CN103046014A - 一种磁控溅射镀膜真空传动机构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及到一种磁控溅射镀膜装置,尤其涉及到一种磁控溅射镀膜装置的真空传动机构。本发明采用的技术方案是包括支座，固定在支座上的电机、由电机带着转动的传动轴，固定在支座上的气缸，设置在真空腔室外侧的真空连接板,固定板,固定在真空连接板和固定板之间的滑竿，其中，支座通过直线轴承套接在滑竿，气缸带动支座做往复运动，并带动支座在滑竿上滑动，本发明避免了传动和往复运动时的互相干涉的缺点。

Description

一种磁控溅射镀膜真空传动机构

技术领域

本发明涉及到一种磁控溅射镀膜装置,尤其涉及到一种磁控溅射镀膜装置的真空传动机构。

背景技术

磁控镀膜技术在微电子、航空航天、机械制造、食品包装等许多领域已广泛应用。在目前的磁控镀膜设备中，真空状态下的各种传动是个难点，尤其需要避免干涉进行的间歇传动。目前广泛应用在镀膜工业行业中的是单独的直线运动或者转动。  

发明内容

本发明的目的在于,克服现有技术中磁控溅射镀膜传动机构同时进行传动和往复运动时互相干扰的缺陷，本发明提供了一种新型的磁控溅射镀膜真空传动机构。

本发明的目的及解决的技术问题是通过下列方案来实现的,提供一种磁控溅射镀膜真空传动机构，包括支座，固定在支座上的电机、由电机带着转动的传动轴，安装在支座上的气缸，设置在真空腔室外侧的真空连接板,固定板,固定在真空连接板和固定板之间的滑竿，其中，支座通过直线轴承套接在滑竿，气缸带动支座在滑竿上滑动。

本发明的优选实施方案是,传动轴的一端穿过真空连接板设置在真空腔室内,另一端套接在外轴套上,所述轴套设置在真空连接板和支座之间。

本发明的优先实施方案是，外轴套的一端外侧套接有金属波纹管，其中，波纹管设置在支座和真空连接板之间。

本发明的另一种优先实施方案是，所述金属波纹管与外轴套的连接处设置有O型密封圈。

本发明的另一种优先实施方案是，支座与滑竿连接处的直线轴承内还设置有轴用弹性挡圈。

本发明的另一种优先实施方案是，所述传动轴安装在外轴套内，传动轴和外轴套之间从内往外依次安装有骨架油封、隔环、骨架油封、轴承、孔用弹性挡圈、隔环、骨架油封、并通过封盖固定，从而完成传动轴在转动时的密封。

本发明的另一种优先实施方案是，所述传动轴通过联轴器和电机连接，所述传动轴和联轴器的连接端设置有平键。

本发明的另一种优先实施方案是，电机通过电机安装座设置在支座上。

本发明的另一种优先实施方案是，所述传动轴的末端设置有摩擦片或传动爪。

本发明的另一种优先实施方案是，所述真空连接板通过螺栓和O型密封圈固定在真空腔室上。

本发明的优点是：避免了往复运动和传动同时运动的互相干涉。

采用了O型密封圈作为静密封，传动轴的密封通过骨架油封密封，使得密封状态良好，本发明结构简单，便于装配和拆卸，整个结构密封结构合理，传动安全精确。

附图说明

图1为本发明的结构示意图

 1-真空连接板，2-固定板，3-滑竿，4-支座，5-电机安装支架，6-电机，7-气缸，8-金属波纹管，9-联轴器，10-轴承，11-外轴套，12-传动轴，13-O型密封圈，14-O型密封圈，15-骨架油封，16-隔环，17-封盖，18-平键，19-直线轴承，20-孔用弹性挡圈，21-轴用弹性挡圈

具体实施方式

为了更清楚的说明本发明采用的技术方案和功效，下面结合附图对本发明的具体实施方式做进一步的说明，但本发明的实施方案不限于本发明所描述的实施方案。

如图1所示，真空连接板1通过螺栓穿过设置在其一侧密封槽内的O型密封圈14固定在真空腔室上。

滑竿3一端固定在真空连接板1，另一端固定在固定板上2，滑竿3为光滑的金属长杆，支座4通过直线轴承19套接在滑竿3上，所述支座4可在滑竿3上随意滑动。在直线轴承与滑竿和支座4的连接处还设置轴用弹性挡圈21。

电机6通过电机安装座5固定在支座4上，电机6的输出端连接有传动轴12，所述传动轴12通过联轴器9，以及设置在联轴器9和传动轴12之间的平键18 与电机6相连。

传动轴12的一端穿过真空连接板1设置在真空腔内，另一端套接有外轴套11，外轴套11设置在真空连接板1与支座3之间，外轴套11的一端固定在支座4上。金属波纹管8的一侧通过O形密封圈14固定在真空连接板1上，另一侧与外轴套11连接，并通过O形密封圈13进行密封。

传动轴12安装在外轴套11内，传动轴12和外轴套11之间从内往外依次安装有骨架油封15、隔环16、骨架油封15、轴承10、孔用弹性挡圈20、隔环16、骨架油封15、并通过封盖17固定，从而完成传动轴12在转动时的密封。

在传动轴12的末端安装有摩擦片、传动爪，并通过摩擦片、传动爪与真空腔室内的传动部件相连接进行传动。

气缸7固定在支座4上，气缸7可带动传动轴12做往复运动。从而使得真空传动机构可以在真空腔室中间歇的、避免干涉的输出转动和直线运动。

Claims (10)

1.一种磁控溅射镀膜真空传动机构，包括支座（4），固定在支座（4）上的电机（6）、由电机（6）带着转动的传动轴（12），固定在支座上的气缸（7），设置在真空腔室外侧的真空连接板（1）,固定板（2）,固定在真空连接板（1）和固定板（2）之间的滑竿，其特征在于，支座（4）通过直线轴承（19）套接在滑竿（3），气缸（7）带动支座（4）做往复运动，并带动支座（4）在滑竿（3）上滑动。

2.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，所述传动轴（12）的一端穿过真空连接板（1）设置在真空腔室内,另一端套接在外轴套(11)上,所述外轴套(11)设置在真空连接板(1)和支座(4)之间。

3.根据权利要求2所述的真空传动机构，其特征在于，外轴套（11）上套有金属波纹管（8），所述波纹管（8）设置在支座（4）和真空连接板（1）之间。

4.根据权利要求3所述的真空传动机构，其特征在于，所述金属波纹管（8）与外轴套（11）的连接处设置有O型密封圈（13）。

5.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，所述直线轴承（19）与支座（4）和滑竿（3）的连接处设置有轴用弹性挡圈（21）。

6.根据权利要求1或2所述的真空传动机构，其特征在于，所述传动轴（12）和外轴套（11）连接处从内往外依次设置有骨架油封（15）、隔环（16）、骨架油封（15）、轴承（10）、孔用弹性挡圈(20)、隔环（16）、骨架油封（15）,并使用封盖（17）固定，完成传动轴在转动时的密封。

7.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，所述传动轴（12）通过联轴器（9）和平键（18）与电机（6）连接。

8.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，，电机（6）通过电机安装座（5）设置在支座（4）上。

9.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，所述传动轴（12）的末端设置有摩擦片或传动爪。

10.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，所述真空连接板通过螺栓和O型密封圈（13）固定在真空腔室上。

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