CN102736419B - 光刻胶除泡装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种光刻胶除泡装置，包括：管路固定座，所述管路固定座上设置有贯穿其顶部和底部的管路穿行孔；与所述管路固定座相连的光阻承载槽。本发明实施例提供的光刻胶除泡装置，使得更换光阻瓶时，由于光阻承载槽内已经盛满了光刻胶，这些光刻胶表面的高度高于光阻管路端口，对管路内的光刻胶产生一定压力，克服了管路内光刻胶的自身重力，从而使管路内的光刻胶不会因自身重力而滴落出来，进而避免了在管路内进入空气，即从根本上避免了更换光阻瓶时管路内气泡的产生，也就不用为了排除气泡而浪费光刻胶，大大节省了光刻胶。

Description

光刻胶除泡装置

技术领域

本发明涉及半导体器件制造技术领域，尤其涉及一种光刻胶除泡装置。

背景技术

在半导体器件制造过程中，光刻工艺的应用非常频繁，光刻胶的用量也是非常大的。在光刻胶涂布机的光刻胶传输系统中，光刻胶(即光阻)的输入端管路是直接插入到装有光刻胶的瓶子(即光阻瓶)中的，在更换光阻瓶时，需要将光刻胶输入端的管路从当前光阻瓶中取出，然后放入到另一个光阻瓶中，这样就会导致光刻胶输入端的管路会有一段时间是直接暴露在空气中的，此时，管路中的光刻胶会有少量的滴落，从而使管路中进入空气，当将进入空气的光阻输入端管路插入到新的光阻瓶中后，就会在管路中形成气泡，在涂胶之前，需将气泡排除出光刻胶传输系统，否则将影响产品的质量，但是排除气泡的同时也会排除大量的光刻胶，这就造成了光刻胶成本的极大浪费。

基于上述情况，亟需一种解决方案，在排除管路中气泡的同时能够节省光刻胶。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供了一种光刻胶除泡装置，避免更换光阻瓶时，在光刻胶输入端管路中产生气泡，大大节省了光刻胶使用。

为解决上述问题，本发明实施例提供了如下技术方案：

一种光刻胶除泡装置，包括：

管路固定座，所述管路固定座上设置有贯穿其顶部和底部的管路穿行孔；

与所述管路固定座相连的光阻承载槽。

优选的，所述管路固定座上的管路穿行孔的数量为2个。

优选的，所述管路固定座上设置有贯穿其侧壁的通孔，所述光阻承载槽的侧壁设置有通孔，所述管路固定座与所述光阻承载槽的连接方式具体为：

采用螺钉贯穿所述光阻承载槽的通孔并旋紧在所述管路固定座上。

优选的，所述管路固定座为圆柱形，并且所述管路固定座的侧壁设置有两个斜向下至所述管路固定座底部的缺口。

优选的，所述光阻承载槽为筒状，且其侧壁具有两个相对的凹口以及两个相对的凸起面。

优选的，所述光阻承载槽的两个凹口底部所在的平面为所述光阻承载槽的承载面，所述承载面与所述光阻承载槽的底面平行。

优选的，所述管路固定座的底部高度低于所述承载面的高度，且所述管路固定座的底部与所述光阻承载槽的底部间具有间隙。

优选的，所述光阻承载槽侧壁的通孔设置在所述两个相对的凸起面上，且两个凸起面上的通孔相对。

优选的，所述管路固定座侧壁上通孔的数量为两个，所述光阻承载槽的每个凸起面上具有两个通孔。

优选的，所述管路固定座上设置有管路固定孔。

与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点：

本发明实施例所提供的光刻胶除泡装置，通过将光刻胶管路插入管路固定座的管路穿行孔中并固定，之后将管路固定座放入光阻承载槽中并固定，并使管路的端口与光阻承载槽的底面保持一定距离，待光刻胶管路与该光刻胶除泡装置固定好之后，将光刻胶输入端管路和该光刻胶除泡装置放入光阻瓶内，由于管路的端口与光阻承载槽的底面间具有一定距离，使得光阻瓶内的光刻胶能够进入到管路内，不影响光刻胶被吸入光阻管路，当需要更换光阻瓶时，此刻由于光阻承载槽内已经盛满了光刻胶，这些光刻胶表面的高度高于光阻管路端口，对管路内的光刻胶产生一定压力，克服了管路内光刻胶的自身重力，从而使管路内的光刻胶不会因自身重力而滴落出来，进而避免了在管路内进入空气，即从根本上避免了更换光阻瓶时管路内气泡的产生，也就不用为了排除气泡而浪费光刻胶，大大节省了光刻胶。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的光刻胶除泡装置的结构图；

图2为光阻管路示意图；

图3为本发明实施例提供的光刻胶除泡装置中管路固定座的立体结构图；

图4为本发明实施例提供的光刻胶除泡装置中管路固定座的俯视图；

图5为本发明实施例提供的光刻胶除泡装置中管路固定座的主视图；

图6为本发明实施例提供的光刻胶除泡装置中光阻承载槽的立体结构图；

图7为本发明实施例提供的光刻胶除泡装置中光阻承载槽的俯视图；

图8为本发明实施例提供的光刻胶除泡装置中光阻承载槽的主视图；

图9为本发明实施例提供的光刻胶除泡装置中光阻承载槽的侧视图；

图10为本发明另一实施例提供的光刻胶除泡装置中管路固定座的立体结构图。

具体实施方式

正如背景技术部分所述，更换光阻瓶时，光阻管路中会进入空气，并在插入到新的光阻瓶中后，产生气泡，现有技术中在排除气泡的同时，必然会排除大量的光刻胶，从而造成光刻胶的浪费，发明人研究发现，出现气泡的原因在于从当前光阻瓶中取出光阻管路后，管路中的光刻胶受力失衡，从而导致光刻胶从管路中流出，换句话说，光阻管路插在光阻瓶中时，光刻胶自身重力会被盛有光刻胶的光阻瓶中的压力抵消，而光阻管路暴露在空气中时，由于缺少了与光刻胶的自身重力方向相反的压力，光刻胶必然因自身重力原因，从光阻管路中滴落，从而使管路中进入空气。

基于上述原因，发明人考虑，更换光阻瓶时，如果使管路中光刻胶受力情况保持不变，具体可考虑在光阻管路从光阻瓶中取出后，仍然使管路端口浸没在光刻胶中，则光刻胶就不会从管路中滴落，从而在根本上避免了在管路中出现气泡，进而也就不用为排除气泡而浪费大量光刻胶。

以上是本发明的主体思想，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

其次，本发明结合示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

本发明实施例公开的光刻胶除泡装置的结构如图1所示，该装置包括，管路固定座1和与所述管路固定座1相连的光阻承载槽2，所述管路固定座1上设置有贯穿其顶部和底部的管路穿行孔11。

具体的，如图3-图9所示，图3为管路固定座的立体结构图，图4为管路固定座的俯视图，图5为管路固定座的主视图，图6为光阻承载槽的立体结构图，图7为光阻承载槽的俯视图，图8为光阻承载槽的主视图，图9为光阻承载槽的侧视图。

参见图3-图9，本实施例中所述管路固定座1上设置有贯穿其侧壁的通孔13，所述光阻承载槽2的侧壁设置有通孔23，所述管路固定座与所述光阻承载槽采用螺钉连接，具体为，采用螺钉贯穿所述光阻承载槽2的通孔23并旋紧在所述管路固定座1上，一般情况下，所述光阻承载槽2的通孔23上不设置内螺纹，而所述管路固定座1上的通孔13上设置有内螺纹，以保证光阻承载槽2和管路固定座1连接紧固。

需要说明的是，本实施例中不限定光阻承载槽2和管路固定座1上的通孔的数量以及通孔的位置，只要能够使二者连接紧固即可；同样，本实施例中也不限定所述管路固定座上的管路穿行孔11的数量，可以为1个也可以为2个，只要能够适应实际生产情况即可，本实施例中优选所述管路穿行孔11的数量为2个。相应的，为了不影响实际使用，所述管路固定座1上的通孔13设置在两个管路穿行孔11之间的平面上，更优选的，通孔13的中轴线与管路固定座1的中轴线相互垂直，且在同一平面内，本实施例中可沿管路固定座1的中轴线方向，在管路固定座1的侧壁上，上下依次设置2个通孔13，具体如图3所示。

另外，本实施例中对所述管路固定座1的形状不做具体限定，一般情况下可以为柱形、锥台等，其横截面可以为圆形、椭圆形、方形等，优选的，本实施例中所述管路固定座1为圆柱形，并且所述管路固定座1的侧壁具有两个斜向下至管路固定座底部的缺口14，具体如图3所示，缺口14具体可设置在管路穿行孔11的内壁靠近管路固定座1的侧壁位置处，更优选的，缺口14的轴线和与其相近的管路穿行孔11的中轴线在同一平面内，且二者具有一交点，对于该交点的位置，本实施例中不做具体限定。

本领域技术人员可以理解，缺口14的设置，减少了光阻管路端口与光阻承载槽2中的光刻胶之间的接触障碍，使得光刻胶更容易进入光阻管路，也就是说，该光刻胶除泡装置在使用时，可以不必使光阻管路端口严格的与管路固定座的底部齐平，只要保证光阻管路端口能够浸没在光刻胶中，且不接触光阻承载槽2的底部即可。在本发明其它实施例中，所述管路固定座可设计为锥台形状，并且所述管路固定座的顶部面积大于其底部面积，其横截面为圆形，如图10所示，这样在该管路固定座的侧壁就可以不用重新开始缺口了，因为在设置管路穿行孔时，只要管路穿行孔与管路固定座的大小比例搭配合适，所述管路固定座的侧壁自然就会出现两个缺口，以便于将光刻胶导入光阻管路。

在本实施例中，为了固定光阻管路，使该光刻胶除泡装置能够和光阻管路一起从光阻瓶中取出而不掉落，本实施例中的管路固定座1的侧壁上还设置有管路固定孔12，管路固定孔12与管路穿行孔11连通，并且，管路固定孔12中科设置内螺纹，以通过螺钉将管路固定紧固。

同样的，本实施例中对管路固定孔12的数量和位置不做具体限定，若管路固定座1上设置有2个管路穿行孔11，则至少需设置2个管路固定孔12，每个管路固定孔12用来固定一个管路，当然，为了更好的固定管路，还可以在管路固定座1的侧壁上多设置几个管路固定孔12，并在每个管路周边平均设置，具体设置情况可根据实际情况而定，本实施例中不再具体描述。

参见图6-图9，本实施例中的光阻承载槽2为筒状，优选为圆筒状，且其侧壁具有两个相对的凹口21以及两个相对的凸起面22。并且，所述光阻承载槽2的两个凹口21底部所在的平面为所述光阻承载槽2的承载面，所述承载面与所述光阻承载槽2的底面平行，也就是说，两个凹口21的底部高度是相同的。

与管路固定座1的两个通孔13相对应，本实施例中所述光阻承载槽2侧壁的通孔23设置在所述两个相对的凸起面22上，且两个凸起面22上的通孔23相对，并且，每个凸起面上具有两个通孔，以便于通过安装螺钉将管路固定座1与光阻承载槽2连接紧固。

为了便于将光刻胶吸入光阻管路中，管路固定座1与光阻承载槽2连接在一起后，管路固定座1的底部高度低于所述承载面的高度，且所述管路固定座1的底部与所述光阻承载槽2的底部间具有间隙，即管路固定座1的底面高于光阻承载槽2的底面。

下面结合图2、图3、图6，对本实施例中的光刻胶除泡装置的使用方式进行详细说明。

首先，将光阻管路3插入管路固定座1的管路穿行孔11中，并使光阻管路3的端口与管路固定座1的底面平齐或稍高于管路固定座1的底面，优选为前者，以保证光阻管路3中正常吸入光刻胶，插入光阻管路3后，采用螺钉穿过管路固定座1侧壁上的管路固定孔12并旋紧，以使光阻管路3与管路固定座1连接紧固，避免在使用时，光阻管路3与该光刻胶除泡装置脱离；之后，将管路固定座1放入光阻承载槽2中，确认光阻管路3的端口高度低于光阻承载槽2的承载面，并且没有接触到光阻承载槽2的底面，使得光阻瓶内的光刻胶能够进入到管路内，不影响光刻胶被吸入光阻管路3；最后，采用螺钉穿过光阻承载槽2的通孔23，并旋紧在管路固定座1的通孔13内，以将光阻承载槽2与管路固定座1连接紧固。

在使用时，直接将该光刻胶除泡装置与光阻管路一起放入光阻瓶中即可，在更换光阻瓶时，由于光阻承载槽内已经盛满了光刻胶，这些光刻胶表面的高度高于光阻管路端口，对管路内的光刻胶产生一定压力，克服了管路内光刻胶的自身重力，从而使管路内的光刻胶不会因自身重力而滴落出来，进而避免了在管路内进入空气，即从根本上避免了更换光阻瓶时管路内气泡的产生，也就不用为了排除气泡而浪费光刻胶，大大节省了光刻胶。

本说明书中各个部分采用递进的方式描述，每个部分重点说明的都是与其他部分的不同之处，各个部分之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种光刻胶除泡装置，其特征在于，包括：

管路固定座，所述管路固定座上设置有贯穿其顶部和底部的管路穿行孔，所述管路固定座的侧壁上设置有管路固定孔和贯穿其侧壁的通孔；

与所述管路固定座相连的光阻承载槽，所述光阻承载槽的侧壁设置有可采用螺钉贯穿并旋紧在所述管路固定座上的通孔，所述管路固定座固定于所述光阻承载槽中，所述管路固定座的底部高度低于所述光阻承载槽的承载面高度，且所述管路固定座的底部与所述光阻承载槽的底部间具有间隙；

其中，光阻管路通过管路穿行孔插入所述管路固定座中，所述光阻管路的端口与所述管路固定座的底面平齐，所述光阻管路的端口高度低于所述光阻承载槽的承载面，且所述光阻管路的端口并未接触到所述光阻承载槽的底面。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述管路固定座上的管路穿行孔的数量为2个。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述管路固定座为圆柱形，并且所述管路固定座的侧壁设置有两个斜向下至所述管路固定座底部的缺口。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述光阻承载槽为筒状，且其侧壁具有两个相对的凹口以及两个相对的凸起面。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述光阻承载槽的两个凹口底部所在的平面为所述光阻承载槽的承载面，所述承载面与所述光阻承载槽的底面平行。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述光阻承载槽侧壁的通孔设置在所述两个相对的凸起面上，且两个凸起面上的通孔相对。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述管路固定座侧壁上通孔的数量为两个，所述光阻承载槽的每个凸起面上具有两个通孔。

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