CN102915937B - 一种预防晶圆滑落的装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种预防晶圆滑落的装置及方法。本发明提出一种预防晶圆滑落的装置及方法，通过在晶圆固定器的管脚上设置与系统通信连接的光检测装置，当晶圆与管脚卡接不紧时，光检测装置的光信号接收装置就会接受到光信号，即能在进行晶圆检测分析工艺对晶圆的固定情况进行预警，根据预警信号对机台进行停机检查，进而有效避免因晶圆卡接不牢而导致title的时候发生晶圆从固定器上滑落而致使其破损，有效降低了工厂的生产检测分析成本。

Description

一种预防晶圆滑落的装置及方法

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种预防晶圆滑落的装置及方法。

背景技术

目前，半导体工厂基于时效性以及降低成本的考量，对制程分析以及缺陷的分析逐渐从脱机（offline）向联机（inline）发展，在实验室广泛应用的FIB机台也相应研发了适用于工厂的新机型，这使得时效性较之以往有了很大的提高，而且由于晶圆（wafer）在分析之后，经过处理还可以重新返回生产线，可以避免浪费，从而大大节约了生产成本。

然而，由于设计的缺陷，在实际的生产过程中，当晶圆（wafer）进入到机台上时，会先被三个成120°的管脚（pin）卡住，以进行检查工艺；但是，由于一些原因，如固定器（holder）安装不好或者晶圆（wafer）的规格在制程中有所改变等，使得管脚（pin）并不能很好的卡住该晶圆，而现有的设计中，机台并无因晶圆无法卡紧而事先报警的装置，所以目前普遍采用人工切换到管脚（pin）的位置进行相关的检查，常常会因为人为的大意而被忽略，经常导致title的时候发生晶圆（wafer）从固定器（holder）上滑落致使其破损，进而会导致机台停机（down），增大了工厂的生产检测分析成本。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明揭示了一种预防晶圆滑落的装置及方法，主要是通过在管脚上设置光检测装置来检测晶圆固定的工艺。

本发明的目的是通过下述技术方案实现的：

一种预防晶圆滑落的装置，应用于晶圆检测机台上，包括用于固定晶圆的固定器，所述固定器通过管脚固定所述晶圆，其中，还包括与所述机台的检测系统通讯连接的光检测装置；

所述管脚上设置有与所述光检测装置匹配的通孔；

所述光检测装置包括光信号发射装置和光信号接收装置，所述光信号发射装置发射的光信号通过所述通孔照射到所述光信号接收装置上；

其中，所述通孔位于所述管脚上与所述晶圆卡接时的重叠部分。

上述的预防晶圆滑落的装置，其中，所述管脚的材质为能够遮挡所述光信号传输的材质。

上述的预防晶圆滑落的装置，其中，所述光发射装置发射的光信号不能透过所述晶圆传输。

上述的预防晶圆滑落的装置，其中，所述光检测装置与所述机台的报警系统连接。

上述的预防晶圆滑落的装置，其中，每个所述管脚上均设置有光检测装置。

本发明还公开了一种预防晶圆滑落的方法，包括如上述任意一项所述的预防晶圆滑落的装置，其中，还包括：

步骤S1：将所述晶圆卡接至所述固定器的管脚上；

步骤S2：管脚上设置的光检测装置均进行光信号检测；

步骤S3：若有任意一个所述光检测装置的光信号接收装置上接收到光信号发射装置发射的光信号，则启动报警装置并进行停机检查；

步骤S4：调整固定器，并将所述晶圆重新卡接至所述固定器的管脚上，并依次重复步骤S2和步骤S3；

步骤S5：若任意一个所述光检测装置的光信号接收装置上均没有接收到光信号发射装置发射的光信号，则继续进行晶圆检测分析工艺。

综上所述，本发明一种预防晶圆滑落的装置及方法，通过在晶圆固定器的管脚上设置与系统通信连接的光检测装置，当晶圆与管脚卡接不紧时，光检测装置的光信号接收装置就会接受到光信号，即能在进行晶圆检测分析工艺对晶圆的固定情况进行预警，根据预警信号对机台进行停机检查，进而有效避免因晶圆卡接不牢而导致title的时候发生晶圆从固定器上滑落而致使其破损，有效降低了工厂的生产检测分析成本。

附图说明

图1为本发明预防晶圆滑落的装置中晶圆固定器的结构示意图；

图2为本发明预防晶圆滑落的装置的结构示意图；

图3为本发明预防晶圆滑落的方法的流程示意图。

具体实施方式  

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：

实施例一：

如图1-2所示，本发明一种预防晶圆滑落的装置，采用inline FIB机台进行制程分析以及缺陷的检测，FIB机台上的晶圆固定器1的三个成120°圆周分布的管脚3上均设置有通孔4，该通孔4设置在管脚3上与卡接的晶圆2重叠部分；对应每个通孔4的位置均设置有光信号检测装置所包含的光信号发射装置6和光信号接受装置5，即光信号发射装置6和光信号接收装置5对应通孔4的位置分别设置在该通孔4的两侧；其中，光信号检测装置与FIB机台的系统通信连接，能触发报警系统并同时对机台进行停机操作。

其中，管脚3的材质为不能传输光信号发射装置6所发射的光信号，即光信号发射装置6所发射的光信号只有通过通孔4才能传输至光信号接收装置5上。

具体的，在wafer进入工作机台（stage）之前进行固定状态的检测，即将晶圆2固定在晶圆固定器1的三个管脚3上后，在进入机台工作之前打开光信号检测装置，此时，光信号发射装置6向通孔4方向发射光信号，若晶圆2在比较好的卡接在管脚3上，则晶圆2会完全遮挡通过通孔4照射的光信号，从而阻挡该光信号传输至光信号接收装置5上，即光信号接收装置5在光信号发射装置6发射光信号时，不能接收其发射的光信号则说明此时晶圆2在该管脚3处是卡紧的；若晶圆2在在管脚3上卡接不牢，则晶圆2只会部分或无法遮挡通过通孔4照射的光信号，此时光信号接收装置5上会部分或全部接收光信号发射装置6所发射出的光信号 ，则说明此时晶圆2在该管脚3处是卡接情况不理想；光信号接收装置5在接收到光信号的同时通知机台系统启动报警装置，同时停止机台进一步的动作及时锁定，以对晶圆固定器1固定晶圆2的情况进行检测处理后，再次重复上述步骤，直至所有的光信号接收装置5均在光信号发射装置6发射光信号时无法接收到信号时为止，则说明此时晶圆2比较牢固的固定在晶圆固定器1上，并继续后续的检测分析工艺。

实施例二：

如图1-3所示，在实施例一的基础上，本发明一种预防晶圆滑落的方法：

首先，将进行分析检测的晶圆2卡接至晶圆固定器1的管脚3上，打开光信号检测装置的光信号发射装置6发射光信号。

其次，若任意一个光信号接收装置5接收到光信号发射装置6发射的光信号，则启动报警装置，并停止机台的进一步动作。

然后，对固定有晶圆2的晶圆固定器1进行检查，分析处理后，重新经晶圆2卡接在晶圆固定器1上，并重复上述步骤，直至所有的光信号接收装置5在光信号发射装置6发射光信号时均无法接收到光信号时为止。

最后，继续后续的晶圆检测分析工艺。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明实施例提出一种预防晶圆滑落的装置及方法，通过在晶圆固定器的管脚上设置与系统通信连接的光检测装置，当晶圆与管脚卡接不紧时，光检测装置的光信号接收装置就会接受到光信号，即能在进行晶圆检测分析工艺对晶圆的固定情况进行预警，根据预警信号对机台进行停机检查，进而有效避免因晶圆卡接不牢而导致title的时候发生晶圆从固定器上滑落而致使其破损，有效降低了工厂的生产检测分析成本。

通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。

对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。

Claims (5)

1.一种预防晶圆滑落的装置，应用于晶圆检测机台上，包括用于固定晶圆的固定器，所述固定器通过管脚固定所述晶圆，其特征在于，还包括与所述机台的检测系统通讯连接的光检测装置；

所述管脚上设置有与所述光检测装置匹配的通孔；

所述光检测装置包括光信号发射装置和光信号接收装置，所述光信号发射装置发射的光信号通过所述通孔照射到所述光信号接收装置上；

其中，所述通孔位于所述管脚上与所述晶圆卡接时的重叠部分；每个所述管脚上均设置有光检测装置。

2.根据权利要求1所述的预防晶圆滑落的装置，其特征在于，所述管脚的材质为能够遮挡所述光信号传输的材质。

3.根据权利要求1所述的预防晶圆滑落的装置，其特征在于，所述光信号发射装置发射的光信号不能透过所述晶圆传输。

4.根据权利要求1所述的预防晶圆滑落的装置，其特征在于，所述光检测装置与所述机台的报警系统连接。

5.一种预防晶圆滑落的方法，包括如权利要求1-4中任意一项所述的预防晶圆滑落的装置，其特征在于，还包括：

步骤S1：将所述晶圆卡接至所述固定器的管脚上；

步骤S2：管脚上设置的光检测装置均进行光信号检测；

步骤S3：若有任意一个所述光检测装置的光信号接收装置上接收到光信号发射装置发射的光信号，则启动报警装置并进行停机检查；

步骤S4：调整固定器，并将所述晶圆重新卡接至所述固定器的管脚上，并依次重复步骤S2和步骤S3；

步骤S5：若任意一个所述光检测装置的光信号接收装置上均没有接收到光信号发射装置发射的光信号，则继续进行晶圆检测分析工艺。