CN1030262A - 双层辉光离子渗金属炉 - Google Patents
双层辉光离子渗金属炉 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1030262A CN1030262A CN 87104626 CN87104626A CN1030262A CN 1030262 A CN1030262 A CN 1030262A CN 87104626 CN87104626 CN 87104626 CN 87104626 A CN87104626 A CN 87104626A CN 1030262 A CN1030262 A CN 1030262A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- source electrode
- vacuum
- negative electrode
- furnace
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
双层辉光离子渗金属炉，属表面冶金设备或真空
气体放电热处理设备范畴。
本发明的主要目的是使我国学者创造的双层辉
光离子渗金属技术付诸实施，应用于工业生产。其主
要特征是在该设备的真空室内设有由欲渗合金元素
组成的源极、阴极(工件)和作为阳极的隔热层；源极
及阴极分别配备带有灭弧装置的调压范围为0至
1000伏的直流电源；辅助交流电阻加热装置及并联
双回路的抽真空系统。工件经该设备进行离子渗金
属处理后可形成包含各种合金元素的合金扩散层。
Description
本发明属表面冶金设备范畴，这是一种利用辉光放电现象，在真空工作室内设有金属源极、阴极（工件）及辅助加热装置，对金属材料表面进行离子渗金属的设备。也可属真空气体放电热处理设备范畴。
本发明是基于我国学者发明的“双层辉光离子渗金属技术”（美国专利4520268）在工业用设备方面的新发展，是根据上述专利所提出的装置基本原理设计制造的一台离子渗金属工业用炉，是使该专利技术付诸实现的新设备。
本发明是一种应用辉光放电加热工件（阴极）并利用辉光放电使构成金属源极的欲渗合金元素溅射出来，以供给渗金属所需要的合金元素，并备有辅助加热源的设备。
设备工作原理如图1所示，设有两个相互独立控制的直流电源④⑤，交流加热电源及炉内辅助电阻加热装置③。真空室的内壁为阳极，室内有阴极（工件），源极及交流加热装置所组成，设有隔热屏。此外还有供气系统及抽真空系统。
本设备的总体结构可以是臥式（图2）、立式（图1）、双室（加热室及冷却室）及臥式三室（予备室、加热室及冷却室;如图3）结构。典型的臥式炉结构如图4、图5所示。
图6为源极输电装置。水冷的源极杆⑥与滑动套⑦组成一个组合件。滑动套外园与调整螺帽⑧靠螺纹连接，调整螺帽可手动或靠齿轮传动带动滑动套升降以调整源极和阴极（工件）间的距离，可调范围为5-100毫米，本装置设置一个或多个源极输电装置，每个源极杆可根据需要独立调整其位置。
阴极输电装置和源极结构相同，设有两层纵向间隙保护。外层为金属套（11）和绝缘套⑩间的间隙，内层为绝缘套⑩与绝缘管⑨之间的间隙，间隙宽度为0.5-2.0毫米，间隙长度为10-20毫米。绝缘材料系高铝陶瓷或合成云母。
源极由欲渗金属或合金制成的板、条、棒、丝或其它成型件所组成，这些板、条、丝等的相互间距为5-20毫米。
阴极的工作温度为800-1200℃，阴极和阳极间的工作电压为100-1000伏。源极和阳极间的工作电压为400-1000伏。真空加热室采用两种结构，由内设有多层金属板隔热屏或由金属板夹有高温隔热材料所构成的封闭隔热室，设有电压为20-100伏的交流电阻加热装置。在电阻加热元件的内侧设有隔离金属粒子的屏蔽板。
真空室的予备真空度为（1-5）×10-3托工作真空度范围为1×10-2-10托。抽真空机组系机械增压泵机组。保温时由一小排量的机械泵来维持工艺所要求的真空度。
Claims (9)
1、一种双层辉光离子渗金属炉，主要由真空加热室及其中的源极，阴极和阳极以及辅助加热源，抽真空系统，带有灭孤装置的可调压直流电源等组成，其特征在于由欲渗元素组成的源极以及它所采用的可调位置的组合结构；具有隔热层保温结构的加热室；辅助交流电阻加热装置；并联双回路的抽真空系统等。
2、根据权利要求1，其中所述的源极由欲渗元素制成的元件所组成，该元件可以是板、条、丝、块或其它形状。这些板、条、丝之间的距离一般为5-20毫米。源极外廓相对于阴极（工件）的前沿面和工件外表面的间距为5-100毫米。
3、根据权利要求1，其中所述的源极和阴极由两个相互独立控制的带有灭孤装置的可调压直流电源供电。阳极和源极的工作电压为400-1000伏，阳极和阴极间的电压为100-1000伏。
4、根据权利要求1，其中所述的真空加热室的极限真空度不低于5×10-2托，工作气压范围为1×10-2-10托。
5、根据权利要求1，其中所述的源极和阴极输电装置为两层纵向间隙保护结构。外层为金属套与绝缘套之间的间隙，内层为绝缘套和绝缘管之间的间隙，其间隙宽度为0.5-2.0毫米，间隙深度为10-20毫米，绝缘材料为高温陶瓷或合成云母。
6、根据权利要求1，其中所述的阳极为隔热层内壁，隔热层系由内外金属板和高温隔热材料组成的夹层式结构，其内层为数块可伸缩的金属板搭接而成，或由多层金属反射屏组成。
7、根据权利要求1，其中所述的辅助交流电阻加热电源的电压为20-100伏。电阻加热元件内侧设有屏蔽板。
8、根据权利要求1，其中所述的真空系统设有两条分路，其中主分路系机械增压泵机组，以保证炉子的极限真空度达到（1-5）×10-3托，另一分路是采用小排气量机械泵，以保证1×10-2-10托的工作气压。
9、根据权利要求1，其中所述的炉子结构在炉内设离心式风扇致冷或增设冷却室，在冷却室内通入惰性气体作循环致冷。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 87104626 CN1024693C (zh) | 1987-07-01 | 1987-07-01 | 双层辉光离子渗金属炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 87104626 CN1024693C (zh) | 1987-07-01 | 1987-07-01 | 双层辉光离子渗金属炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1030262A true CN1030262A (zh) | 1989-01-11 |
| CN1024693C CN1024693C (zh) | 1994-05-25 |
Family
ID=4814954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 87104626 Expired - Fee Related CN1024693C (zh) | 1987-07-01 | 1987-07-01 | 双层辉光离子渗金属炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1024693C (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101736306B (zh) * | 2008-11-12 | 2011-11-30 | 北京世纪辉光科技发展有限公司 | 等离子表面冶金金属线材的生产方法及装置 |
| CN102969110A (zh) * | 2012-11-21 | 2013-03-13 | 烟台正海磁性材料股份有限公司 | 一种提高钕铁硼磁力矫顽力的装置及方法 |
| CN103088285A (zh) * | 2013-01-15 | 2013-05-08 | 太原理工大学 | 一种镍铜合金渗镀层的制备方法 |
| CN104307548A (zh) * | 2014-11-03 | 2015-01-28 | 太仓派欧技术咨询服务有限公司 | 一种Pt族金属点缀活性点的过渡金属催化剂的制备方法 |
| CN108039379A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-05-15 | 南京信息工程大学 | 一种金属箔片表面金属掺杂的氧化锌复合电极薄膜及其制备方法 |
| WO2019210590A1 (zh) * | 2018-05-04 | 2019-11-07 | 山东大学 | 一种用于难加工材料高效切削的表层合金化弱化处理辅助加工方法 |
-
1987
- 1987-07-01 CN CN 87104626 patent/CN1024693C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101736306B (zh) * | 2008-11-12 | 2011-11-30 | 北京世纪辉光科技发展有限公司 | 等离子表面冶金金属线材的生产方法及装置 |
| CN102969110A (zh) * | 2012-11-21 | 2013-03-13 | 烟台正海磁性材料股份有限公司 | 一种提高钕铁硼磁力矫顽力的装置及方法 |
| CN102969110B (zh) * | 2012-11-21 | 2016-07-06 | 烟台正海磁性材料股份有限公司 | 一种提高钕铁硼磁力矫顽力的装置及方法 |
| CN103088285A (zh) * | 2013-01-15 | 2013-05-08 | 太原理工大学 | 一种镍铜合金渗镀层的制备方法 |
| CN103088285B (zh) * | 2013-01-15 | 2016-02-17 | 太原理工大学 | 一种镍铜合金渗镀层的制备方法 |
| CN104307548A (zh) * | 2014-11-03 | 2015-01-28 | 太仓派欧技术咨询服务有限公司 | 一种Pt族金属点缀活性点的过渡金属催化剂的制备方法 |
| CN104307548B (zh) * | 2014-11-03 | 2017-02-15 | 太仓派欧技术咨询服务有限公司 | 一种Pt族金属点缀活性点的过渡金属催化剂的制备方法 |
| CN108039379A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-05-15 | 南京信息工程大学 | 一种金属箔片表面金属掺杂的氧化锌复合电极薄膜及其制备方法 |
| WO2019210590A1 (zh) * | 2018-05-04 | 2019-11-07 | 山东大学 | 一种用于难加工材料高效切削的表层合金化弱化处理辅助加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1024693C (zh) | 1994-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2727936A (en) | Titanium furnace | |
| CN1030262A (zh) | 双层辉光离子渗金属炉 | |
| DE967138C (de) | Stromdurchfuehrung fuer Vakuum-Glueh- und Schmelzoefen | |
| CN112179128A (zh) | 一种连续式真空烧结炉 | |
| US2848523A (en) | Vacuum crucible furnace | |
| CN112066711A (zh) | 一种真空二室烧结炉 | |
| US3846574A (en) | Method of heating objects and device for the performance of the method | |
| CN101902872A (zh) | 大面积平板常压射频冷等离子体系统 | |
| CN2870385Y (zh) | 大面积平板常压射频冷等离子体放电装置 | |
| CN100460553C (zh) | 节能离子氮化炉 | |
| CN212620039U (zh) | 一种真空二室烧结炉 | |
| CN2330137Y (zh) | 电热辐射管辅助加热离子轰击炉 | |
| CN204661840U (zh) | 一种电解炉组 | |
| CN1058301C (zh) | 离子溅射渗金属的方法 | |
| CN210420108U (zh) | 一种铜丝加工用退火炉 | |
| CN2838199Y (zh) | 一种阴极输电装置 | |
| CN201414256Y (zh) | 大面积平板常压射频冷等离子体系统 | |
| CN2198283Y (zh) | 金属材料渗碳设备 | |
| CN2227659Y (zh) | 一种离子轰击炉用堆放阴极输电装置 | |
| CN215572119U (zh) | 一种中频感应加热炉水电分离装置 | |
| CN2760046Y (zh) | 节能离子氮化炉 | |
| CN2328666Y (zh) | 粉末电热体加热炉 | |
| CN104818498A (zh) | 一种电解炉组 | |
| US1572893A (en) | Electric furnace | |
| CN2223747Y (zh) | 一种离子轰击炉用吊挂阴极输电装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |