CN102975299B - 一种双刀盘式超精密飞切铣床 - Google Patents

Abstract

一种双刀盘式超精密飞切铣床，它涉及一种铣床。本发明为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括大理石T型床身、横向直线导轨系统、纵向直线导轨系统、双刀盘主轴系统、空气隔振支撑系统；横向直线导轨系统与纵向直线导轨系统垂直布置在大理石T型床身上，横向直线导轨系统位于纵向直线导轨系统的两端，双刀盘主轴系统位于纵上溜板上，两个真空吸盘和双刀盘主轴系统形成相对运动。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削，而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式，具有高精度、高刚度的优点。

Description

一种双刀盘式超精密飞切铣床

技术领域

本发明涉及一种铣床，具体涉及一种双刀盘式超精密飞切铣床。

背景技术

惯性核聚变装置需要大量的直径厚度比较大的KDP晶体光学元件，由于KDP晶体功能和材料性质的特殊性，对它的加工只能是采用超精密飞切铣削的工艺方法加工，为了获得超光滑的表面，除了要研究刀具和超精密加工工艺技术以外，其专用的超精密加工设备更是研究的基础。在实际工作中，对KDP晶体功能材料的加工精度和表面质量要求很高，要求其长×宽×高为430mm×430mm×10mm；面形精度小于0.125μm；表面粗糙度小于5nm（RMS），双面表面平行度小于10″。目前，我国的KDP晶体加工超精密机床广泛地使用气体静压的方式，，如专利号ZL 200710144867.4、申请日为2007年12月19日、名称为《龙门式超精密飞切铣床》。但是现有的KDP晶体加工超精密机床刚度和加工效率均较低，无法加工出高精度和高表面质量的KDP晶体光学元件。

发明内容

本发明的目的是提供一种双刀盘式超精密飞切铣床，以解决现有KDP超精密加工机床刚度和加工效率均较低的问题。

本发明为解决上述技术问题采取的技术方案是：

一种双刀盘式超精密飞切铣床，所述铣床包括大理石T型床身、横向直线导轨系统、纵向直线导轨系统、双刀盘主轴系统和多个空气隔振支撑系统；

所述横向直线导轨系统分为横向直线导轨系统左和横向直线导轨系统右，横向直线导轨系统左设置在大理石T型床身上的左边缘，横向直线导轨系统右设置在大理石T型床身上的右边缘，纵向直线导轨系统设置在大理石T型床身的中间部位，且纵向直线导轨系统位于横向直线导轨系统左和横向直线导轨系统右之间，横向直线导轨系统左包括吸盘支撑座左、真空吸盘左、横上溜板左、横导轨左、直线电机左、两个横中间溜板左及两个横下溜板左；横上溜板左的两端通过两个横中间溜板左与两个横下溜板左分别固接并形成凹槽左，横导轨左的上端安装在凹槽左内，横导轨左的下端与大理石T型床身固接，横上溜板左通过直线电机左驱动在横导轨左上滑动，实现相对运动，真空吸盘左与吸盘支撑座左固接，吸盘支撑座左与横上溜板左固接，真空吸盘左与横上溜板左的上表面垂直设置，真空吸盘左与纵向直线导轨系统平行设置，横向直线导轨系统右包括吸盘支撑座右、真空吸盘右、横上溜板右、横导轨右、直线电机右、两个横下溜板右及两个横中间溜板右；横上溜板右的两端通过两个横中间溜板右与两个横下溜板右分别固接并形成凹槽右，横导轨右的上端安装在凹槽右内，横导轨右的下端与大理石T型床身固接，横上溜板右通过直线电机右驱动在横导轨右上滑动，实现相对运动，真空吸盘右与吸盘支撑座右固接，吸盘支撑座右与横上溜板右固接，真空吸盘右与横上溜板右的上表面垂直设置，真空吸盘右与纵向直线导轨系统平行设置，纵向直线导轨系统包括纵导轨、纵上溜板、电机连接座、纵直线电机、两个纵下溜板及两个纵中间溜板，纵上溜板的两端通过两个纵中间溜板与两个纵下溜板分别固接并形成纵导轨凹槽，纵导轨的上端安装在纵导轨凹槽内，纵导轨的下端与大理石T型床身固接，纵上溜板与纵导轨之间通过电机连接座与纵直线电机连接，实现相对运动，双刀盘主轴系统位于纵向直线导轨系统之上且与纵上溜板固接，大理石T型床身的底部固定有多个空气隔振支撑系统。

本发明具有以下有益效果：本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动，而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式，具有精度高、刚度高等优点。本发明的加工精度指标高、加工效率高，完全适合硬脆性功能材料的超精密加工。实验结果表明，铣床的主要精度指标为液体静压主轴的跳动量0.02μm，其轴向刚度可达到4000N/μm，导轨运动直线度误差为0.1μm/300mm（导轨长度为300mm时）和0.2μm/600mm（导轨长度为600mm时），导轨刚度≥4000N/μm。此外，本发明还具有以下优点：铣床整体采用T字型对称结构布置，结构对称，布局简单，可以抵消轴向力的作用，对提高加工精度有利；主轴采用卧式结构，并采用较大刚度的轴承（即由第一止推板、第一刀盘、第一主轴、第一轴套四个零件及其接触缝隙在通有高压液压油的时候构成液体静压和止推轴承，同理，第二主轴、第二止推板、第二刀盘、第二轴套四个零件及其接触缝隙在通有高压液压油的时候构成液体静压和止推轴承）支承，避免了由于刀盘重量引起主轴回转精度的变化；真空吸盘竖直放置，有利于克服工件自重产生的变形，并且便于操作，有利于工件的装夹；由一个驱动源同时驱动两个主轴转动，实现了两轴上的刀盘同时加工工件，与现有的KDP超精密加工机床的主轴系统采用单刀盘相比，加工效率提高了一倍。

附图说明

图1是本发明的整体结构的主视图，图2是图1的俯视图，图3是图1的左视图，图4是图1中真空吸盘左的右视图，图5是图1中真空吸盘右的左视图，图6是图1中双刀盘主轴系统的主视图，图7是图6中的第一止推板的左主视图，图8是图6中的第二止推板的右主视图，图9是图6在C处的局部放大图，图10是图6在Ｉ处的局部放大图，图11是图6的第一油室套的横截面示意图，图12是图6的第二油室套的横截面示意图，图13是图1的a处放大图，图14是图6中直流双输出轴电机放大图，图15是图1中空气隔振支撑系统的放大图，图16是图1的b部放大图，图17是图1的c部放大图，图18是图3的d部放大图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1～图18说明，本实施方式的一种双刀盘式超精密飞切铣床，所述铣床包括大理石T型床身44、横向直线导轨系统64、纵向直线导轨系统65、双刀盘主轴系统56和多个空气隔振支撑系统59；

所述横向直线导轨系统64分为横向直线导轨系统左64-1和横向直线导轨系统右64-2，横向直线导轨系统左64-1设置在大理石T型床身44上的左边缘，横向直线导轨系统右64-2设置在大理石T型床身44上的右边缘，纵向直线导轨系统65设置在大理石T型床身44的中间部位，且纵向直线导轨系统65位于横向直线导轨系统左64-1和横向直线导轨系统右64-2之间，横向直线导轨系统左64-1包括吸盘支撑座左39、真空吸盘左77、横上溜板左40、横导轨左43、直线电机左66、两个横中间溜板左41及两个横下溜板左42；横上溜板左40的两端通过两个横中间溜板左41与两个横下溜板左42分别固接并形成凹槽左，横导轨左43的上端安装在内，横导轨左43的下端与大理石T型床身44固接，横上溜板左40通过直线电机左66驱动在横导轨左43上滑动，实现相对运动，真空吸盘左77与吸盘支撑座左39固接，吸盘支撑座左39与横上溜板左40固接，真空吸盘左77与横上溜板左40的上表面垂直设置，真空吸盘左77与纵向直线导轨系统65平行设置，横向直线导轨系统右64-2包括吸盘支撑座右72、真空吸盘右73、横上溜板右71、横导轨右68、直线电机右67、两个横下溜板右69及两个横中间溜板右70；横上溜板右71的两端通过两个横中间溜板右70与两个横下溜板右69分别固接并形成凹槽右，横导轨右68的上端安装在凹槽右内，横导轨右68的下端与大理石T型床身44固接，横上溜板右71通过直线电机右67驱动在横导轨右68上滑动，实现相对运动，真空吸盘右73与吸盘支撑座右72固接，吸盘支撑座右72与横上溜板右71固接，真空吸盘右73与横上溜板右71的上表面垂直设置，真空吸盘右73与纵向直线导轨系统65平行设置，纵向直线导轨系统65包括纵导轨50、纵上溜板51、电机连接座53、纵直线电机54、两个纵下溜板46及两个纵中间溜板47，纵上溜板51的两端通过两个纵中间溜板47与两个纵下溜板46分别固接并形成纵导轨凹槽，纵导轨50的上端安装在纵导轨凹槽内，纵导轨50的下端与大理石T型床身44固接，纵上溜板51与纵导轨50之间通过电机连接座53与纵直线电机54连接，实现相对运动，双刀盘主轴系统56位于纵向直线导轨系统65之上且与纵上溜板51固接，大理石T型床身44的底部固定有多个空气隔振支撑系统59。横向直线导轨系统64的工作模式与纵向直线导轨系统65的工作模式相似。

大理石T型床身44主要用来支撑整个铣床其它功能部件的重量，并保证各部件静态位置不变动，同时具有隔离外部振源和减振的功能。由于床身结构相对一般机床比较简单，整体可选用大块大理石材料。大理石材料属于石材类，比铸铁稳定好，热膨胀系数低，对振动的衰减能力强，硬度高、耐磨并且不会生锈、耐腐蚀。

具体实施方式二：结合图1及图6~图12说明，本实施方式所述双刀盘主轴系统56包括第一固定挡板3、第一主轴10、电机支架18、第一止推板4、第一刀盘11、第一轴套8、第一轴系支架15、第一油室套16、壳体37、直流双输出轴电机38、第二固定挡板34、第二主轴28、第二止推板22、第二刀盘29、第二轴套26、第二油室套33和第二轴系支架35；

壳体37的两端均为敞口端，第一轴系支架15位于壳体37内腔的一端，第一轴系支架15的外端通过第一固定挡板3与壳体37固接，第二轴系支架35位于壳体37内腔的另一端，第二轴系支架35的外端通过第二固定挡板34与壳体37固接，直流双输出轴电机38位于壳体1内并通过电机支架18固装在第一轴系支架15上，直流双输出轴电机38的第一输出轴19通过第一止推板4与第一主轴10的一端固接，第一主轴10的另一端与第一刀盘11固接，第一轴套8与第一止推板4之间留有第一间隙D，所述第一轴套8与第一刀盘11之间留有第二间隙E，第一轴套8套装在第一主轴10上，第一轴套8与第一主轴10之间留有第三间隙F，所述第一轴套8固装在第一轴系支架15内，第一轴套8的外壁上沿圆周方向加工有环形凹槽8-1，所述第一轴套8上加工有多个第一轴向通孔13和多个第一径向通孔14，第一油室套16由两个第一半环16-1构成，两个第一半环16-1相对套装在第一轴套8上且位于环形凹槽8-1内，两个第一半环16-1固装形成第一油室套16，第一轴套8与第一油室套16之间形成第一油室6，多个第一轴向通孔13与多个第一径向通孔14均与第一油室6连通，直流双输出轴电机38的第二输出轴20通过第二止推板22与第二主轴28的一端固接，第二主轴28的另一端与第二刀盘29固接，第二轴套26与第二止推板22之间留有第四间隙M，第二轴套26与第二刀盘29之间留有第五间隙N，第二轴套26套装在第二主轴28上，第二轴套26与第二主轴28之间留有第六间隙H，第二轴套26固装在第二轴系支架35内，第二轴套26的外壁上沿圆周方向加工有第二环形凹槽26-1，第二轴套26上加工有多个第二轴向通孔25和多个第二径向通孔23，第二油室套33由两个第二半环33-1构成，两个第二半环33-1相对套装在第二轴套26上且位于第二环形凹槽26-1内，两个第二半环33-1固装形成第二油室套33，第二轴套26与第二油室套33之间形成第二油室24，多个第二轴向通孔25和所述多个第二径向通孔23均与第二油室24连通。直流双输出轴电机38由定子1和转子2构成，直流双输出轴电机38的转子2同时与第一电机轴19和第二电机轴20固接，采用直流双输出轴电机38（无刷驱动电机）作为驱动元件，由于没有电刷，因此这种电机的定子1与转子2之间没有摩擦力矩，直接可以产生旋转扭矩驱动第一主轴10和第二主轴28同时旋转并进行切削。本实施方式中未公开的技术特征与具体实施方式一相同。

具体实施方式三：结合图1、图2、图4及图5说明，本实施方式所述一种双刀盘式超精密飞切铣床，真空吸盘左77包括吸盘底座左74、调节阀门左75、进气控制盒左78和进气管路左76；吸盘底座左74与进气控制盒左78固接，进气控制盒左78上设有进气管路左76，进气控制盒左78上设有调节阀门左75，通过进气管路左76进入进气控制盒左78内的进气量通过调节阀门左75的开度调节，进气控制盒左78与吸盘底座左74连通；

真空吸盘右73包括吸盘底座右84、调节阀门右85、进气控制盒右86和进气管路右87；吸盘底座右84与进气控制盒右86固接，进气控制盒右86上设有进气管路右87，进气控制盒右86上设有调节阀门右85，通过进气管路右87进入进气控制盒右86内的进气量通过调节阀门右85的开度调节，进气控制盒右86与吸盘底座右84连通。本实施方式中未公开的技术特征与具体实施方式一相同。

具体实施方式四：结合图1说明，本实施方式所述空气隔振支撑系统59包括气垫板63、隔振气垫62、支撑螺杆61、支撑螺母60及支撑底座45；气垫板63固定设置在隔振气垫62的上端，隔振气垫62通过支撑螺杆61与支撑螺母60连接，支撑底座45的中心处设有连接孔，支撑螺母60固定设置在支撑底座45的连接孔内。如此设计，减小床身的振动以提高加工精度。本实施方式中未公开的技术特征与具体实施方式一相同。

具体实施方式五：结合图1说明，本实施方式所述纵下溜板46沿其厚度方向设有第一油腔48，纵下溜板46与纵导轨50相邻表面之间形成第一封油面49，纵中间溜板47沿其厚度方向设有第二油腔80，纵中间溜板47与纵导轨50相邻表面之间形成第二封油面81，纵上溜板51沿其厚度方向设有第三油腔82，纵上溜板51与纵导轨50相邻表面之间形成第三封油面83，从而形成静压油膜。本实施方式中未公开的技术特征与具体实施方式一、二、三或四相同。

具体实施方式六：结合图1和图2说明，本实施方式所述大理石T型床身44外周侧面的上边缘处设有凸台58。便于液压油回收。本实施方式中未公开的技术特征与具体实施方式一、二、三或四相同。

本发明在使用时，第一油室6和第二油室24均与供油装置连通，第一间隙D内形成第一止推油膜17，第二间隙E内形成第二止推油膜12，第三间隙F内形成第一径向油膜9，实现了第一主轴10的超精密回转；第四间隙M内形成第三止推油膜36、第五间隙N内形成第四止推油膜31、第六间隙H内形成第二径向油膜27，实现了第二主轴28的超精密回转。

主轴系统是该超精密铣床的关键部件之一。它的回转精度、刚度及其结构尺寸都直接影响到机床的加工精度。主轴要求达到极高的回转精度，运转平稳，无振动，承载能力大，刚度高，其关键在于所使用的轴承，本机床选用液体静压轴承（即由第一止推板4、第一刀盘11、第一主轴10、第一轴套8四个零件及其接触缝隙在通有高压液压油的时候构成液体静压和止推轴承，同理，第二主轴28、第二止推板22、第二刀盘29、第二轴套26四个零件及其接触缝隙在通有高压液压油的时候构成液体静压和止推轴承）作为支撑，刚度高、精度高、运行平稳。

工作原理：

本发明研究的是一种双刀盘式飞切专用铣床，采用高精度的直线电机（纵直线电机54、直线电机左66和直线电机右67）作为溜板（横上溜板左40、横上溜板右71和纵上溜板51）的驱动元件，使溜板沿导轨作直线运动，这样就将电机的运动和动力传递到溜板上，驱动溜板作超精密的低速移动，实现铣床的超精密直线进给运动。整个横向直线导轨系统64和纵向直线导轨系统65固联在大理石T型床身44上；双刀盘主轴系统56的直流双输出轴电机38驱动液体静压主轴，实现液体静压主轴的高精度回转运动，刀盘绕液体静压主轴作超精密高速回转，刀盘带动其上的金刚石刀具高速回转。真空吸盘右73与真空吸盘左77通入高压气体，实现工件的固定。横纵导轨系统及主轴系统的联合运动，实现了对被加工零件的超精密飞刀铣削加工，两个横向运动导轨系统和双刀盘主轴，可以实现双工件的同时切削。

Claims (3)

1.一种双刀盘式超精密飞切铣床，所述铣床包括大理石T型床身(44)、横向直线导轨系统(64)、纵向直线导轨系统(65)、双刀盘主轴系统(56)和多个空气隔振支撑系统(59)；其特征在于：

所述横向直线导轨系统(64)分为横向直线导轨系统左(64-1)和横向直线导轨系统右(64-2)，横向直线导轨系统左(64-1)设置在大理石T型床身(44)上的左边缘，横向直线导轨系统右(64-2)设置在大理石T型床身(44)上的右边缘，纵向直线导轨系统(65)设置在大理石T型床身(44)的中间部位，且纵向直线导轨系统(65)位于横向直线导轨系统左(64-1)和横向直线导轨系统右(64-2)之间，横向直线导轨系统左(64-1)包括吸盘支撑座左(39)、真空吸盘左(77)、横上溜板左(40)、横导轨左(43)、直线电机左(66)、两个横中间溜板左(41)及两个横下溜板左(42)；横上溜板左(40)的两端通过两个横中间溜板左(41)与两个横下溜板左(42)分别固接并形成凹槽左，横导轨左(43)的上端安装在凹槽左内，横导轨左(43)的下端与大理石T型床身(44)固接，横上溜板左(40)通过直线电机左(66)驱动在横导轨左(43)上滑动，实现相对运动，真空吸盘左(77)与吸盘支撑座左(39)固接，吸盘支撑座左(39)与横上溜板左(40)固接，真空吸盘左(77)与横上溜板左(40)的上表面垂直设置，真空吸盘左(77)与纵向直线导轨系统(65)平行设置，横向直线导轨系统右(64-2)包括吸盘支撑座右(72)、真空吸盘右(73)、横上溜板右(71)、横导轨右(68)、直线电机右(67)、两个横下溜板右(69)及两个横中间溜板右(70)；横上溜板右(71)的两端通过两个横中间溜板右(70)与两个横下溜板右(69)分别固接并形成凹槽右，横导轨右(68)的上端安装在凹槽右内，横导轨右(68)的下端与大理石T型床身(44)固接，横上溜板右(71)通过直线电机右(67)驱动在横导轨右(68)上滑动，实现相对运动，真空吸盘右(73)与吸盘支撑座右(72)固接，吸盘支撑座右(72)与横上溜板右(71)固接，真空吸盘右(73)与横上溜板右(71)的上表面垂直设置，真空吸盘右(73)与纵向直线导轨系统(65)平行设置，纵向直线导轨系统(65)包括纵导轨(50)、纵上溜板(51)、电机连接座(53)、纵直线电机(54)、两个纵下溜板(46)及两个纵中间溜板(47)，纵上溜板(51)的两端通过两个纵中间溜板(47)与两个纵下溜板(46)分别固接并形成纵导轨凹槽，纵导轨(50)的上端安装在纵导轨凹槽内，纵导轨(50)的下端与大理石T型床身(44)固接，纵上溜板(51)与纵导轨(50)之间通过电机连接座(53)与纵直线电机(54)连接，实现相对运动，双刀盘主轴系统(56)位于纵向直线导轨系统(65)之上且与纵上溜板(51)固接，大理石T型床身(44)的底部固定有多个空气隔振支撑系统(59)；

所述双刀盘主轴系统(56)包括第一固定挡板(3)、第一主轴(10)、电机支架(18)、第一止推板(4)、第一刀盘(11)、第一轴套(8)、第一轴系支架(15)、第一油室套(16)、壳体(37)、直流双输出轴电机(38)、第二固定挡板(34)、第二主轴(28)、第二止推板(22)、第二刀盘(29)、第二轴套(26)、第二油室套(33)和第二轴系支架(35)；壳体(37)的两端均为敞口端，第一轴系支架(15)位于壳体(37)内腔的一端，第一轴系支架(15)的外端通过第一固定挡板(3)与壳体(37)固接，第二轴系支架(35)位于壳体(37)内腔的另一端，第二轴系支架(35)的外端通过第二固定挡板(34)与壳体(37)固接，直流双输出轴电机(38)位于壳体(1)内并通过电机支架(18)固装在第一轴系支架(15)上，直流双输出轴电机(38)的第一输出轴(19)通过第一止推板(4)与第一主轴(10)的一端固接，第一主轴(10)的另一端与第一刀盘(11)固接，第一轴套(8)与第一止推板(4)之间留有第一间隙(D)，所述第一轴套(8)与第一刀盘(11)之间留有第二间隙(E)，第一轴套(8)套装在第一主轴(10)上，第一轴套(8)与第一主轴(10)之间留有第三间隙(F)，所述第一轴套(8)固装在第一轴系支架(15)内，第一轴套(8)的外壁上沿圆周方向加工有环形凹槽(8-1)，所述第一轴套(8)上加工有多个第一轴向通孔(13)和多个第一径向通孔(14)，第一油室套(16)由两个第一半环(16-1)构成，两个第一半环(16-1)相对套装在第一轴套(8)上且位于环形凹槽(8-1)内，两个第一半环(16-1)固装形成第一油室套(16)，第一轴套(8)与第一油室套(16)之间形成第一油室(6)，多个第一轴向通孔(13)与多个第一径向通孔(14)均与第一油室(6)连通，直流双输出轴电机(38)的第二输出轴(20)通过第二止推板(22)与第二主轴(28)的一端固接，第二主轴(28)的另一端与第二刀盘(29)固接，第二轴套(26)与第二止推板(22)之间留有第四间隙(M)，第二轴套(26)与第二刀盘(29)之间留有第五间隙(N)，第二轴套(26)套装在第二主轴(28)上，第二轴套(26)与第二主轴(28)之间留有第六间隙(H)，第二轴套(26)固装在第二轴系支架(35)内，第二轴套(26)的外壁上沿圆周方向加工有第二环形凹槽(26-1)，第二轴套(26)上加工有多个第二轴向通孔(25)和多个第二径向通孔(23)，第二油室套(33)由两个第二半环(33-1)构成，两个第二半环(33-1)相对套装在第二轴套(26)上且位于第二环形凹槽(26-1)内，两个第二半环(33-1)固装形成第二油室套(33)，第二轴套(26)与第二油室套(33)之间形成第二油室(24)，多个第二轴向通孔(25)和所述多个第二径向通孔(23)均与第二油室(24)连通；

所述真空吸盘左(77)包括吸盘底座左(74)、调节阀门左(75)、进气控制盒左(78)和进气管路左(76)；吸盘底座左(74)与进气控制盒左(78)固接，进气控制盒左(78) 上设有进气管路左(76)，进气控制盒左(78)上设有调节阀门左(75)，通过进气管路左(76)进入进气控制盒左(78)内的进气量通过调节阀门左(75)的开度调节，进气控制盒左(78)与吸盘底座左(74)连通；真空吸盘右(73)包括吸盘底座右(84)、调节阀门右(85)、进气控制盒右(86)和进气管路右(87)；吸盘底座右(84)与进气控制盒右(86)固接，进气控制盒右(86)上设有进气管路右(87)，进气控制盒右(86)上设有调节阀门右(85)，通过进气管路右(87)进入进气控制盒右(86)内的进气量通过调节阀门右(85)的开度调节，进气控制盒右(86)与吸盘底座右(84)连通；

所述纵下溜板(46)沿其厚度方向设有第一油腔(48)，纵下溜板(46)与纵导轨(50)相邻表面之间形成第一封油面(49)，纵中间溜板(47)沿其厚度方向设有第二油腔(80)，纵中间溜板(47)与纵导轨(50)相邻表面之间形成第二封油面(81)，纵上溜板(51)沿其厚度方向设有第三油腔(82)，纵上溜板(51)与纵导轨(50)相邻表面之间形成第三封油面(83)。

2.根据权利要求1所述的双刀盘式超精密飞切铣床，其特征在于：所述空气隔振支撑系统(59)包括气垫板(63)、隔振气垫(62)、支撑螺杆(61)、支撑螺母(60)及支撑底座(45)；气垫板(63)固定设置在隔振气垫(62)的上端，隔振气垫(62)通过支撑螺杆(61)与支撑螺母(60)连接，支撑底座(45)的中心处设有连接孔，支撑螺母(60)固定设置在支撑底座(45)的连接孔内。

3.根据权利要求1所述的一种双刀盘式超精密飞切铣床，其特征在于：所述大理石T

型床身(44)外周侧面的上边缘处设有凸台(58)。