CN102853771B - 小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置 - Google Patents
小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102853771B CN102853771B CN201210347063.5A CN201210347063A CN102853771B CN 102853771 B CN102853771 B CN 102853771B CN 201210347063 A CN201210347063 A CN 201210347063A CN 102853771 B CN102853771 B CN 102853771B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- prism
- measuring
- phasometer
- frequency
- polarization spectroscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 14
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 50
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 abstract description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007514 turning Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 2
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004556 laser interferometry Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02007—Two or more frequencies or sources used for interferometric measurement
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02041—Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
- G01B9/02045—Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques using the Doppler effect
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02002—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies
- G01B9/02003—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies using beat frequencies
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02027—Two or more interferometric channels or interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/04—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by beating two waves of a same source but of different frequency and measuring the phase shift of the lower frequency obtained
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/70—Using polarization in the interferometer
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
- G02B27/283—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置属于激光应用技术领域,本发明采用了空间分离的参考光和测量光,并进行测量光路平衡性设计,同时该方法产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号,并根据被测目标的运动方向和速度,选择性使用两测量信号来进行干涉测量;本发明不仅减小了温度变化对测量的影响,而且消除了干涉仪中的频率混叠现象,提高了外差干涉测量的测量精度,简化了干涉测量系统的结构;同时解决了激光光源频差对测量速度限制的问题。
Description
技术领域
本发明属于激光应用技术领域,主要涉及一种小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置。
背景技术
激光外差干涉测量因其具有抗干扰能力强、测量范围大、信噪比高和易于实现高精度等特点而被广泛应用于超精密加工、光刻机以及三坐标测量机等领域。随着超精密工程的不断发展,对加工精度和生产效率提出越来越高的要求;同时也对外差干涉测量的测量精度、分辨率和速度都提出了新的挑战。
在激光外差干涉测量中,非线性误差严重限制了测量精度和分辨率的进一步提高,国内外学者对激光外差干涉非线性误差进行了大量的研究。非线性误差源于干涉光路中的光学混叠,传统的干涉测量系统无法避免干涉测量中的光学混叠,限制了其测量精度和分辨率的提高。
T.L.Schmitz和J.F.Beckwith提出了一种干涉仪改造的方法(Ascousto-optic displacement-measureing interferometer:a new heterodyne interferometer with Anstromlevel periodic error.Journal of Modem Optics 49,pages 2105-2114)。相较于传统的测量方法,该方法将声光移频器作为分光镜,将测量光束和参考光束进行分离。该方法可以减小参考光和测量光的频率混叠,有利于减小测量的非线性误差,从而提高测量精度和分辨率。但是,该装置结构复杂且特殊,无法广泛应用于超精密加工与测量中。
Ki-Narn Joo等研制了一种新型激光干涉测量结构(Simple heterodyne laser interferometer with subnanometer periodic errors.Optics Letters/Vol.34,No.3/Fe bruary 1,2009)。该结构是参考光束与测量光束在空间上分离,消除了干涉测量中的频率混叠,完全消除非线性误差,从而提高测量精度以及测量分辨率。此外,该装置结构简单,成本低,相较于前一种测量方法,更有利于在超精密测量领域的应用。但是该方法测量速度依旧受光源频差的制约,限制了其在高速测量领域 的广泛使用。
以上几种干涉测量方法及装置均存在测量速度受光源频差制约的问题。随着超精密加工对测量速度要求的不断提高,干涉仪光源的频差也不断地增大,从而导致激光光源的结构越来越复杂,成本越来越昂贵,严重限制了激光干涉测量的广泛应用。而且测量分辨率与测量速度存在冲突。为了同时提高干涉仪的测量速度与分辨率,国内外学者对信号处理系统进行了大量的研究并提出了相应的解决方案,但现有信号处理系统一般都结构复杂、成本昂贵且需要很多特殊设计的芯片;并且受现有半导体芯片水平的限制,干涉测量性能提升困难。
综上所述,现有激光外差干涉测量方法结构复杂,且均无法同时满足超精密加工测量对干涉仪的高精度和高测量速度的要求,严重限制了超精密加工测量领域的发展。
发明内容
针对上述现有激光外差干涉仪的缺陷,本发明提出了一种小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置,简化了外差干涉测量系统的结构,提高激光外差干涉的测量精度,解决激光光源频差对测量速度限制的问题。
本发明的目的通过以下技术方案实现:
一种小型化高速超精密激光外差干涉测量方法,该方法步骤如下:
(1)稳频激光器输出两束频率分别为f1、f2的平行光束,两平行光束均为线偏振光,且偏振方向与水平方向的夹角为45°;
(2)两束平行光束的一部分直接经探测后转换为激光外差干涉测量的参考信号,其频差值为fb=f1-f2,表示为Ir∝cos(2πfbt);
(3) 两束平行光束的另一部分被偏振分光镜分为两部分,反射部分作为参考光束,透射部分作为测量光束;
(4)参考光束中,频率分别为f1、f2的两参考光束经反射棱镜与参考棱镜反射后,返回偏振分光镜;
(5)测量光束中,频率分别为f1、f2的两光束经过四分之一波片和平面反射镜作用后返回偏振分光镜,此时测量光束的偏振方向旋转了90°,被偏振分光镜反射,然后再被测量棱镜反射回偏振分光镜,经偏振分光镜反射后,再次经四分之一波片和平面反射镜作用返回偏振分光镜,此时测量光束的偏振方向又旋转了90°,被偏振分光镜透射;
(6)通过调节参考棱镜和测量棱镜使得频率为f1的测量光束与频率为f2的参考光束进行干涉,产生一路测量信号,表示为Im1∝cos[2π(fb+Δf)t];频率为f2的测量光束与频率为f1的参考光束进行干涉,产生另一路测量信号,表示为Im2∝cos[2π(fb-Δf)t],两测量信号具有大小相同、符号相反的多普勒频移,其频率分另为fb+Δf和fb-Δf;
(7)两测量信号经光电探测器探测后分别送入两个相同的相位计A和相位计B,其中,相位计A用于处理频率为fb+Δf的测量信号,相位计B用于处理频率为fb-Δf的测量信号;
(8)根据被测目标端平面反射镜的运动方向和运动速度,使用开关电路在相位计A和相位计B之间进行选择;
(9)根据所选择的相位计A或者相位计B对被测目标的位移进行计算。
所述的相位计在使用开关电路进行选择时,当被测量目标端平面反射镜正向运动速度高于设定值V1时,选择相位计B;当被测量目标端平面反射镜负向运动速度高于设定值V2时,选择相位计A;其中,设被测量目标端平面镜远离偏振分光棱镜的方向为正方向。
一种小型化高速超精密激光外差干涉测量装置,该装置包括稳频激光器、光电探测器A、光电探测器B,该装置还包括偏振分光镜、测量棱镜、四分之一波片、平面反射镜、反射棱镜、参考棱镜、相位计A、相位计B、开关电路、测量电路,其中,偏振分光镜位于稳频激光器输出端;在偏振分光镜的反射方向放置反射棱镜,参考棱镜位于反射棱镜的反射方向;在偏振分光镜的透射方向依次放置四分之一波片和平面反射镜,测量棱镜位于偏振分光镜的另一个反射方向;偏 振分光镜最终输出两路干涉测量光束,其中一路接光电探测器A,另一路接光电探测器B;光电探测器A的输出端接相位计A输入端,光电探测器B输出端接相位计B输入端;稳频激光器的参考信号输出端分别与相位计A和相位计B的输入端连接,相位计A、相位计B输出端同时接开关电路输入端,开关电路的输出端与测量电路连接。
所述的参考棱镜为角锥棱镜,同时测量棱镜为直角棱镜。
所述的参考棱镜为直角棱镜,同时测量棱镜为角锥棱镜。
所述的参考棱镜由两个角锥棱镜组成,同时测量棱镜为角锥棱镜。
所述的参考棱镜为角锥棱镜,同时测量棱镜由两个角锥棱镜组成。
所述的反射棱镜为直角棱镜,且直角边长度与偏振分光镜的边长相等。
本发明具有以下特点及良好效果:
(1)本发明中,参考光与测量光在空间上是分离的,在到达探测器之前没出现过重叠,消除了干涉仪的非线性误差产生的根源。
(2)传统干涉仪中采用偏振分光棱镜进行光束分离,干涉镜组调节难度高且成本高;本发明中改用普通非偏振分光棱镜代替偏振分光棱镜,因其对激光光源的偏振态变化不敏感,从而大大降低了干涉镜组的调节难度,同时,使用非偏振分光棱镜能够降低干涉仪成本。
(3)本发明中,干涉仪产生的两个测量信号具有大小相同、符号相反的多普勒频移,根据物体运动方向对两测量信号进行选择,可以保证多普勒频移始终使频差增加。相较于传统的干涉仪,本发明中的干涉仪使测量速度不再受激光光源频差的限制,传统的小频差激光器也可以应用于高速测量中。
(4)本发明中,由于激光频差较小,信号处理系统可以利用普通时钟信号获得高分辨率,简化了信号测量系统的设计,降低了系统的成本。
附图说明
附图为本发明装置结构示意图
图中,1稳频激光器、2偏振分光镜、3测量棱镜、4四分之一波片、5平面 反射镜、6反射棱镜、7参考棱镜、8光电探测器A、9光电探测器B、10相位计A、11相位计B、12开关电路、13测量电路。
具体实施方式
以下结合附图对本发明实例进行详细的描述。
一种小型化高速超精密激光外差干涉测量装置,该装置包括稳频激光器1、光电探测器A8、光电探测器B9,该装置还包括偏振分光镜2、测量棱镜3、四分之一波片4、平面反射镜5、反射棱镜6、参考棱镜7、相位计A10、相位计B11、开关电路12、测量电路13,其中,偏振分光镜2位于稳频激光器1输出端;在偏振分光镜2的反射方向放置反射棱镜6,参考棱镜7位于反射棱镜6的反射方向;在偏振分光镜2的透射方向依次放置四分之一波片4和平面反射镜5,测量棱镜3位于偏振分光镜2的另一个反射方向;偏振分光镜2最终输出两路干涉测量光束,其中一路接光电探测器A8,另一路接光电探测器B9;光电探测器A8的输出端接相位计A10输入端,光电探测器B9输出端接相位计B11输入端;稳频激光器1的参考信号输出端分别与相位计A10和相位计B11的输入端连接,相位计A10、相位计B11输出端同时接开关电路12输入端,开关电路12的输出端与测量电路13连接。
一种小型化高速超精密激光外差干涉测量方法,该方法步骤如下:
(1)稳频激光器1输出两束频率分别为f1、f2的平行光束,两平行光束均为线偏振光,且偏振方向与水平方向的夹角为45°;
(2)两束平行光束的一部分直接经探测后转换为激光外差干涉测量的参考信号,其频差值为fb=f1-f2,表示为Ir∝cos(2πfbt);
(3)两束平行光束的另一部分被偏振分光棱镜2为两部分,反射部分作为参考光束,透射部分作为测量光束;
(4)参考光束中,频率分别为f1、f2的两参考光束经反射棱镜6与参考棱镜7反射后,返回偏振分光棱镜;
(5)测量光束中,频率分别为f1、f2的两光束经过四分之一波片4和平面反射镜5作用后返回偏振分光棱镜2,此时测量光束的偏振方向旋转了90°,被偏振分光镜2反射,然后再被测量棱镜3反射回偏振分光镜2,经偏振分光镜2反射后,再次经四分之一波片4和平面反射镜5作用返回偏振分光镜2,此时测量光束的偏振方向又旋转了90°,被偏振分光镜2透射;
(6)通过调节参考棱镜7和测量棱镜3使得频率为f1的测量光束与频率为f2的参考光束进行干涉,产生一路测量信号,表示为Im1∝cos[2π(fb+Δf)t];频率为f2的测量光束与频率为f1的参考光束进行干涉,产生另一路测量信号,表示为Im2∝cos[2π(fb-Δf)t],两测量信号具有大小相同、符号相反的多普勒频移,其频率分别为fb+Δf和fb-Δf;
(7)两测量信号分别被光电探测器A8和光电探测器B9探测;
(8)光电探测器A8输出频率为fb+Δf的测量信号,并将信号送入相位计A10中进行处理;
(9)光电探测器B 9输出频率为fb-Δf的测量信号,并将信号送入相位计B11中进行处理;
(10)相位计A 10和相位计B11的处理信号同时送入开关电路12,根据被测目标的运动方向和运动速度在两相位计之间进行选择;相位计A10和相位计B11的测量范围存在一部分重叠。将该重叠部分做为相位计切换的“滞回区”,当被测目标运动速度高于“滞回区”的上限Vth时,由相位计A10切换为相位计B11,相位计B11输出被送入相位累加器。同理,当被测目标运动速度低于“滞回区”的下限-Vth时,由相位计B11切换回相位计A10。当被测目标速度在“滞回区”内时,不进行相位计切换操作,从而消除了电路噪声和速度噪声对切换操作的影响。
(11)将经过开关电路12选择后的信号送入测量电路13中进行处理,从而获得被测目标的运动信息。
Claims (8)
1.一种小型化高速超精密激光外差干涉测量方法,其特征在于该方法步骤如下:
(1)稳频激光器输出两束频率分别为f1、f2的平行光束,两平行光束均为线偏振光,且偏振方向与水平方向的夹角为45°;
(2)两束平行光束的一部分直接经探测后转换为激光外差干涉测量的参考信号,其频差值为fb=f1-f2,表示为Ir∝cos(2πfbt);
(3)另一部分平行光束被偏振分光镜为两部分,反射部分作为参考光束,透射部分作为测量光束;
(4)参考光束中,频率分别为f1、f2的两参考光束经反射棱镜与参考棱镜反射后,返回偏振分光镜;
(5)测量光束中,频率分别为f1、f2的两光束经过四分之一波片和平面反射镜作用后返回偏振分光镜,此时测量光束的偏振方向旋转了90°,被偏振分光镜反射,然后再被测量棱镜反射回偏振分光镜,经偏振分光镜反射后,再次经四分之一波片和平面反射镜作用返回偏振分光镜,此时测量光束的偏振方向又旋转了90°,被偏振分光镜透射;
(6)通过调节参考棱镜和测量棱镜使得频率为f1的测量光束与频率为f2的参考光束进行干涉,产生一路测量信号,表示为Im1∝cos[2π(fb+Δf)t];频率为f2的测量光束与频率为f1的参考光束进行干涉,产生另一路测量信号,表示为Im2∝cos[2π(fb-Δf)t],两测量信号具有大小相同、符号相反的多普勒频移,其频率分别为fb+Δf和fb-Δf;
(7)两测量信号经光电探测器探测后分别送入两个相同的相位计A和相位计B,其中,相位计A用于处理频率为fb+Δf的测量信号,相位计B用于处理频率为fb-Δf的测量信号;
(8)根据被测目标端平面反射镜的运动方向和运动速度,使用开关电路在相位计A和相位计B之间进行选择;
(9)根据所选择的相位计A或者相位计B对被测目标的位移进行计算。
2.根据权利要求1所述的小型化高速超精密激光外差干涉测量方法,其特征在于使用开关电路进行选择时,当被测量目标端平面反射镜正向运动速度高于设定值V1时,选择相位计B;当被测量目标端平面反射镜负向运动速度高于设定值V2时,选择相位计A;其中,设被测量目标端平面反射镜远离偏振分光镜的方向为正方向。
3.一种小型化高速超精密激光外差干涉测量装置,该装置包括稳频激光器(1)、偏振分光镜(2)、测量棱镜(3)、四分之一波片(4)、平面反射镜(5)、反射棱镜(6)、参考棱镜(7),其特征在于该装置还包括光电探测器A(8)、光电探测器B(9)、相位计A(10)、相位计B(11)、开关电路(12)、测量电路(13),其中,偏振分光镜(2)位于稳频激光器(1)输出端;在偏振分光镜(2)的反射方向放置反射棱镜(6),参考棱镜(7)位于反射棱镜(6)的反射方向;在偏振分光镜(2)的透射方向依次放置四分之一波片(4)和平面反射镜(5),测量棱镜(3)位于偏振分光镜(2)的另一个反射方向;偏振分光镜(2)最终输出两路干涉测量光束,其中一路接光电探测器A(8),另一路接光电探测器B(9);光电探测器A(8)的输出端接相位计A(10)输入端,光电探测器B(9)输出端接相位计B(11)输入端;稳频激光器(1)的参考信号输出端分别与相位计A(10)和相位计B(11)的输入端连接,相位计A(10)和相位计B(11)输出端同时接开关电路(12)输入端,开关电路(12)的输出端与测量电路(13)连接。
4.根据权利要求3所述的小型化高速超精密激光外差干涉测量装置,其特征在于参考棱镜(7)为角锥棱镜时,测量棱镜(3)为直角棱镜。
5.根据权利要求3所述的小型化高速超精密激光外差干涉测量装置,其特征在于参考棱镜(7)为直角棱镜时,测量棱镜(3)为角锥棱镜。
6.根据权利要求3所述的小型化高速超精密激光外差干涉测量装置,其特征在于参考棱镜(7)由两个角锥棱镜组成时,测量棱镜(3)为角锥棱镜。
7.根据权利要求3所述的小型化高速超精密激光外差干涉测量装置,其特征在于参考棱镜(7)为角锥棱镜时,测量棱镜(3)由两个角锥棱镜组成。
8.根据权利要求3所述的小型化高速超精密激光外差干涉测量装置,其特征在于反射棱镜(6)为直角棱镜,且直角边长度与偏振分光镜(2)的边长相等。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210347063.5A CN102853771B (zh) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置 |
PCT/CN2012/084266 WO2014043984A1 (en) | 2012-09-19 | 2012-11-08 | High speed high resolution heterodyne interferometric method and system |
US14/378,880 US9587927B2 (en) | 2012-09-19 | 2012-11-08 | High speed high resolution heterodyne interferometric method and system |
JP2015531420A JP6082466B2 (ja) | 2012-09-19 | 2012-11-08 | 高速且つ高解像度のヘテロダイン干渉測定方法 |
DE112012003271.3T DE112012003271T5 (de) | 2012-09-19 | 2012-11-08 | Hochauflösendes High Speed-Interferometrie-Verfahren und System |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210347063.5A CN102853771B (zh) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102853771A CN102853771A (zh) | 2013-01-02 |
CN102853771B true CN102853771B (zh) | 2015-07-29 |
Family
ID=47400576
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201210347063.5A Active CN102853771B (zh) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9587927B2 (zh) |
JP (1) | JP6082466B2 (zh) |
CN (1) | CN102853771B (zh) |
DE (1) | DE112012003271T5 (zh) |
WO (1) | WO2014043984A1 (zh) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT512908B1 (de) | 2012-10-31 | 2013-12-15 | Fill Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Laser-optischen Erfassung einer Oberflächenbewegung einer Probe |
CN103292916B (zh) * | 2013-05-11 | 2015-09-16 | 哈尔滨工业大学 | 基于双声光移频的光电接收器时间稳定性测试方法 |
CN103292917B (zh) * | 2013-05-11 | 2015-11-25 | 哈尔滨工业大学 | 基于声光调幅的光电接收器时间稳定性测试方法 |
CN103292912B (zh) * | 2013-05-11 | 2016-04-27 | 哈尔滨工业大学 | 基于双声光移频的光电接收器温度系数测试方法 |
CN103292913B (zh) * | 2013-05-11 | 2016-04-27 | 哈尔滨工业大学 | 基于双频激光无偏分光的光电接收器温度系数测试方法 |
CN103292915B (zh) * | 2013-05-11 | 2016-04-27 | 哈尔滨工业大学 | 基于声光调幅的光电接收器温度系数测试方法 |
CN103307985B (zh) * | 2013-06-09 | 2016-04-13 | 中国科学院力学研究所 | 一种等臂长外差式激光干涉测距系统 |
CN103335819B (zh) * | 2013-06-12 | 2015-08-05 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种用于高精度角锥棱镜光学检测的装置与方法 |
CN103604376B (zh) * | 2013-11-19 | 2017-02-01 | 哈尔滨工业大学 | 抗光学混叠的双频激光光栅干涉三维测量方法及系统 |
CN103604375B (zh) * | 2013-11-19 | 2017-02-01 | 哈尔滨工业大学 | 抗光学混叠的双频激光光栅干涉二维测量方法及系统 |
CN104316158A (zh) * | 2014-10-21 | 2015-01-28 | 四川大学 | 一种基于激光多普勒效应的外差干涉式测振仪 |
CN104568174B (zh) * | 2015-01-04 | 2017-10-17 | 电子科技大学 | 一种基于阵列探测器的光场匹配外差探测装置及方法 |
CN106123769A (zh) * | 2016-06-13 | 2016-11-16 | 上海理工大学 | 无非线性误差的差分平面镜激光干涉装置 |
US9857512B1 (en) * | 2016-06-30 | 2018-01-02 | Keysight Technologies Inc. | Systems for passive optical correction of polarization leakages |
CN109780991B (zh) * | 2017-11-14 | 2021-03-30 | 哈尔滨工业大学 | 基于误差分离的光学非线性一阶误差补偿方法及装置 |
US10386171B1 (en) | 2018-04-04 | 2019-08-20 | United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Army | Apparatus for a dynamic multi-axis heterodyne interferometric vibrometer |
CN108592800B (zh) * | 2018-05-02 | 2019-08-20 | 中国计量科学研究院 | 一种基于平面镜反射的激光外差干涉测量装置和方法 |
CN112747667B (zh) * | 2019-10-31 | 2022-03-18 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 差分干涉仪装置 |
CN110887446B (zh) * | 2019-11-27 | 2021-02-05 | 中国民航大学 | 采用激光多普勒频移的航空发动机叶尖间隙测量系统 |
CN111043991B (zh) * | 2020-03-17 | 2020-08-11 | 常州工学院 | 无非线性误差的直线度测量干涉仪系统及测量方法 |
CN111679441B (zh) * | 2020-06-03 | 2021-03-23 | 北京大学 | 基于光学外差干涉法的动态柱矢量光场产生装置及其方法 |
CN112097647B (zh) * | 2020-09-11 | 2021-06-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 外差光栅位移测量装置 |
CN112097649B (zh) * | 2020-09-11 | 2021-10-26 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 外差光栅位移测量光学系统 |
CN112857210B (zh) * | 2021-03-09 | 2023-03-17 | 哈尔滨工业大学 | 基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101216286A (zh) * | 2007-12-26 | 2008-07-09 | 上海微电子装备有限公司 | 一种测量位移的外差干涉测量系统及其测量方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4334778A (en) * | 1980-09-12 | 1982-06-15 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Dual surface interferometer |
DE3318678A1 (de) * | 1983-05-21 | 1984-11-22 | Adolf Friedrich Prof. Dr.-Phys. Fercher | Verfahren und vorrichtung zur interferometrie rauher oberflaechen |
FR2582807B1 (fr) * | 1985-05-30 | 1987-08-28 | France Etat Armement | Dispositif interferometrique heterodyne compact a lumiere polarisee |
JPH0237310U (zh) * | 1988-09-02 | 1990-03-12 | ||
US5379115A (en) * | 1991-01-28 | 1995-01-03 | Excel Precision | Differential interferometer |
CN1099128A (zh) * | 1994-03-04 | 1995-02-22 | 清华大学 | 用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离系统 |
JPH085314A (ja) * | 1994-06-20 | 1996-01-12 | Canon Inc | 変位測定方法及び変位測定装置 |
JPH11211417A (ja) * | 1998-01-22 | 1999-08-06 | Nikon Corp | 光波干渉測定方法および装置 |
JPH11344303A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Kyocera Corp | レーザ干渉測長器 |
JP2000081307A (ja) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Shiyuuko Yokoyama | 高速、高分解のダブルヘテロダイン干渉計 |
US6900899B2 (en) * | 2001-08-20 | 2005-05-31 | Agilent Technologies, Inc. | Interferometers with coated polarizing beam splitters that are rotated to optimize extinction ratios |
WO2003019112A1 (en) * | 2001-08-23 | 2003-03-06 | Zygo Corporation | Optical interferometry |
US7362445B2 (en) * | 2005-06-17 | 2008-04-22 | Agilent Technologies, Inc. | Active control and detection of two nearly orthogonal polarizations in a fiber for heterodyne interferometry |
JP4673770B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2011-04-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 光ヘテロダイン干渉測定方法およびその測定装置 |
CN100429475C (zh) * | 2006-06-20 | 2008-10-29 | 哈尔滨工业大学 | 减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法与装置 |
NL2003134C (en) * | 2008-09-11 | 2010-03-16 | Univ Delft Tech | LASER INTERFEROMETER. |
CN201622111U (zh) * | 2010-03-15 | 2010-11-03 | 中国计量科学研究院 | 一种用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪 |
CN102022977B (zh) * | 2010-10-26 | 2012-05-30 | 中国航天科工集团第三研究院第八三五八研究所 | 双轴mems扫描的外差干涉系统及方法 |
CN102109414B (zh) * | 2010-12-15 | 2012-05-02 | 深圳大学 | 利用外差干涉标定空间光调制器相位调制的方法和装置 |
CN102221355B (zh) * | 2011-05-31 | 2012-09-05 | 哈尔滨工业大学 | 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量激光入射角度的装置及方法 |
-
2012
- 2012-09-19 CN CN201210347063.5A patent/CN102853771B/zh active Active
- 2012-11-08 US US14/378,880 patent/US9587927B2/en active Active
- 2012-11-08 DE DE112012003271.3T patent/DE112012003271T5/de active Pending
- 2012-11-08 WO PCT/CN2012/084266 patent/WO2014043984A1/en active Application Filing
- 2012-11-08 JP JP2015531420A patent/JP6082466B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101216286A (zh) * | 2007-12-26 | 2008-07-09 | 上海微电子装备有限公司 | 一种测量位移的外差干涉测量系统及其测量方法 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
high resolution heterodyne interferometer without detectable periodic nonlinearity;ki-nam joo等;《optics express》;20100118;第18卷(第2期);1159-1165 * |
激光外差干涉快速超精密测量模型研究;钟志等;《光学学报》;20050630;第25卷(第6期);791-794页 * |
激光外差干涉非线性误差的测量方法;陈洪芳等;《北京工业大学学报》;20100630;第36卷(第6期);754-758页 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150043004A1 (en) | 2015-02-12 |
JP6082466B2 (ja) | 2017-02-15 |
WO2014043984A1 (en) | 2014-03-27 |
JP2015528575A (ja) | 2015-09-28 |
US9587927B2 (en) | 2017-03-07 |
DE112012003271T5 (de) | 2014-08-21 |
CN102853771A (zh) | 2013-01-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102853771B (zh) | 小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置 | |
CN102853769B (zh) | 高速高分辨率激光外差干涉测量方法与装置 | |
CN102853770B (zh) | 基于小频差与光束分离的激光外差干涉测量方法与装置 | |
CN102865820B (zh) | 基于光路补偿的激光外差干涉测量方法与装置 | |
CN103075969B (zh) | 差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置 | |
US11150077B2 (en) | Heterodyne laser interferometer based on integrated secondary beam splitting component | |
US20220042792A1 (en) | Five-degree-of-freedom heterodyne grating interferometry system | |
CN109631805B (zh) | 渥拉斯顿棱镜移动式激光干涉直线度及位移同时测量装置 | |
CN101566459B (zh) | 一种双频激光干涉仪 | |
CN103743336A (zh) | 基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置 | |
CN101629810B (zh) | 一种特殊几何点位移的光学倍频激光干涉测量系统及方法 | |
CN102878938A (zh) | 一种基于衍射光栅的光学读数头 | |
CN104897270A (zh) | 基于单声光调制和偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪 | |
CN111735391B (zh) | 双相位测量式激光干涉直线度及位移同时测量装置和方法 | |
CN202853565U (zh) | 一种声光式外差干涉仪的光路装置 | |
CN104931125A (zh) | 抗偏振混叠的双路线偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪 | |
CN105203031A (zh) | 四倍光学细分的两轴外差光栅干涉仪 | |
CN103439010A (zh) | 基于激光合成波长干涉原理的波长测量方法及装置 | |
CN103697807A (zh) | 一种双频激光位移和角度干涉仪 | |
CN103759656A (zh) | 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 | |
CN104880244A (zh) | 基于单声光调制和消偏振分光的抗偏振混叠迈克尔逊外差激光测振仪 | |
CN104931124B (zh) | 基于双声光调制和偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪 | |
CN104897048A (zh) | 无正交误差的单路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪 | |
CN102865821B (zh) | 光路平衡型高速高分辨率激光外差干涉测量方法与装置 | |
CN108801436B (zh) | 基于速度预估相位解调的高速激光测振仪 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |