CN102830586A - 掩膜装置及其制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及平板显示技术领域，尤其涉及一种掩膜装置，其包括掩膜模块、第一驱动模块、支撑模块及第二驱动模块。掩膜模块和第一驱动模块分别位于一基板的两侧，且两者相对设置。第一驱动模块用于向掩膜模块提供一第一作用力，使掩膜模块与第一驱动模块结合在一起，将基板固定于掩膜模块与第一驱动模块之间。支撑模块包括一调节模块，其分别与掩膜模块和第一驱动模块可拆卸地结合在一起，且调节模块可调整掩膜模块与第一驱动模块之间的距离。第二驱动模块与掩膜模块分别位于第一驱动模块的两侧，其用于向基板提供一第二作用力，以在掩膜模块与第一驱动模块结合在一起之前将基板固定于第一驱动模块上。此外，本发明还提供一种掩膜装置的制作方法。

Description

掩膜装置及其制作方法

技术领域

本发明涉及平板显示技术领域，尤其涉及一种掩膜装置及其制作方法。

背景技术

触控面板根据其触控原理的不同，分为电阻式触控面板、电容式触控面板、红外式触控面板以及声波式触控面板。

电阻式、红外式、声波式触控面板由于其工作原理导致的缺陷，不适合用作手持移动终端的操作界面。电容式触控面板由于其触控灵敏度好、使用寿命长、不易被外界信号干扰等优点，被广泛应用于手持移动终端。

电容式触控面板又进一步分为表面电容式触控面板和投射电容式触控面板。表面电容式触控面板由于仅能实现单点触控，因此，其应用范围也不广泛。而投射电容式触控面板由于其可实现多点触控被广泛应用。

投射电容式触控面板包括基板、X轴感测电极层、Y轴感测电极层。X轴感测电极层和Y轴感测电极层分别形成于基板的两相背的表面。X轴感测电极层包括多条相互平行且间隔分布的X轴感应电极串列，Y轴感测电极层包括多条相互平行且间隔分布的Y轴感应电极串列，且X轴感应电极串列与Y轴感应电极串列在平行于基板的平面上的投影相垂直。

投射电容式触控面板还包括多条第一引线、多条第二引线、第一连接端子以及第二连接端子。该多条第一引线和第一连接端子形成于X轴感测电极层所在的基板表面，所述多条第一引线用于分别连接所述多条X轴感应电极串列与第一连接端子；该多条第二引线和第二连接端子形成于Y轴感测电极层所在的基板表面，所述多条第二引线用于分别连接所述多条Y轴感应电极串列与第二连接端子，该第一连接端子和第二连接端子还与外部电路(处理器)相连，以实现X轴感测电极层、Y轴感测电极层与处理器的电连接。

由于投射电容式触控面板通常设置于显示面板的前端，使用者需要通过投射电容式触控面板观看显示面板中显示的信息，因此，X轴感测电极层与Y轴感测电极层通常由透明导电材料如氧化铟锡制作。而为了避免使用者在使用投射电容式触控面板过程中，划伤由透明导电材料制成的X轴感测电极层或Y轴感测电极层，通常需要在X轴感测电极层或Y轴感测电极层之上设置保护层。所述保护层一般由绝缘材料如二氧化硅制成。然而，作为实现连接外部电路的第一连接端子或第二连接端子，其上不能覆盖绝缘材料，因此，在制作完所述保护层后，需要经过光刻工艺将第一连接端子或第二连接端子处的保护层刻蚀掉。

然而，目前多采用在一张大的玻璃基板上制作多个投射电容式触控面板，待制作完投射电容式触控面板的所有结构后，再切割出多个投射电容式触控面板。而，采用光刻工艺刻蚀投射电容式触控面板的第一连接端子或第二连接端子，极易损坏第一连接端子或第二连接端子，或者刮伤所述X轴感测电极层或Y轴感测电极层上的保护层，因此，采用光刻工艺处理投射电容式触控面板的第一连接端子或第二连接端子上的保护层，不仅使得制作投射电容式触控面板的工艺复杂化，生产效率低，生产成本高，而且，在一张大的玻璃基板上，只要有一个投射电容式触控面板的第一连接端子或第二连接端子出现损坏，整张玻璃基板都将报废，影响位于同一张玻璃基板上的其他投射电容式触控面板，因此，造成产品的良品率下降。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种可降低面板制作工艺复杂度和生产成本、提高生产效率及产品良率的掩膜装置。

此外，还有必要提供一种上述掩膜装置的制作方法。

一种掩膜装置包括掩膜模块、第一驱动模块、支撑模块以及第二驱动模块，所述掩膜模块和第一驱动模块分别位于一用于制作面板结构的基板的两侧，且所述掩膜模块与第一驱动模块相对设置，所述第一驱动模块用于向所述掩膜模块提供一第一作用力，所述第一作用力用于使所述掩膜模块与第一驱动模块结合在一起，以将所述基板固定于所述掩膜模块与所述第一驱动模块之间；所述支撑模块包括一调节模块，所述调节模块分别与所述掩膜模块和第一驱动模块可拆卸地结合在一起，且所述调节模块可调整所述掩膜模块与所述第一驱动模块之间的距离；所述第二驱动模块与掩膜模块分别位于所述第一驱动模块的两侧，其用于向所述基板提供一第二作用力，以在所述掩膜模块与所述第一驱动模块结合在一起之前将所述基板固定于所述第一驱动模块上。

本发明提供的所述掩膜装置中，所述掩膜模块具有第一表面和第三表面，所述第一表面和第三表面相背，所述第一表面为平整且光滑的平面，所述掩膜模块包括第一区域和第二区域，所述第一区域被所述第二区域环绕，所述第一区域和第二区域之中，至少有一个是由可被磁化的材料或者可被磁铁吸附的材料制成。

本发明提供的所述掩膜装置中，所述基板上设有多个图形结构，所述掩膜模块的第一区域上设有多个通孔，所述通孔贯穿所述第一区域的第一表面和第三表面，该等通孔呈阵列地设置于所述第一区域上，且所述通孔分别与所述图形结构一一对应。

本发明提供的所述掩膜装置中，所述第一驱动模块具有第二表面和第四表面，所述第二表面和第四表面相背，所述第二表面为平整且光滑的平面，所述第二表面与所述掩膜模块的第一表面相对，且两者相互间隔平行，通过所述支撑模块的调节模块可以调整所述第二表面与所述第一表面之间的距离。

本发明提供的所述掩膜装置中，所述第一驱动模块包括第三区域和第四区域，所述第三区域和第四区域分别对应所述掩膜模块的第一区域和第二区域，并所述第四区域环绕该第三区域，所述第三区域和第四区域的形状分别与所述第一区域和第二区域相似，所述第四区域占所述第一驱动模块的比例大于等于所述第二区域占所述掩膜模块的比例，所述第三区域和第四区域之中，至少有一个是由磁性材料制成。

本发明提供的所述掩膜装置中，所述第四区域上至少设有四个穿孔，所述穿孔呈阵列地设置于所述第四区域上，所述第二驱动模块包括多个连接端子，所述多个连接端子的数量与所述穿孔的数量一致，并所述多个连接端子分别可拆卸地固定于所述多个穿孔内。

一种掩膜装置的制作方法包括下列步骤：提供一具有第三表面和平整且光滑的第一表面的掩膜模块，并所述掩膜模块包括第一区域和环绕该第一区域的第二区域，在所述第一区域上设置多个通孔；提供一具有第四表面和平整且光滑的第二表面的第一驱动模块，并所述第一驱动模块包括第三区域和第四区域，且使所述第二表面与所述第一表面相互间隔平行、第三区域和第四区域分别与所述第一区域和第二区域对应；在所述第四区域上至少设有4个穿孔，并使所述穿孔呈阵列地设置于所述第四区域之上；提供一包括调节模块的支撑模块，并使所述调节模块分别可拆卸地与所述掩膜模块和第一驱动模块结合；提供包括多个连接端子的第二驱动模块，并使所述多个连接端子分别可拆卸地固定于所述第一驱动模块的多个穿孔内。

本发明提供的所述掩膜装置的制作方法中，所述掩膜模块具有第一表面和第三表面，所述第一表面和第三表面相背，所述第一表面为平整且光滑的平面，所述掩膜模块包括第一区域和第二区域，所述第一区域被所述第二区域环绕，所述第一区域和第二区域之中，至少有一个是由可被磁化的材料或者可被磁铁吸附的材料制成。

本发明提供的所述掩膜装置的制作方法中，所述基板上设有多个图形结构，所述掩膜模块的第一区域上设有多个通孔，所述通孔贯穿所述第一区域的第一表面和第三表面，该等通孔呈阵列地设置于所述第一区域上，且所述通孔分别与所述图形结构一一对应；所述第一驱动模块具有第二表面和第四表面，所述第二表面和第四表面相背，所述第二表面为平整且光滑的平面，所述第二表面与所述掩膜模块的第一表面相对，且两者相互间隔平行，通过所述支撑模块的调节模块可以调整所述第二表面与所述第一表面之间的距离。

本发明提供的所述掩膜装置的制作方法中，所述第一驱动模块包括第三区域和第四区域，所述第三区域和第四区域分别对应所述掩膜模块的第一区域和第二区域，并所述第四区域环绕该第三区域，所述第三区域和第四区域的形状分别与所述第一区域和第二区域相似，所述第四区域占所述第一驱动模块的比例大于等于所述第二区域占所述掩膜模块的比例，所述第三区域和第四区域之中，至少有一个是由磁性材料制成；所述第四区域上至少设有四个穿孔，所述穿孔呈阵列地设置于所述第四区域上，所述第二驱动模块包括多个连接端子，所述多个连接端子的数量与所述穿孔的数量一致，并所述多个连接端子分别可拆卸地固定于所述多个穿孔内。

本发明提供的掩膜装置及其制作方法通过在第一驱动模块提供第一作用力，将所述掩膜模块固定于所述第一驱动模块上，并通过驱动模块将所述基板在掩膜模块与所述第一驱动模块结合之前固定于所述第一驱动模块上。所述掩膜装置通过设置于掩膜模块上的通孔，可在所述基板上制作图案层，该种制作图案层的方法可以有效地降低因蚀刻等造成的缺陷，使良品率大大提升。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：

图1为本发明提供的一较佳实施方式的掩膜装置的示意图。

图2为图1所示的掩膜装置的制作方法流程示意图。

具体实施方式

为说明本发明提供的掩膜装置及其制作方法，以下结合说明书附图进行详细阐述。

请参阅图1，其为本发明提供的掩膜装置的示意图。该掩膜装置100用于在制作面板结构的保护层过程中，遮挡基板200的部分不需要制作保护层的区域，该掩膜装置100包括掩膜模块110、第一驱动模块120、支撑模块130以及第二驱动模块140。所述掩膜模块110与第一驱动模块120分别位于一用于制作面板结构的基板200的两侧，且所述掩膜模块110和第一驱动模块120相对设置。所述支撑模块130包括一调节模块(图中未示出)，该调节模块分别与所述掩膜模块110和第一驱动模块120可拆卸地结合在一起，且所述支撑模块130的调节模块可调整所述掩膜模块110与所述第一驱动模块120之间的距离。所述第一驱动模块120用于向所述掩膜模块110提供一第一作用力，所述第一作用力用于使所述掩膜模块110与所述第一驱动模块120结合在一起，以将所述基板200固定于所述掩膜模块110与所述第一驱动模块120之间。所述第二驱动模块130与所述掩膜模块110分别位于所述第一驱动模块120的两侧，所述第二驱动模块130用于向所述基板200提供一第二作用力，以在所述掩膜模块110与所述第一驱动模块120结合在一起之前，使所述基板200固定于所述第一驱动模块120上。

所述掩膜模块110具有第一表面111和第三表面113，所述第一表面111和第三表面113相背，所述第一表面111为平整且光滑的平面，第三表面113可以是平整且光滑的平面，并所述第一表面111和第三表面113之间相互平行；在其他实施方式中，所述第三表面113，还可以是曲面，抑或是台阶面等。所述掩膜模块110包括第一区域115和第二区域117，所述第一区域115被第二区域117环绕，所述第一区域115和第二区域117之中至少有一个是由可被磁化的材料制成或者可以被磁铁吸附的材料制成，如铁、钴、镍，或者其合金等。在本实施方式中，所述第二区域117由可被磁化的材料制成或者可以被磁铁吸附的材料制成，在其他实施方式中，掩膜模块110中，所述第一区域115由可被磁化的材料制成或者可以被磁铁吸附的材料制成，或者所述第一区域115和第二区域117均由可被磁化的材料制成或者可以被磁铁吸附的材料制成。所述第一区域115上设有多个通孔119，其用于暴露所述基板200上的图案，所述通孔119贯穿所述第一区域115的第一表面111和第三表面113。所述通孔119呈阵列地设置于所述第一区域115上，所述通孔119的数量可以根据所述基板200上需要制作的图案来设定，例如，当所述基板200上有10个呈阵列排列的图形结构需要制作保护层时，则所述通孔119的数量为10个，且所述通孔119的位置与所述基板200上所述图案的位置对应，即所述从所述通孔119可以观看到所述基板200上的所述图案。所述通孔119的形状与所述图案的形状类似，且所述通孔119的尺寸大于等于所述基板200上的所述图案的尺寸。在本实施方式中所述通孔119为方形。

所述第一驱动模块120具有第二表面121和第四表面123，所述第二表面121和第四表面123相背，所述第二表面121为平整且光滑的平面，第四表面123在本实施方式中为平整且光滑的平面，在其他实施方式中，所述第四表面123还可以是曲面、台阶面等。所述第一驱动模块120的第二表面121与掩膜模块110的第一表面111相对，且两者相互间隔平行，通过所述支撑模块130的调节模块可以调整所述第二表面121和第一表面111之间的距离，以将所述基板200固定于所述掩膜模块110和第一驱动模块120之间。

所述第一驱动模块120包括第三区域125和第四区域127，所述第四区域127围绕该第三区域125，所述第三区域125和第四区域127分别对应所述掩膜模块110的第一区域115和第二区域127，并所述第三区域125和第四区域127的形状分别与所述第一区域115和第二区域117形似，且所述第四区域127占所述第一驱动模块120的比例大于等于所述第二区域117占所述掩膜模块110的比例，该比例可以是体积比、外表面面积比、重量比等。

所述第三区域125和第四区域127之中至少有一个是由磁性材料制成，在本实施方式中，所述第四区域127由磁性材料制成，其向掩膜模块110的第二区域117提供一第一作用力，以使第一驱动模块120与掩膜模块110结合在一起，并使位于所述第一驱动模块120和掩膜模块110之间的基板200固定于两者之间。在其他实施方式中，第一驱动模块120中，所述第三区域125由磁性材料制成，或者所述第三区域125和第四区域127均由磁性材料制成。

所述第四区域127上至少设有4个穿孔129，所述穿孔129呈阵列地设置于所述第四区域127之上，所述穿孔129在本实施方式中整体呈方形，在其他实施方式中，还可以是圆形、椭圆形、多边形或者不规则的形状等。在本实施方式中，所述穿孔的数量为4个，即在第一驱动模块120上第四区域127的每个角附近均设有一个穿孔129，在其他实施方式中，所述穿孔129的数量可根据需要设置多个，防止所述基板200在所述第一驱动模块120上发生翘曲，且设置于第三区域125相对两侧的第四区域127上的穿孔数量相等，并关于所述第三区域125对称。在其他实施方式中，所述第三区域125上也可以设置至少4个穿孔129，且该等穿孔129可以是方形、圆形、椭圆形、多边形或者不规则形状，所述穿孔129整体呈阵列地设置于所述第三区域125上。

所述第二驱动模块140包括多个连接端子141，所述多个连接端子141可拆卸地固定于所述第一驱动模块120上的多个穿孔129。所述多个连接端子141的形状与所述穿孔129相似，其尺寸较所述穿孔129略小。所述第二驱动模块140通过多个连接端子141向所述基板200提供一第二作用力，并使所述基板200固定于所述第一驱动模块120上。

请参阅图2，其为图1所示的掩膜装置的制作方法流程示意图。所述掩膜装置的制作方法包括下列步骤：

步骤S401：提供一具有第三表面和平整且光滑的第一表面的掩膜模块，并所述掩膜模块包括第一区域和环绕该第一区域的第二区域，在所述第一区域上设置多个通孔。所述第一表面与所述第三表面相背，所述第三表面在本实施方式中为平整且光滑的平面，在其他实施方式中，所述第三表面还可以是其他曲面、台阶面等。所述第一区域和第二区域之中至少有一个是由可被磁化的材料制成或者可以被磁铁吸附的材料制成，如铁、钴、镍，或者其合金等。在本实施方式中，所述第二区域由可被磁化的材料制成或者可以被磁铁吸附的材料制成，在其他实施方式中，掩膜模块中，所述第一区域由可被磁化的材料制成或者可以被磁铁吸附的材料制成，或者所述第一区域和第二区域均由可被磁化的材料制成或者可以被磁铁吸附的材料制成。所述通孔贯穿所述第一区域的第一表面和第三表面。所述通孔呈阵列地设置于所述第一区域上，所述通孔的数量可以根据所述基板上需要制作的图案来设定，例如，当所述基板上有10个呈阵列排列的图形结构需要制作保护层时，则所述通孔的数量为10个，且所述通孔的位置与所述基板上所述图案的位置对应，即从所述通孔可以观看到所述基板上的所述图案。通孔的形状与所述图案的形状类似，且通孔的尺寸大于等于所述基板上的所述图案的尺寸。在本实施方式中所述通孔为方形。

步骤S403：提供一具有第四表面和平整且光滑的第二表面的第一驱动模块，并所述第一驱动模块包括第三区域和第四区域，且使所述第二表面与所述第一表面相互间隔平行、所述第三区域和第四区域分别与所述第一区域和第二区域对应。所述第二表面与所述第四表面相背。所述第四表面在本实施方式中为平整且光滑的平面，在其他实施方式中，所述第四表面还可以是曲面、台阶面等。所述第四区域围绕该第三区域，并所述第三区域和第四区域的形状分别与所述第一区域和第二区域形似，且所述第四区域占所述第一驱动模块的比例大于等于所述第二区域占所述掩膜模块的比例，该比例可以是体积比、外表面面积比、重量比等。

所述第三区域和第四区域之中至少有一个是由磁性材料制成，在本实施方式中，所述第四区域由磁性材料制成，其向掩膜模块的第二区域提供一第一作用力，以使第一驱动模块与掩膜模块结合在一起，并使位于所述第一驱动模块和掩膜模块之间的基板固定于两者之间。在其他实施方式中，第一驱动模块中，所述第三区域由磁性材料制成，或第三区域和第四区域均由磁性材料制成。

步骤S405：在所述第四区域上至少设有4个穿孔，并使所述穿孔呈阵列地设置于所述第四区域之上。所述穿孔在本实施方式中整体呈方形，在其他实施方式中，还可以是圆形、椭圆形、多边形或者不规则的形状等。在本实施方式中，所述穿孔的数量为4个，即在第一驱动模块上第四区域的每个角附近均设有一个穿孔，在其他实施方式中，所述穿孔的数量可根据需要设置多个，且设置于第三区域相对两侧的第四区域上的穿孔数量相等，并关于所述第三区域对称。在其他实施方式中，所述第三区域上也可以设置至少4个穿孔，且该等穿孔可以是方形、圆形、椭圆形、多边形或者不规则形状，所述穿孔整体呈阵列地设置于所述第三区域上。

步骤S407：提供一包括调节模块的支撑模块，并使所述调节模块分别可拆卸地与所述掩膜模块和第一驱动模块结合。所述调节模块可调整所述掩膜模块与所述第一驱动模块之间的距离，即调整所述掩膜模块的第一表面和所述第一驱动模块的第二表面之间的距离。

步骤S409：提供包括多个连接端子的第二驱动模块，并使所述多个连接端子分别可拆卸地固定于所述第一驱动模块的多个穿孔内。所述多个连接端子的形状与所述穿孔相似，其尺寸较所述穿孔略小。所述第二驱动模块通过多个连接端子向所述基板提供一第二作用力，并使所述基板固定于所述第一驱动模块上。

本发明提供的掩膜装置及其制作方法通过在第一驱动模块提供第一作用力，将所述掩膜模块固定于所述第一驱动模块上，并通过驱动模块将所述基板在掩膜模块与所述第一驱动模块结合之前固定于所述第一驱动模块上。所述掩膜装置通过设置于掩膜模块上的通孔，可在所述基板上制作图案层，该种制作图案层的方法可以有效地降低因蚀刻等造成的缺陷，使良品率大大提升。

以上为本发明提供的掩膜装置及其制作方法的较佳实施方式，并不能理解为对本发明权利保护范围的限制，本领域的技术人员应该知晓，在不脱离本发明构思的前提下，还可做多种改进或替换，所有的该等改进或替换都应该在本发明的权利保护范围内，即本发明的权利保护范围应以权利要求为准。

Claims (10)

1.一种掩膜装置，包括掩膜模块、第一驱动模块、支撑模块以及第二驱动模块，所述掩膜模块和第一驱动模块分别位于一用于制作面板结构的基板的两侧，且所述掩膜模块与第一驱动模块相对设置，所述第一驱动模块用于向所述掩膜模块提供一第一作用力，所述第一作用力用于使所述掩膜模块与第一驱动模块结合在一起，以将所述基板固定于所述掩膜模块与所述第一驱动模块之间；所述支撑模块包括一调节模块，所述调节模块分别与所述掩膜模块和第一驱动模块可拆卸地结合在一起，且所述调节模块可调整所述掩膜模块与所述第一驱动模块之间的距离；所述第二驱动模块与掩膜模块分别位于所述第一驱动模块的两侧，其用于向所述基板提供一第二作用力，以在所述掩膜模块与所述第一驱动模块结合在一起之前将所述基板固定于所述第一驱动模块上。

2.如权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于：所述掩膜模块具有第一表面和第三表面，所述第一表面和第三表面相背，所述第一表面为平整且光滑的平面，所述掩膜模块包括第一区域和第二区域，所述第一区域被所述第二区域环绕，所述第一区域和第二区域之中，至少有一个是由可被磁化的材料或者可被磁铁吸附的材料制成。

3.如权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于：所述基板上设有多个图形结构，所述掩膜模块的第一区域上设有多个通孔，所述通孔贯穿所述第一区域的第一表面和第三表面，该等通孔呈阵列地设置于所述第一区域上，且所述通孔分别与所述图形结构一一对应。

4.如权利要求3所述的掩膜装置，其特征在于：所述第一驱动模块具有第二表面和第四表面，所述第二表面和第四表面相背，所述第二表面为平整且光滑的平面，所述第二表面与所述掩膜模块的第一表面相对，且两者相互间隔平行，通过所述支撑模块的调节模块可以调整所述第二表面与所述第一表面之间的距离。

5.如权利要求4所述的掩膜装置，其特征在于：所述第一驱动模块包括第三区域和第四区域，所述第三区域和第四区域分别对应所述掩膜模块的第一区域和第二区域，并所述第四区域环绕该第三区域，所述第三区域和第四区域的形状分别与所述第一区域和第二区域相似，所述第四区域占所述第一驱动模块的比例大于等于所述第二区域占所述掩膜模块的比例，所述第三区域和第四区域之中，至少有一个是由磁性材料制成。

6.如权利要求5所述的掩膜装置，其特征在于：所述第四区域上至少设有四个穿孔，所述穿孔呈阵列地设置于所述第四区域上，所述第二驱动模块包括多个连接端子，所述多个连接端子的数量与所述穿孔的数量一致，并所述多个连接端子分别可拆卸地固定于所述多个穿孔内。

7.一种掩膜装置的制作方法，其包括下列步骤：

提供一具有第三表面和平整且光滑的第一表面的掩膜模块，并所述掩膜模块包括第一区域和环绕该第一区域的第二区域，在所述第一区域上设置多个通孔；

提供一具有第四表面和平整且光滑的第二表面的第一驱动模块，并所述第一驱动模块包括第三区域和第四区域，且使所述第二表面与所述第一表面相互间隔平行、第三区域和第四区域分别与所述第一区域和第二区域对应；

在所述第四区域上至少设有4个穿孔，并使所述穿孔呈阵列地设置于所述第四区域之上；

提供一包括调节模块的支撑模块，并使所述调节模块分别可拆卸地与所述掩膜模块和第一驱动模块结合；

提供包括多个连接端子的第二驱动模块，并使所述多个连接端子分别可拆卸地固定于所述第一驱动模块的多个穿孔内。

8.如权利要求7所述的掩膜装置的制作方法，其特征在于：所述掩膜模块具有第一表面和第三表面，所述第一表面和第三表面相背，所述第一表面为平整且光滑的平面，所述掩膜模块包括第一区域和第二区域，所述第一区域被所述第二区域环绕，所述第一区域和第二区域之中，至少有一个是由可被磁化的材料或者可被磁铁吸附的材料制成。

9.如权利要求8所述的掩膜装置的制作方法，其特征在于：所述基板上设有多个图形结构，所述掩膜模块的第一区域上设有多个通孔，所述通孔贯穿所述第一区域的第一表面和第三表面，该等通孔呈阵列地设置于所述第一区域上，且所述通孔分别与所述图形结构一一对应；所述第一驱动模块具有第二表面和第四表面，所述第二表面和第四表面相背，所述第二表面为平整且光滑的平面，所述第二表面与所述掩膜模块的第一表面相对，且两者相互间隔平行，通过所述支撑模块的调节模块可以调整所述第二表面与所述第一表面之间的距离。

10.如权利要求9所述的掩膜装置的制作方法，其特征在于：所述第一驱动模块包括第三区域和第四区域，所述第三区域和第四区域分别对应所述掩膜模块的第一区域和第二区域，并所述第四区域环绕该第三区域，所述第三区域和第四区域的形状分别与所述第一区域和第二区域相似，所述第四区域占所述第一驱动模块的比例大于等于所述第二区域占所述掩膜模块的比例，所述第三区域和第四区域之中，至少有一个是由磁性材料制成；所述第四区域上至少设有四个穿孔，所述穿孔呈阵列地设置于所述第四区域上，所述第二驱动模块包括多个连接端子，所述多个连接端子的数量与所述穿孔的数量一致，并所述多个连接端子分别可拆卸地固定于所述多个穿孔内。

Images