CN102667278A

CN102667278A - 滑锁送气系统

Info

Publication number: CN102667278A
Application number: CN2010800492453A
Authority: CN
Inventors: 丹尼尔·P·摩根
Original assignee: Parker Hannifin Corp
Current assignee: Parker Hannifin Corp
Priority date: 2009-10-29
Filing date: 2010-10-29
Publication date: 2012-09-12
Anticipated expiration: 2030-10-29
Also published as: WO2011059783A1; KR20120095406A; US20120211100A1; JP2013509721A; US8944106B2; CN102667278B; TWI498502B; EP2494241A1; TW201139919A; KR101723476B1

Abstract

一种易于组装和/或安装的供气系统，该供气系统包括初始为柔性的夹紧系统，该夹紧系统使该供气系统能够适配于一气体部件。当该气体部件组装完成时，夹紧系统变为刚性，从而将该气体部件固定到支撑轨道。该滑锁送气系统使气体系统部件底部表面能够构成独立地用于入口密封与出口密封的密封平面。气体部件安装孔的侧向间隔在组装期间浮动，以减少不对准的可能性。

Description

滑锁送气系统

本申请主张于2009年10月29日提交的美国第61/256,254号专利申请的优先权，并特此通过援引将该专利申请纳入本申请中。

技术领域

本发明总体上涉及送气系统，且尤其涉及用于气体部件连接的系统。

背景技术

送气系统用于分配制造半导体器件所用的气体。制造半导体器件所使用的气体常具有强的毒性或腐蚀性。许多这类材料以蒸汽形式被从液体源中抽取，且必须被加热以防止蒸汽泠凝而返回液态。这些系统要求高度的模块化和非常好的泄漏完整性，并且必须占据非常小的覆盖面积。达到这些要求的一般方法是通过表面安装系统来实现。

表面安装系统通常需要配件或档块(block)来将处理气体从一个部件的出口传送到该系统中的下一部件的入口。典型的系统是将两个歧管档块联接在一起，使这两个档块形成同时用于入口密封和出口密封的公共平面。如(从下文)将会领会的那样，这样可能对部件的紧密度公差产生要求，以便确保歧管档块的端口与气体部件的端口对准。现有的系统的制造是通过使用模板来构建合适的基底位置，将歧管基底向下安装到金属板。这样做非常耗时，并且因为这些系统可能非常庞大，例如通常具有16个单独的气体线路，所以一般由铝制造该下部金属板。虽然铝有助于保持较轻的重量，但是其还起到吸热的作用，从而吸走需要加热的部件的热量。

虽然目前市场上有出售许多这种系统的变型产品，但是这种系统通常需要非常严格的加工公差，组装缓慢且/或困难，而且可能难以加热。此外，这种系统一般价格昂贵。

发明内容

本发明提供一种供气系统，这种系统容易组装和/或安装，并且这种系统包括初始可为柔性的夹紧系统，该夹紧系统使该供气系统能够适配于气体部件。当气体部件组装完成时，夹紧系统变为刚性，从而将气体部件固定到支撑轨道。该系统消除了对安装板的非常精确和耗时的布设的要求，以容许一般制造公差。该滑锁送气系统使气体系统部件底部表面能够构成独立地用于入口密封与出口密封的密封平面。而且，允许气体部件安装孔的侧向间隔在组装期间“浮动”，使得这些安装孔不必具有紧密度公差，并且减少了不对准(错位)的可能性，这样能够强化金属与金属的密封。

根据本发明的一个方案，一种送气系统包括：轨道，用于支撑至少一个歧管档块(manifold block)；第一歧管档块和第二歧管档块，每个歧管档块均具有至少一个用于连接到一气体部件的端口；气体部件，该气体部件可固定到第一歧管档块和第二歧管档块，并具有一安装表面，该安装表面设有第一端口和第二端口，用以在固定到第一歧管档块和第二歧管档块时与该第一歧管档块和该第二歧管档块的相应端口连通；以及滑锁(slide lock)构件，用于将第一歧管档块和第二歧管档块固定到轨道。该滑锁构件被配置为用以使第一歧管档块和第二歧管档块在第一级预载荷作用下固定到该轨道，以将气体部件组装到上述歧管档块，以及用以在气体部件固定到这些歧管时，借助比第一级预载荷更大的第二级预载荷将第一歧管档块和第二歧管档块固定到轨道。

滑锁构件也可起到隔离块(定位块，spacer block)的作用，以在第一歧管档块与第二歧管档块之间设置合适的、近似的间隔。因此，滑锁构件可包括用以与轨道接合的滑锁夹部以及将歧管档块隔离的隔离块部。隔离块部可与滑锁夹部分开形成或与其一体形成。滑锁构件可包括一组突出部，以与歧管档块中的一组对应的凹部配合，由此使滑锁构件与歧管档块连结。

在一个实施例中，隔离块部在从滑锁夹的中心朝向任一(滑锁)夹端部的距离的大约1/3处以对称方式支撑滑锁夹部。在组装时，滑锁夹端部向下朝向轨道变形(挠曲)，直到该滑锁夹与轨道接合。因为隔离块部在偏离中心的两个支点处支撑滑锁夹，所以在将边缘下压以与轨道接合时，滑锁夹的中心升高。这实质上等同于一对在中心处引导的“简单支撑的”悬臂梁。按这种方式支撑的悬臂梁提供相对小的保持力。在本发明的情况下，其结果是，当将气体部件安装到歧管档块时，滑锁构件和气体歧管档块能够自调整它们的位置以跟随(顺应)气体部件的位置。

当气体部件的组装完成时，气体部件向下朝向歧管档块的运动的最终增加量造成气体部件底部表面接触滑锁夹的升高的中心部，并将其压低与两个支点齐平或低于两个支点。现在，这个最终的滑锁夹位置实质上等同于一对具有固定支撑的悬臂梁。按这种方式支撑的悬臂梁实质上需要与初始时相比两倍的力来维持变形的梁端部的位置。

滑锁夹可具有中心部和从该中心部延伸以接合轨道的各个腿部，由此使至少一个歧管档块夹持在滑锁构件与轨道之间。该中心部可包括在变形时使至少一个腿部上的张力增大的可变形部，由此使预载荷增大到第二级。滑锁夹可大体呈C形，并且滑锁夹的至少一个远端可包括与轨道的表面连结的连结机构。滑锁夹和隔离块可形成为单一部件。轨道可包括位于沿侧向分隔开的歧管档块支撑表面之间的纵向延伸的通道以及设在该通道中用于向气体部件提供热量的加热元件。

根据另一方案，一种模块化供气歧管系统包括：轨道，用于支撑至少一个歧管档块；歧管档块，具有至少一个用于连接到一气体部件的端口；以及滑锁构件，用于将歧管档块固定到轨道。该滑锁构件被配置为用以使歧管档块在第一级预载荷作用下固定到轨道，以便于将一气体部件固定到歧管档块，以及用以当气体部件固定到歧管时，使歧管档块在大于第一级预载荷的第二级预载荷作用下固定到轨道。

滑锁构件可包括滑锁夹和支撑滑锁构件的隔离块。隔离块可在两个支撑位置支撑滑锁夹的中心部。这些支撑位置可从该轨道的纵轴线分隔开。

滑锁构件可具有中心部和从该中心部延伸的各个腿部，这些腿部用以与轨道接合，由此使至少一个歧管档块夹持在滑锁构件与轨道之间。中心部可包括可变形部，该可变形部在变形时使至少一个腿部的张力增大，由此使预载荷增大到第二级。滑锁构件可与轨道或歧管档块中的至少一者滑动接合，以允许在第一级预载荷作用下时它们之间具有相对运动。

该系统还可包括隔离块。该隔离块被配置为用以使第一歧管档块和第二歧管档块在轨道上分隔开预定距离。该隔离块可包括凹部或突出部，该凹部或突出部用以与第一歧管档块和第二歧管档块中的至少一者上的对应凹部或突出部配合，由此使隔离块与歧管档块连结。该隔离块可靠近滑锁构件的外边缘支撑该滑锁构件的中心部，以允许在气体部件附接到歧管档块时该中心部发生变形。该隔离块可以是可变形的，以允许在附接气体部件的过程中第一歧管档块与第二歧管档块之间具有相对运动。滑锁构件和隔离块可形成为单一部件。滑锁构件可大体呈C形，该滑锁构件的至少一个远端可包括用以与轨道的表面连结的连结机构。轨道可包括位于沿侧向分隔开的歧管档块支撑表面之间的纵向延伸的通道以及设于该通道中为气体部件提供热量的加热条(heat strip)。

根据另一方案，一种用于将歧管档块固定到模块化供气歧管的滑锁构件包括：中心隔离件部，其使第一歧管档块和第二歧管档块在轨道上分隔开；以及从中心隔离件部延伸的腿部，其适于与供气系统的轨道接合。滑锁构件被配置为用以使歧管档块在第一级预载荷作用下固定到轨道，以便于将气体部件固定到歧管档块，以及其中该滑锁构件被配置为当气体部件固定到歧管时，使歧管档块在大于第一级预载荷的第二级预载荷作用下固定到轨道。中心隔离件部可包括与歧管档块连结的凹部或突出部。中心隔离件部可以是可变形的，以允许在附接气体部件的过程中第一歧管档块与第二歧管档块之间发生相对运动。滑锁构件可大体为C形形状，该滑锁构件的至少一个远端包括在安装时与轨道的表面连结的连结机构。

根据另一方案，一种组装送气系统的方法包括以下步骤：利用滑锁构件将第一歧管档块和第二歧管档块安装到支撑轨道，第一歧管档块和第二歧管档块各自具有至少一个用于与一气体部件的端口连通的端口，该滑锁构件适于借助第一量值的预载荷而将第一歧管档块和第二歧管档块固定到轨道；以及将气体部件安装到第一歧管档块和第二歧管档块。滑锁构件被配置为用以使第一歧管档块和第二歧管档块在第一级预载荷作用下固定到轨道，以将气体部件组装到歧管档块，第一级预载荷允许相对，并且其中当气体部件安装到歧管时，该滑锁构件借助大于第一级预载荷的第二级预载荷将第一歧管档块和第二歧管档块固定到轨道。

当结合附图来考量时，通过下文的详细描述将使本发明的其它特征将变得显而易见。

附图说明

图1是根据本发明的示例性滑锁送气系统，该系统具有固定到位于轨道上的第一歧管档块和第二歧管档块的气体部件。

图2是气体部件与歧管档块分开的图1的滑锁送气系统。

图3是根据本发明的包括滑锁构件的示例性滑锁歧管的立体图。

图4是图3的滑锁构件的剖视图。

图5是安装在轨道上的图3的滑锁构件的另一剖视图。

图6是示出当安装气体部件时，滑锁构件的最终构造的剖视图。

图7是处于第一状态的示例性滑锁夹的放大视图。

图8是处于第二状态的示例性滑锁夹的放大视图。

图9是根据本发明的、部分组装的另一示例性滑锁送气系统的立体图。

图10是根据本发明的、部分组装的示例性滑锁送气系统的另一立体图。

图11是具有固定的气体部件的图6和图7的滑锁送气系统的立体图。

图12是另一示例性滑锁送气系统的立体图。

图13是图12的滑锁送气系统的放大的部分。

具体实施方式

现在参照附图进行详细描述，首先参照图1和图2，示例性滑锁送气系统总体上由附图标记10标示。系统10包括轨道14，该轨道14用于支撑第一歧管档块18和第二歧管档块22。每个歧管档块18、22均具有至少一个端口26，适于连接到气体部件34的安装表面30上的相应端口。气体部件34经由螺栓35或其它可延伸穿过孔38的合适的紧固件固定到第一歧管档块18和第二歧管档块22。包括隔离块部36和滑锁夹部44的滑锁构件42将第一歧管档块18和第二歧管档块22固定到轨道14。如将被理解的那样，根据本发明，在轨道14上可设置多个歧管和气体部件组件。

如将在此更详细地描述的那样，滑锁构件42被配置为用以使第一歧管档块18和第二歧管档块22在第一级预载荷作用下固定到轨道14，以将气体部件34组装并固定到歧管档块18、22，并用以在气体部件34经由螺栓等固定到歧管时，借助大于该第一级(预载荷)的第二级预载荷使第一歧管档块18和第二歧管档块22固定到轨道14。此外，通过将歧管档块18、22轻轻地夹持到轨道14，当气体部件34被向下紧固到歧管档块18、22上时，滑锁构件42使歧管档块18、22的端口26能够与气体部件34的端口自对准。

参照图3，其示出在移除了气体部件34的情况下滑锁系统10的气体歧管组件，该组件总体上由附图标记45标示。在所示的实施例中每个歧管档块18、22包括第一半部和第二半部，每个半部均具有端口26。管状部46将第一半部和第二半部连接在一起，并提供一通路以供流体在每个歧管档块的两个端口26之间流动。这种歧管档块18、22有时被称为H档块，并且通常是通过将每个半部的短管(例如管状部)焊接在一起而制成。

歧管档块18、22搁置在轨道14的歧管支撑表面50、52上。所示的实施例中的歧管支撑表面50、52是轨道14的侧向外边缘。歧管支撑表面50、52之间为纵向延伸的通道56。通过以此方式支撑歧管档块18、22，形成围绕歧管档块的气隙，由此限制了可用于歧管档块与轨道14之间导热的表面积。这些歧管档块通过滑锁构件42固定到轨道14。

该示例性实施例中的滑锁构件42包括大体呈C形的滑锁夹44，该滑锁夹44具有中心部57和多个与轨道14接合的腿部58。每个腿部58均具有呈与轨道14的边缘连锁的垂片62(见图4)的形式的接合机构，由此使滑锁构件42固定到轨道14。如将被理解的那样，通过使滑锁夹部44的腿部58滑过轨道14的边缘而将滑锁构件42安装在轨道14上，如在图5中最佳显示的。在这一点上，可将滑锁夹部44的尺寸设计为使得腿58能被稍微压缩以便使垂片62与轨道接合。一旦接合后，滑锁构件42就向歧管档块18、22施加第一级预载荷，由此使歧管档块18、22固定到轨道14。

如将被理解的那样，第一级预载荷通常将足以使歧管档块18、22保持在轨道14上的适当位置，以便随后将气体部件34安装到歧管档块18、22。并且，这一级预载荷可以总体上允许歧管档块18、22和/或轨道14之间的相对运动，使得在联接气体部件34期间，能够实现歧管档块18、22的端口26与气体部件34的端口的最终对准，由此极大地降低了制造歧管档块18、22和/或气体部件34时所需的公差要求。

参照图4，其示出滑锁构件42的剖视图。如将被理解的那样，在本实施例中，滑锁夹部44由隔离块部36支撑在附图中的两个以S标记的位置。隔离块部36在从滑锁夹的中心朝向两个夹端部的距离的大约1/3处以对称方式支撑滑锁夹部44。

在图5中，示出了安装在轨道14上的滑锁构件42。如将被理解的那样，为了安装滑锁构件42，滑锁夹部44的中心部57的端部向下朝向轨道14的组件变形，直到滑锁夹部44接合轨道14。因为隔离块部36在偏离中心的两个支点支撑滑锁夹部44，所以当将(滑锁夹的)边缘下压以接合轨道14时，滑锁夹的中心升高，从而在释放时产生预载荷。该载荷对应于第一级预载荷。

例如，滑锁夹44实质上等同于一对在中心处引导的“简单支撑的”悬臂梁。按这种方式支撑的悬臂梁提供相对小的保持力。在本发明的情况下，其结果是，当安装气体部件时，滑锁构件42和气体歧管档块能够自调整它们的位置以跟随(顺应)气体部件的位置。如将被理解的那样，该支撑构造能够依据期望的预载荷效果而改变。例如，可设置三个支撑位置，或者这些支撑位置可处于不同的平面。

参照图6，其示出在气体部件固定到相邻歧管档块(例如，如图1所示)时所将展现的滑锁构件42。图6中为清楚起见而未示出气体部件。当将气体部件组装到歧管档块的操作完成时，气体部件向下朝向歧管档块的运动的最终增加量造成气体部件底部表面(例如安装表面)接触滑锁夹44的升高的中心部，并将其下压与两个支点S齐平或低于两个支点S。现在，这个最终的滑锁夹44的位置实质上等同于一对具有固定支撑的悬臂梁。按这种方式支撑的悬臂梁实质上需要与初始时相比两倍的力来保持变形的梁的端部的位置。由此，由滑锁构件42施加到歧管档块至轨道14的保持力将约为图5的保持力的两倍，并且对应于第二级预载荷。

参照图7，其详细示出当(将滑锁夹部)固定到轨道14、但在将气体部件安装在歧管档块上之前时所可能展现的示例性滑锁夹部44。如之前所提到的，滑锁夹部大体呈C形，并包括中心部57和从中心部57延伸的腿部58。垂片62设置在腿部58上，用以如之前所述的那样与轨道14接合。中心部57本身包括可变形部64，该可变形部在该示例性实施例中大体呈弓形，但也可使用其它形状。这个可变形部64能够在滑锁构件42安装到轨道14的过程中变形，由此能够提供第一级预载荷以将歧管18、22固定到轨道14。如上文所指出的，当气体部件34固定到歧管档块18、22时，该可变形部在隔离块部36与气体部件34的安装表面30之间被压缩，且预载荷的量增大至大于该第一级预载荷的第二级预载荷。

参照图8，其示出当气体部件34固定到歧管档块18、22时所可能展现的滑锁夹44。如箭头A所标示，可变形部64被气体部件向下压。由于滑锁夹44的形状及其被隔离块36支撑的方式，当气体部件34被以螺栓连接到歧管档块18、22时，可变形部64的向下变形造成腿58沿箭头B的方向向上拉，从而使由滑锁构件42施加到歧管档块18、22上的预载荷增大。

现在参照图9至图11，其示出在各种组装阶段下的滑锁送气系统的另一实施例，首先参照图9。在图9中，歧管档块18和整体式隔离块/滑锁构件68支撑在轨道14上。一般而言，歧管档块18、22将会同时安置在轨道14上，然后将整体式的滑锁构件68安装到轨道14。然而，为了显示整体式滑锁构件68的细节，在图9中移除了第二歧管档块22。

整体式滑锁构件68包括中心隔离块部70和从中心隔离块部70延伸的腿部72。中心隔离块部70被配置为将歧管档块18、22分隔开，并具有定位柱(locating stud)74，以与歧管档块18、22中的相应的凹部(图中未示)接合，由此使歧管档块18、22与整体式的滑锁构件68连结。腿部72依照与之前描述的实施例的滑锁夹44类似的方式与轨道14接合。因此，在本实施例中，滑锁夹和隔离块可以形成为单一部件。

如将被理解的那样，本实施例的整体式滑锁构件68配置为用以在气体部件34固定到歧管档块18、22之前，当被安装到轨道14时施加第一级预载荷。为此，腿部72被配置为柔性的，以便向下朝向轨道14弯曲，从而允许位于其远端上的接合柄脚78与轨道14的表面(例如唇部80)接合。按这种方式，在柄脚78安装到轨道14之后，将预载荷施加到歧管档块18、22。图10示出了歧管档块18、22连同整体式滑锁构件68支撑在轨道14上。

在图11中，气体部件34经由螺栓82固定到歧管档块18、22。如同之前的实施例那样，随着气体部件34固定到歧管档块18、22，整体式滑锁构件68将歧管档块18、22紧固到轨道14。这是通过对插置在气体部件与轨道14之间的整体式滑锁构件68的中心部和/或腿部进行压缩来实现。

如将被理解的那样，本实施例中的轨道14包括多个可选的槽84，以在气体部件34固定到歧管档块18、22时容置整体式滑锁构件68的柄脚78。槽84位于轨道14的每侧的唇部80之下。如还将被理解的那样，腿72能够在安装气体部件34的过程中向下弯曲，由此允许柄脚78与槽84接合，以便将歧管档块18、22固定到轨道14。当附接气体系统部件时，随着滑锁的移位，将同时进行从旁侧抓握的动作。

参照图9，这一抓握动作的实现是由一个倾向于使腿部72的远端向内朝向彼此旋转的力所导致的，该力是当整体式滑锁构件68在气体部件与轨道之间被压缩时产生的。如将被理解的那样，处于未压缩状态的腿部72的上部延伸到歧管档块18、22的最上部表面之上。这样，当将气体部件固定到歧管档块时，每个腿部72均被向下推压，由此造成对腿部72施加一力矩，从而产生抓握的动作。

参照图12和图13，其示出滑锁送气系统90，该滑锁送气系统90具有用于向歧管档块18、22和/或气体部件34的气流通路供热的加热元件92(例如电加热元件)。加热元件92设置在位于歧管档块18、22下侧的轨道14的通道56中。通道56的其余部分可使用绝缘材料94来填充。可使用柔性发泡绝缘材料来提供向上的载荷，以确保与歧管基底的紧密接触。加热元件92和/或隔离材料94可通过粘合剂96或者通过任何其它合适的方法固定到轨道14。

根据本发明的滑锁送气系统能够承受运输时的晃动和震动而不发生泄漏。这是通过利用可变载荷悬臂梁的滑锁设计来实现的。气体系统基底与滑锁系统的初始组装将基底的入口和出口定位在大体合适的位置，并借助大约14lbs的轴向力进行保持。可进行少量的侧向调整以使基底与上部的气体部件能够对准。当完全安装气体部件之后，也就是紧固到歧管基底以形成密封时，通过对中心进行压缩来改变悬臂梁的加载。这样产生了更大的保持力(例如28磅)，使歧管基底有效地锁定在最佳位置。

尽管已经借助某一优选实施例或多个实施例阐示并描述了本发明，但是在阅读并理解本说明书和附图时，等同的改变和变更将对本领域技术人员而言将是显而易见的。具体而言，若非另有说明，对于上述元件(部件、组件、设备、组成物等)所执行的各种功能而言，用于描述这些元件的术语(包括所提及的“手段”)旨在与执行所描述的元件的具体功能相对应(即：功能上等同)，即使其在结构上不等同于所公开的、执行在此阐示的本发明的示例性实施例或多个实施例的功能的结构。另外，虽然以上借助几个所示的实施例中的仅一个或多个实施例描述了本发明的具体特征，但若对任何给定或具体的应用而言是期望的和有利的，则这些特征可与其它实施例的一个或多个特征相结合。

Claims

1.一种送气系统，包括：

轨道，用于支撑至少一个歧管档块；

第一歧管档块和第二歧管档块，所述第一歧管档块和第二歧管档块各具有至少一个用于连接到一气体部件的端口；

气体部件，该气体部件能固定到所述第一歧管档块和第二歧管档块，并具有一安装表面，该安装表面设有第一端口和第二端口，用以在固定到所述第一歧管档块和第二歧管档块时与所述第一歧管档块和第二歧管档块的相应端口连通；以及

滑锁构件，用于将第一档块和第二档块固定到所述轨道；

其中，所述滑锁构件被配置为用于使所述第一歧管档块和第二歧管档块在第一级预载荷作用下固定到所述轨道，以将所述气体部件组装到所述歧管档块，并且其中当所述气体部件固定到所述歧管时，所述滑锁构件借助比所述第一级预载荷更大的第二级预载荷将所述第一歧管档块和第二歧管档块固定到所述轨道。

2.如权利要求1所述的送气系统，其中，所述滑锁构件包括滑锁夹和隔离块，所述隔离块插置在所述第一歧管档块与第二歧管档块之间，并适于使所述第一歧管档块与第二歧管档块分隔开预定距离，以及支撑所述滑锁构件。

3.如前述权利要求中任一项所述的送气系统，其中，所述隔离块在两个支撑位置支撑所述滑锁夹的中心部。

4.如前述权利要求中任一项所述的送气系统，其中，所述支撑位置与所述轨道的纵轴线分隔开。

5.如前述权利要求中任一项所述的送气系统，其中，所述隔离块包括凹部或突出部，用以与所述第一歧管档块和第二歧管档块中的至少一者上的对应的凹部或突出部配合，由此使所述隔离块与所述歧管档块连结。

6.如前述权利要求中任一项所述的送气系统，其中，所述隔离块靠近所述滑锁夹的外边缘支撑所述滑锁夹的中心部，以允许在所述气体部件附接到所述歧管档块时，所述中心部的可变形部弯曲。

7.如前述权利要求中任一项所述的送气系统，其中，所述隔离块是可变形的，以使得在附接所述气体部件的过程中，所述第一歧管档块与第二歧管档块之间能够具有相对运动。

8.如前述权利要求中任一项所述的送气系统，其中，所述滑锁夹具有中心部和从形成在中心的部分延伸的各个腿部，所述腿部用以与所述轨道接合，由此使至少一个歧管档块夹持在所述滑锁构件与所述轨道之间。

9.如前述权利要求中任一项所述的送气系统，其中，所述中心部包括可变形部，该可变形部在变形时使至少一个所述腿部的张力增大，由此使所述预载荷增大到第二级。

10.如前述权利要求中任一项所述的送气系统，其中，所述滑锁夹大体呈C形，所述滑锁夹的至少一个远端包括用以与所述轨道的表面连结的连结机构。

11.如前述权利要求中任一项所述的送气系统，其中，所述轨道包括：纵向延伸的通道，位于多个沿侧向分隔开的歧管档块支撑表面之间；以及设于所述通道中的加热元件，用于向所述气体部件供热。

12.如前述权利要求中任一项所述的送气系统，其中，所述滑锁夹和隔离块形成为单一部件。

13.一种模块化供气歧管系统，包括：

轨道，用于支撑至少一个歧管档块；

歧管档块，该歧管档块具有至少一个用于连接到一气体部件的端口；以及

滑锁构件，用于将所述歧管档块固定到所述轨道；

其中，所述滑锁构件被配置为用于使所述歧管档块在第一级预载荷作用下固定到所述轨道，以便将气体部件固定到所述歧管档块，并且其中所述滑锁构件被配置为用于当所述气体部件固定到所述歧管时，使所述歧管档块在大于所述第一级预载荷的第二级预载荷作用下固定到所述轨道。

14.如权利要求13所述的模块化供气歧管系统，其中，所述滑锁构件包括滑锁夹和支撑所述滑锁构件的隔离块。

15.如权利要求13或14所述的模块化供气歧管系统，其中，所述隔离块在两个支撑位置支撑所述滑锁夹的中心部。

16.如权利要求13至15中任一项所述的模块化供气歧管系统，其中，所述支撑位置与所述轨道的纵轴线分隔开。

17.如权利要求13至16中任一项所述的模块化供气歧管系统，其中，所述滑锁夹具有中心部和从所述中心部延伸的各个腿部，所述腿部用以与所述轨道接合，由此使至少一个歧管档块夹持在所述滑锁构件与所述轨道之间。

18.如权利要求13至17中任一项所述的模块化供气歧管系统，其中，所述中心部包括可变形部，该可变形部在变形时使至少一个所述腿部的张力增大，由此使所述预载荷增大到第二级。

19.如权利要求13至18中任一项所述的模块化供气歧管系统，其中，所述滑锁构件与所述轨道或所述歧管档块中的至少一者滑动接合，以允许在所述第一级预载荷作用下时所述滑锁构件与所述轨道或与所述歧管档块之间具有相对运动。

20.如权利要求13至19中任一项所述的模块化供气歧管系统，其中，所述隔离块包括凹部或突出部，用以与所述第一歧管档块和第二歧管档块中的至少一者上的对应的凹部或突出部配合，由此使所述隔离块与所述歧管档块连结。

21.如权利要求13至20中任一项所述的模块化供气歧管系统，其中，所述隔离块靠近所述滑锁构件的外边缘支撑所述滑锁构件的中心部，以允许在所述气体部件附接到所述歧管档块时所述中心部发生变形。

22.如权利要求13至21中任一项所述的模块化供气歧管系统，其中，所述隔离块是可变形的，以允许所述歧管档块与滑锁构件之间发生相对受限的运动。

23.如权利要求13至22中任一项所述的模块化供气歧管系统，其中，所述滑锁构件和隔离块形成为单一部件。

24.如权利要求13至23中任一项所述的模块化供气歧管系统，还包括固定到所述歧管档块的所述气体部件。

25.如权利要求13至24中任一项所述的模块化供气歧管系统，其中，所述滑锁构件大体呈C形，所述滑锁构件的至少一个远端包括用以与所述轨道的表面连结的连结机构。

26.如权利要求13至25中任一项所述的模块化供气歧管系统，其中，所述轨道包括：纵向延伸的通道，位于多个沿侧向分隔开的歧管档块支撑表面之间；以及设于所述通道中的加热条，用于向所述气体部件供热。

27.一种用于将歧管档块固定到模块化供气歧管的滑锁构件，包括：

中心隔离件部，其使第一歧管档块和第二歧管档块在轨道上分隔开；以及

从所述中心隔离件部延伸的腿部，其适于与供气系统的所述轨道接合；

其中，所述滑锁构件被配置为用以使所述歧管档块在第一级预载荷作用下固定到所述轨道，以便将气体部件固定到歧管档块，以及其中所述滑锁构件被配置为用以当气体部件固定到所述歧管时，使所述歧管档块在大于所述第一级预载荷的第二级预载荷作用下固定到所述轨道。

28.如权利要求21所述的滑锁构件，其中，所述中心隔离件部包括与歧管档块连结的凹部或突出部。

29.如权利要求26或27所述的滑锁构件，其中，所述中心隔离件部是可变形的，以允许在附接气体部件的过程中所述第一歧管档块与第二歧管档块之间发生相对运动。

30.如权利要求26至29中任一项所述的滑锁构件，其中所述滑锁构件包括具有大体C形形状的滑锁夹，所述滑锁夹的至少一个远端包括在安装时与所述轨道的表面连结的连结机构。

31.一种组装送气系统的方法，该方法包括以下步骤：

利用滑锁构件将第一歧管档块和第二歧管档块安装到支撑轨道，所述第一歧管档块和第二歧管档块各自具有至少一个用于与一气体部件的端口连通的端口，所述滑锁构件适于借助第一量值的预载荷而将所述第一歧管档块和第二歧管档块固定到所述轨道；以及

将气体部件安装到所述第一歧管档块和第二歧管档块；

其中，所述滑锁构件被配置为用以使所述第一歧管档块和第二歧管档块在第一级预载荷作用下固定到所述轨道，以将所述气体部件组装到所述歧管档块，所述第一级预载荷允许相对，并且其中当所述气体部件安装到所述歧管时，所述滑锁构件借助大于第一级预载荷的第二级预载荷将所述第一歧管档块和第二歧管档块固定到所述轨道。