CN102809287A - 多台一罩真空气氛炉 - Google Patents

多台一罩真空气氛炉 Download PDF

Info

Publication number
CN102809287A
CN102809287A CN2012102993467A CN201210299346A CN102809287A CN 102809287 A CN102809287 A CN 102809287A CN 2012102993467 A CN2012102993467 A CN 2012102993467A CN 201210299346 A CN201210299346 A CN 201210299346A CN 102809287 A CN102809287 A CN 102809287A
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum atmosphere
many
base
processing chamber
hot processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2012102993467A
Other languages
English (en)
Inventor
王继海
仇恒祥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HEFEI RONGYE NEW MATERIAL EQUIPMENT CO Ltd
Original Assignee
HEFEI RONGYE NEW MATERIAL EQUIPMENT CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HEFEI RONGYE NEW MATERIAL EQUIPMENT CO Ltd filed Critical HEFEI RONGYE NEW MATERIAL EQUIPMENT CO Ltd
Priority to CN2012102993467A priority Critical patent/CN102809287A/zh
Publication of CN102809287A publication Critical patent/CN102809287A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Furnace Details (AREA)

Abstract

本发明公开了多台一罩真空气氛炉,炉体结构部分包括框架结构系统、热工结构系统、真空气氛系统以及炉体升降移动装置。本发明解决了两台气氛炉用一台加热罩加热的问题,设计布局合理,通过活动框架使炉罩的横向来回移动,实现一罩两台使用。

Description

多台一罩真空气氛炉
技术领域
本发明涉及气氛炉技术领域,具体属于多台一罩真空气氛炉。 
背景技术
在纳米材料提纯工艺中,用到气氛炉。一般一台加热器对应加热一台热处理腔,其能源利用效率低。为了能合理调节生产节奏,根据热处理工艺时间的不同,有效的错开多台热处理腔的加热时间,使一台加热器一直处于工作状态,不需要降温后再次加热,且节省设备成本。 
本发明内容
本发明的目的是提供了多台一罩真空气氛炉,解决了两台气氛炉用一台加热罩加热的问题,设计布局合理,通过活动框架使炉罩的横向来回移动,实现一罩两台使用。 
本发明采用的技术方案如下: 
多台一罩真空气氛炉,所述的炉体结构部分包括框架结构系统、热工结构系统、真空气氛系统以及炉体升降移动装置。 
所述的框架结构系统,该系统由上框架和下框架构成,上框架上安装加热元件以及耐火材料;下框架包括底座,底座上铺设一层10mm厚的耐火布,并通过耐高温不锈钢法兰固定于底座上,底座上设有热处理腔,热处理腔通过法兰固定于底座上,法兰中间密封槽填充硅胶圈压紧密封,密封部位设有水冷套,所述的热处理腔底部预留抽真空接口、气氛管路和检测热电偶安装口,检测热电偶安装套管直接预埋到热处理腔底座里。 
所述的底座设有耐热钢支架直接贯穿底部耐火布,支撑到热处理腔上。 
所述的热处理腔与底座耐火布之间填充氧化铝纤维。 
所述的热处理腔全部采用310S不锈钢制作。 
所述的热工结构系统,热工材料选用氧化铝纤维材料,耐高温材加热元件采用FEC陶瓷加热器,电阻丝内嵌氧化铝纤维。 
所述的真空气氛系统,设备真空系统配置水环真空泵,气氛系统则是气氛通过气体流量计调节后,经过气路管道通入炉体中。 
所述的炉体升降移动装置通过电机驱动,抓紧机构设计成可自动脱扣装置,动脱钩装置由电机带动自动吊钩主体靠近目标连接件,直至自动吊钩吸住连接件,吊钩向下翻转并挂住连接件,通过电机转动向上提拉重物。 
所述的温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统。 
与已有技术相比,本发明的有益效果如下: 
本发明设备是总体布局为多台一罩结构,即只用一台加热器加热多台热处理腔,目的是能合理调节生产节奏,根据热处理工艺时间的不同,有效的错开多台热处理腔的加热时间,使一台加热器一直处于工作状态,不需要降温后再次加热,造成能源浪费,且节省设备成本。 
附图说明
图1为本发明总体的结构示意图; 
图2为本发明框架结构系统的结构示意图; 
图3为本发明的单点控制系统方框图。 
具体实施方式
参见附图,多台一罩真空气氛炉,炉体结构部分包括框架结构系统16、热工结构系统17、真空气氛系统以及炉体升降移动装置14。框架结构系统16,该系统由上框架和下框架构成,上框架上安装加热元件以及耐火材料15;下框架包括底座1,底座1上铺设一层10mm厚的耐火布2,并通过耐高温不锈钢法兰3固定于底座1上,底座1上设有热处理腔4,热处理腔4通过法兰3固定于底座1上,法兰3中间密封槽填充硅胶圈5压紧密封,密封部位设有水冷套6,热处理腔4底部预留抽真空接口7、气氛管路8和检测热电偶安装口9,检测热电偶安装套管10直接预埋到热处理腔4底座里。热处理腔4全部采用310S不锈钢制作,底座1设有耐热钢支架11直接贯穿底部耐火布2,支撑到热处理腔4上。热处理腔4与底座耐火布2之间填充氧化铝纤维。 
热工结构系统,热工材料全部选用氧化铝纤维材料,其极低的导热系数和容重,减小了设备的重量和能耗,降低设备表面温度,同时无任何有害气体挥发。耐材加热元件采用FEC陶瓷加热器,KTL电阻丝内嵌氧化铝纤维,表面微露加热。 
真空气氛系统,设备真空系统配置水环真空泵,改变了传统的机械泵抽真空的配置,因为在热处理过程中会产生CL气等易溶于水的有毒气体,在水环真空泵工作过程中,有害气体溶于水中,便于废气的收集。气氛系统则是气氛通过气体流量计调节后,经过气路管道通入炉体中。 
炉体升降移动装置14,设备为一炉多用,加热器12是吊装可移动式。底座1上设有导向柱13,便于与自动脱扣装置衔接。升降装置14采用电机驱动,抓紧机构设计成可自动脱扣装置,节约人力进行脱扣操作,也防止炉体在高温时对操作人员造成伤害。自动脱钩装置由电机带动自动吊钩主体靠近目标连接件,直至自动吊钩吸住连接件,吊钩向下翻转并挂住连接件,通过电机转动向上提拉重物,操作十分简便。 
控温仪表选用单点控温仪,其具有PID参数自整定和人工修订功能,同时具有超温、欠温、断偶等断电报警保护功能,任何一种报警一旦产生系统会立即切断动力电源。以防止温控系统失效时产品过烧。执行元件用先进的固态继电器技术代替传统的交流接触器控制,实现软触点控制,其精确、可靠且寿命长。测温元件采用K分度热偶测温。温控仪能够自整定PID参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。 

Claims (9)

1.多台一罩真空气氛炉,其特征在于:所述的炉体结构部分包括框架结构系统、热工结构系统、真空气氛系统以及炉体升降移动装置。
2.根据权利要求1所述的多台一罩真空气氛炉,其特征在于:所述的框架结构系统,该系统由上框架和下框架构成,上框架上安装加热元件以及耐火材料;下框架包括底座,底座上铺设一层10mm厚的耐火布,并通过耐高温不锈钢法兰固定于底座上,底座上设有热处理腔,热处理腔通过法兰固定于底座上,法兰中间密封槽填充硅胶圈压紧密封,密封部位设有水冷套,所述的热处理腔底部预留抽真空接口、气氛管路和检测热电偶安装口,检测热电偶安装套管直接预埋到热处理腔底座里。
3.根据权利要求1所述的多台一罩真空气氛炉,其特征在于:所述的底座设有耐热钢支架直接贯穿底部耐火布,支撑到热处理腔上。
4.根据权利要求1所述的多台一罩真空气氛炉,其特征在于:所述的热处理腔与底座耐火布之间填充氧化铝纤维。
5.根据权利要求1所述的多台一罩真空气氛炉,其特征在于:所述的热处理腔全部采用310S不锈钢制作。
6.根据权利要求1所述的多台一罩真空气氛炉,其特征在于:所述的热工结构系统,热工材料选用氧化铝纤维材料,耐高温材加热元件采用FEC陶瓷加热器,电阻丝内嵌氧化铝纤维。
7.根据权利要求1所述的多台一罩真空气氛炉,其特征在于:所述的真空气氛系统,设备真空系统配置水环真空泵,气氛系统则是气氛通过气体流量计调节后,经过气路管道通入炉体中。
8.根据权利要求1所述的多台一罩真空气氛炉,其特征在于:所述的炉体升降移动装置通过电机驱动,抓紧机构设计成可自动脱扣装置,动脱钩装置由电机带动自动吊钩主体靠近目标连接件,直至自动吊钩吸住连接件,吊钩向下翻转并挂住连接件,通过电机转动向上提拉重物。
9.根据权利要求1所述的多台一罩真空气氛炉,其特征在于:所述的温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统。
CN2012102993467A 2012-08-18 2012-08-18 多台一罩真空气氛炉 Pending CN102809287A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012102993467A CN102809287A (zh) 2012-08-18 2012-08-18 多台一罩真空气氛炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012102993467A CN102809287A (zh) 2012-08-18 2012-08-18 多台一罩真空气氛炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102809287A true CN102809287A (zh) 2012-12-05

Family

ID=47233069

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2012102993467A Pending CN102809287A (zh) 2012-08-18 2012-08-18 多台一罩真空气氛炉

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102809287A (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106435712A (zh) * 2016-11-14 2017-02-22 济南金曼顿自动化技术有限公司 一种炉腔可更换的晶体提拉炉
CN107299211A (zh) * 2017-08-11 2017-10-27 苏州中芯原微电子有限公司 一种注塑机顶棍热处理装置
CN108225015A (zh) * 2018-02-06 2018-06-29 永嘉县博大机械热处理有限公司 一种罩式台车炉
CN108251601A (zh) * 2018-03-13 2018-07-06 盐城圣奥热处理有限公司 一种金属热处理装置
CN108438532A (zh) * 2018-03-29 2018-08-24 北京卫星环境工程研究所 具有玻璃钟罩的真空系统
CN114410905A (zh) * 2021-12-31 2022-04-29 浙江精瑞工模具有限公司 一种无罐罩式预真空热处理炉

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH074867A (ja) * 1993-06-16 1995-01-10 Nippon Steel Corp 真空誘導炉
CN201187942Y (zh) * 2008-04-15 2009-01-28 武汉理工大学 冷顶保护可控气氛高温升降炉
CN101907397A (zh) * 2010-09-21 2010-12-08 山东大学 可移动对开垂直管式气氛炉装置
CN102243018A (zh) * 2011-06-20 2011-11-16 江苏华东炉业有限公司 一种可移动钟罩式全纤维电阻炉
CN202092461U (zh) * 2011-05-27 2011-12-28 合肥高歌热处理应用技术有限公司 一种真空气氛管式炉

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH074867A (ja) * 1993-06-16 1995-01-10 Nippon Steel Corp 真空誘導炉
CN201187942Y (zh) * 2008-04-15 2009-01-28 武汉理工大学 冷顶保护可控气氛高温升降炉
CN101907397A (zh) * 2010-09-21 2010-12-08 山东大学 可移动对开垂直管式气氛炉装置
CN202092461U (zh) * 2011-05-27 2011-12-28 合肥高歌热处理应用技术有限公司 一种真空气氛管式炉
CN102243018A (zh) * 2011-06-20 2011-11-16 江苏华东炉业有限公司 一种可移动钟罩式全纤维电阻炉

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106435712A (zh) * 2016-11-14 2017-02-22 济南金曼顿自动化技术有限公司 一种炉腔可更换的晶体提拉炉
CN106435712B (zh) * 2016-11-14 2018-09-18 济南金曼顿自动化技术有限公司 一种炉腔可更换的晶体提拉炉
CN107299211A (zh) * 2017-08-11 2017-10-27 苏州中芯原微电子有限公司 一种注塑机顶棍热处理装置
CN108225015A (zh) * 2018-02-06 2018-06-29 永嘉县博大机械热处理有限公司 一种罩式台车炉
CN108251601A (zh) * 2018-03-13 2018-07-06 盐城圣奥热处理有限公司 一种金属热处理装置
CN108251601B (zh) * 2018-03-13 2024-06-07 山西启运金属制品有限公司 一种金属热处理装置
CN108438532A (zh) * 2018-03-29 2018-08-24 北京卫星环境工程研究所 具有玻璃钟罩的真空系统
CN114410905A (zh) * 2021-12-31 2022-04-29 浙江精瑞工模具有限公司 一种无罐罩式预真空热处理炉
CN114410905B (zh) * 2021-12-31 2024-04-02 浙江精瑞工模具有限公司 一种无罐罩式预真空热处理炉

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102809287A (zh) 多台一罩真空气氛炉
CN202915702U (zh) 多台一罩真空气氛炉
CN204825031U (zh) 一种高温蒸发源
CN107202495A (zh) 闪烧结构和闪烧炉
CN102534128A (zh) 箱式保护气氛退火炉
CN202830081U (zh) 箱式保护气氛退火炉
CN203037063U (zh) 一种氧化锆牙科修复体用烧结炉
CN202254758U (zh) 一种高效铑反应加热升降炉
CN205036609U (zh) 一种热风机控制电路
CN102419085B (zh) 一种微波、电混合加热钟罩窑
CN204141997U (zh) 一种超高温真空热压炉
CN110514005A (zh) 一种混合加热的沉积炉
CN111961882B (zh) 金属钠再熔炼及成型机
RU166734U1 (ru) Устройство для получения термически расщепленного графита
CN202643882U (zh) 一种多晶铸锭炉热电偶装置
CN108088246A (zh) 一种立式梯度炉
CN208333088U (zh) 用于降低炉内金属液体温差波动的控制系统
CN205933926U (zh) 大型热风炉拱顶在线更换整体热处理系统
CN206061168U (zh) 船用电加热器装置
CN104792170B (zh) 真空压力高温电磁加热熔炉系统
CN203057544U (zh) 温控加热装置
CN205209218U (zh) 一种具有密封安全保护结构的箱式真空气氛炉
CN203349653U (zh) 立式真空气氛高温炉
CN204311087U (zh) 一种井式预抽真空退火炉
CN203602678U (zh) 一种轴承专用热处理装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20121205