CN103017178B - 一种cvd在线镀功能膜废气干法净化装置 - Google Patents

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Abstract

本发明及一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置,包括:气源管道H,在气源管道H的前端依次设有燃烧室(2)和超高温静电除尘器(4),在管道的末端设有活性炭纤维净化器(8),其特征在于还包括:在管道上还设置了干式脱酸装置(5)和布袋除尘器(7)。本发明的优点:本发明提供的装置采用干法净化法,消除了现有湿法净化装置产生水污染的隐患,降低了运行成本,提高了设备的使用寿命;本装置应用前景广泛,对于成分复杂,温度较高有腐蚀性的废气,无论可燃或者不可燃,都能进行充分高效的净化处理;本装置能同时处理高温、酸性、含尘及含重金属等镀膜废气,且净化效率高,能达到99.99%以上的净化效率。

Description

一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置
技术领域
[0001 ]本发明及一种工业废气处理系统,特别涉及一种CVD在线镀功能膜废气干法净化
目.ο
背景技术
[0002]近年来,随着城市工业的不断发展,大气污染日益严重,空气质量进一步恶化,环境问题已成为全球性的问题。CVD在线镀功能膜生产过程中会产生大量的废气,该废气成分比较复杂、浓度较高、温度较高并具有强腐蚀性,对环境和人体的危害很大。必须进行净化处理才能安全排放,这就要求CVD在线镀功能膜废气的净化系统稳定性能好、安全高效、运行成本低、能满足连续生产处理要求、能处理高温高腐蚀性且成分复杂的废气且处理过程中避免其他污染的产生。
[0003]目前CVD在线镀膜废气常用的净化系统有湿法净化系统、冷凝回收法净化系统和生物法净化系统等,其中湿法净化系统,是最为常用的一种处理方法,它具有去除效率高、处理工艺成熟等优点,但在净化系统中存在碱液喷淋塔装置,该装置使用大量的碱液来去除废气中的酸性气体,在去除酸性气体以后又会产生水处理的问题,无形中提高了成本。因为有液体的加入也会使废气中的酸气变成酸液,这就造成了对净化设备的腐蚀,降低了其使用寿命,也影响了浮法玻璃在线镀功能膜的正常生产。冷凝回收法通过将操作温度控制在V0C沸点以下而将V0C冷凝下来,此种方法可高效率的回收废气中的各物质,使其变废为宝,但是这种净化系统需要对废气的温度和压力进行精确的控制,难度较大,对于成分复杂的在线镀膜废气处理效率较低。生物法虽然在净化低浓度有机污染物时效果明显,但存在气阻大、降解速率慢、设备体积庞大、对于处理高浓度高温气体效果不显著等缺点。上述几种处理方法都一定的局限性,而无法满足CVD在线镀功能膜废气处理要求。经过广泛检索,尚未发现有相关的技术方案。
发明内容
[0004]本发明的目的是为了解决现阶段CVD在线镀膜废气净化装置不能满足同时处理高温、酸性、含尘和含氟的镀膜废气的要求,且在净化过程中又会产生水污染等缺点,而提出的一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置。
[0005]为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置,包括气源管道Η,气源管道Η连接燃烧室,在气源管道Η上连接变频废气风机,在燃烧室的两侧分别连接一个燃烧器,燃烧器通过燃料管道外置燃料连接。燃烧室通过管道连接超高温静电除尘器,在超高温静电除尘器的下端设有出料口。超高温静电除尘器通过管道连接活性炭纤维净化器,活性炭纤维净化器通过管道将净化后的气体排放到大气中,在管道上设有引风机,其特征在于还包括:在超高温静电除尘器与活性炭纤维净化器之间的管道上还依次设置了干式脱酸装置和布袋除尘器,干式脱酸器的侧端口 D通过管道连接布袋除尘器的端口 Ε,布袋除尘器的作用是收集废气中粉尘颗粒物。
[0006] 干式脱酸装置的下端口 A通过管道与超高温静电除尘器的端口 B相连接,干式脱酸器的顶部端口 C通过管道N与供碱仓相连接,在干式脱酸器的下方通过管道Μ连接回收仓。
[0007]布袋除尘器的端口 F通过管道连接活性炭纤维净化器,布袋除尘器的下端设有出料口 Go
[0008]所述的干式脱酸器的内部分别设有前扰流板和后扰流板。在管道N上设有碱料栗,碱料栗供碱仓内的碱性浆粉通过管道栗如干式脱酸装置内,碱性浆粉自上而下喷出对酸性含氟镀膜废气进行脱酸去氟净化,因在干式脱酸器内设有扰流板可使反应更加充分。在管道Μ上设有回收栗,回收栗将反应后的反应物抽进回收仓内进行回收。
[0009]本发明的优点在于:本发明提供的装置采用干法净化法,消除了现有湿法净化装置产生水污染的隐患,降低了运行成本,提高了设备的使用寿命;本装置应用前景广泛,对于成分复杂,温度较高有腐蚀性的废气,无论可燃或者不可燃,都能进行充分高效的净化处理;本装置能同时处理高温、酸性、含尘及含重金属等镀膜废气,且净化效率高,能达到99.99%以上的净化效率。
附图说明
[0010]图1是本发明的基本结构示意图。
具体实施方式
[0011]如图1所示,本发明提供的一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置,包括气源管道Η,气源管道Η连接燃烧室2,在气源管道Η上连接变频废气风机1,在燃烧室2的两侧分别连接一个燃烧器3,燃烧器通过燃料管道14外置燃料连接。燃烧室2通过管道连接超高温静电除尘器4,在超高温静电除尘器4的下端设有出料口。超高温静电除尘器4通过管道连接活性炭纤维净化器8,活性炭纤维净化器8通过管道连接引风机9,其特征在于还包括:
[0012] a、在超高温静电除尘器4与活性炭纤维净化器8之间的管道上还依次设置了干式脱酸装置5和布袋除尘器7,干式脱酸器5的侧端口 D通过管道连接布袋除尘器7的端口 E。
[0013] 干式脱酸装置5的下端口 A通过管道与超高温静电除尘器4的端口 B想连接,干式脱酸器5的顶部端口 C通过管道N与供碱仓11相连接,在管道N上设有碱料栗10b,在干式脱酸器5的下方通过管道Μ连接回收仓12,管道Μ上设有回收栗10a。在干式脱酸器5的内部分别设有前扰流板6a和后扰流板6b,前扰流板6a和后扰流板6b设置在干式脱酸器5的底部。
[0014] b、布袋除尘器7的端口 F通过管道连接活性炭纤维净化器8,布袋除尘器7的下端设有出料口 G。
[0015] 工作原理
[0016] CVD在线镀膜产生的废气经过气源管道Η被变频废气风机抽进燃烧室,打开燃料管道阀门,通入燃料后自动点火装置启动对不易燃的镀膜废气进行燃烧高温分解,将镀膜废气中的有机物进行热解。燃烧室的底部设置一个出灰口,镀膜废气燃烧后部分粉尘沉降经由出灰口排出进行回收二次利用。
[0017] 燃烧室的下端出气口连接超高温静电除尘器进气口,经过燃烧处理后的高温废气不用降温直接进入耐高温耐腐蚀的高效静电除尘器进行静电除尘,镀膜废气经由静电除尘后99%的粉尘颗粒物被去除,由静电除尘器下端出灰口排出。
[0018]超高温静电除尘器的出气口连接干式脱酸装置下端的进气口,经过静电除尘后的镀膜废气自下而上进入含有扰流板的的干式脱酸装置,在扰流板的作用下使进入干式脱酸装置内废气的流速得到减缓,增加气体的湍流度,以达到充分反应净化的目的。干式脱酸装置顶端进料口连接一个供碱仓,供碱仓内的碱性浆粉由碱料栗抽进干式脱酸装置自上而下喷出对酸性含氟镀膜废气进行脱酸去氟净化。干式脱酸装置下端还连接一个回收仓,反应过后的反应物经由回收栗抽进回收仓内进行回收。
[0019]干式脱酸装置的出气口连接袋式除尘器进气口,经过干式脱酸去氟后的废气中携带着反应颗粒物和部分未反应碱粉,进入布袋除尘器进行二次除尘,收集的粉尘颗粒物由袋式除尘器底部出灰口排出。
[0020]布袋除尘器的出气口连接活性炭纤维净化器,其活性炭优选活性炭纤维作为吸附剂,其吸附速率快处理效果好能保证处理净化完全。废气进入该活性炭纤维净化器后进行吸附处理,吸附废气中剩余的微量的有毒有害气体,吸附处理过的气体由该活性炭纤维净化器的出气口连接弓I风机排到大气中。

Claims (1)

1.一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置,包括气源管道H,在气源管道Η上连接变频废气风机(1),气源管道Η连接燃烧室(2),在燃烧室(2)上设有燃烧器(3),燃烧室(2)通过管道连接超高温静电除尘器(4),超高温静电除尘器(4)通过管道连接活性炭纤维净化器(8),活性炭纤维净化器(8)通过管道连接引风机(9),其特征在于还包括: a、在超高温静电除尘器(4)与活性炭纤维净化器(8)之间的管道上还依次设置了干式脱酸装置(5)和布袋除尘器(7),干式脱酸器(5)的侧端口D通过管道连接布袋除尘器(7)的端口E,干式脱酸装置(5)的下端口A通过管道与超高温静电除尘器(4)的端口B相连接,干式脱酸器(5)的顶部端口C通过管道N与供碱仓(11)相连接,在干式脱酸器(5)的下方通过管道Μ连接回收仓(12); b、布袋除尘器(7)的端口F通过管道连接活性炭纤维净化器(8),布袋除尘器(7)的下端设有出料口G; c、所述的干式脱酸器(5)的内部分别设有前扰流板(6a)和后扰流板(6b),在管道N上设有碱料栗(10b),管道Μ上设有回收栗(10a)。
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