CN102899618A - 改进真空镀膜机传动机构 - Google Patents

Abstract

一种改进真空镀膜传动机构包括第一旋转支架、第二旋转支架以及驱动第二旋转支架连带第一旋转支架往复转动的马达，第一、第二旋转支架位于真空腔室内，第一旋转支架包括第一上内环、第一上外环、两端分别连接于第一上内环和第一上外环并呈辐射状分布的多个辐条以及第一下环，第一上外环与第一下环通过多个并行的第一直立杆连接固定，第二旋转支架包括第二上环和第二下环，第二上环与第二下环间通过多根第二直立杆连接固定，第二下环设有便于对应第一直立杆穿过的弧形孔，第一上内环和第一上外环间设有多个可固定镀膜工件的托盘，托盘通过中心轴转动固定于第一上内环和第一上外环间，托盘上中心转轴对应端与第二上环分别设有相互啮合的齿条和齿轮。

Description

改进真空镀膜机传动机构

技术领域

本发明属于真空镀膜设备，特别涉及一种通过转换镀膜工件位置实现蒸发镀膜的加工设备。

背景技术

真空镀膜是指需要在较高真空度下进行镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

对于蒸发镀膜，一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片(或称工件)表面，通过成膜过程形成薄膜。厚度均匀性和组分均匀性主要取决于：工件材料与靶材的晶格匹配程度；工件表面温度；靶材蒸发功率和速率；镀膜真空度；镀膜时间和厚度大小。当调整了工件镀膜温度和真空度，以及靶材蒸发条件后，就需要按照工件特定要求，需要通过合理设置的传机构来连续转换镀膜工件位置，才能确保工件镀膜质量，尤其对于如汽车轮毂之类的大型工件显得特别重要。

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供了一种改进真空镀膜机传动机构，通过连续调整镀膜工件位置达到工件镀膜均匀度，提高了效率。

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种改进真空镀膜传动机构，包括第一旋转支架、第二旋转支架以及能驱动该第二旋转支架连带该第一旋转支架往复转动的马达，该第一、第二旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座和安装于该底座的穹顶罩组成，其中：

1)该第一旋转支架包括固定于该穹顶罩顶部转动轴的第一上内环、位于该第一上内环外围的第一上外环、两端分别连接于该第一上内环和第一上外环并呈辐射状分布的多个辐条以及第一下环，该第一上外环与该第一下环之间通过多个并行的第一直立杆连接固定，对应该第一下环的内边缘，该底座设有多个便于该下环转动的滚轮；

2)该第二旋转支架包括位于该第一上外环外围的第二上环，以及位于该第一下环上方的第二下环，该第二上环与该第二下环之间通过多根并行的第二直立杆连接固定，对应该多根第一直立杆，该第二下环上分别设有便于第一直立杆穿过的多个弧形孔，并且该第一下环与该第二下环之间还分别设有便于滑动的滚轮和滑槽；

3)该第一上内环和第一上外环之间还设有多个可固定镀膜工件的托盘，该多个托盘分别通过中心轴转动固定于该第一上内环和第一上外环之间，并且该托盘上中心转轴对应端与该第二上环还分别设有相互啮合的齿条和齿轮。

作为本发明的进一步改进，该马达通过紧配于该第二下环内边缘的驱动滚轮，驱动该第二旋转支架连带该第一旋转支架往复转动。

作为本发明的进一步改进，该多个辐条均匀分布于该第一上内环和第一上外环，该多个托盘分别位于该第一上内环、第一上外环以及相邻的两辐条之间。

作为本发明的进一步改进，该驱动滚轮固定于一个连接轴的上端，该连接轴中部固定于该底座而下端伸出于该底座，并通过安装于该真空腔室外部的该马达驱动转动。

作为本发明的进一步改进，该驱动滚轮为齿轮，该第二下环内边缘设有能与该齿轮啮合的环形齿条，该马达为步进马达。

本发明的有益技术效果是：所述第一旋转支架可以围绕该穹顶罩顶部转动轴自由转动，该第一旋转支架中的多个托盘可以围绕各自中心轴自由翻转，而所述第二旋转支架通过该第一下环与该第二下环之间设有便于滑动的滚轮和滑槽支撑于该第一旋转支架，同时该第二旋转支架中的多个第二直立杆分别穿过该第一旋转支架中的第一下环上的弧形孔，这样当第二直立杆从弧形孔一端转动弧形孔另一端时，该第二旋转支架就带动该第一旋转支架开始转动，而该托盘上中心转轴对应端与该第二上环还分别设有相互啮合的齿条和齿轮，由此实现了该第二旋转支架将先于该第一旋转支架的一个节拍开始转动，该一个节拍的间隙使得对应托盘作一次自由翻转，从而固定于托盘上工件得到充分的镀膜加工。

附图说明

图1为本发明的轴向剖视图；

图2为本发明的A-A剖视图。

对照以上附图，作如下补充说明：

1——底座            15——齿条

2——穹顶罩          16——第二下环

4——滚轮            17——第二直立杆

5——第一下环                18——弧形孔

6——第一直立杆              21——驱动滚轮

9——第一上内环              22——马达

10——第一上外环             24——连接轴

11——托盘                   25——辐条

13——齿轮                   27——导电槽

14——第二上环               28——转动轴

具体实施方式

结合图1和图2，以下作进一步描述：

一种改进真空镀膜传动机构，包括第一旋转支架、第二旋转支架以及能驱动该第二旋转支架连带该第一旋转支架往复转动的马达22，该第一、第二旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座1和安装于该底座的穹顶罩2组成，其中：

1)该第一旋转支架包括固定于该穹顶罩2顶部转动轴28的第一上内环9、位于该第一上内环9外围的第一上外环10、两端分别连接于该第一上内环9和第一上外环10并呈辐射状均匀分布的多个辐条25以及第一下环5，该第一上外环10与该第一下环之间通过多个并行的第一直立杆6连接固定，对应该第一下环的内边缘，该底座设有多个便于该第一下环5转动的滚轮4；

2)该第二旋转支架包括位于该第一上外环10外围的第二上环14，以及位于该第一下环5上方的第二下环16，该第二上环14与该第二下环16之间通过多根并行的第二直立杆17连接固定，对应该多根第一直立杆6，该第二下环16上分别设有便于第一直立杆6穿过的多个弧形孔18，并且该第一下环5与该第二下环16之间还分别设有便于滑动的滚轮和滑槽；

3)该第一上内环9、第一上外环10以及相邻的两辐条25之间还设有多个可固定镀膜工件的托盘11，该多个托盘分别通过中心轴转动固定于该第一上内环9和第一上外环10之间，并且该托盘11上中心转轴对应端与该第二上环14还分别设有相互啮合的齿条15和齿轮13。

该马达22通过紧配于该第二下环16内边缘的驱动滚轮21，驱动该第二旋转支架连带该第一旋转支架往复转动，该驱动滚轮21固定于一个连接轴24的上端，该连接轴24中部固定于该底座1而下端伸出于该底座，并通过安装于该真空腔室外部的该马达22驱动转动，为了更精确控制该旋转支架转动，该驱动滚轮21为齿轮，该第二下环16内边缘设有能与该齿轮啮合的环形齿条，该马达22为步进马达。

为了完成真空镀膜加工，该穹顶罩侧部还必须设有便于装卸镀膜工件的密封门，此外，该底座上设有靶材和加热机构，该加热机构为可放置该靶材的导电槽27，该导电槽安装于该底座上固定支架，该导电槽两侧通过两导电棒引出于该真空腔室后，分别与一个电源变压器次级绕组两端连接，此外所述真空腔室内需要抽真空设备和对镀膜工件预加热设备，所有这些是真空镀膜必须的技术手段，也是业内人士所公知技术，不是本发明的技术创新，在次不作详细描述。

Claims (5)

1.一种改进真空镀膜传动机构，包括第一旋转支架、第二旋转支架以及能驱动该第二旋转支架连带该第一旋转支架往复转动的马达(22)，该第一、第二旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座(1)和安装于该底座的穹顶罩(2)组成，其特征在于：其中：

1)该第一旋转支架包括固定于该穹顶罩(2)顶部转动轴(28)的第一上内环(9)、位于该第一上内环(9)外围的第一上外环(10)、两端分别连接于该第一上内环(9)和第一上外环(10)并呈辐射状分布的多个辐条(25)以及第一下环(5)，该第一上外环(10)与该第一下环之间通过多个并行的第一直立杆(6)连接固定，对应该第一下环的内边缘，该底座设有多个便于该第一下环(5)转动的滚轮(4)；

2)该第二旋转支架包括位于该第一上外环(10)外围的第二上环(14)以及位于该第一下环(5)上方的第二下环(16)，该第二上环(14)与该第二下环(16)之间通过多根并行的第二直立杆(17)连接固定，对应该多根第一直立杆(6)，该第二下环(16)上分别设有便于第一直立杆(6)穿过的多个弧形孔(18)，并且该第一下环(5)与该第二下环(16)之间还分别设有便于滑动的滚轮和滑槽；

3)该第一上内环(9)和第一上外环(10)之间还设有多个可固定镀膜工件的托盘(11)，该多个托盘分别通过中心轴转动固定于该第一上内环(9)和第一上外环(10)之间，并且该托盘(11)上中心转轴对应端与该第二上环(14)还分别设有相互啮合的齿条(15)和齿轮(13)。

2.根据权利要求1所述的改进真空镀膜传动机构，其特征在于：该马达(22)通过紧配于该第二下环(16)内边缘的驱动滚轮(21)，驱动该第二旋转支架连带该第一旋转支架往复转动。

3.根据权利要求1或2所述的改进真空镀膜传动机构，其特征在于：该多个辐条(25)均匀分布于该第一上内环(9)和第一上外环(10)，该多个托盘(11)分别位于该第一上内环(9)、第一上外环(10)以及相邻的两辐条(25)之间。

4.根据权利要求3所述的改进真空镀膜机传动机构，其特征在于：该驱动滚轮(21)固定于一个连接轴(24)的上端，该连接轴(24)中部固定于该底座(1)而下端伸出于该底座，并通过安装于该真空腔室外部的该马达(22)驱动转动。

5.根据权利要求4所述的改进真空镀膜机传动机构，其特征在于：该驱动滚轮(21)为齿轮，该第二下环(16)内边缘设有能与该齿轮啮合的环形齿条，该马达(22)为步进马达。

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