CN102769069A - 一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法 - Google Patents
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Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103178157A (zh) * | 2013-02-27 | 2013-06-26 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种选择性发射极多晶硅太阳电池的制备方法 |
CN103199152A (zh) * | 2013-03-11 | 2013-07-10 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种晶体硅片的磷扩散方法 |
CN103515483A (zh) * | 2013-09-09 | 2014-01-15 | 中电电气(南京)光伏有限公司 | 一种晶体硅太阳能电池发射结的制备方法 |
CN103628042A (zh) * | 2013-12-10 | 2014-03-12 | 浙江正泰太阳能科技有限公司 | 一种改善晶硅电池镀膜质量的方法 |
CN103632934A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-03-12 | 英利集团有限公司 | N型硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 |
CN103632935A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-03-12 | 英利集团有限公司 | N 型硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 |
CN103632933A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-03-12 | 英利集团有限公司 | N型硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 |
CN103646994A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-03-19 | 奥特斯维能源(太仓)有限公司 | 一种太阳电池正面电极的制备方法 |
CN103646993A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-03-19 | 奥特斯维能源(太仓)有限公司 | 一种背结背接触晶体硅太阳电池的硼扩散工艺 |
CN104538501A (zh) * | 2015-01-15 | 2015-04-22 | 中利腾晖光伏科技有限公司 | N型双面电池及其制作方法 |
CN105304753A (zh) * | 2015-09-25 | 2016-02-03 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | N型电池硼扩散工艺 |
CN106129177A (zh) * | 2016-07-18 | 2016-11-16 | 保定天威英利新能源有限公司 | 一种太阳能电池硼扩散方法及硼扩散装置 |
CN106159034A (zh) * | 2015-04-08 | 2016-11-23 | 司红康 | 一种硅太阳能电池制结工艺 |
CN106158604A (zh) * | 2015-04-08 | 2016-11-23 | 司红康 | 一种磷扩散方法 |
CN107452599A (zh) * | 2017-07-25 | 2017-12-08 | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 | 一种用于扩散制结的分类返工工艺 |
CN109920728A (zh) * | 2019-03-22 | 2019-06-21 | 英利能源(中国)有限公司 | 一种n型晶体硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6448105B1 (en) * | 1998-03-25 | 2002-09-10 | Siemens And Shell Solar Gmbh | Method for doping one side of a semiconductor body |
CN101132033A (zh) * | 2007-10-08 | 2008-02-27 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种制造太阳能电池的磷扩散方法 |
CN102191562A (zh) * | 2011-04-25 | 2011-09-21 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种n型晶体硅太阳电池的硼扩散方法 |
-
2012
- 2012-07-16 CN CN201210245228.8A patent/CN102769069B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6448105B1 (en) * | 1998-03-25 | 2002-09-10 | Siemens And Shell Solar Gmbh | Method for doping one side of a semiconductor body |
CN101132033A (zh) * | 2007-10-08 | 2008-02-27 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种制造太阳能电池的磷扩散方法 |
CN102191562A (zh) * | 2011-04-25 | 2011-09-21 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种n型晶体硅太阳电池的硼扩散方法 |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103178157A (zh) * | 2013-02-27 | 2013-06-26 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种选择性发射极多晶硅太阳电池的制备方法 |
CN103199152A (zh) * | 2013-03-11 | 2013-07-10 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种晶体硅片的磷扩散方法 |
CN103199152B (zh) * | 2013-03-11 | 2016-05-25 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种晶体硅片的磷扩散方法 |
CN103515483A (zh) * | 2013-09-09 | 2014-01-15 | 中电电气(南京)光伏有限公司 | 一种晶体硅太阳能电池发射结的制备方法 |
CN103632933B (zh) * | 2013-11-29 | 2016-08-17 | 英利集团有限公司 | N型硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 |
CN103632934A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-03-12 | 英利集团有限公司 | N型硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 |
CN103632935A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-03-12 | 英利集团有限公司 | N 型硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 |
CN103632933A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-03-12 | 英利集团有限公司 | N型硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 |
CN103646994A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-03-19 | 奥特斯维能源(太仓)有限公司 | 一种太阳电池正面电极的制备方法 |
CN103646993A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-03-19 | 奥特斯维能源(太仓)有限公司 | 一种背结背接触晶体硅太阳电池的硼扩散工艺 |
CN103632935B (zh) * | 2013-11-29 | 2016-08-24 | 英利集团有限公司 | N 型硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 |
CN103632934B (zh) * | 2013-11-29 | 2017-09-19 | 英利集团有限公司 | N 型硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 |
CN103628042A (zh) * | 2013-12-10 | 2014-03-12 | 浙江正泰太阳能科技有限公司 | 一种改善晶硅电池镀膜质量的方法 |
CN104538501A (zh) * | 2015-01-15 | 2015-04-22 | 中利腾晖光伏科技有限公司 | N型双面电池及其制作方法 |
CN106159034A (zh) * | 2015-04-08 | 2016-11-23 | 司红康 | 一种硅太阳能电池制结工艺 |
CN106158604A (zh) * | 2015-04-08 | 2016-11-23 | 司红康 | 一种磷扩散方法 |
CN106159034B (zh) * | 2015-04-08 | 2017-07-14 | 安徽康力节能电器科技有限公司 | 一种硅太阳能电池制结工艺 |
CN106158604B (zh) * | 2015-04-08 | 2019-06-14 | 安徽康力节能电器科技有限公司 | 一种磷扩散方法 |
CN105304753A (zh) * | 2015-09-25 | 2016-02-03 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | N型电池硼扩散工艺 |
CN106129177A (zh) * | 2016-07-18 | 2016-11-16 | 保定天威英利新能源有限公司 | 一种太阳能电池硼扩散方法及硼扩散装置 |
CN107452599A (zh) * | 2017-07-25 | 2017-12-08 | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 | 一种用于扩散制结的分类返工工艺 |
CN109920728A (zh) * | 2019-03-22 | 2019-06-21 | 英利能源(中国)有限公司 | 一种n型晶体硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 |
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Publication number | Publication date |
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