CN112857210B - 基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪 - Google Patents
基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112857210B CN112857210B CN202110252682.5A CN202110252682A CN112857210B CN 112857210 B CN112857210 B CN 112857210B CN 202110252682 A CN202110252682 A CN 202110252682A CN 112857210 B CN112857210 B CN 112857210B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- degree
- freedom
- signal
- light
- heterodyne
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪属于激光应用技术领域；本发明将共轴传输且频率不同的两个激光光束输入至迈克尔逊干涉结构，通过设置参考平面反射镜的角度使得测量光束和参考光束非共轴干涉并形成单光束外差干涉信号，选用阵列式探测器有效接收单光束外差干涉信号，最终通过三自由度解耦方法对单光束外差干涉信号实现三自由度信号线性解耦。本发明所述的激光干涉仪不存在角度解耦非线性，显著降低了周期非线性误差，相比于其他现有三自由度激光干涉仪同时兼具结构简单、角度测量范围大和易于集成的优点，满足了三自由度激光干涉仪对位移及角度测量的高精度需求。
Description
技术领域
本发明属于激光应用技术领域，主要涉及一种基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪。
背景技术
激光干涉测量技术是精密工程中的基础核心技术，在精密计量、高端装备制造以及大科学装置等领域发挥着十分重要的作用。随着上述领域近年来的飞速发展，不仅需要位移测量的精度从纳米量级提升至亚纳米乃至皮米量级，同时也需要位移测量的形式从单轴线位移测量转变为多轴线/角位移三自由度复合测量。
目前，在多轴激光干涉测量领域使用最广泛的是基于平行光束测量的激光干涉仪。基于平行光束测量的激光干涉仪按原理可分为零差/外差激光干涉测量，通常以三轴(或多轴)相互平行的测量光束同时测量被测目标的不同部分，每一轴的测量光束均实现单轴位移测量，且测量光斑在被测目标面按照“品”字型或“L”型等方式排列。由每个测量轴得到的位移结果可解算出被测目标的三自由度信息，包括位移、偏摆角和俯仰角。
在激光干涉仪众多误差源中，周期非线性误差是限制激光干涉仪突破纳米精度的主要瓶颈。Heydemann椭圆拟合修正方法可将零差激光干涉仪的周期非线性误差抑制到亚纳米量级(Collett M.J.,Tee G.J.Ellipse Fitting for Interferometry.Part 1:Static Methods[J].J Opt Soc Am A Opt Image Sci Vis,2014,31(12):2573-2583)，与多轴激光干涉测量的深亚纳米/皮米级精度需求仍有差距。消除光学混叠的非共光路外差干涉结构可将外差激光干涉仪的周期非线性误差抑制到深亚纳米量级，其中将周期非线性误差抑制在10pm左右的有哈尔滨工业大学的胡鹏程等人提出的非共光路外差干涉结构(FuH.,Wu G.,Hu P.,et al.Highly Thermal-Stable Heterodyne InterferometerwithMinimized Periodic Nonlinearity[J].Appl Opt,2018,57(6):1463-1467)以及德国PTB的Weichert等人提出的非共光路外差干涉结构(WeichertC.,
P.,
R.,etal.A Heterodyne Interferometer with Periodic Nonlinearities Smaller Than±10pm[J].Measurement Science and Technology,2012,23(9):094005)，但非共光路外差干涉结构元件组成复杂，其原理导致输入光束的数量比传统共光路外差干涉结构多一倍，在多轴的位移和角度测量中均会耦合叠加各测量轴的周期非线性误差，故目前仅应用于单轴测量。
除此以外，基于平行光束的激光干涉仪一般采用传统的棱镜组逐级分光，其设计和加工难度极大，其分光过程中的平行度误差会随着入射光束数量的增加而累积。Keysight(原Agilent)、Zygo等少数激光干涉仪龙头企业掌握了利用棱镜组逐级分光实现的高精度平行分光技术，并在此基础上研制了单体式多轴干涉镜组。Keysight公司的单体三轴干涉镜组光轴平行度高达25μrad，但单体五轴干涉镜组光轴平行性即已降低为100μrad。此外，当测量距离较大时，空气中的湍流还会对每轴测量光束造成不同程度的扰动，影响位移和角度的测量稳定性。
能够实现精密多轴激光干涉测量的另一种代表性技术是基于单光束测量的差分波前激光干涉仪，差分波前干涉仪中形成干涉的两束光的波前存在夹角，其参考干涉信号和测量干涉信号在四象限探测器上的每个象限上的相位差是不同的，四个象限的交流信号之和可以用于计算位移，左边两个象限与右边两个象限的信号做差可解算偏摆角，上边两个象限与下边两个象限的信号做差可解算俯仰角。具有代表性的是美国学者Gillmer等人提出的紧凑型差分波前干涉仪(Yu X.,Gillmer S.R.,Ellis J.D.Beam Geometry,Alignment,and Wavefront Aberration Effects on InterferometricDifferentialWavefront Sensing[J].Measurement Science and Technology,2015,26(12):125203)，但是该差分波前干涉仪存在角度解耦非线性的原理误差并且直接限制了角度测量精度和角度测量范围，导致其角度测量范围比传统外差激光干涉仪更小，通常在0.1mrad量级或以下。
综上所述，现有的基于平行光束测量的激光干涉仪存在结构复杂、加工难度极大以及多轴周期非线性耦合的问题，基于单光束测量的差分波前干涉仪存在角度耦合非线性和角度测量范围较小的问题，严重限制了激光干涉仪三自由度测量能力的提高。
发明内容
本发明针对以上现有三自由度测量激光干涉仪的缺点和不足，提出了一种基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪，以达到综合提高三自由度激光干涉仪的测量精度和角度量程的目的。
本发明的目的通过以下技术方案实现：
(1)一种基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪，包括：共轴传输且频率不同的第一输入光束和第二输入光束、迈克尔逊干涉结构、阵列式探测与信号解耦模块；
所述迈克尔逊干涉结构包括第一四分之一波片、第二四分之一波片、第一分光面、第二分光面、固定的参考平面反射镜以及可移动的目标平面反射镜，且所述第一分光面镀有非偏振分光膜，所述第二分光面镀有偏振分光膜；所述第一输入光束和第二输入光束分别为竖直线偏振激光和水平线偏振激光，入射至第一分光面后其反射光束形成参考干涉信号且被光电接收器接收为参考干涉光强信号，其透射光束继续入射至第二分光面分别形成第一测量光束和第一参考光束；第一测量光束被目标平面反射镜至少反射一次且第一参考光束被参考平面反射镜至少反射一次；并且第一测量光束和第一参考光束在输出行进路径中至少有一部分重合并形成第一单光束外差干涉信号。
(2)所述的固定的参考平面反射镜的反射面与第一参考光束不垂直，使得第一测量光束和第一参考光束在输出行进路径中从不共轴传输。
(3)所述的阵列式探测与信号解耦模块，包括探测通道分布为m×n的阵列式探测器，其中m为探测通道纵向分布数量，即行数，n为探测单元横向分布数量，即列数，且行数m和列数n均大于等于4；阵列式探测器的探测通道可以有效探测第一测量光束和第一参考光束在输出路径形成的第一单光束外差干涉信号。
(4)所述的激光干涉仪，其三自由度解耦方法可对第一单光束外差干涉信号实现三自由度信号线性解耦；所述三自由度解耦方法包括：
步骤一，阵列式探测器的每一个探测通道接收第一单光束外差干涉信号并转换为第一单光束外差干涉光强信号，规定光强信号I(x,y)为位于第x行、第y列的探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量；
步骤二，由任意一行所有探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量同时与参考干涉光强信号进行解算得到的携带有目标平面反射镜的多普勒频移的相位差，可解算出目标平面反射镜相对于参考平面反射镜的偏摆角；
步骤三，由任意一列或任意两行的所有探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量同时与参考干涉光强信号进行解算得到的携带有目标平面反射镜的多普勒频移的相位差，可解算出目标平面反射镜相对于参考平面反射镜的俯仰角；
步骤四，由所有探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量同时与参考干涉光强信号解算得到的携带有目标平面反射镜多普勒频移的相位差，可由正比关系解算出目标平面反射镜相对于参考平面反射镜的位移。
本发明具有以下特点及优势：
(1)本发明中，所提出的激光干涉仪对单光束的外差干涉信号实现了三自由度信号的线性解耦。
(2)本发明中，所提出的激光干涉仪周期非线性误差源少，仅来源于多重反射，且没有使用正交探测器，故不存在正交探测中的交流信号幅值不均等、直流偏置、信号非正交等问题。
(3)本发明中，所提出的激光干涉仪角度测量范围大，可达10mrad。首先，本发明不存在角度解耦非线性问题，角度测量范围也就不受解耦线性区间的限制。其次，角度偏转产生的空间条纹会降低传统方法中干涉信号的对比度，而本发明利用该条纹本身进行角度测量，在原理上提升了其角度测量范围。
(4)本发明中，所提出的激光干涉仪存在光路简洁、元器件少、不使用偏振器件等特点，利于工程中的实现，并且在实现难易度、集成性、性价比等方面都具有优势。
附图说明
图1是本发明的激光干涉仪测量系统结构示意图；
图1中件号说明：1激光光源、2第一分光面、3光电接收器、4上位机、5阵列式探测器、6第二四分之一波片、7固定的参考平面反射镜、8第二分光面、9第一四分之一波片、10可移动的目标平面反射镜。
具体实施方式
以下结合附图对本发明提出的激光干涉仪具体实施例进行详细描述。
如图1所示的基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪，包括激光光源1、第一分光面2、光电接收器3、上位机4、阵列式探测器5、第二四分之一波片6、固定的参考平面反射镜7、第二分光面8、第一四分之一波片9、可移动的目标平面反射镜10；其中激光光源1提供共轴传输且频率不同的第一输入光束和第二输入光束；固定的参考平面反射镜7、第一分光面2、第二四分之一波片6、第一四分之一波片9以及可移动的目标平面反射镜10组成迈克尔逊干涉结构，且第一分光面2镀有非偏振分光膜，第二分光面8镀有偏振分光膜；上位机4、光电接收器3以及阵列式探测器5组成阵列式探测与信号解耦模块；令固定的参考平面反射镜7的反射面与第一参考光束不垂直，使得第一测量光束和第一参考光束在输出行进路径中从不共轴传输，且该反射面与如图1所示的虚线基准面呈现微小夹角，该夹角通常在毫弧度量级；阵列式探测器的探测通道分布为m×n的阵列式探测器，其中m为探测通道纵向分布数量，即行数，n为探测单元横向分布数量，即列数，此实施例选用探测通道分布为4×4的阵列式探测器；阵列式探测器的探测通道可以有效探测第一测量光束和第一参考光束在输出路径形成的第一单光束外差干涉信号。
如图1所示，该激光干涉仪工作原理如下：所述第一输入光束和第二输入光束分别为竖直线偏振激光和水平线偏振激光，入射至第一分光面2后其反射光束形成参考干涉信号且被光电接收器3接收为参考干涉光强信号，其透射光束继续入射至第二分光面8，经过第二分光面8后其反射光束和透射光束分别形成第一测量光束和第一参考光束；第一测量光束经过第一四分之一波片9并接触可移动的目标平面反射镜10后被反射并经过第二分光面8后透射输出；同时，第一参考光束经过第二四分之一波片6并接触固定的参考平面反射镜7后被反射并经过第二分光面8后反射输出；第一测量光束和第一参考光束在输出行进路径中至少有一部分重合并形成第一单光束外差干涉信号；上位机2通过所述三自由度解耦方法可对所述第一单光束外差干涉信号实现三自由度信号线性解耦以得到目标平面反射镜6相对于参考平面反射镜4的偏摆角、俯仰角以及位移信息，所述三自由度解耦方法包括：
步骤一，阵列式探测器5的每一个探测通道接收第一单光束外差干涉信号并转换为第一单光束外差干涉光强信号，规定光强信号I(x,y)为位于第x行、第y列的探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量；
步骤二，第一行所有探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量，即光强信号I(1,1)、I(1,2)、I(1,3)以及I(1,4)，使其同时与参考干涉光强信号进行解算得到携带有目标平面反射镜10的多普勒频移的相位差，由此相位差可解算出目标平面反射镜10相对于参考平面反射镜7的偏摆角；
步骤三，第一列所有探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量，即光强信号I(1,1)、I(2,1)、I(3,1)以及I(4,1)，使其同时与参考干涉光强信号进行解算得到的携带有目标平面反射镜10的多普勒频移的相位差，由此相位差可解算出目标平面反射镜10相对于参考平面反射镜7的俯仰角；
步骤四，由所有探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量同时与参考干涉光强信号解算得到的携带有目标平面反射镜10多普勒频移的相位差，可由正比关系解算出目标平面反射镜10相对于参考平面反射镜7的位移。
Claims (3)
1.一种基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪，包括：共轴传输且频率不同的第一输入光束和第二输入光束、迈克尔逊干涉结构、阵列式探测与信号解耦模块；
其特征在于：所述迈克尔逊干涉结构包括第一四分之一波片、第二四分之一波片、第一分光面、第二分光面、固定的参考平面反射镜以及可移动的目标平面反射镜，且所述第一分光面镀有非偏振分光膜，所述第二分光面镀有偏振分光膜；所述第一输入光束和第二输入光束分别为竖直线偏振激光和水平线偏振激光，入射至第一分光面后其反射光束形成参考干涉信号且被光电接收器接收为参考干涉光强信号，其透射光束继续入射至第二分光面分别形成第一测量光束和第一参考光束；第一测量光束被目标平面反射镜至少反射一次且第一参考光束被参考平面反射镜至少反射一次；并且第一测量光束和第一参考光束在输出行进路径中至少有一部分重合并形成第一单光束外差干涉信号；
所述阵列式探测与信号解耦模块由上位机、光电接收器以及阵列式探测器组成；
采用三自由度解耦方法对第一单光束外差干涉信号实现三自由度信号线性解耦；所述三自由度解耦方法包括：
步骤一，阵列式探测器的每一个探测通道接收第一单光束外差干涉信号并转换为第一单光束外差干涉光强信号，规定光强信号I(x,y)为位于第x行、第y列的探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量；
步骤二，由任意一行所有探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量同时与参考干涉光强信号进行解算得到的携带有目标平面反射镜多普勒频移的相位差，解算出目标平面反射镜相对于参考平面反射镜的偏摆角；
步骤三，由任意一列或任意两行的所有探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量同时与参考干涉光强信号进行解算得到的携带有目标平面反射镜多普勒频移的相位差，解算出目标平面反射镜相对于参考平面反射镜的俯仰角；
步骤四，由所有探测通道探测到的第一单光束外差干涉光强信号分量同时与参考干涉光强信号解算得到的携带有目标平面反射镜多普勒频移的相位差，由正比关系解算出目标平面反射镜相对于参考平面反射镜的位移。
2.根据权利要求1所述的基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪，其特征在于：固定的参考平面反射镜的反射面与第一参考光束不垂直，使得第一测量光束和第一参考光束在输出行进路径中从不共轴传输。
3.根据权利要求1所述的基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪，所述的阵列式探测与信号解耦模块，包括探测通道分布为m×n的阵列式探测器，其中m为探测通道纵向分布数量，即行数，n为探测单元横向分布数量，即列数，其特征在于：行数m和列数n均大于等于4，且阵列式探测器的探测通道探测第一测量光束和第一参考光束在输出路径形成的第一单光束外差干涉信号。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110252682.5A CN112857210B (zh) | 2021-03-09 | 2021-03-09 | 基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110252682.5A CN112857210B (zh) | 2021-03-09 | 2021-03-09 | 基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112857210A CN112857210A (zh) | 2021-05-28 |
| CN112857210B true CN112857210B (zh) | 2023-03-17 |
Family
ID=75994802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110252682.5A Active CN112857210B (zh) | 2021-03-09 | 2021-03-09 | 基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112857210B (zh) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109539975A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-03-29 | 哈尔滨工业大学 | 单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置 |
| CN110701998A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-01-17 | 哈尔滨工业大学 | 光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100523716C (zh) * | 2007-12-27 | 2009-08-05 | 哈尔滨工业大学 | 复色超分辨差动共焦测量方法与装置 |
| CN101344375B (zh) * | 2008-07-31 | 2011-06-29 | 上海微电子装备有限公司 | 高分辨率外差激光干涉系统及提高分辨率的方法 |
| CN101533096B (zh) * | 2009-04-23 | 2010-07-14 | 哈尔滨工业大学 | 基于偏振态调控与波长合成的双频激光测距方法与装置 |
| CN101586941B (zh) * | 2009-05-12 | 2012-12-12 | 上海微电子装备有限公司 | 一种低非线性误差与低温漂双频激光干涉装置及方法 |
| CN102494623B (zh) * | 2011-11-11 | 2014-05-07 | 中国科学院光电技术研究所 | 镜头中光学表面中心间距的非接触式测量装置的测量方法 |
| CN102853771B (zh) * | 2012-09-19 | 2015-07-29 | 哈尔滨工业大学 | 小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置 |
| CN103439295A (zh) * | 2013-08-16 | 2013-12-11 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 全深度频域多普勒光学相干层析成像方法 |
| CN104897047B (zh) * | 2015-06-12 | 2017-11-10 | 哈尔滨工业大学 | 双路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪 |
| CN104880244B (zh) * | 2015-06-12 | 2017-11-10 | 哈尔滨工业大学 | 基于单声光调制和消偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪 |
| CN106885535B (zh) * | 2017-02-10 | 2019-02-01 | 浙江理工大学 | 单频干涉直线度误差及其位置测量与补偿的装置及方法 |
| CN109059777B (zh) * | 2018-08-08 | 2019-10-29 | 中国十七冶集团有限公司 | 一种全自动激光干涉观测的方法 |
| CN111442715B (zh) * | 2020-03-02 | 2021-09-07 | 哈尔滨工业大学 | 基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪 |
-
2021
- 2021-03-09 CN CN202110252682.5A patent/CN112857210B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109539975A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-03-29 | 哈尔滨工业大学 | 单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置 |
| CN110701998A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-01-17 | 哈尔滨工业大学 | 光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN112857210A (zh) | 2021-05-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN112857207B (zh) | 基于阵列式探测器的单光束三自由度零差激光干涉仪 | |
| US11525673B2 (en) | Five-degree-of-freedom heterodyne grating interferometry system | |
| CN109470176B (zh) | 基于双光栅的高精度三维角度测量方法与装置 | |
| CN111442715B (zh) | 基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪 | |
| CN107228638A (zh) | 基于光束漂移补偿的五自由度误差同时测量的方法与装置 | |
| US20140160489A1 (en) | Four-axis four-subdividing interferometer | |
| US9036155B2 (en) | Six-axis four-subdividing interferometer | |
| CN109579779B (zh) | 高精度高频响抗干扰大工作距自准直装置与方法 | |
| CN101691998A (zh) | 二维激光自准直仪 | |
| CN110567400A (zh) | 一种基于激光干涉的低非线性角度测量装置和方法 | |
| CN101377414A (zh) | 基于光束角漂动态补偿的二维小角度测量装置与方法 | |
| CN109579995B (zh) | 一种增强静态双折射干涉光谱分辨率的方法及其装置 | |
| CN112857209B (zh) | 基于双线阵相机的单光束三自由度激光干涉仪 | |
| CN103424069A (zh) | 用于多几何误差量测量的光学装置、干涉系统及光学测量方法 | |
| CN112857210B (zh) | 基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪 | |
| Ren et al. | A novel enhanced roll-angle measurement system based on a transmission grating autocollimator | |
| CN116819551A (zh) | 一种基于差分波前测量物体横向位移的装置 | |
| CN112857208B (zh) | 基于高速相机的单光束三自由度激光干涉仪 | |
| CN116625529A (zh) | 一种大量程高精度差分波前传感测量装置 | |
| CN113483726B (zh) | 一种小型化、高精度三维角度运动误差测量方法与系统 | |
| CN109781034A (zh) | 微小滚转角与直线度同步高精度测量干涉仪以及测量方法 | |
| US6519042B1 (en) | Interferometer system for displacement and straightness measurements | |
| CN109443248B (zh) | 基于光栅的共光路跟随式高精度三维角度测量方法与装置 | |
| CN113340212A (zh) | 基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置 | |
| CN117553675B (zh) | 基于一体式双偏振分光组件的外差激光干涉仪及测量方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |