CN102651457A - 基板的固定装置及基于该装置的固定方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基板的固定装置，涉及电子元器件中有机电致发光技术领域，包括基板和定位板；所述基板表面设有对位标记，所述定位板上设有凹槽，所述基板位于定位板的凹槽内；所述定位板上设有工艺对位图标；所述对位标记与用于形成所述工艺对位标记的掩膜表面上的对位图标相对应。本发明还提供了一种与上述装置对应的方法。本发明解决了前段工艺设备基板尺寸与后段工艺设备基板尺寸不一致引起的错位问题。

Description

基板的固定装置及基于该装置的固定方法
技术领域
本发明涉及光电显示技术领域，尤其涉及一种基板的固定装置及基于该装置的固定方法。
背景技术
在光电显示技术领域，经常需要制作具有阵列图形的基板。例如在OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)技术领域，通常就需要制作OLED基板。
目前具有阵列图形的基板制作技术正处于实验室技术开发、中试技术开发向量产转化并存阶段，具有阵列图形的基板研发、中试以及量产用的成膜设备、曝光设备、刻蚀设备和蒸镀设备之间的差异巨大，而具有阵列图形的基板开发工艺流程长，设备昂贵，并随着研发与产业领域合作的加强，出现前段工艺设备基板尺寸与后段工艺设备基板尺寸不一致，导致技术的移植与合作出现瓶颈，因此同一基板在不同设备的不同尺寸基板托架之间的接合问题称为亟待解决的问题。现有技术中还没有一种解决上述问题的技术方案。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是：如何解决同一基板在不同设备的不同尺寸基板托架之间的接合问题。
(二)技术方案
为解决上述技术问题，本发明提供了一种基板的固定装置，包括基板和定位板；
所述基板表面设有对位标记，所述定位板上设有凹槽，所述基板位于定位板的凹槽内；
所述定位板上设有工艺对位标记(是指在形成图形的工艺过程中所形成的对位标记，例如蒸镀对位标记)；所述对位标记与用于形成所述工艺对位标记的掩膜表面上的对位图标(用于与所述对位标记进行对位)相对应。
其中，所述定位板的上表面与基板的上表面在同一水平面上。
其中，所述工艺对位标记为蒸镀对位标记，所述工艺对位图标为蒸镀对位图标。
其中，所述基板表面还设有以所述对位标记为基点制作的阳极图案。
其中，所述阳极图案与蒸镀对位标记的相对位置固定。
其中，所述对位标记为光学对位标记。
本发明还提供了一种基板的固定方法，包括以下步骤：
S1、在基板表面制作对位标记，同时在定位板上制作凹槽，并在定位板上溅射金属薄膜；
S2、将所述基板放入定位板的凹槽内；
S3、在放置有基板的定位板的边缘形成光刻胶，将光学掩膜上的对位图标与基板上的对位标记进行对位，并利用光学掩膜上的工艺对位图标在定位板上形成工艺对位标记。
步骤S2中，以粘贴的方式将所述基板嵌合进定位板的凹槽内。
步骤S3中，以旋涂的方式在放置有基板的定位板的边缘形成光刻胶。
步骤S3中，所述工艺对位图标为蒸镀对位图标，所述工艺对位标记为蒸镀对位标记；利用光学掩膜上的蒸镀对位图标在定位板上形成蒸镀对位标记的方式为：将光学掩膜上的对位图标与基板上的对位标记进行对位后，对光学掩膜上的蒸镀对位图标区域进行曝光，然后通过显影、刻蚀工艺在定位板上所溅射的金属层上形成蒸镀对位标记。
(三)有益效果
本发明通过将基板粘贴于定位板上的凹槽内，使基板与定位板表面位于同一水平面，再通过在蒸镀对位图标位置进行曝光光刻，在定位板上的准确位置制作蒸镀对位标记，达到通过定位板上的对位标记，实现在蒸镀有机材料及金属电极过程中，基板精确定位的技术效果，从而解决了同一基板在不同设备的不同尺寸基板托架之间的接合问题，从而解决了前段工艺设备基板尺寸与后段工艺设备基板尺寸不一致引起的错位问题，降低了成本。
附图说明
图1是本发明的装置的侧视图；
图2是本发明的装置的总体立体图；
图3是分别示出了本发明的装置的各组成部分的立体图，(a)、(b)、(c)分别为定位板、基板和光学掩膜；
图4是本发明的方法流程图。
其中，1 基板；2 定位板；3 光学掩膜；4 阳极图案；5 对位图标；6 蒸镀对位图标；7 对位标记；8 蒸镀对位标记。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细说明。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
本发明提供了一种在有机电致发光器件制备过程中，基板(本实施例以OLED基板为例)制备设备的托架尺寸与蒸镀设备托架尺寸不一致的情况下，同一基板在两套设备中以接合的方式固定的装置及其方法。如图1～3所示，该装置包括基板1、定位板2。所述基板1表面有对位标记和以对位标记为基点制作的阳极图案。所述定位板2与基板1对应位置有凹槽，所述凹槽的深度与上述基板厚度相同，凹槽尺寸略大于基板尺寸，通过粘贴的方式将上述基板粘贴于定位板的凹槽内，使得定位板2的上表面与基板1的上表面在同一水平面上。所述的光学掩膜3表面有与基板1上对位标记位置一致的对位图标5，同时，光学掩膜3表面还有与对位图标5相对位置固定的蒸镀对位图标6，通过光学掩膜3上的对位图标5与基板1上的对位标记7对位，利用光学掩膜3上的蒸镀对位图标6，在定位板2的表面制作蒸镀对位标记8，使基板1正面的阳极图案4与定位板2正面的蒸镀对位标记8的相对位置固定，从而实现在蒸镀OLED器件时，实现基板1上的7对位标记与定位板2表面的蒸镀对位标记8准确定位，从而实现基板1上显示区域图形与定位板2上蒸镀对位标记8的精确定位。图中对位图标5和对位标记7组对用来对位，蒸镀对位图标6和蒸镀对位标记8组对用来对位。对位图标5和对位标记7这一组至少需要两对，蒸镀对位图标6和蒸镀对位标记8这一组只需要两对。
本发明还提供了一种与上述装置对应的方法。如图4所示，包括以下步骤：
S1、在基板表面分别溅射金属薄膜，并涂布光刻胶，同时对光学掩模进行曝光、显影和刻蚀金属薄膜。在玻璃基板表面制作光学对位标记。
S2、在玻璃基板正面以光学对位标记为基点，制作OLED基板相关的电极等各功能层图形(即阳极图案4)。在定位玻璃板上制作尺寸略大于玻璃基板的凹槽，凹槽深度与玻璃基板厚度一致，在定位板上溅射金属薄膜。
S3、将制作有光学对位标记和OLED各功能层图形的基板通过粘贴的方式嵌合进定位板的凹槽内，保证基板表面与定位板表面在同一水平面上。
S4、将粘贴有基板的定位板边缘旋涂光刻胶，利用掩膜板上的对位图标与基板上的对位标记对位，对掩膜上的蒸镀对位图标区域进行曝光，然后通过显影、刻蚀等工艺，在定位板上的溅射的金属层上形成蒸镀对位标记，实现基板上的光学对位标记与定位板表面的蒸镀对位标记准确定位，从而实现基板上显示区域图形与定位板上蒸镀对位标记的精确定位。
在AMOLED(Active Matrix/Organic Light Emitting Diode，有源矩阵有机发光二极体)和PMOLED(Passive Matrix/Organic LightEmitting Diode，无源矩阵有机发光二极体)基板制备设备的托架尺寸与蒸镀设备的基板托架尺寸不一致的情况下，利用本发明的装置或方法将同一基板在这两个托架中接合时能够显示出本发明的较强的可操作性，能减少设备投入，降低成本。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种基板的固定装置，其特征在于，包括基板和定位板；
所述基板表面设有对位标记，所述定位板上设有凹槽，所述基板位于定位板的凹槽内；
所述定位板上设有工艺对位标记；所述对位标记与用于形成所述工艺对位标记的掩膜表面上的对位图标相对应。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述定位板的上表面与基板的上表面在同一水平面上。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述工艺对位标记为蒸镀对位标记，所述工艺对位图标为蒸镀对位图标。
4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述基板表面还设有以所述对位标记为基点制作的阳极图案。
5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述阳极图案与蒸镀对位标记的相对位置固定。
6.如权利要求1～5中任一项所述的装置，其特征在于，所述对位标记为光学对位标记。
7.一种基板的固定方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、在基板表面制作对位标记，同时在定位板上制作凹槽，并在定位板上溅射金属薄膜；
S2、将所述基板放入定位板的凹槽内；
S3、在放置有基板的定位板的边缘形成光刻胶，将光学掩膜上的对位图标与基板上的对位标记进行对位，并利用光学掩膜上的工艺对位图标在定位板上形成工艺对位标记。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤S2中，以粘贴的方式将所述基板嵌合进定位板的凹槽内。
9.如权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤S3中，以旋涂的方式在放置有基板的定位板的边缘形成光刻胶。
10.如权利要求7～9中任一项所述的方法，其特征在于，步骤S3中，所述工艺对位图标为蒸镀对位图标，所述工艺对位标记为蒸镀对位标记；利用光学掩膜上的蒸镀对位图标在定位板上形成蒸镀对位标记的方式为：将光学掩膜上的对位图标与基板上的对位标记进行对位后，对光学掩膜上的蒸镀对位图标区域进行曝光，然后通过显影、刻蚀工艺在定位板上所溅射的金属层上形成蒸镀对位标记。
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