CN102922610A - 一种金刚线多线切割方法、设备和系统 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种金刚线多线切割方法、设备和系统，基于金刚线多线切割系统，该方法包括：按照切削要求将工件进给至切削区域，所述金刚线网用于切削工件的部分浸没于切削液中；当检测到所述切削区域温度超出温度参考阈值时，利用切削液调节设备进行切削液温度调节。通过将金刚线网浸没至切削液中对工件进行切削，在切削过程中，工件正在被切削的部位和用于切削的金刚线网始终浸入切削液中，大大提高了切削液对金刚线网的冷却和润滑作用，从而提高了切削效率。

Description

一种金刚线多线切割方法、设备和系统

技术领域

本发明涉及硅材料和人造宝石加工技术领域，更具体地说，涉及一种金刚线多线切割方法、设备和系统。

背景技术

硅材料和人造宝石等材料是半导体和光伏领域的主要生产材料。目前针对硅材料和人造宝石等材料的切割应用最广泛的技术之一是金刚线多线切割方法。由于多线切割技术具有效率高，产能高和精度高的优点称为当前主要的切割方法。

该方法通过十几个导线轮对附着有金刚石磨料钢线的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。目前的多线切割采用的是从切削液喷管喷出切削液，直接喷淋到金刚线网上，金刚线上的液体随金刚线的进给运动在金刚线与加工工件之间起到润滑和降温的作用，以防止在磨削过程中产生的摩擦热和切削粉末的影响而造成金刚石磨料脱落剥离甚至丧失切削能力。

然而，该种切削液喷淋式切割方法至少存在如下缺点：在切削过程中，切削液只有喷到金刚线上才能有效起到润滑和降温的作用，而实际应用中随着金刚线进入切削区深度的增加，金刚线与工件的切削区内已不存在切削液而形成了金刚线与切削工件之间的干摩擦，因干摩擦的存在而导致局部温度上升，从而金刚石磨料与钢线结合强度下降出现金刚石磨料脱落，进而切削效率降低。进一步地，由于局部温度升高而产生的热量需要增加冷却设备解决，显然增加了生产成本。其次，该种切割方法在切削液喷淋过程中将对线网产生压力及工作振动，影响加工质量及增加断线概率。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种金刚线多线切割方法、设备和系统，通过将金刚线网浸入至切割液内实现切割，提高金刚线切割过程中的润滑及降温作用。

一种金刚线多线切割方法，基于金刚线多线切割系统，包括：

按照切削要求将工件进给至切削区域，所述金刚线网用于切削工件的部分浸没于切削液中；

当检测到所述切削区域温度超出温度参考阈值时，利用切削液调节设备进行切削液温度调节。

所述切削液调节设备包括温控机构和液面调节机构。

为了完善上述方案，利用切削液调节设备进行切削液温度调节具体为：当检测到所述切削区域温度超出参考阈值时，相继启动温控调节结构和液面调节机构，具体为：

利用第一温度传感器检测所述切削区域温度，当检测的温度≥A+t°时，开启所述温控调节机构，其中，所述A为预设参考中心值，t为预设温度增值；

开启所述温控调节机构后再开启所述液面调节结构。

优选地，经温度调节和液面调节后，当检测到所述切削区域温度在参考阈值内时，相继关闭液面调节机构和温控机构，具体为：

利用第一温度传感器检测所述切削区域温度，经温度调节和液面调节后，当检测的温度≤A-t°时，关闭所述液面调节机构，其中，所述A为预设参考中心值，t为预设温度增值。

优选地，将工件进给至切削区域由浸没于切削液中的金刚线网切削具体为：

将工件沿金刚线线径方向进给至切削区域，金刚线网全部浸没于切削液中，所述金刚线网沿水平线轴方向运动。

或者：

将工件沿金刚线线径方向进给至切削区域，所述金刚线轴同时浸没于切削液中，所述金刚线网沿水平线轴方向运动。

优选地，所述方法还包括：初始化操作，具体为：

启动所述金刚线多线切割系统；

检测金刚线多线切割系统的制冷储液池温度，若该温度落在参考阈值范围外时，启动所述温控机构进行温度调节；

检测切削液液面高度，并在检测到切削液液面高度超出液面参考阈值时，关闭所述切削液调节设备的温控机构，并开启所述液面调节机构进行液面调节；

开启工件进给设备。

一种金刚线多线切割设备，装设于金刚线多线切割系统，包括：

切削液箱体和金刚线网，所述切削液箱体中盛装切削液，金刚线网用于切削工件的部分浸没于所述切削液中。

为了完善上述方案，所述设备还包括：第一温度传感器、温控机构、液面调节机构，其中：

所述温控机构实现冷热切削液的更换；

所述液面调节机构排出超出温度参考阈值的切削液；

当所述温度传感器检测到所述切削区域温度超出温度参考阈值时，相继启动所述温控机构和所述液面调节机构分别进行切削液的温度调节和液面调节；

经温度调节和液面调节后，当所述温度传感器检测到所述切削区域温度在参考阈值内时，相继关闭所述液面调节机构和所述温控机构。

优选地，所述切削液箱体具体为：

箱体两个相对的侧壁上设有条状孔隙，所述金刚线网可穿过所述条状孔隙在辊系带动下运动。

优选地，所述条状孔隙采用柔性防水密封材料。

优选地，所述金刚线网贯穿处的腔壁设有分体联接机构。

优选地，所述装置还包括：缝溢流箱，与所述缝溢流箱连接的单向阀，所述单向阀控制所述缝溢流箱向储液箱释放切削液。

一种金刚线多线切割系统，包括上述金刚线多线切割设备。

为了完善上述方案，该系统还包括：工件夹持进给设备、泄液系统、冷却系统和控制器，其中：

所述工件夹持进给设备进给至切削区域由浸没于切削液中的金刚线网切削；

液面调节机构包括液面高度传感器与所述切削液箱体连接的第一泄液阀；

所述冷却系统包括制冷储液池、所述制冷储液池设有第二温度传感器，并分别与所述储液箱和所述温控机构相连；

所述泄液系统包括与所述切削液箱体连接的第一泄液阀，以及与第一泄液阀连接的第一废液池；

所述控制器分别与液面调节机构的液面高度传感器、第一温度传感器、制冷储液池和第二温度传感器连接。

优选地，所述泄液系统还包括：与所述储液箱连接的第二泄液阀，以及与所述第二泄液阀连接的第二废液池。

从上述的技术方案可以看出，本发明实施例通过将金刚线网浸没至切削液中对工件进行切削，在切削过程中，工件正在被切削的部位和用于切削的金刚线网始终浸入切削液中，大大提高了切削液对金刚线网的冷却和润滑作用，提高了切削效率；同时，由于对切削液温度的密切检测，配以温度和液面调节机制，不仅保证了切削过程的有效降温，并且节省了冷却系统的大功率工作消耗的能量，降低了生产成本；另外，切削过程在液面平静的切削液中进行，避免了现有技术中喷淋压力对线网造成震动而影响切削质量及增加断线概率的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例公开的一种金刚线多线切割方法流程图；

图2a为本发明实施例公开的一种金刚线多线切割方法流程图；

图2b为本发明又一实施例公开的一种金刚线多线切割方法中金刚线网浸液方式示意图；

图2c为本发明又一实施例公开的一种金刚线多线切割方法中金刚线网浸液方式示意图；

图3为本发明又一实施例公开的一种金刚线多线切割方法流程图；

图4为本发明实施例公开的一种金刚线多线切割装置结构示意图；

图5为本发明又一实施例公开的一种金刚线多线切割装置结构示意图；

图6为本发明实施例公开的一种金刚线多线切割系统结构示意图；

图7为本发明又一实施例公开的一种金刚线多线切割系统结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

发明人针对现有的金刚线多线切削技术的研究发现：现有技术是将切削液经过泵和管道喷淋到金刚线网上，切削液附着于金刚线并伴随金刚线的运动进入切削区。金刚线网在最初进入切削区的入口处时，切削液可以起到冷却和润滑作用。但随着工件切削深度的加大，金刚线网与工件的切削区内已经不存在切削液而形成了金刚线与切削工件之间的干摩擦。

所述干摩擦直接导致的结果是干磨擦位置温度的上升，进而影响金刚石颗粒与钢线的结合度，随着金刚石微粒的脱落影响到切削的效率、质量和金刚线网使用的寿命；

由于上述干摩擦的存在，切削液的温度会上升，而为了使切削液温度降低，需要加大切削液更换速度，从而造成了切削液用量浪费和冷却系统热交换频率，进而导致耗费电力和增加生产成本的缺点；

另外，由于现有技术中喷淋管在对运行中的金刚线网造成喷淋压力，造成金刚线网的振动，从而影响加工质量且加大了断线概率。

本发明实施例公开了一种金刚线多线切割方法、设备和系统，通过将金刚线网浸入至切割液内实现切割，并与切削液温度、切削液面感应、调控机制配合，提高金刚线切割过程中的冷却和润滑效果、改善切削质量并降低生产成本和断线概率。

为了更为具体地说明发明内容，结合附图1-附图7，对本发明的方法、装置和系统描述如下：

图1示出了一种金刚线多线切割方法，该方法基于金刚线多线切割系统，包括：

S11：按照切削要求将工件进给至切削区域，金刚线网用于切削工件的部分浸没于切削液中；

在切削过程前期、切削过程中和切削过程后期，均对切削液的温度进行检测，具体的温度感应装置可选用温度传感器(并不局限)，保证切削过程中切削液的冷却效果；

S12：当检测到所述切削区域温度超出温度参考阈值时，则开启温控机构和液面调节机构进行温度调节和液面调节；

需要说明的是：当检测到所述切削区域温度超出温度参考阈值时，利用切削液调节设备进行切削液温度调节，所述切削液调节设备包括温控机构和液面调节机构；更为具体地，优选温控机构为温控循环泵进行冷热切削液的更换，液面调节机构则优选泄液阀排出温度过高或过低的切削液，并配合液面高度传感器控制切削液液面高度符合切削要求。

切削液液面高度调节与温控调节相辅相成，温控调节主要是启动温控循环泵进行冷热切割液的转换，当切割液的温度不符合预设要求，则将开启温控调节机制，由于热切削液的放出和冷切削液的注入影响切削区域液面高度，当切削液液面超出预设参考范围时，将停止切削液调节设备中的温控结构，而开启液面调节机构进行切削液液面的调节。

S13：经温度调节和液面调节后，当检测到所述切削区域温度在参考阈值内时，相继关闭所述液面调节机构和所述温控机构。

S14：循环进行步骤11-步骤13，按照具体切削要求完成切削任务。

图2a示出了又一种金刚线多线切割方法，该方法对上一实施例进行进一步具体化说明：

S21：按照切削要求将工件进给至切削区域，金刚线网用于切削工件的部分浸没于切削液中；

在本实施例中，如图2b所示，所述金刚线网3沿水平线轴方向运动，金刚线网全部浸没于切削液2中，将工件1沿金刚线线径方向(垂直向)进给至切削区域；

图2c中，示出了金刚线网3沿水平线轴方向运动，所述金刚线轴4未浸没于切削液2中，金刚线网用于切削工件的部分浸没于切削液2中，工件沿金刚线线径(垂直向)方向进给至切削区域。

S22：利用第一温度传感器检测切削液温度，判断切割液的温度，若超出阈值范围，即T≥A+t°则进行步骤S23；否则继续进行切削；

S23：相继开启温控循环泵和第一泄液阀，其中，所述A为预设参考中心值，t为预设温度增值；根据不同待切削工件的技术参数设定，在本实施例中不做进一步细化，该步骤所体现的阈值范围为以A为基数的-t°～t°范围；开启泄液阀的时间根据实际切削要求而定，不做局限。

S24：经过温度调节和液面调节后，判断所述切削区域温度，若落在参考阈值范围内，即T≤A-t°，则进行步骤S25，否则继续进行温度调控和液面调节；

S25：相继关闭液面调节机构和温控机构。

由于该方法基于金刚线多线切割系统，涉及的温度传感器和泄液阀不止一个，故以第一温度传感器及第一泄液阀区分，其他泄液阀的描述详见设备和系统描述；

关闭泄液阀的时间根据实际切削要求而定，不做局限。

S26：循环进行步骤21-步骤25，按照具体切削要求完成切削任务。

图3示出了又一种金刚线多线切割方法，包括：

S31：启动所述金刚线多线切割系统；

S32：检测金刚线多线切割系统的制冷储液池温度，若该温度落在参考阈值范围外，启动切削液调节设备的温控机构进行温度调节；

S33：检测切削液液面高度，并在检测到切削液液面高度超出液面参考阈值时，关闭所述切削液调节设备的温控机构，并开启所述液面调节机构进行液面调节；

切削液液面高度调节与温控调节相辅相成，温控调节主要是启动温控循环泵进行冷热切割液的转换，当切割液的温度不符合预设要求，则将开启温控调节机制，由于热切削液的放出和冷切削液的注入影响切削区域液面高度，当切削液液面超出预设参考范围时，将停止切削液调节设备中的温控结构运作，而开启液面调节机构。

S34：开启工件进给设备；

S35：按照切削要求将工件进给至切削区域，金刚线网用于切削工件的部分浸没于切削液中；

S36：利用第一温度传感器检测切削液温度，判断切割液的温度，若超出阈值范围，即T≥A+t°，则进行步骤S37；否则继续进行切削；

S37：相继开启温控循环泵和第一泄液阀；

S38：经过温度调节和液面调节后，判断所述切削区域温度，若落在参考阈值范围内，即T≤A-t°，则进行步骤S39，否则继续进行温度调控和液面调节；

S39：相继关闭所述温控循环泵和所述第一泄液阀；

S40：在工件按照切削要求切削完全后，打开泄液阀释放所述切削液。

上述实施例中，所述A为预设参考中心值，t为预设温度增值，根据实际的切削过程，t可优选为2°，但并不局限于该列举形式。

图4示出了一种金刚线多线切割设备，装设于金刚线多线切割系统，图4-5中图示及对应说明的金刚线多线切割设备仅作为实施例中列举，而并不局限于该种实现形式，包括：

切削液箱体41、第一温度传感器42、温控机构43、液面调节机构44和金刚线网45，其中：

所述切削液箱体41中盛装切削液，金刚线网45用于切削工件的部分浸没于所述切削液中浸没于所述切削液中；

按照切削要求：

将工件进给至切削区域由浸没于切削液中的金刚线网45切削；

当所述第一温度传感器42检测到所述切削区域温度超出温度参考阈值时，相继启动所述温控机构43和所述液面调节机构44；

经温度调节和液面调节后，当所述第一温度传感器42检测到所述切削区域温度在参考阈值内时，相继关闭所述液面调节机构44和所述温控机构43。

需要说明的是：所述液面调节机构44优选泄液阀排出温度过高或过低的切削液，并配合液面高度传感器控制切削液液面高度符合切削要求。

需要说明的是：所述切削液箱体两个相对的侧壁上设有条状孔隙，所述金刚线网可穿过所述条状孔隙在辊系带动下运动。所述条状孔隙采用柔性防水密封材料。

而箱体内部金刚线网贯穿处的腔壁设有分体联接机构，为工作切割液导流通道。

图5示出了又一种金刚线多线切割设备，相同之处参见图4图示及相应说明，现仅就不同之处进行说明：

图5标示了：缝溢流箱51，与所述缝溢流箱连接的单向阀52，所述单向阀53控制所述缝溢流箱51向储液箱53释放切削液。

需要明确的是：

所述切削液箱体41设有与阀体、进液口、排液口等匹配使用管道及接口，在实施例中不再过多图示和赘述。

图6示出了一种金刚线多线切割系统，需要明确的是，图6-7中图示及对应说明的金刚线多线切割系统仅作为实施例中列举，而并不局限于该种实现形式，包括：金刚线多线切割设备、工件夹持进给设备62、泄液系统、冷却系统和控制器，其中：

所述金刚线多线切割设备包括：

切削液箱体611、第一温度传感器612、温控机构613和液面调节机构614、金刚线网615，其中：

所述切削液箱体611中盛装切削液，金刚线网615浸没于所述切削液中；

按照切削要求，循环进行：

将工件由工件夹持进给设备62进给至切削区域由浸没于切削液中的金刚线，615切削；

当所述第一温度传感器612检测到所述切削区域温度超出温度参考阈值时，相继启动所述温控机构613和所述液面调节机构614；

经温度调节和液面调节后，当所述第一温度传感器612检测到所述切削区域温度在参考阈值内时，相继关闭所述液面调节机构614和所述温控机构613；

所述金刚线多线切割设备还包括：缝溢流箱616，与所述缝溢流箱616连接的单向阀617，所述单向阀617控制所述缝溢流箱616向储液箱618释放所述切削液；

液面调节机构614包括液面高度传感器与所述切削液箱体611连接的第一泄液阀631；

所述冷却系统包括制冷储液池641、所述制冷储液池641设有第二温度传感器642，并分别与所述储液箱618和所述温控机构613相连；

所述泄液系统为与所述第一泄液阀631连接的第一废液池632；

所述控制器65分别与液面调节机构614的液面高度传感器、第一温度传感器612、制冷储液池641和第二温度传感器642连接。

图7示出了又一种金刚线多线切割系统，相同之处参见图6图示及相应说明，现仅就不同之处进行说明：

图7中示出了泄液系统中的，与所述储液箱618连接的第二泄液阀633，以及与所述第二泄液阀633连接的第二废液池634。

作为优选，本实施例中的金刚线网全部浸没于切削液中并沿水平线轴方向以约10m/s的速度运动，该速度数值并不局限于上述列举形式；

所述温控机构613具体为温控循环泵；

所述切削液箱体611具体为：箱体两个相对的侧壁上设有条状孔隙，所述金刚线网615可穿过所述条状孔隙在辊系带动下运动。所述切削液箱体611内金刚线网615贯穿处的空腔内设有分体联接机构。

所述条状孔隙采用柔性防水密封材料。

需要明确的是：更为详细的说明参见图4a-4b对应的实施例，不再在此重复赘述。

控制器可选用MCU或其他存储程序及控制性能的装置实施，并不局限上述列举形式。

针对上述实施例的描述，可毫无异议地推导出：

在切削区域内，金刚线网浸没至切削液内部切削工件的方式，在切削时，工件正在被切削的部位和用于切削的金刚线网始终浸入切削液中，大大提高了切削液对金刚线网的冷却和润滑作用，提高了切削效率；

同时，由于对切削液温度的密切检测，配以温度和液面调节机制，不仅保证了切削过程的有效降温，并且节省了冷却系统的大功率工作消耗的能量，降低了生产成本；

另外，切削过程在液面平静的切削液中进行，避免了现有技术中喷淋压力对线网造成震动而影响切削质量及增加断线概率的问题。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的设备和系统而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (21)

1.一种金刚线多线切割方法，基于金刚线多线切割系统，其特征在于，包括：

按照切削要求将工件进给至切削区域，所述金刚线网用于切削工件的部分浸没于切削液中；

当检测到所述切削区域温度超出温度参考阈值时，利用切削液调节设备进行切削液温度调节。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述切削液调节设备包括温控机构和液面调节机构。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，利用切削液调节设备进行切削液温度调节具体为：

当检测到所述切削区域温度超出温度参考阈值时，相继启动所述温控机构和所述液面调节机构分别进行切削液的温度调节和液面调节。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括：经温度调节和液面调节后，当检测到所述切削区域温度在参考阈值内时，相继关闭所述液面调节机构和所述温控机构。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将工件进给至切削区域由浸没于切削液中的金刚线网切削具体为：

将工件沿金刚线线径方向进给至切削区域，金刚线网全部浸没于切削液中，所述金刚线网沿水平线轴方向运动。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，将工件进给至切削区域由浸没于切削液中的金刚线网切削具体为：

将工件沿金刚线线径方向进给至切削区域，金刚线轴同时浸没于切削液中，所述金刚线网沿水平线轴方向运动。

7.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，当检测到所述切削区域温度超出参考阈值时，相继启动温控调节机构和液面调节机构，具体为：

利用第一温度传感器检测所述切削区域温度，当检测的温度≥A+t°时，开启所述温控调节机构，其中，所述A为预设参考中心值，t为预设温度增值；

开启所述温控调节机构后再开启所述液面调节结构。

8.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，经温度调节和液面调节后，当检测到所述切削区域温度在参考阈值内时，相继关闭所述液面调节机构和温控机构，具体为：

利用第一温度传感器检测所述切削区域温度，经温度调节和液面调节后，当检测的温度≤A-t°时，关闭所述液面调节机构，其中，所述A为预设参考中心值，t为预设温度增值。

9.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，还包括：初始化操作，具体为：

启动所述金刚线多线切割系统；

检测金刚线多线切割系统的制冷储液池温度，若该温度落在参考阈值范围外时，启动所述温控机构进行温度调节；

检测切削液液面高度，并在检测到切削液液面高度超出液面参考阈值时，关闭所述切削液调节设备的温控机构，并开启所述液面调节机构进行液面调节；

开启工件进给设备。

10.根据权利要求2至4，7至9任一项权利要求所述的方法，其特征在于，所述温控调节机构具体以温控循环泵实现，所述液面调节机构具体以泄液阀实现。

11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：在工件按照切削要求切削完全后，打开所述切削液调节设备释放所述切削液。

12.一种金刚线多线切割设备，装设于金刚线多线切割系统，其特征在于，包括：切削液箱体和金刚线网，所述切削液箱体中盛装切削液，金刚线网用于切削工件的部分浸没于所述切削液中。

13.根据权利要求12所述的设备，其特征在于，还包括：第一温度传感器、温控机构、液面调节机构，其中：

所述温控机构实现冷热切削液的更换；

所述液面调节机构排出超出温度参考阈值的切削液；

当所述第一温度传感器检测到所述切削区域温度超出温度参考阈值时，相继启动所述温控机构和所述液面调节机构；

经温度调节和液面调节后，当所述第一温度传感器检测到所述切削区域温度在参考阈值内时，相继关闭所述液面调节机构和所述温控机构。

14.根据权利要求12所述的设备，其特征在于，所述切削液箱体具体为：

箱体两个相对的侧壁上设有条状孔隙，所述金刚线网可穿过所述条状孔隙在辊系带动下运动。

15.根据权利要求13所述的设备，其特征在于，所述条状孔隙采用柔性防水密封材料。

16.根据权利要求14所述的设备，其特征在于，所述金刚线网贯穿处的腔壁设有分体联接机构。

17.根据权利要求12所述的设备，其特征在于，还包括：缝溢流箱，与所述缝溢流箱连接的单向阀，所述单向阀控制所述缝溢流箱向储液箱释放切削液。

18.一种金刚线多线切割系统，其特征在于：包括权利要求12-17的任一项所述的金刚线多线切割设备。

19.根据权利要求18所述的系统，还包括：工件夹持进给设备、泄液系统、冷却系统和控制器，其中：

所述工件夹持进给设备进给至切削区域由浸没于切削液中的金刚线网切削；

液面调节机构还包括液面高度传感器与所述切削液箱体连接的第一泄液阀；

所述冷却系统包括制冷储液池、所述制冷储液池设有第二温度传感器，并分别与所述储液箱和所述温控机构相连；

所述泄液系统包括与所述切削液箱体连接的第一泄液阀，以及与第一泄液阀连接的第一废液池；

所述控制器分别与液面调节机构的液面高度传感器、第一温度传感器、制冷储液池和第二温度传感器连接。

20.根据权利要求19所述的系统，其特征在于，所述泄液系统还包括：与所述储液箱连接的第二泄液阀，以及与所述第二泄液阀连接的第二废液池。

21.根据权利要求19所述的系统，其特征在于，所述温控机构具体为温控循环泵。

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