CN103124900B - 触摸表面和制造该表面的方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于触摸表面领域且涉及这样的表面及其实现方法。本发明提出用于检测并测量施加在表面上的作用力的装置，其包括：测试体；电绝缘基板；与基板连接的第一电极；第二电极；与两个电极接触的导电或半导电纳米颗粒集合；测量装置，给出与纳米颗粒集合的电特性成比例的信息，所述特性在第一和第二电极之间测得，从而使测试体由纳米颗粒集合本身构成，且所述电特性对所述集合的纳米颗粒之间的距离灵敏。因此，本发明直接使用纳米颗粒集合作为测试体并且即便纳米颗粒集合被沉积在刚性表面上也能够量化作用力。

Description

触摸表面和制造该表面的方法

本发明属于触摸表面领域并且涉及触摸表面，其实现方法及其用于检测和测量施加在该表面上的力的用途。此类型的表面以不同的形式（称之为“触摸板”、“触摸屏”、“手写板”等）应用于例如多种大量使用的电子设备，尤其是信息电子设备中。

在现有技术的示例中，触摸表面被配置成使得可用来检测一个或多个触点，其可以为手指触碰或者借助例如探针等配件实现。当触摸表面包括沿矩阵构造设置的多个传感器时，其能跟踪所述触点的移动。

当进行手指触摸时或在触摸表面上的配件接触时，现有技术的表面借助测量物理特性的改变的传感器来实现功能或完成功能化。

按照现有技术，所测量的主要物理特性是电阻率或电阻抗以及电容变化。同样还有基于超声波发射或红外线辐射的技术。

现有技术的触摸表面主要能用来检测触点，但不能对其量化。量化是指确定由接触产生的压力或作用力；当作用力包括与接触表面正交的分量之外的分量时所产生的该作用力的方向；以及该作用力的施加点在与触摸表面相关联的方位标中的坐标，施加在该触摸表面上的接触力基本与所述表面正交。按照现有技术的某些实施方式，例如在测量电阻率或阻抗的情况下，应对触点施加足够大的作用力以能够检测到所述触点，但其无法给出关于与表面接触的力的强度的信息。在文献US2008/238882中描述了该实施方式的示例。

然而，对于某些应用，获得关于该力的强度或关于所施加的接触压力的信息，以及尤其当希望触摸表面能够特别是同时地检测多个触点或触摸区域时获得关于作用力施加点的信息，并且最后获得关于所施加的作用力的方向的信息，可能是有用的。

本发明目的在于创建如下的触摸表面，该触摸表面的响应使得能够对其上施加接触力的接触力系统进行量化。

现有技术中满足该需要的已知技术旨在实现测试体，也就是可形变固体，该可形变固体在负重系统作用下的形变方式为已知或者可以通过直接方法计算得到，此时测试体在对其施加的力的作用下发生形变。因而只需测量其形变就能通过逆向方法获知其所承受的负重系统。最常见的是通过形变计测量测试体的形变，该形变计给出与其伸长成比例的电特性改变。然而该方法在多个方面存在困难。首先，为了使该方法有效，测试体的形状应简单并且需要控制其支撑条件。以举例说明的方式，尽管在正交于平面的力施加在距边缘离得足够远的点处的情况下较容易通过逆向方法来确定在其周缘处被保持的厚度较小的平面测试体的荷重模式，但如果测试体的表面弯曲或如果其以更复杂的方式被保持，则显然应用该方法就会变得更加复杂。

此外，测试体必须被足够地形变才可能通过形变计测量其形变。然而，在上述例举的多种应用中，希望使用刚性触摸表面。因而必须使用特别灵敏的形变计。专利US7116209描述了特别灵敏的形变计，适用于测量所谓纵向，即相切于形变计所紧贴形变的表面的形变。现有技术的测计的测量原理基于当导电纳米颗粒之间的距离在测计所贴附的测试体的形变作用下颗粒之间的距离被改变时，导电纳米颗粒集合的电阻率改变。测计可采用网状，以在响应不同的负重系统时以可靠的方式测量测试体的形变。然而，该原理也存在与现有技术中的其它原理相同的局限，也就是触摸功能，即对基本与表面正交的作用进行测量的能力，受制于边界条件、测试体的形状、以及通过逆向方法估算测试体应力的能力等限制，此时测计测量与功能化表面相切的形变。

为了解决现有技术的缺点，本发明提出用于检测并量化施加在所谓触摸表面上的作用力的装置，包括：

-测试体；

-电绝缘基板；

-第一电极，其连接至所述基板并且相对于所述基板固定；

-第二电极；

-与上述两个电极接触的导电或半导电纳米颗粒集合；

-测量装置，其给出与纳米颗粒集合的电特性成比例的信息，所述特性在第一和第二电极之间测得，所述电特性与所述集合的纳米颗粒之间的距离改变成比例；

从而使所述测试体包括纳米颗粒集合。

因此，本发明直接使用纳米颗粒集合作为测试体并且允许即使该集合被沉积在刚性表面上，也能够对基本与所述集合正交的力进行量化。基板可为刚性或具有一定的压缩性，且纳米颗粒集合的形变可与由该装置赋予功能的表面的形变分开。因此，与基板及其在测试体上的固定方式应保证测试体形变与纳米颗粒集合形变之间的完全匹配的现有技术相反，本发明的目标装置避免了这种限制且在触摸表面的形状与性质上提供了更多的实施灵活性。

“纳米颗粒集合”由一组或多组纳米颗粒构成，纳米颗粒彼此由位于各组内部的配位体相连，纳米颗粒组体彼此间电结合。

“成比例信息”是指随测得特性变化的测量值，比例函数可以为线型、指数型或其它任何在测量值与测得特性值之间建立起单值关系式的数学形式。

本发明可按照以下阐述的更好的实施方式实施，可单独地或按照任何技术上有效的结合方式考虑所述实施方式。

按照第一实施配置，第二电极与第一电极远离且相对于基板活动，且纳米颗粒集合位于两电极之间，从而使第二电极的移动引起所述集合的纳米颗粒之间距离的改变。该配置使得能够创建测量在其各端、即在其各电极上所承受的作用力的基本作用力传感器。“相对于基板活动的电极”是指被设置得能使电极的移动改变该电极与基板之间相对距离的电极，从而引起纳米颗粒之间距离的改变。该移动实际上是承受依赖于纳米颗粒集合与基板的刚性的恢复力的微位移。

有利的是，无论实施配置如何，测得的电特性都是纳米颗粒集合的阻抗。该电特性尤其易于测量。

可选地，测得的电特性是纳米颗粒集合的电容。该电特性提供的优点在于，可以在任何实施配置中远离地非接触测量该特性。

按照第一实施配置的优选，

-第一电极包括在基板表面上沿第一方向延伸的多个平行导电带；

-第二电极包括沿不同于第一方向的第二方向的多个平行导电带；

-纳米颗粒集合在地形学上构成为多个离散团，所述离散团位于两电极之间第一和第二电极的导电带的方向交叉的位置处。

因此，触摸表面通过基本作用力传感器的矩阵网实现功能，且为确定激活所述表面的力的施加点以及所述力的强度提供了可能。

按照第二实施配置，纳米颗粒集合位于基板上并覆盖其一部分表面，而且电极包括导电带，所述导电带连接至基板并且在所述基板的未由纳米颗粒集合覆盖的一部分表面和由纳米颗粒覆盖的表面的周界之间延伸。该配置能使触摸表面以空间连续的方式实现功能。

按照第三实施配置，纳米颗粒集合被设在基板上并覆盖其一部分表面，而且第一电极包括导电带，其连接至所述基板并且在所述基板的未由纳米颗粒集合覆盖的一部分表面和由纳米颗粒覆盖的表面的周界之间延伸，而相对于基板活动的第二电极位于纳米颗粒集合顶上。所述配置使得能够在强度和方向上对施加于第二电极上并作用于纳米颗粒集合的力进行量化。

按照第二和第三实施配置的第一变型，纳米颗粒集合包括沿基本与基板正交的方向的多个叠置的纳米颗粒层。

按照同样实施配置的第二变型，在基板表面延伸的纳米颗粒集合为单层，所述基板可相对于正交应力压缩，从而使与基板正交的局部压力改变所述集合的纳米颗粒之间的距离。

本发明还涉及制造按照第一实施配置的触摸表面的方法，所述方法包括的步骤旨在：

–在绝缘基板上沉积沿第一方向延伸的第一平行导电带网；

–在这些带上沉积纳米颗粒团，所述团包括在与表面正交方向上叠置的至少两个纳米颗粒层，所述团彼此分开并在与所述带的方向平行的方向上按照重复的图案布置；

–在整体上沉积第二平行导电带网，所述第二平行导电带网沿不同于第一方向的第二方向延伸并且与纳米颗粒团接触。

因此，可通过已知的方法制备这样的表面，可尤其通过光刻法或纳米压印来沉积电极，且通过毛细管对流沉积或纳米静电印刷来沉积纳米颗粒团。

按照该方法的特定实施方式，按照重复图案沉积纳米颗粒团的步骤包括的步骤旨在：

–在基板和第一导电带网的整体上沉积绝缘层，该绝缘层包括在所述带上开通的孔；

–在绝缘层的孔内沉积纳米颗粒团，该纳米颗粒团包括沿基本上与基板正交的方向叠置且与下侧的导电带接触的至少两层；

–在整体上沉积第二平行导电带网，其沿不同于第一方向的第二方向延伸且与纳米颗粒团接触。

所述方法的该实施方式可以相同的部件实施且具有增加的实施可靠性。

有利的是，当测得的电特性与纳米颗粒集合的电容成比例时，测量装置包括与纳米颗粒集合并联耦接的谐振电路以及调谐电感。因此，可能通过电磁激励来激励所述电路，从而远离地执行非接触测量。

为此，本发明还涉及用来测量施加在按照后一实施方式所述的装置上的作用力的方法，所述方法包括的步骤旨在：

–使谐振电路承受电磁激励；

–当纳米颗粒集合承受所述作用力时，测量所述电路的吸收变化。

该方法允许使用纳米颗粒集合的电容变化作为与施加在所述触摸表面的力成比例的特性，所述电容以远离的非接触的方式测得。

按照该方法的第一变型，电磁激励以连续的激励频率实现且所测得的变化是电路吸收光谱频率的偏移。有利的是，激励在电路谐振频率下实现且测得的变化是该谐振频率的偏移。

按照该方法的第二变型，电磁激励以脉冲频率实现，且所测得的变化是谐振电路在弛豫阶段的发射。

有利的是，谐振电路包括当所述电路承受电磁激励时发射唯一识别码的部件。

本发明还涉及一种触摸表面，包括按照上述任一实施方式提出的本发明的目标装置。

将在优选的、完全非限制性的实施方式以及附图1至图8的范围内更明确地描述本发明，在附图中：

–图1以透视方式示出基本作用力传感器的第一实施方式的原理的示意图；

–图2以透视方式示出由基本作用力传感器矩阵网构成的触摸表面制造方法的实施方式的概要图；

–图3以透视方式示出包含纳米颗粒集合的触摸表面的实施示例，测量电极被设置在该纳米颗粒集合的周界。

–图4按照透视图在原理上示出与图3类似的纳米颗粒集合在作用力系统下的响应。

–图5以俯视透视图示出受力传感器的实施示例，其包括纳米颗粒集合以及分布在纳米颗粒集合周界上的一组第一电极，以及设置在纳米颗粒集合上的第二电极；

–图6以俯视透视图示出使用纳米颗粒集合的本发明目标装置的另一实施变型，其中电极被设置在集合的周界上，电极中的一个由多个带实现；

–图7是按照本发明的实施方式的装置的原理示意图，该实施方式使用电容作为对集合的纳米颗粒之间距离灵敏的特性；以及

-图8以剖面和前视图示出设在所谓触摸功能化表面上的本发明目标装置的纳米颗粒集合的形变方式，所述集合为单层（图8B和图8E）或多层（图8A、8C和8D），所述集合被沉积在刚性基板上（图8C）或可压缩基板上（图8D和8E）。

所有附图的目的都在于以可理解的方式表示按照不同实施方式的装置的结构特征，而不代表任何尺寸或任何不同组件之间的比例。

按照本发明装置的第一实施示例，图1包括由多个叠置层构成的纳米颗粒集合，所述装置包括电绝缘基板（10），第一电极（31）被连接在该基板上，从而使该第一电极相对于所述基板保持固定。测量部件（40）能测量该第一电极（31）与设在基本平行于基板（10）的与基板分离的平面内的第二电极（32）之间的电特性变化。纳米颗粒集合（20）被设置在两电极（31、32）之间。该集合包括被组织成多层的多个导电或半导电的纳米颗粒（21），所述纳米颗粒彼此之间由电阻抗配位体结合。有利的是，该配位体所选自的化合物包括能在化学上与纳米颗粒连接的功能。以非限定性的方式，其可以涉及例如柠檬酸盐、胺、磷化氢或硫醇。例如：

-对于含有柠檬酸盐特性的化合物，如柠檬酸钠：C₆H₅Q₇ ^3-、3Na⁺；

-对于含有磷化氢特性的化合物，如对-磺酰苯基苯基膦二水合纳；

-对于含有胺特性的化合物，如烷基胺：C₁₂H₂₅NH₂。

颗粒被沉积在基板上，呈胶态悬浮，对于含有磷化氢或柠檬酸盐特性的配位体，其悬浮在水中，对于含有胺特性的配位体，其悬浮在甲苯中。

纳米颗粒（21）的尺寸介于2×10^-9米或纳米，并且可达到1μm，从而使介于两电极（31、32）之间的纳米颗粒集合（20）的厚度，按照纳米颗粒的尺寸和沉积层的数量，介于2×10^-9和100×10^-6米之间。纳米颗粒例如是金纳米颗粒。

有利的是，包括第一电极（31）、纳米颗粒集合（20）以及第二电极（32）的整体被绝缘膜（未示出）覆盖。当基本正交于第二电极(32)表面的作用力被施加在该整体上时，其使纳米颗粒移位并改变所述集合内部颗粒之间的距离。由于电特性对所述纳米颗粒之间的距离灵敏，借助适当装置（40）在两电极之间对所述特性的测量，会给出与纳米颗粒集合在应力作用下的形变成比例的信息。按照该实施示例，所述应力以基本正交于第二电极的方式被施加在第二电极上。基板（10）为刚性或柔性都毫无差别，纳米颗粒集合构成该微传感器（100）的测试体。有利的是，所述微传感器可被用来测量作用力，或任何其它相同性质的物理量。例如，通过在第二电极上沉积微小质量，可构成微加速器。

在图2中，为了使较大尺寸的触摸表面功能化并在该表面上检测力的施加点的坐标，所述微传感器（100）可按照矩阵排列组合。为此，多个导电带（310至314）按照任何已知的沉积方法沉积在绝缘基板（10）上且构成第一电极。按照一个实施例，因此可按照任何已知的方法，例如光刻法把绝缘层（50）沉积在所述导电带上（图2A）。绝缘层（50）构成为具有在垂直于导电带（310至314）延伸方向的截面上成间距分布的入孔（51），并且截面间距等于所述带在相同方向上在基板上的沉积间距。

在图2B中，包括至少两个叠置层的纳米颗粒团，按照任何已知的方法，例如毛细管对流沉积法沉积在孔中从而与导电带（310至314）接触。沿不同于沉积在基板上的第一导电带的方向延伸的第二导电带（320至322），被沉积在绝缘层（50）的表面上，从而使所述第二导电带与设在所构成的绝缘层（50）的孔（51）中的纳米颗粒团（200）接触，并构成第二电极。有利的是，构成第二电极的第二导电带（320至322）的沉积方向垂直于基板上所沉积的第一导电带（310至314）的方向。有利的是，用绝缘膜（未示出）对这一整体进行覆盖。按照可选的实施方式，不沉积含有孔网的绝缘层，而将纳米颗粒团以构造方式直接沉积在构成第一电极的导电带上。

上述整体可随后被沉积在表面上，使其实现功能并实现触感。或者，基板可直接构成实现功能的表面。

当例如通过手指或借助触笔实现的压力被施加在由此实现功能的表面上时，所述表面上或大或小的区域按照压力的施加方式而受到该压力的影响。位于该受影响区的团（200）的纳米颗粒之间的距离被改变，由此改变设在基板（10）上的第一电极和设在绝缘层（50）上与团（200）接触的第二电极之间的连接的电特性。该电特性例如是阻抗。

因此，通过按成对导电带执行对第一和第二电极之间的阻抗的测量，便可能借助对测量值的恰当处理，来定位由压力导致的作用力的施加点以及所述作用力的强度。例如，如果作用力被施加在由此实现功能的表面中心，则在穿过该表面中间的导电带（312、321）之间测得的阻抗，比在沿所述表面边缘延伸的导电带（314、322）之间测得的阻抗受到更大的影响。

在图3中，按照第二实施方式，本发明的目标装置包括绝缘基板（10），覆盖该基板表面大部分的纳米颗粒集合（20）被沉积在该绝缘基板上。所述纳米颗粒集合可以为单层或包括沿正交于基板（10）的表面的方向叠置的多个层。

第一整组导电带（315、316）被沉积在基板上以构成第一电极，从而使所述带在所述基板的未被纳米颗粒集合覆盖的一部分和与该部分接触的所述集合之间延伸。构成第二电极的第二组带（323、324）以与第一组相同的方式，相对于纳米颗粒集合的表面中心对称于第一组带沉积。最后，绝缘膜（60）被沉积在整体之上。

在图6中，按照该实施方式的变型，构成第一电极的离散带被重组成一个或多个带（315’、316’）。

在图4中，当基本正交于表面且由此使其实现功能的作用力系统（501、502）被施加在所述表面上时，该系统对纳米颗粒集合或大或小的区域（511、512）产生影响。在受影响区域（511、512）中，集合的纳米颗粒之间的距离改变，从而使电特性同样也被改变。通过按照成对导电带处理，对第一电极（315、316）和第二电极（322、324）之间的电特性进行一个或多个测量，可获得给出所述电特性按照连接两个带的方向变化的曲线（601、602），其中，在所述两个带之间进行测量。根据这些变化轮廓，可以通过适当的信号处理确定力（501、502）的强度及其施加点。

在图5中，按照第三实施方式，本发明的目标装置包括绝缘基板（10），覆盖所述基板一部分表面的纳米颗粒集合（20）被沉积在该基板上。第一电极由一整组带（317）构成，其沉积在基板上且在基板未被覆盖的一部分与纳米颗粒集合（20）之间延伸，并与纳米颗粒集合接触。第二电极（325）被设置在纳米颗粒集合上，整体上由绝缘膜（未示出）覆盖。当作用力施加在第二电极（325）上时，不论所述作用力的正交分力还是切向分力，都会改变集合（20）的纳米颗粒之间的距离。作用力的施加点已知，也就是基本位于第二电极（325）的中心，对所述第二电极（325）和构成第一电极的各带（317）之间的电特性的测量，使得能够通过适当的信号处理，确定作用力的强度以及相对于纳米颗粒集合的定向。由此创建三维作用力微传感器，其可以组合成矩阵网，从而覆盖更大的这样的功能化表面。

在图7中，对集合的纳米颗粒之间距离敏感的电特性例如是所述集合的阻抗。现有技术中已知该电特性随集合的纳米颗粒之间的距离改变的变化，并且这种变化已被看做是纳米颗粒之间的隧道效应变化，因而不需由本发明再与任何理论相关联。按照本发明目标装置的可选实施方式，可测量所述集合的电容变化。为此，导电纳米颗粒（21）由合适的配位体结合，该配位体在上述描述的化合物中选择或在具有较大电阻抗以及类似化学键属性的其它化合物中选择。

由所述配位体分开的各对纳米颗粒构成纳米电容器，其电容（29）尤其是导电纳米颗粒之间距离的函数。因此，相似地，在该纳米颗粒集合上施加的力会改变所述纳米颗粒之间的距离以及所述集合的电容。通过将集合串联/并联在电路中，可以测量电极（31、32）之间的电容变化。借助现有技术已知的射频领域的协议，该配置提供了可远离地读取距离的可能性。为此，例如通过把电感（70）与纳米颗粒集合并联连接来实现谐振电路。

所述电路尤其通过其谐振频率（f₀）来限定，所述谐振频率通过以下关系式给出：

$f_0=1/2\mathrm{\π}\sqrt{\mathrm{LC}}$

其中，L是电感，其是固定值，而C为纳米颗粒集合的电容，其按照集合所承受应力而变化。因此，通过测量承受电磁激励的所述电路的谐振频率，可以确定所述集合的电容变化。

例如，电路承受频率f₀的连续电磁激励。最初，系统在该频率处存在较大吸收。

形变的存在会改变吸收谱，并通过改变集合的电容，使其向更高或更低的频率移动。在频率f₀下的吸收系数会发生改变。

按照另一实施方式，电路承受频率f₀的脉冲电磁激励。在各次激励脉冲之后，在其弛豫过程中对电路发射的测量能测量其吸收系数，且从中推导出纳米颗粒集合的电容。

为了按导电带的对数选择测量值，装置可以耦接至含有唯一识别码的组件。这种二进制码可用来激活或不激活介于第一电极带与第二电极带之间的各谐振电路。

在图8中，沉积在基板（10）上的纳米颗粒集合可以为单层（图8B）或包括叠置的多层（图8A）。至于其整体，纳米颗粒集合可被叠置或粘合在待功能化的表面（800）上，从实际的观点出发，考虑到本发明目标装置的较小的厚度，该表面因此类似于触摸表面。在图8C中，当在纳米颗粒集合上按正交于基板（10）的方向施加作用力（500）的情况下，含有多个叠置层的集合的纳米颗粒之间的距离在正交于表面的方向上与相切于该表面的方向上同时被改变。

在图8E中，在集合为单层的情况下，只有当作用力使纳米颗粒（21）产生相切于所述基板表面的位移时，才能检测与测量与基板表面正交地施加的作用力（500）。因此，在单层集合的情况下，基板（10’）应选择得可具有某些压缩性或表面弹性，从而使正交作用力（500）引起纳米颗粒的切向位移。然而，纳米颗粒集合依然是测试体，因为直接测量的是该集合的形变，基板的压缩性仅仅是类似于增益的因素。

在图8D中，表面可压缩的基板还可以与由多个叠置层构成的纳米颗粒集合一起使用。

上述说明清楚地示出，本发明凭借其不同的特征及其优点，可达到所期望的目的。特别地，其能使得触摸表面实现功能从而使其对按压所述表面的作用力系统的强度和方向灵敏。

Claims (20)

1.一种用于检测并量化施加在所谓功能化触摸表面上的作用力的装置，包括：

-测试体；

-电绝缘基板(10、10’)；

-第一电极，其连接至所述基板并相对于所述基板固定；

-第二电极；

-与上述两个电极接触的导电或半导电纳米颗粒集合，所述纳米颗粒集合被构造成和组织成沿与所述基板正交的方向的多个层且在所述功能化触摸表面上延伸；

-测量装置，其给出与纳米颗粒集合的电特性成比例的信息，所述特性在所述第一和第二电极之间测得，所述电特性与所述纳米颗粒集合的纳米颗粒之间的距离的改变成比例；

其特征在于，所述测试体包括所述纳米颗粒集合。

2.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二电极叠置于所述第一电极上，并且所述第二电极相对于所述基板可移动，所述纳米颗粒集合位于所述两个电极之间，从而使施加到所述第二电极上的力引起所述纳米颗粒集合的纳米颗粒之间距离的改变。

3.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电特性是所述纳米颗粒集合的阻抗。

4.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电特性是所述纳米颗粒集合的电容。

5.按照权利要求2所述的装置，其特征在于，

-所述第一电极包括在所述基板的表面上沿第一方向延伸的多个平行导电带；

-所述第二电极包括在与所述基板的表面分隔开并与所述基板的表面平行的平面上沿不同于所述第一方向的第二方向延伸的多个平行导电带；

-所述纳米颗粒集合在地形学上构成为多个离散团，所述离散团在所述两个电极之间位于所述第一和第二电极的导电带的方向交叉的位置处。

6.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述纳米颗粒集合位于所述基板上并覆盖所述基板的一部分表面，而且所述第一和第二电极包括导电带，所述导电带连接至所述基板并且在所述基板的未由所述纳米颗粒集合覆盖的一部分表面和由所述纳米颗粒覆盖的表面的周界之间延伸。

7.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述纳米颗粒集合位于所述基板上并覆盖所述基板的一部分表面，所述第一电极包括导电带，所述导电带连接至所述基板并且在所述基板的未由所述纳米颗粒集合覆盖的一部分表面和由所述纳米颗粒覆盖的表面的周界之间延伸，所述第二电极位于所述纳米颗粒集合上并且相对于所述基板可移动。

8.按照权利要求6所述的装置，其特征在于，所述纳米颗粒集合包括沿与所述基板的表面正交的方向的多个叠置的纳米颗粒层。

9.按照权利要求7所述的装置，其特征在于，所述纳米颗粒集合包括沿与所述基板的表面正交的方向的多个叠置的纳米颗粒层。

10.按照权利要求6所述的装置，其特征在于，在所述基板的表面延伸的纳米颗粒集合为单层，所述基板在沿与所述纳米颗粒集合正交的方向施加力时被压缩，并且使所述纳米颗粒集合的颗粒之间的距离发生改变。

11.按照权利要求7所述的装置，其特征在于，在所述基板的表面延伸的纳米颗粒集合为单层，所述基板在沿与所述纳米颗粒集合正交的方向施加力时被压缩，并且使所述纳米颗粒集合的颗粒之间的距离发生改变。

12.按照权利要求4所述的装置，其特征在于，所述测量装置包括与纳米颗粒集合并联耦接的谐振电路以及调谐电感。

13.按照权利要求12所述的装置，其特征在于，所述谐振电路包括当所述电路承受电磁激励时发射唯一识别码的部件。

14.一种制造按照权利要求5所述的装置的方法，其特征在于，所述方法包括的步骤在于：

–在绝缘基板上沉积沿第一方向延伸的第一平行导电带网；

–在这些带上沉积纳米颗粒团，所述纳米颗粒团包括在与所述基板的表面正交的方向上叠置的至少两个纳米颗粒层，所述纳米颗粒团彼此分开并在与所述第一平行导电带的方向平行的方向上按照重复的图案布置；

–在整体上沉积第二平行导电带网，所述第二平行导电带网沿不同于所述第一方向的所述第二方向延伸并且与所述纳米颗粒团接触。

15.按照权利要求14所述的方法，其特征在于，按照重复图案沉积所述纳米颗粒团的步骤包括以下步骤：

–在所述基板和第一导电带网的整体上沉积绝缘层，所述绝缘层包括在所述第一导电带上开通的孔；

–在所述绝缘层的孔内沉积所述纳米颗粒团，所述纳米颗粒团包括沿与所述基板的表面正交的方向叠置且与下侧的导电带接触的至少两层；

–在所述绝缘层上沉积所述第二平行导电带网，所述第二平行导电带网沿不同于所述第一方向的所述第二方向延伸并且与所述纳米颗粒团接触。

16.一种用于测量施加在按照权利要求12所述的装置上的作用力的方法，其特征在于，所述方法包括的步骤在于：

–使所述谐振电路承受电磁激励；

–当所述纳米颗粒集合承受所述作用力时，测量所述电路的吸收变化。

17.按照权利要求16所述的方法，其特征在于，所述电磁激励以连续的激励频率实现并且所测得的变化是所述电路的吸收谱的频率偏移。

18.按照权利要求16所述的方法，其特征在于，所述电磁激励以脉冲频率实现并且所测得的变化是所述谐振电路在弛豫阶段的发射。

19.按照权利要求17所述的方法，其特征在于，所述电磁激励在所述电路的谐振频率下实现并且测得的变化是该谐振频率的偏移。

20.一种触摸表面，其特征在于，其包括按照权利要求1所述的装置。