CN103049424B - 一种晶粒分块扫描方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶粒分块扫描方法，包括以下步骤：将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；从指定的扫描起始点起，通过晶粒间距计算下一晶粒位置，在一条状块内逐行扫描；扫描完一行后，从该行最后一个晶粒位置换行至下一行，更换扫描行进方向扫描下一行晶粒位置;在一个条状块扫描完成后，从该块最后一个晶粒位置切换到下一条状块扫描；跳转新条状块扫描到上一条状块内无晶粒时，结束扫描，否则继续扫描。该发明通过将晶片分块，使质量相近晶粒被一同拾取，晶粒拾取比较干净，对空行和空列有较强适应性，不连通的晶粒区域也能扫描到，克服了传统的逐行扫描方式的质量不均和不能跳过空行空列的缺点。

Description

一种晶粒分块扫描方法

技术领域

本发明涉及晶粒扫描技术领域，尤其涉及一种晶粒分块扫描方法。

背景技术

在电子工业专用设备中，需要对蓝膜上的晶粒进行扫描以获得晶粒的位置，然后进行拾取。

由于加工工艺的原因，蓝膜上邻近晶粒的亮度是相似的，距离远的晶粒的亮度差距较大。目前，公知的扫描方法是对蓝膜上的晶粒进行逐行扫描，逐行扫描是将一行晶粒逐个拾取，使距离较远的晶粒放置在一起工作，导致最终的产品亮度不均，质量不好。另外，当存在空行或有空过去的晶粒时，逐行扫描方法达到连续无晶粒时会出现扫描停止，只能移到有晶粒的地方重新扫描，影响了设备效率。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足而提供一种晶粒分块扫描方法，可以扫描临近块的晶粒，保证最终产品亮度均匀，并且能够有效的处理空行和空列的情况。

为实现上述的目的，本发明所采用的技术方案如下：

一种晶粒分块扫描方法，包括以下步骤：

1）将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；

2）从指定的扫描起始点起，通过晶粒间距计算下一晶粒位置，在一条状块内逐行扫描；扫描完一行后，从该行最后一个晶粒位置换行至下一行，更换扫描行进方向扫描下一行晶粒位置;

3）在一个条状块扫描完成后，从该块最后一个晶粒位置切换到下一条状块扫描；

4）跳转到新条状块发现上一条状块无晶粒时，结束扫描，否则继续扫描。

步骤2）中，通过晶粒间距计算下一晶粒的位置，在一条状块内逐行扫描时，还包括以下步骤：

判断该下一晶粒位置是否超出所述蓝膜晶片的边界，是则认为该位置没有晶粒，否则记录该晶粒的位置，继续扫描下一晶粒。

在判断下一晶粒位置是否超出所述蓝膜晶片的边界的步骤之前，还包括以下步骤：

判断扫描行的扫描晶粒数是否小于块扫描晶粒时，是则直接计算下一晶粒的位置并判断是否超出所述晶片的边界，否则换行计算下一晶粒位置并判断该否超出所述晶片的边界。

在判断扫描行的扫描晶粒数是否小于块扫描晶粒的步骤之前，还进一步包括以下步骤：

计算并判断连续设定的行数是否没有晶粒，是则进行下一步骤，否则执行判断扫描行的扫描晶粒数是否小于块扫描晶粒的步骤；

判断扫描换行方向是否已经反向，是则扫描方向反向，计算下一晶粒位置；否则切换至下一条状块扫描，并记录当前条状块的扫描起始位置。

本发明通过使用分块扫描方式，可使距离较近的晶粒被分为一块，使得亮度相近的晶粒被优先扫描，使质量相近晶粒被一同拾取，晶粒拾取比较干净，对空行和空列有较强适应性，不连通的晶粒区域也能扫描到，克服了传统的逐行扫描方式的质量不均和不能跳过空行空列的缺点。

附图说明

图1所示为蓝膜晶片上的晶粒的分布示意图；

图2所示为本发明实施例提供的晶粒分块扫描方法示意图；

图3所示为本发明实施例提供的晶粒分块扫描方法的流程图：

图中：1、蓝膜晶片，2、晶粒，3、空行，4、空行，5、条状块，6、晶片边界，50、第一条状块，51、第二条状块，52、扫描起始位置，53、扫描结束位置。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本发明进行进一步详细说明。

请参见附图2~3， 一种晶粒分块扫描方法，包括以下步骤：

1）将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；参见图2所示，蓝膜晶片1被分为数个条状块5；

2）从指定的扫描起始点起，通过晶粒间距计算下一晶粒位置，在一条状块内逐行扫描；扫描完一行后，从该行最后一个晶粒位置换行至下一行，更换扫描行进方向扫描下一行晶粒位置；参见图2所示，首先在指定的第一条状块50内进行扫描，扫描起始位置为52，扫描行进方向如横向箭头所示，有横向向左（X向）、横向向右（-X向）；扫描换行方向，如图中，在第一条状块50内的纵向箭头所示，分为纵向向上（Y向）、纵向向下（-Y向）；

3）在一个条状块扫描完成后，从该块最后一个晶粒位置切换到下一条状块扫描；参见图2所示，先按图中箭头方向自扫描起始位置52开始扫描第一条状块50的晶粒，扫描到该第一条状块50内底部最后一个晶粒时，返回到扫描起始位置52的上一行，再开始向上进行扫描，即从上一行左侧第一个晶粒位置始，扫描换行方向反向继续进行扫描，直到该第一条状块50内晶粒扫描完成；扫描完成该块的晶粒后，从该块的扫描结束位置53（最后一晶粒位置）处，切换到第二条状块51再进行扫描；在切换到第二条状块51进行扫描时，直接从扫描结束位置53（最后一晶粒位置）沿横向切换至该第二条状块51进行扫描，扫描方式同步骤2）；在扫描至该第二条状块51的最后一个晶粒时，返回至该第二条状块51内开始扫描的晶粒位置的下一行的左侧第一个晶粒位置，扫描换行方向反向继续进行扫描，直到该第二条状块51内晶粒扫描完成，再切换到相邻的下一条状块进行扫描。

4）跳转到新的条状块后发现上一条状块内无晶粒时，结束扫描，否则继续扫描。所述的上一条状块即指当前扫描条状块之前扫描那一条状块。

按上述的扫描方法执行扫描时，从起始条状块（指定扫描位置所在的条状块）的指定扫描起始位置开始依次对各行进行扫描，然后回到起始条状块的指定扫描起始位置再换行方向相反后进行扫描，如果该起始条状块内经扫描无晶粒时，则可认为当前条状块扫描完成，跳转到下一条状块继续扫描，否则继续扫描当前条状块直至扫描完成。

参见图3所示，本发明实施例中，步骤2）中，通过晶粒间距计算下一晶粒的位置，在一条状块内逐行扫描时，还包括以下步骤：

判断该下一晶粒位置是否超出所述蓝膜晶片1的边界6，是则认为该位置没有晶粒，否则记录该晶粒的位置，继续扫描下一晶粒。

参见图3所示，本发明实施例中，在判断下一晶粒位置是否超出所述蓝膜晶片1的边界6的步骤之前，还包括以下步骤：

判断扫描行的扫描晶粒数是否小于块扫描晶粒（一条状块内同一行中应分布的晶粒数）时，是则直接计算下一晶粒的位置并判断是否超出所述晶片的边界6，否则换行计算下一晶粒位置并判断该否超出所述晶片的边界6。

参见图3所示，本发明实施例中，在判断扫描行的扫描晶粒数是否小于块扫描晶粒的步骤之前，还进一步包括以下步骤：

计算并判断连续设定的行数是否没有晶粒，是则进行下一步骤，否则执行判断扫描行的扫描晶粒数是否小于块扫描晶粒的步骤（该步骤请见上述说明）；

判断扫描换行方向是否已经反向，是则扫描方向反向，计算下一晶粒位置；否则切换至下一条状块扫描，并记录该当前条状块的扫描起始位置。

记录该当前条状块的扫描起始位置作用在于，在该条状块扫描至底部最后一晶粒位置时，在换行方向反向前，定位换行方向反向开始的第一扫描晶料位置，在该条状块内换行扫描的起始点位置。

所述的连续设定的行数是指换块需要的连续无晶粒行数，本发明实施例中，所述的连续设定的行数为2行。

从以上所述的技术方案可以年出，如果晶片上的连续空行数小于换块需要的连续无晶粒行数时，空行可以跳过继续扫描，当连续空列数小于块扫描晶粒数时，空列可以跳过继续扫描，这样扫描过程中有空行和空列的情况能被有效处理。

本发明实施例中，当扫描到的下一晶粒位置超出晶片的边界时，按照无晶粒处理，继续找下一晶粒位置，否则移动到该晶粒位置查看是否有晶粒。

本发明实施例中，在进行扫描之间，需要预先定义扫描起始点、晶粒范围、晶粒间距等，在定义好后，即按本发明所述的方法进行扫描。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (1)

1.一种晶粒分块扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；

2）从指定的扫描起始点起，通过晶粒间距计算下一晶粒位置，在一条状块内垂直于划分线逐行扫描；扫描完一行后，从该行最后一个晶粒位置换行至下一行同侧最后一个晶粒位置，更换扫描行进方向扫描下一行晶粒位置，当扫描到条状快顶部或者底部最后一个晶粒时，返回到扫描起始位置的下一行或上一行继续扫描；

3）在一个条状块扫描完成后，从该块最后一个晶粒位置切换到下一条状块扫描；

4）跳转到新条状块发现上一条状块内无晶粒时，结束扫描，否则继续扫描；

步骤2）中，通过晶粒间距计算下一晶粒的位置，在一条状块内逐行扫描时，还包括以下步骤：

判断该下一晶粒位置是否超出所述蓝膜晶片的边界，是则认为该位置没有晶粒，否则记录该晶粒的位置，继续扫描下一晶粒；

在判断下一晶粒位置是否超出所述蓝膜晶片的边界的步骤之前，还包括以下步骤：

判断扫描行的扫描晶粒数是否小于一条状块内同一行中应分布的晶粒数时，是则直接计算下一晶粒的位置并判断是否超出所述晶片的边界，否则换行计算下一晶粒位置并判断该否超出所述晶片的边界；

判断扫描行的扫描晶粒数是否小于块扫描晶粒的步骤之前，还进一步包括以下步骤：

计算并判断连续设定的行数是否没有晶粒，是则进行下一步骤，否则执行判断扫描行的扫描晶粒数是否小于块扫描晶粒的步骤；

判断扫描换行方向是否已经反向，是则扫描方向反向，计算下一晶粒位置；否则切换至下一条状块扫描，并记录当前条状块的扫描起始位置。