
发明内容
本发明的目的在于提供一种回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，可降低已处理完废气中的化学物质含量，以达到回收再利用和环保作用。
为了达成上述目的，本发明的解决方案是：
一种回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其包括下列步骤：
A.将含有有机金属或粉尘及氨气的废气导引至一第一空间中；
B.在该第一空间中以一碱洗溶液施以一循环碱洗程序；
C.使废气中的氨气在该循环碱洗程序中与废气中的有机金属或粉尘分离；
D.收集上述C步骤所分离出的氨气。
上述循环碱洗程序先控制该碱洗溶液的溶液pH值达到一碱性预设值，再进行循环碱洗。
上述循环碱洗溶液的碱性预设值为pH7至pH14。
上述循环碱洗溶液的碱性预设值为pH11至pH14。
上述C步骤控制循环碱洗程序的pH值，使氨气随该pH值的递增而更容易被分离。
上述循环碱洗程序至少进行一次。
上述回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法进一步包括E步骤的吸收程序：使D步骤所收集的氨气与水、磷酸、硫酸中的任一反应物进行吸收反应。
上述吸收程序至少进行一次。
上述吸收程序为两次以上时，其最后一次吸收程序再加一道水洗或酸洗程序，以对在吸收程序中所衍生的水雾进行水洗或残余的氨气进行酸洗。
上述循环碱洗程序与吸收程序之间包含一水雾去除程序，滤除废气中的水雾或水滴。
上述B步骤中的循环碱洗程序导入NaOH或Ca（OH）2为反应物，使该循环碱洗溶液的pH值介于pH7至pH14。
上述B步骤中的循环碱洗程序利用废气中的氨气量使该碱洗程序的pH值介于pH7至pH14。
上述循环碱洗程序包含一过滤程序，过滤从废气中被分离出的有机金属与水反应产生的金属氧化物或金属氢氧化物固体，及粉尘与碱洗溶液产生的固型物。
采用上述结构后，本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，具有以下功效：
(1)、本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，借由一碱洗程序已达到分离氨气与有机金属或粉尘的功效。
(2)、本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，借由控制碱洗溶液的pH值以达到控制氨气与有机金属或粉尘分离程度的功效。
(3)、本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，借由使D步骤所收集的氨气与水、磷酸、硫酸中的任一反应物进行反应以达到回收再利用功效。
(4)、本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，借由于碱洗程序中增设过滤装置达到滤除金属氧化物或金属氢氧化物及粉尘的功效，可以降低固型物于碱洗程序可能造成的阻塞问题。
(5)、在循环碱洗程序与吸收程序之间，另执行一水雾去除程序，可以降低自循环碱洗程序经由水雾或水滴进入吸收程序的金属氧化物或金属氢氧化物及粉尘遇水产生的固型物。
(6)、循环碱洗程序可以在一组以上的循环碱洗设备中进行，例如一组、二组或三组，借由多次循环碱洗程序可以提升其碱洗效率。
(7)、吸收程序可以在至少一组以上的吸收设备中进行，例如一组、二组、三组或四组，借由多次吸收程序可以提升其吸收效率。
(8)、当进行多次吸收程序时，可以在最后一次吸收程序再加一道水洗或酸洗程序，以对在吸收程序中所衍生的水雾进行水洗或残余的氨气进行酸洗，借以更降低已处理完废气中的化学物质含量。    
附图说明
图1为本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法的实施例流程图；
图2为依本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法的废气处理程序图；
图3为依本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法的回收装置示意图；
图4为依本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法的第一实施例流程图；
图5为依本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法的第二实施例流程图。
主要元件符号说明
21　有机金属化学气相沉积法或电浆辅助化学气相沈积法单元
22　帮浦单元      23　碱洗塔
24　吸收塔        25　水洗塔或酸洗塔
31　气体入口      32　碱洗溶液
33　帮浦          34　固体过滤装置
35　喷洒头        36　反应腔室
37　拉西环        38　水雾去除装置
39　气体出口。
具体实施方式
为了进一步解释本发明的技术方案，下面通过具体实施例来对本发明进行详细阐述。
请参阅图1，其为本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法的实施例流程图；本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法包含以下步骤：
A.将含有有机金属或粉尘及氨气的废气导引至第一空间中； 
B.在第一空间中以碱洗溶液施以循环碱洗程序； 
C.使废气中的氨气在循环碱洗程序中与废气中的有机金属或粉尘分离；
D.收集上述C步骤所分离出的氨气；
E.使D步骤所收集的氨气与水、磷酸、硫酸中的任一反应物进行吸收反应。
半导体制程中，有机金属化学气相沉积法（Metal-Organic Chemical Vapor Deposition，简称MOCVD）或电浆辅助化学气相沈积法（Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition，简称PECVD）程序所产生的含有有机金属或粉尘及氨气的废气须预先将有机金属或粉尘及氨气分离才能进行回收的程序，因此将含有有机金属或粉尘及氨气的废气导入作为反应腔室的第一空间中。
在第一空间中含有碱洗溶液，本发明的碱洗溶液是在水中加入氢氧化钠(NaOH)溶液或氢氧化钙(Ca(OH)2)制成，本发明的碱洗溶液pH值介于7至14之间，较佳为pH值介于11至14之间。
上述循环碱洗程序亦可利用废气中的氨气量使该碱洗程序的pH值介于pH7至pH14。
在第一空间中，以碱洗溶液对含有有机金属或粉尘及氨气的废气进行循环碱洗，由于碱性溶液会分离出氢氧根离子(OH- ion)，因此造成如下反应式（一）的反应平衡向左移动，溶于碱洗溶液的氨气极少，而有机金属或粉尘则与碱洗溶液反应产生固体的金属氧化物或金属氢氧化物或固型物，借此碱洗程序，有机金属或粉尘及氨气被有效分离开来。
反应式（一）：
NH3(g) + H2O(l) →NH4 +(aq)+ OH-(aq) Kb = 1.8 x 10-5
收集上述循环程序所分离出的氨气后，将氨气导入第二空间即吸收空间，于第二空间提供一反应溶剂与氨气进行化合，以进行一吸收程序，反应溶剂可用水、磷酸、硫酸实施，其反应如下反应式（二）、反应式（三）、反应式（四）所示，所产生的氨水、硫酸铵、磷酸铵及其衍生物皆能用于其他用途。依本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法所产生的硫酸铵，可做为皮革处理剂、水处理剂、助黏剂、电镀液、化学肥料之用。
反应式（二）：
NH3（g） + H2O（aq） → NH4OH（aq）
反应式（三）：
2NH4OH（aq） + H2SO4（aq） →（NH4）2SO4（aq） + 2H2O（aq）
反应式（四）：
1NH3（g） + H3PO4（aq） →NH4H2PO4（aq）
上述吸收程序可以在一组、二组或三组的吸收空间中进行，借以提升其吸收效率。
当吸收空间为多个时，其最后一次吸收程序可以再加一道水洗或酸洗程序，以对在吸收程序中所衍生的水雾进行水洗或残余的氨气进行酸洗，借以更降低已处理完废气中的化学物质含量。
请参阅图2，其为依本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法的废气处理程序图；有机金属化学气相沉积法或电浆辅助化学气相沈积法单元21所产生的含有有机金属或粉尘及氨气的废气借由帮浦单元22输送至碱洗塔23，在此进行分离程序，以碱洗溶液对含有有机金属或粉尘及氨气的废气进行循环碱洗，有机金属或粉尘与碱洗溶液反应产生固体的金属氧化物或金属氢氧化物，而氨气在碱性溶液中具有低溶解度，借此循环碱洗程序，有机金属或粉尘及氨气被有效分离开来。不溶于碱洗溶液的氨气输送至吸收塔24，在此与反应溶剂进行化合，反应所得到的液体如氨水、硫酸铵、磷酸铵及其衍生物为可再利用产物，而在吸收程序中所衍生的水雾或未完全处理的氨气则进入水洗塔或酸洗塔25进行水洗或酸洗程序，借以更降低已处理完废气中的化学物质含量。
请参阅图3，其为依本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法的回收装置示意图；图中，回收装置包含气体入口31、碱洗溶液32、帮浦33、固体过滤装置34、喷洒头35、反应腔室36、拉西环37、水雾去除装置38、气体出口39。有机金属化学气相沉积法或电浆辅助化学气相沈积法所产生的含有有机金属或粉尘的废气由气体入口31导入反应腔室36中，并与喷洒头35洒落的碱洗溶液32反应，设置于反应腔室36中的拉西环37能增加碱洗溶液32与废气的接触面积，增加有机金属或粉尘与碱洗溶液32反应效率，有机金属或粉尘与碱洗溶液32反应产生固体的金属氧化物或金属氢氧化物，该等固体的金属氧化物或金属氢氧化物滞留于碱洗溶液32中，该碱洗溶液32经由帮浦33加压后通过固体过滤装置34，使得固体的金属氧化物或金属氢氧化物被滤除，碱洗溶液32则通过固体过滤装置34于喷洒头35洒落与新进入反应腔室36的废气反应，构成循环碱洗程序。废气中不与碱洗溶液32反应的氨气则经由水雾去除装置38去除水雾中可能夹带的金属氧化物或金属氢氧化物后由气体出口39输送至吸收塔24进行后续处理。
在上述实施例中，循环碱洗程序可以在一组、二组或三组的循环碱洗设备中进行，借以提升其碱洗效率。
请参阅图4，其为依本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法的第一实施例流程图；半导体产业中有机金属化学气相沉积法或电浆辅助化学气相沈积法制程所产生的含有有机金属或粉尘的废气，经由帮浦输送于第一碱洗塔进行第一次碱洗，于第二碱洗塔进行第二次碱洗，于第三碱洗塔进行第三次碱洗，借三道循环碱洗程序提升其碱洗效率使氨气与有机金属或粉尘有更佳的分离效率，同时亦可借由控制碱洗溶液的pH值使碱洗效率更佳，完成循环碱洗程序后的废气可先去除水雾，以降低借由水雾或水滴状态进入吸收程序的金属氧化物或金属氢氧化物及粉尘遇水产生的固型物，废气输送至吸收塔与反应溶剂进行吸收反应，反应所得到的液体如氨水、硫酸铵、磷酸铵及其衍生物为可再利用产物，吸收程序中所衍生的水雾或未完全处理的氨气则以水洗或酸洗再次降低已处理完废气中的化学物质含量而排出。
请参阅图5，其为依本发明的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法的第二实施例流程图；半导体产业中有机金属化学气相沉积法或电浆辅助化学气相沈积法制程所产生的含有有机金属或粉尘的废气，经由帮浦输送于第一碱洗塔进行第一次碱洗，于第二碱洗塔进行第二次碱洗，于第三碱洗塔进行第三次碱洗，借三道循环碱洗程序提升其碱洗效率使氨气与有机金属或粉尘有更佳的分离效率，同时亦可借由控制碱洗溶液的pH值使碱洗效率更佳，完成循环碱洗程序后的废气可先去除水雾，以降低借由水雾或水滴状态进入吸收程序的金属氧化物或金属氢氧化物及粉尘遇水产生的固型物，废气输送至第一吸收塔与反应溶剂进行第一次吸收反应，于第二吸收塔与反应溶剂进行第二次吸收反应，于第三吸收塔与反应溶剂进行第三次吸收反应，借三道吸收程序，使废气中所含的氨气与反应溶剂充分反应得到如氨水、硫酸铵、磷酸铵及其衍生物等可再利用产物，多次吸收程序中所衍生的水雾或未完全处理的氨气则以水洗或酸洗再次降低已处理完废气中的化学物质含量而排出。
上述实施例和附图并非限定本发明的产品形态和式样，任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应视为不脱离本发明的专利范畴。

Claims (13)

1.一种回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于，包括下列步骤：
A.将含有有机金属或粉尘及氨气的废气导引至一第一空间中；
B.在该第一空间中以一碱洗溶液施以一循环碱洗程序；
C.使废气中的氨气在该循环碱洗程序中与废气中的有机金属或粉尘分离；
D.收集上述C步骤所分离出的氨气。
2.如权利要求1所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：该循环碱洗程序先控制该碱洗溶液的溶液pH值达到一碱性预设值，再进行循环碱洗。
3.如权利要求2所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：该循环碱洗溶液的碱性预设值为pH7至pH14。
4.如权利要求2所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：该循环碱洗溶液的碱性预设值为pH11至pH14。
5.如权利要求1所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：C步骤控制循环碱洗程序的pH值，使氨气随该pH值的递增而更容易被分离。
6.如权利要求1所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：该循环碱洗程序至少进行一次。
7.如权利要求1所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：其进一步包括E步骤的吸收程序：使D步骤所收集的氨气与水、磷酸、硫酸中的任一反应物进行吸收反应。
8.如权利要求7所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：其吸收程序至少进行一次。
9.如权利要求8所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：其吸收程序为两次以上时，其最后一次吸收程序再加一道水洗或酸洗程序，以对在吸收程序中所衍生的水雾进行水洗或残余的氨气进行酸洗。
10.如权利要求7所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：该循环碱洗程序与吸收程序之间包含一水雾去除程序，滤除废气中的水雾或水滴。
11.如权利要求1所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：B步骤中的循环碱洗程序导入NaOH或Ca（OH）2为反应物，使该循环碱洗溶液的pH值介于pH7至pH14。
12.如权利要求1所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：B步骤中的循环碱洗程序利用废气中的氨气量使该碱洗程序的pH值介于pH7至pH14。
13.如权利要求1所述的回收含有有机金属或粉尘的废气中的氨气的方法，其特征在于：该循环碱洗程序包含一过滤程序，过滤从废气中被分离出的有机金属与水反应产生的金属氧化物或金属氢氧化物固体，及粉尘与碱洗溶液产生的固型物。
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