CN102974508A - 涂布嘴防护件、涂布喷头组件 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种涂布嘴防护件、涂布喷头组件，属于涂布技术领域，其可解决现有的涂布嘴防护件易造成基底温度不均而引发涂布不良的问题。本发明的涂布嘴防护件用于设在涂布喷头上以保护涂布嘴，其至少在用于靠近待涂布基底的位置由低导热材料制成。本发明的涂布喷头组件包括：带有涂布嘴的涂布喷头；设在所述涂布喷头上的上述涂布嘴防护件。本发明可用于涂布过程中，尤其是用于在显示装置的基板(阵列基板、彩膜基板等)上涂布光刻胶的过程中。

Description

涂布嘴防护件、涂布喷头组件

技术领域

本发明属于涂布技术领域，具体涉及一种涂布嘴防护件、涂布喷头组件。

背景技术

在显示装置(液晶显示装置、有机发光二极管显示装置)、集成电路等的制造过程中，均包括大量的光刻构图工艺。在光刻构图工艺中，需要将光刻胶均匀涂布在基底(如玻璃基板、半导体晶圆等)上。

对显示装置的基板(阵列基板、彩膜基板等)的光刻胶涂布通常是由涂布喷头完成的。如图1、图2所示，长条形的涂布喷头1的底面上设有带狭缝(Slit)开口的长条形涂布嘴11，涂布嘴11可均匀的喷出光刻胶；在进行涂布时，涂布喷头1从基底9一侧运动到另一侧，同时涂布嘴11将光刻胶均匀涂布在基底9上。

其中，涂布嘴11是很精细的部件(其中的狭缝宽度通常只有数十微米)，价格昂贵，且涂布过程中涂布喷头1的运动速度很快，故如果基底9上有异物很容易碰坏涂布嘴11。为此，现有的涂布喷头组件中，还包括设于涂布嘴11一侧(沿涂布喷头1运动方向的一侧)的涂布嘴防护件2，该涂布嘴防护件2由不锈钢材料制成，其可扫开基底9上的异物以避免涂布嘴11受到损伤。为保证防护效果，故涂布嘴防护件2的高度通常大于等于涂布嘴11的高度，这样在涂布过程中，涂布嘴防护件2下沿的位置不会高于涂布嘴11下沿的位置，从而保证不会有异物从涂布嘴防护件2下漏过而碰到涂布嘴11。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：为使光刻胶良好的涂布在基底9上，涂布开始时，涂布喷头组件需要在起始位置(图2所示的位置)停留数秒(如2秒)；此时，涂布喷头组件与基底9的温度可能不同(例如基底9由于经过清洗等操作而温度较低)；而不锈钢的涂布嘴防护件2接触(或靠近)基底9且导热性良好，故会使与其接触(或靠近)的基底9区域温度变化，造成基底9温度分布不均，并由此导致光刻胶膜厚不均(涂布不良)，进而影响后续工艺。

发明内容

本发明所要解决的技术问题包括，针对现有的涂布嘴防护件易造成基底温度不均而引发涂布不良的问题，提供一种可消除涂布不良的涂布嘴防护件。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种涂布嘴防护件，用于设在涂布喷头上以保护涂布嘴，其至少在用于靠近待涂布基底的位置由低导热材料制成。

其中，“用于靠近待涂布基底的位置”是指当涂布嘴防护件装在涂布喷头上并进行涂布时，靠近基底的位置。“低导热材料”是指热导率较低的材料，其热导率至少小于不锈钢的热导率。“热导率”是指当垂直温度梯度为1℃/m时，材料在单位时间内通过单位水平截面积所传递的热量，其单位为W/(m·K)。

由于本发明的涂布嘴防护件由低导热材料制成，因此其与基底接触(或靠近)时传导的热量少，引起的基底温度变化小，故可减小或避免基底温度不均，从而消除涂布不良。

优选的是，所述低导热材料在室温下的热导率小于等于10W/(m·K)。

进一步优选的是，所述低导热材料在室温下的热导率小于等于1W/(m·K)。

优选的是，所述低导热材料为陶瓷材料、玻璃材料、塑料材料、树脂材料中的任意一种。

优选的是，所述低导热材料的莫氏硬度大于等于5.5。

优选的是，所述涂布嘴防护件由低导热材料制成；或在涂布嘴防护件用于靠近待涂布基底的位置设有低导热材料层。

本发明所要解决的技术问题还包括，针对现有的涂布嘴防护件易造成基底温度不均而引发涂布不良的问题，提供一种可消除涂布不良的涂布喷头组件。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种涂布喷头组件，其包括：带有涂布嘴的涂布喷头；设在所述涂布喷头上的上述涂布嘴防护件。

由于本发明的涂布喷头组件中使用上述的涂布嘴防护件，故其可消除涂布不良。

优选的是，所述涂布嘴防护件通过可拆卸连接结构连接在所述涂布喷头上；或所述涂布嘴防护件固定连接在所述涂布喷头上。

优选的是，所述涂布嘴为长条形，设于涂布喷头的底面上；所述涂布嘴防护件为长条形，长度大于等于涂布嘴的长度，并以平行于涂布嘴的方式设在涂布喷头的底面上；所述涂布嘴防护件相对于涂布喷头底面的高度大于等于所述涂布嘴相对于涂布喷头底面的高度。

优选的是，所述涂布喷头组件为用于涂布光刻胶的涂布喷头组件。

本发明可用于涂布过程中，尤其是用于在显示装置的基板(阵列基板、彩膜基板等)上涂布光刻胶的过程中。

附图说明

图1为涂布喷头组件开始进行涂布时的俯视结构示意图；

图2为涂布喷头组件开始进行涂布时的侧视结构示意图；

图3为本发明实施例2的一种涂布嘴防护件的侧视结构示意图。

其中附图标记为：1、涂布喷头；11、涂布嘴；2、涂布嘴防护件；21、低导热材料层；22、插头；9、基底。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

实施例1：

本实施例提供一种涂布嘴防护件，用于设在涂布喷头上以保护涂布嘴，其至少在用于靠近待涂布基底的位置由低导热材料制成。

由于本实施例的涂布嘴防护件由低导热材料制成，因此其与基底接触(或靠近)时传递给基底的热量少，引起的基底温度变化小，故可减小或避免基底温度不均，从而消除涂布不良。

实施例2：

如图2、图3所示，本实施例提供一种涂布嘴防护件2，该涂布嘴防护件2用于设在涂布喷头1上以保护涂布嘴11。

其中，涂布嘴防护件2至少在用于靠近待涂布基底9的位置由低导热材料制成。

也就是说，当把涂布嘴防护件2装在涂布喷头1上并进行涂布时，涂布嘴防护件2靠近基底9的位置应由低导热材料制成。

上述的低导热材料是指热导率至少小于不锈钢的热导率的材料，通过使用低导热材料，可减少涂布嘴防护件2与基底9间传导的热量，降低基底9的温度不均，消除涂布不良。

优选的，上述低导热材料在室温下的热导率小于等于10W/(m·K)；更优选的，低导热材料在室温下的热导率小于等于1W/(m·K)。

经研究发现，当热导率满足上述条件时，可以将涂布嘴防护件2对基底9温度的影响限定在不造成显著影响的范围内。

优选的，低导热材料为陶瓷材料、玻璃材料、塑料材料、树脂材料中的任意一种。

陶瓷、玻璃、塑料、树脂均是很常见的低成本的材料，且它们的导热性能通常远低于不锈钢等金属材料，故是优选的。

优选的，低导热材料的莫氏硬度大于等于5.5。

显然，为了保证防护效果，低导热材料本身也应具有足够的硬度；经研究发现，其莫氏硬度符合上述条件是可以满足涂布工艺中的要求。

优选的，涂布嘴防护件2由低导热材料制成。

也就是说，如图2所示，涂布嘴防护件2的可整体均由导热材料制成，这样涂布嘴防护件2的结构简单，易于制备。

优选的，如图3所示，作为本实施例的另一种方式，也可在涂布嘴防护件2用于靠近待涂布基底9的位置处设有低导热材料层21。

也就是说，涂布嘴防护件2的主体部分仍可由不锈钢等传统材料制造，而只是在用于靠近基底9的位置设有低导热材料层21，该低导热材料层21可通过粘结等方式与涂布嘴防护件2的主体部分相连。这种形式的涂布嘴防护件2同样可起到减小基底9温度不均的作用；同时，由于涂布嘴防护件2上还可包括用于连接涂布喷头1的插头22等其他结构，而低导热材料不一定能满足这些结构的强度、韧性等要求，故上述方式有利于满足涂布嘴防护件2的整体性能。

实施例3：

如图1至图3所示，本实施例提供一种涂布喷头组件，其包括：带有涂布嘴11的涂布喷头1；设在涂布喷头1上的上述任意一实施例的涂布嘴防护件2。

由于本实施例的涂布喷头组件中使用上述的涂布嘴防护件2，故其可消除涂布不良。

优选的，涂布嘴11为长条形，设于涂布喷头1的底面上(相应的，涂布喷头1也应为长条形)；涂布嘴防护件2为长条形，且长度大于等于(有选为等于)涂布嘴11的长度，并以平行于涂布嘴11的方式设在涂布喷头1的底面上。

也就是说，本实施例的涂布喷头组件优选采取与现有的涂布喷头组件类似的形式，涂布嘴11和涂布嘴防护件2均为长形，且相互平行的设于涂布喷头1的底面上，涂布嘴防护件2位于涂布嘴11一侧。

当然，如果涂布嘴防护件2采用其他的形状(例如为弯曲的)或设在涂布喷头1的其他位置处(例如侧面上)，也是可行的；只要其能起到保护涂布嘴11的作用即可。

优选的是，涂布嘴防护件2相对于涂布喷头1底面的高度大于等于涂布嘴11相对于涂布喷头1底面的高度。

也就是说，在涂布喷头组件中，相对涂布喷头1底面而言，涂布嘴防护件2伸出的长度不短于涂布嘴11，因此只要能碰到涂布嘴11的异物必定会先碰到涂布嘴防护件2，从而涂布嘴防护件2可清除基底9上的全部异物，达到最好的防护效果。

优选的，涂布嘴防护件2通过可拆卸连接结构连接在涂布喷头1上。

也就是说，涂布嘴防护件2是以可拆卸的方式连接在涂布喷头1上的；这样，当涂布嘴防护件2和涂布喷头1中有一个需要更换、维修时，即可将二者拆开，使用方便，成本低。

其中，如图3所示，可拆卸连接结构可包括设在涂布嘴防护件2上的插头22和设在涂布喷头1中的对应插孔(图中未示出)，通过将插头22插入插孔中即可将涂布嘴防护件2连接在涂布喷头1上。

当然，可拆卸连接结构也可为卡接、螺纹连接等其他的形式；由于可拆卸连接结构有多种已知的具体形式，故在此不再对其进行详细描述。

优选的，涂布嘴防护件2也可固定连接在涂布喷头1上。

也就是说，涂布嘴防护件2也可通过粘接、一体成型等方式永久固定的连接在涂布喷头1上；这种涂布喷头组件尺寸精度高，整体性好，不易损坏。

优选的，涂布喷头组件为用于涂布光刻胶的涂布喷头组件。

其中，用于涂布光刻胶的涂布喷头组件优选用于在显示装置的基板(阵列基板、彩膜基板等)上涂布光刻胶；当然，其也可以用于在半导体晶圆等其他基底9上涂布光刻胶。

显然，本实施例的涂布喷头组件并不限用于涂布光刻胶，其也可用于涂布其他物质。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种涂布嘴防护件，用于设在涂布喷头上以保护涂布嘴，其特征在于，

所述涂布嘴防护件至少在用于靠近待涂布基底的位置由低导热材料制成。

2.根据权利要求1所述的涂布嘴防护件，其特征在于，所述低导热材料在室温下的热导率小于等于10W/(m·K)。

3.根据权利要求2所述的涂布嘴防护件，其特征在于，所述低导热材料在室温下的热导率小于等于1W/(m·K)。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的涂布嘴防护件，其特征在于，

所述低导热材料为陶瓷材料、玻璃材料、塑料材料、树脂材料中的任意一种。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的涂布嘴防护件，其特征在于，

所述低导热材料的莫氏硬度大于等于5.5。

6.根据权利要求1至3中任意一项所述的涂布嘴防护件，其特征在于，

所述涂布嘴防护件由低导热材料制成；

或

在涂布嘴防护件用于靠近待涂布基底的位置设有低导热材料层。

7.一种涂布喷头组件，其特征在于，包括：

带有涂布嘴的涂布喷头；

设在所述涂布喷头上的权利要求1至6中任意一项所述的涂布嘴防护件。

8.根据权利要求7所述的涂布喷头组件，其特征在于，

所述涂布嘴防护件通过可拆卸连接结构连接在所述涂布喷头上；

或

所述涂布嘴防护件固定连接在所述涂布喷头上。

9.根据权利要求7所述的涂布喷头组件，其特征在于，

所述涂布嘴为长条形，设于涂布喷头的底面上；

所述涂布嘴防护件为长条形，长度大于等于涂布嘴的长度，并以平行于涂布嘴的方式设在涂布喷头的底面上；

所述涂布嘴防护件相对于涂布喷头底面的高度大于等于所述涂布嘴相对于涂布喷头底面的高度。

10.根据权利要求7至9中任意一项所述的涂布喷头组件，其特征在于，

所述涂布喷头组件为用于涂布光刻胶的涂布喷头组件。

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