CN102918768B

CN102918768B - 梯型弹性波滤波器装置以及分波器

Info

Publication number: CN102918768B
Application number: CN201180026195.1A
Authority: CN
Inventors: 高田俊明
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2010-06-22
Filing date: 2011-03-02
Publication date: 2015-03-25
Anticipated expiration: 2031-03-02
Also published as: DE112011102091B4; CN102918768A; DE112011102091T5; US20130088305A1; WO2011161987A1; JPWO2011161987A1; JP5397477B2; US9154113B2

Abstract

本发明提供一种抑制通带内的纹波，并且在通带低频侧部分以及通带高频侧部分的任方插入损失都较小的梯型弹性波滤波器装置。对串联臂侧IDT电极(20)实施交叉宽度加权。串联臂侧IDT电极(20)的母线(21a、22a)构成为，在弹性波传播方向(x)上，电极指(21b、22b)的交叉宽度越小，则母线(21a、22a)之间在交叉宽度方向(y)的距离越短。并联臂侧IDT电极(30)的一对梳齿状电极(31、32)的每一个进一步包括多个虚设电极(31c、32c)，该多个虚设电极(31c、32c)从母线(31a、32a)开始延伸，并与对方的梳齿状电极(31、32)的电极指(31b、32b)在交叉宽度方向(y)上对置。并联臂侧IDT电极(30)是交叉宽度固定的标准型的IDT电极。

Description

梯型弹性波滤波器装置以及分波器

技术领域

本发明涉及梯型弹性波滤波器装置以及具备该梯型弹性波滤波器装置的分波器。

背景技术

以往以来，作为在便携式电话等通信设备中使用的滤波器装置，使用利用了弹性波的弹性波滤波器装置。在弹性波滤波器装置中存在纵向耦合谐振器型弹性波滤波器装置和梯型弹性波滤波器装置等。例如，作为追求平衡型性能的通信设备的接收滤波器装置，优选使用纵向耦合谐振器型弹性波滤波器装置。另一方面，作为追求耐电力性较高的性能的发送滤波器装置，优选使用梯型弹性波滤波器装置。

例如，在下述专利文献1中，在该梯型弹性表面波滤波器装置中，对构成串联臂谐振器的IDT电极实施交叉宽度加权。构成并联臂谐振器的IDT电极被作为标准型的IDT电极。在专利文献1中记载有以下内容，通过采用上述构成，能够改善信号的传送特性。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开平9-246911号公报

发明概要

发明要解决的课题

在上述专利文献1记载的梯型弹性表面波滤波器装置中，通过对构成串联臂谐振器的IDT电极进行交叉宽度加权，能够抑制在通带高频侧部分产生的纹波(ripple)。但是，存在难以充分抑制通带的中央部分的纹波的问题。此外，在上述专利文献1中，还存在有时通带内的低频侧部分的插入损失会恶化这样的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种抑制通带内的纹波，并且在通带低频侧部分以及通带高频侧部分的任一方的插入损失都较小的梯型弹性波滤波器装置。

用于解决课题的手段

本发明涉及的梯型弹性波滤波器装置包括：输入端、输出端、串联臂、串联臂谐振器、并联臂、并联臂谐振器。串联臂将输入端和输出端进行电连接。串联臂谐振器设置在串联臂中。串联臂谐振器具有串联臂侧IDT电极。并联臂电连接在串联臂和接地电位之间。并联臂谐振器设置在并联臂中。并联臂谐振器具有并联臂侧IDT电极。串联臂侧IDT电极以及并联臂侧IDT电极的每一个具有相互插入的一对梳齿状电极。梳齿状电极包括：母线(bus bar)、从母线延伸的多个电极指。对串联臂侧IDT电极实施交叉宽度加权。串联臂侧IDT电极的母线构成为，在弹性波传播方向上，电极指的交叉宽度越小，则母线之间在与弹性波传播方向垂直的交叉宽度方向上的距离越短。并联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极的每一个进一步包括多个虚设(dummy)电极。多个虚设电极的每一个从母线开始延伸。多个虚设电极的每一个与对方的梳齿状电极的电极指在交叉宽度方向上对置。并联臂侧IDT电极是交叉宽度固定的标准型的IDT电极。

在本发明涉及的梯型弹性波滤波器装置的某特定方面中，串联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极各自的母线的、与对方的母线对置的一边的至少一部分在与弹性波传播方向倾斜的方向上延伸。

在本发明涉及的梯型弹性波滤波器装置的另一个特定方面中，梯型弹性波滤波器装置具备多个串联臂谐振器。在多个串联臂谐振器之中的、至少谐振频率最低的串联臂谐振器中，对串联臂侧IDT电极实施交叉宽度加权，并且该串联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极的母线构成为，在弹性波传播方向上，电极指的交叉宽度越小，母线之间在与弹性波传播方向垂直的交叉宽度方向上的距离越短。

在本发明涉及的梯型弹性波滤波器装置的又一个特定方面中，在所有多个串联臂谐振器中，对串联臂侧IDT电极实施交叉宽度加权，并且该串联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极的母线构成为，在弹性波传播方向上，电极指的交叉宽度越小，母线之间在与弹性波传播方向垂直的交叉宽度方向上的距离越短。根据该构成，能够更有效地降低在通带高频侧部分的插入损失，并且能够更有效地抑制在通带内产生的纹波。

在本发明涉及的梯型弹性波滤波器装置的再另一个特定方面中，梯型弹性波滤波器装置具备多个并联臂谐振器。在所有多个并联臂谐振器中，并联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极的每一个具有母线、多个电极指、和多个虚设电极。根据该构成，能够更有效地降低在通带低频侧部分的插入损失。

在本发明涉及的梯型弹性波滤波器装置的再又一个特定方面中，由第一包络线和第二包络线围成的区域的形状是六角形形状，其中，该第一包络线是通过将串联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极之中的一方的梳齿状电极的电极指的前端相连结而形成的假想线，该第二包络线是通过将串联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极之中的另一方梳齿状电极的电极指的前端相连结而形成的假想线。根据该构成，能够使梯型弹性波滤波器装置小型化。

在本发明涉及的梯型弹性波滤波器装置的又再另一个特定方面中，梯型弹性波滤波器装置是利用了弹性表面波的梯型弹性表面波滤波器装置。

在本发明涉及的梯型弹性波滤波器装置的还再有一个特定方面中，弹性表面波是泄漏式弹性表面波(leaky-saw)。根据该构成，降低插入损失的效果更大。

本发明涉及的分波器具备上述本发明涉及的梯型弹性波滤波器装置。

发明效果

在本发明中，对串联臂侧IDT电极实施交叉宽度加权。串联臂侧IDT电极的母线构成为，在弹性波传播方向上，电极指的交叉宽度越小，母线之间在与弹性波传播方向垂直的交叉宽度方向上的距离越短。并联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极的每一个还具有：从母线开始延伸并与对方的梳齿状电极的电极指在交叉宽度方向上对置的多个虚设电极。并联臂侧IDT电极是交叉宽度固定的标准型的IDT电极。因此，能够有效抑制通带内的纹波，并且能够在通带低频侧部分以及通带高频侧部分中的任一方都降低插入损失。

附图说明

图1是实施了本发明的一实施方式涉及的分波器的示意等效电路图。

图2是实施了本发明的一实施方式中的发送滤波器装置的等效电路图。

图3是实施了本发明的一实施方式中的串联臂侧IDT电极的示意平面图。

图4是实施了本发明的一实施方式中的并联臂侧IDT电极的示意平面图。

图5是表示实施例以及比较例1、2中的发送滤波器装置的插入损失特性的图表。

图6是比较例1中的串联臂侧IDT电极的示意平面图。

图7是比较例2中的串联臂侧IDT电极的示意平面图。

图8是参考例2中的并联臂侧IDT电极的示意平面图。

图9是参考例3中的并联臂侧IDT电极的示意平面图。

图10是表示参考例1～3中的发送滤波器装置的插入损失特性的图表。

图11是变形例中的串联臂侧IDT电极的示意平面图。

图12是表示实验例1、2中的单端口谐振器的回波损耗(return loss)的图表。

具体实施方式

以下，针对实施本发明的优选方式来说明图1所示的作为双工器的分波器1。详细来说，本实施方式涉及的分波器1是与发送频段为880MHz～915MHz、接收频段为925MHz～960MHz的UTMS-BAND8规格对应的双工器。但是，本发明涉及的分波器不限定为双工器。本发明涉及的分波器也可以是例如三工器(triplexer)等。此外，本发明涉及的分波器可以利用弹性表面波，也可以利用弹性界面波。这里，说明分波器1利用弹性表面波的例子。

如图1所示，分波器1具备：发送滤波器装置2、和接收滤波器装置 3。接收滤波器装置3是具有平衡-不平衡转换功能的所谓平衡型的滤波器装置。接收滤波器装置3连接在天线端子Ant.和第一以及第二接收侧信号端子Rx.1，RX.2之间。接收滤波器装置3例如能够由利用了弹性表面波、弹性界面波等弹性波的弹性波滤波器装置构成。更具体来说，接收滤波器装置3例如能够由纵向耦合谐振器型弹性波滤波器装置构成。

发送滤波器装置2是梯型弹性波滤波器装置。具体来说，发送滤波器装置2是利用弹性表面波的梯型弹性表面波滤波器装置。更具体来说，发送滤波器装置2是利用泄漏式弹性表面波的梯型泄漏式弹性表面波滤波器装置。

发送滤波器装置2连接在天线端子Ant.和发送侧信号端子Tx.之间。图2中示出发送滤波器装置2的等效电路图。

如图2所示，发送滤波器装置2具有：与发送侧信号端子Tx.连接的输入端11、和与天线端子Ant.连接的输出端12。输入端11和输出端12之间由串联臂13电连接。在串联臂13中设置多个串联臂谐振器S1～S6。即，多个串联臂谐振器S1～S6在输入端11和输出端12之间按照形成串联臂13的方式而串联连接。多个串联臂谐振器S1～S6的每一个由串联臂侧IDT电极构成。

在串联臂13和接地电位之间电连接有多个并联臂14a～14c。具体来说，在串联臂13的、位于相邻的串联臂谐振器S1～S6之间的部分和接地电位之间电连接有多个并联臂14a～14c。在多个并联臂14a～14c的每一个中设置并联臂谐振器P1～P3。并联臂谐振器P1～P3的每一个由至少一个并联臂侧IDT电极构成。具体地，在本实施方式中，并联臂谐振器P1～P3的每一个由一个并联臂侧IDT电极构成。

在并联臂14a中，按照与并联臂谐振器P1串联连接的方式而设置第一感应器L1。另一方面，在并联臂14b与并联臂14c之间的连接点、和接地电位之间电连接有感应器L2。

在本实施方式中，串联臂谐振器S1～S6由图3示意性示出的串联臂侧IDT电极20构成。如图3所示，串联臂侧IDT电极20形成在压电基板15之上。在压电基板15上，在串联臂侧IDT电极20的弹性波传播方向x两侧形成一对反射器25a、25b。另外，压电基板15不特别限定，例如能够由LiNbO₃基板、LiTaO₃基板、水晶基板等构成。

串联臂侧IDT电极20具备相互插入的一对梳齿状电极21、22。梳齿状电极21、22的每一个具备：母线(bus bar)21a、22a、多个电极指21b、22b、以及多个虚设电极21c、22c。母线21a、22a具有：位于与弹性波传播方向x垂直的交叉宽度方向y的外侧的第一边21a1、22a1、和位于交叉宽度方向y的内侧且与对方的母线21a、22a对置的第二边21a2、22a2。上述多个电极指21b、22b从位于该交叉宽度方向y的内侧的第二边21a2、22a2开始沿着交叉宽度方向y朝向对方的母线21a、22a延伸。多个虚设电极21c、22c从母线21a、22a开始沿着交叉宽度方向y延伸，并与对方的梳齿状电极21、22的电极指21b、22b在交叉宽度方向y上对置。

对串联臂侧IDT电极20实施交叉宽度加权。即，在串联臂侧IDT电极20中，相邻的电极指21b、22b在交叉宽度方向y上相交叉的宽度在弹性波传播方向x上不同。在本实施方式中，通过将电极指21b和22b的前端相连结而形成的假想线即第一以及第二包络线23、24的每一个随着朝向弹性波传播方向x的外侧，而朝向对方的母线21a、22a侧延伸，这样来形成梳齿状电极21、22。由此，在串联臂侧IDT电极20中，交叉宽度从串联臂侧IDT电极20在弹性波传播方向x的中央朝向外侧而单调减少。换言之，串联臂侧IDT电极20形成为，在弹性波传播方向x的中央，交叉宽度具有一个极大值。在本实施方式中，由第一以及第二包络线23、24围起来的区域R的形状是菱形。

此外，在本实施方式中，串联臂侧IDT电极20的母线21a、22a的第二边21a2、22a2的至少一部分在相对于弹性波传播方向x倾斜的方向上延伸。由此，在本实施方式中，在弹性波传播方向x上，电极指21b、22b的交叉宽度越小，母线21a、22a之间在交叉宽度方向y的距离越短。因此，即使在电极指21b、22b的交叉宽度较小的部分中，也使虚设电极21c、22c沿着交叉宽度方向y的长度变短。

在本实施方式中，并联臂谐振器P1～P3由图4示意性地示出的并联臂侧IDT电极30构成。如图4所示，并联臂侧IDT电极30也与串联臂侧IDT电极20相同地，形成在压电基板15之上。在压电基板15上，在并联臂侧IDT电极30的弹性波传播方向x两侧，形成一对反射器35a、35b。

并联臂侧IDT电极30具备相互插入的一对梳齿状电极31、32。梳齿状电极31、32的每一个具备：母线31a、32a、多个电极指31b、32b、以及多个虚设电极31c、32c。多个电极指31b、32b从母线31a、32a开始沿着交叉宽度方向y朝向对方的母线31a、32a延伸。在本实施方式中，并联臂侧IDT电极30是电极指31b、32b的交叉宽度在弹性波传播方向x上固定的标准型的IDT电极。多个虚设电极31c、32c从母线31a、32a开始沿着交叉宽度方向y延伸，与对方的梳齿状电极31、32的电极指31b、32b在交叉宽度方向y上对置。这样，在本实施方式中，并联臂侧IDT电极30具有虚设电极31c、32c，因此并联臂侧IDT电极30的母线31a、32a之间的距离即开口长比交叉宽度大。

如以上所说明的，在本实施方式中，对串联臂侧IDT电极20实施交叉宽度加权，并且，串联臂侧IDT电极20构成为，在弹性波传播方向x上，电极指21b、22b的交叉宽度越小，母线21a、22a之间在交叉宽度方向y的距离越短。由此，能够在降低发送滤波器装置2在通带高频侧部分的插入损失的同时，有效抑制通带的纹波。以下，针对该效果，基于具体例子进行说明。另外，为了说明的方便，在以下的比较例和实验例等的说明中，有时使用相同的符号来参照具有与上述实施方式本质上相同的功能的部件，并省略说明。

首先，在实施例中，采用下述的设计参数来制作上述实施方式中的发送滤波器装置2。在图5中用实线表示实施例所涉及的发送滤波器装置的插入损失特性。

(实施例中的设计参数)

压电基板：42°旋转Y切割X传播LiTaO₃基板

IDT电极的膜构成：厚度400nm的Al膜。

串联臂侧IDT电极中的电极指间距：S1：4.27μm、S2：4.24μm、S3：4.28μm、S4：4.33μm、S5：4.33μm、S6：4.27μm

串联臂侧IDT电极中的占空比：0.5

串联臂侧IDT电极中的交叉宽度加权的比例：80％

串联臂侧IDT电极中的最大交叉宽度：S1：110μm、S2：90μm、S3： 100μm、S4：120μm、S5：80μm、S6：110μm

串联臂侧IDT电极中的最大开口长：S1：111μm、S2：91μm、S3：101μm、S4：121μm、S5：81μm、S6：111μm

并联臂侧IDT电极中的电极指间距：P1：4.47μm、P2：4.45μm、P3：4.47μm

并联臂侧IDT电极中的占空比：0.5

并联臂侧IDT电极中的交叉宽度：P1：90μm、P2：90μm、P3：80μm

并联臂侧IDT电极中的开口长：P1：96μm、P2：96μm、P3：86μm

在比较例1中，如图6所示，制作除了设串联臂侧IDT电极20具有与弹性波传播方向x平行延伸的母线21a、22a以外，具有与上述实施例相同的构成的发送滤波器装置。图5中用虚线示出比较例1涉及的发送滤波器装置的插入损失特性。

在比较例2中，如图7所示，制作除了设串联臂侧IDT电极20为未实施交叉宽度加权以外，具有与上述实施例相同的构成的发送滤波器装置。图5中用点划线示出比较例2涉及的发送滤波器装置的插入损失特性。但是，在比较例2中，设串联臂侧IDT电极中的交叉宽度为，S1：67μm、S2：54μm、S3：59μm、S4：72μm、S5：50μm、S6：67μm，开口长为，S1：73μm、S2：60μm、S3：65μm、S4：78μm、S5：56μm、S6：73μm。

此外，在下面的表1中示出上述实施例以及比较例1、2中的通带高频侧部分(915MHz)中的插入损失和位于通带中央的信道的频带内(频带宽3.84MHz)的纹波偏差。另外，所谓“纹波偏差”是规定的频带内的插入损失的最大值和最小值之差，其值越小则表示插入损失特性越平坦。即，“纹波偏差”是成为插入损失特性的平坦性的指标的数据。

[表1]

	915MHz中的插入损失	通带中央的纹波偏差
			实施例1	2.65dB	0.18dB
比较例1	2.70dB	0.44dB
			比较例2	3.00dB	0.30dB

由上述表1以及图5所示的结果明显可知，与由标准型的IDT电极构成串联臂侧IDT电极20的比较例2相比，对串联臂侧IDT电极20实施了交叉宽度加权的比较例1虽然能够降低在通带高频侧部分的插入损失，但是会在通带内产生纹波，通带中的插入损失特性的平坦性变差。

与此相对地，对串联臂侧IDT电极20实施交叉宽度加权，并且使得在弹性波传播方向x上，电极指21b、22b的交叉宽度越小，则母线21a、22a之间在交叉宽度方向y的距离越短，这样的实施例中，在通带高频侧部分的插入损失与比较例1相比进一步降低，并且能够有效抑制通带内的纹波，通带中的插入损失特性的平坦性与比较例2相比进一步提高。根据该结果可知，通过对串联臂侧IDT电极20实施交叉宽度加权，并且使得在弹性波传播方向x上，电极指21b、22b的交叉宽度越小，则母线21a、22a之间在交叉宽度方向y的距离越短，由此能够有效抑制通带内的纹波，并且还能够在降低通带高频侧部分的插入损失。

另外，通过使得电极指21b、22b的交叉宽度越小，则母线21a、22a之间在交叉宽度方向y的距离越短，从而能够有效抑制通带内的纹波，这是由于虚设电极变短的缘故。通过使虚设电极变短，从而虚设电极的反射系数变小。由此，弹性表面波的高次模式或者无用波的能量约束(energy confinement)效率降低，由此引起的纹波被抑制。

此外，通过使得在弹性波传播方向x中，电极指21b、22b的交叉宽度越小，则母线21a、22a之间在交叉宽度方向y的距离越短，就能够增大母线21a、22a的面积。由此，能够提高母线21a、22a的散热性。实际上，设气氛温度为55℃，施加了0.8W的功率时的比较例1中的发送滤波器装置2的最高温度为101℃，实施例中的最高温度为97℃。由此，能够有效抑制来自IDT电极的电极材料发生迁移(migration)。因此，能够提高发送滤波器装置2的耐电力性。

接着，针对并联臂侧IDT电极30给予滤波器特性的影响，通过参考例1～3进行评价。

在参考例1～3中，设串联臂侧IDT电极20为在比较例1中使用的图6所示的形态。即，采用虽然实施了交叉宽度加权，但是母线是平行的串联臂侧IDT电极20。

关于并联臂侧IDT电极30，在参考例1中，使用在上述实施例中使用的图4所示的方式。即，在参考例1中，由具有虚设电极的标准型的IDT电极构成并联臂侧IDT电极30。在参考例1中，并联臂侧IDT电极30的开口长为，P1：96μm、P2：96μm、P3：86μm，交叉宽度为，P1：90μm、P2：90μm、P3：80μm。虚设电极的长度为2.5μm。

在参考例2中，除了设并联臂侧IDT电极30如图8所示实施了交叉宽度加权、且母线平行以外，与参考例1相同。另外，在参考例2中，并联臂侧IDT电极30的开口长为，P1：151μm、P2：151μm、P3：134μm，最大交叉宽度为，P1：150μm、P2：150μm、P3：133μm。并联臂侧IDT电极30的交叉宽度加权比例为80％。

在参考例3中，除了设并联臂侧IDT电极30如图9所示为不具有虚设电极的标准型以外，与参考例1相同。另外，在参考例3中，并联臂侧IDT电极30的开口长为，P1：91μm、P2：91μm、P3：81μm，交叉宽度为，P1：90μm、P2：90μm、P3：80μm。

在图10中示出参考例1～3中的发送滤波器装置的插入损失特性。此外，下述表2示出参考例1～3中的在通带低频侧部分(880MHz)的插入损失。

[表2]

	880MHz中的插入损失
		参考例1	2.49dB
参考例2	2.49dB
		参考例3	2.61dB

由上述表2以及图10明显可知，与由标准型的IDT电极构成并联臂侧IDT电极30的参考例3相比，由实施了交叉宽度加权的IDT电极构成并联臂侧IDT电极30的参考例2在通带低频侧部分的插入损失更小。由此可知，为了减小在通带低频侧部分的插入损失，对并联臂侧IDT电极30实施交叉宽度加权是有效的。但是，如果实施交叉宽度加权，则例如并联臂谐振器P1中的并联臂侧IDT电极30的开口长从91μm至150μm，也增大大约60％。由此，并联臂侧IDT电极30、进而发送滤波器装置存在大型化的倾向。

相对于此，在由具有虚设电极的标准型的IDT电极构成并联臂侧IDT电极30的参考例1中，例如，尽管并联臂谐振器P1的开口长为96μm比较小，在通带低频侧部分的插入损失也很小。根据该结果可知，通过由具有虚设电极的标准型的IDT电极来构成并联臂侧IDT电极30，从而不使并联臂侧IDT电极30大型化就能够有效降低在通带低频侧部分的插入损失。

另外，如果发送滤波器装置2利用弹性波则一般能够得到上述效果，但是发送滤波器装置2优选利用弹性表面波的装置，尤其是，利用将LiTaO₃基板作为压电基板的、泄漏式弹性表面波的装置。例如，在使用了LiNbO₃基板的情况下，虽然起因于高次横向模式的纹波发生较多，但是如果使用LiTaO₃基板则纹波的产生能够相对地被抑制。由此，如果使用LiTaO₃基板，则作为纹波对策不再需要还对并联臂侧IDT电极30实施交叉宽度加权，也不会大型化。此外，在由标准型的IDT电极构成并联臂侧IDT电极30的参考例3的情况下，虽然在电极指的前端和母线之间的间隙会产生基于横向模式的能量集中从而形成插入损失，但是，在利用了泄漏式弹性表面波的情况下，在电极指的前端和母线之间的间隙会产生SSBW(Surface Skimming Bulk Wave，掠面体波)，进一步使插入损失变大。通过在标准型的IDT电极中设置虚设电极，由于不管哪一个因素都能够抑制，所以在利用了泄漏式弹性表面波的情况下，降低插入损失的效果特别好。

在上述实施方式中，说明了所有串联臂侧IDT电极20由实施了交叉宽度加权的IDT电极构成的例子，其中，该交叉宽度加权按照如下方式实现：在弹性波传播方向x上，电极指21b、22b的交叉宽度越小，则母线21a、22a之间在交叉宽度方向y的距离越短。但是，本发明并不限定为该构成。在本发明中，至少一个串联臂侧IDT电极由实施了交叉宽度加权的IDT电极构成即可，其中，该交叉宽度加权按照如下方式实现：在弹性波传播方向x上，电极指21b、22b的交叉宽度越小，则母线21a、22a之间在交叉宽度方向y的距离越短。在由按照在弹性波传播方向x上，电极指21b、22b的交叉宽度越小，则母线21a、22a之间在交叉宽度方向y的距离越短的方式实施了交叉宽度加权的IDT电极构成一部分串联臂侧IDT电极的情况下，优选由按照在弹性波传播方向x上，电极指21b、22b的交叉宽度越小，则母线21a、22a之间在交叉宽度方向y的距离越短的方式实施了交叉宽度加权的IDT电极来构成追求谐振频率最低、且耐电力性最高的串联臂谐振器的串联臂侧IDT电极。

同样地，在本发明中，虽然如果至少一个并联臂侧IDT电极是具有虚设电极的标准型的IDT电极就能达到效果，但是将所有并联臂侧IDT电极作为具有虚设电极的标准型的IDT电极则效果变得更大。

此外，在上述实施方式中，说明了串联臂侧IDT电极20的由第一以及第二包络线23、24围起来的区域R的形状为菱形的例子。但是，本发明不限定为该构成。例如，如图11所示，由串联臂侧IDT电极20的第一以及第二包络线23、24围起来的区域R的形状也可以是六角形形状。这样，能够使串联臂侧IDT电极20更加小型化。此外，即使在将区域R作为六角形形状的情况下，也能够得到与区域R为菱形形状的情况相同的插入损失特性。以下，针对该情况，基于实验例1、2具体说明。

在实验例1中，制作由在上述实施方式中使用的图3所示的、区域R为菱形形状的串联臂侧IDT电极20构成的单端口谐振器，测定回波损耗。另一方面，在实验例2中，制作由图11所示的、区域R为六角形形状的串联臂侧IDT电极20构成的单端口谐振器，测定回波损耗。另外，在实验例1、2中，设对数为90对。开口长，在实验例1中设为97μm，在实验例2中设为70μm。

图12中示出实验例1、2中的单端口谐振器的回波损耗。如图12所示，在实验例1和实验例2中，通带高频侧915MHz的回波损耗是同等的。根据该结果可知，即使将区域R设为菱形形状，设为六角形形状，发送滤波器装置在通带高频侧部分的插入损失也不怎么变化。另一方面，关于开口长，通过将区域R设为六角形形状，相比于区域R为菱形形状的情况，开口长也能够减小。因此，通过将区域R设为六角形形状，能够抑制插入损失特性的劣化，并进一步实现小型化。

符号说明：

1分波器

2发送滤波器装置

3接收滤波器装置

11输入端

12输出端

13串联臂

14a～14c并联臂

15压电基板

20串联臂侧IDT电极

21第一梳齿状电极

22第二梳齿状电极

21a、22a母线

21a1、22a1第一边

21a2、22a2第二边

21b、22b电极指

21c、22c虚设电极

23第一包络线

24第二包络线

25a、25b反射器

30并联臂侧IDT电极

31、32梳齿状电极

31a、32a母线

31b、32b电极指

31c、32c虚设电极

35a、35b反射器

P1～P3并联臂谐振器

S1～S6串联臂谐振器

L1、L2感应器

Rx.1、Rx.2接收侧信号端子

Tx.发送侧信号端子

Claims

1.一种梯型弹性波滤波器装置，包括：

输入端；

输出端；

串联臂，其将输入端和输出端进行电连接；

串联臂谐振器，其设置在上述串联臂，具有串联臂侧IDT电极；

并联臂，其被电连接在上述串联臂和接地电位之间；和

并联臂谐振器，其设置在上述并联臂，具有并联臂侧IDT电极，

上述串联臂侧IDT电极以及上述并联臂侧IDT电极的每一个具有相互插入的一对梳齿状电极，该相互插入的一对梳齿状电极包括：母线、和从上述母线延伸的多个电极指，

对上述串联臂侧IDT电极实施交叉宽度加权，并且上述串联臂侧IDT电极的母线构成为，在弹性波传播方向上，上述电极指的交叉宽度越小，上述母线之间在相对于弹性波传播方向垂直的交叉宽度方向上的距离越短，

上述并联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极的每一个进一步包括多个虚设电极，该多个虚设电极从上述母线开始延伸，并与对方的梳齿状电极的电极指在交叉宽度方向上对置，并且上述并联臂侧IDT电极是交叉宽度固定的标准型的IDT电极，

由第一包络线和第二包络线包围的区域的形状是六角形形状，其中，该第一包络线是通过将上述串联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极之中的一方梳齿状电极的电极指的前端相连结而形成的假想线，该第二包络线是通过将上述串联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极之中的另一方梳齿状电极的电极指的前端相连结而形成的假想线。

2.根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器装置，其特征在于，

上述串联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极各自的母线的、与对方的母线对置的一边的至少一部分在相对于弹性波传播方向倾斜的方向上延伸。

3.根据权利要求1或2所述的梯型弹性波滤波器装置，其特征在于，

该梯型弹性波滤波器装置具备多个上述串联臂谐振器，

在上述多个串联臂谐振器之中的、至少谐振频率最低的串联臂谐振器中，对上述串联臂侧IDT电极实施交叉宽度加权，并且该串联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极的母线构成为，在弹性波传播方向上，上述电极指的交叉宽度越小，则上述母线之间在与弹性波传播方向垂直的交叉宽度方向上的距离越短。

4.根据权利要求1或2所述的梯型弹性波滤波器装置，其特征在于，

该梯型弹性波滤波器装置具备多个上述并联臂谐振器，

在所有上述多个并联臂谐振器中，上述并联臂侧IDT电极的一对梳齿状电极的每一个具有：上述母线、上述多个电极指、和上述多个虚设电极。

5.根据权利要求1或2所述的梯型弹性波滤波器装置，其特征在于，

该梯型弹性波滤波器装置是利用了弹性表面波的梯型弹性表面波滤波器装置。

6.根据权利要求5所述的梯型弹性波滤波器装置，其特征在于，

上述弹性表面波是泄漏式弹性表面波。

7.一种分波器，具备权利要求1～6中任一项所述的梯型弹性波滤波器装置作为发送滤波器装置。