CN102645701B - 采用离子交换法在玻璃基片表面制作光波导的方法 - Google Patents
采用离子交换法在玻璃基片表面制作光波导的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102645701B CN102645701B CN 201210138046 CN201210138046A CN102645701B CN 102645701 B CN102645701 B CN 102645701B CN 201210138046 CN201210138046 CN 201210138046 CN 201210138046 A CN201210138046 A CN 201210138046A CN 102645701 B CN102645701 B CN 102645701B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- glass substrate
- ion
- glass
- exchange
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201210138046 CN102645701B (zh) | 2012-05-04 | 2012-05-04 | 采用离子交换法在玻璃基片表面制作光波导的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201210138046 CN102645701B (zh) | 2012-05-04 | 2012-05-04 | 采用离子交换法在玻璃基片表面制作光波导的方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102645701A CN102645701A (zh) | 2012-08-22 |
CN102645701B true CN102645701B (zh) | 2013-07-31 |
Family
ID=46658632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 201210138046 Active CN102645701B (zh) | 2012-05-04 | 2012-05-04 | 采用离子交换法在玻璃基片表面制作光波导的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102645701B (zh) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105487171A (zh) * | 2014-10-08 | 2016-04-13 | 中兴通讯股份有限公司 | 一种弯曲多模光波导及其制作方法 |
CN106291814A (zh) * | 2015-05-12 | 2017-01-04 | 中兴通讯股份有限公司 | 一种光波导制造方法及光波导 |
CN105700075B (zh) * | 2016-04-15 | 2019-09-27 | 苏州光幔集成光学有限公司 | 适用于多光纤系统的plc多模光波导及制作方法 |
CN107312502A (zh) * | 2016-04-27 | 2017-11-03 | 中国科学院青海盐湖研究所 | 一种三元硝酸熔盐储热材料及其制备方法 |
CN111025472B (zh) * | 2019-12-30 | 2020-10-09 | 浙江大学 | 一种玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法 |
CN111175891B (zh) * | 2019-12-30 | 2020-10-23 | 浙江大学 | 一种连续式电场辅助离子迁移制作光波导的方法 |
CN111045150B (zh) * | 2019-12-30 | 2021-04-20 | 浙江大学 | 一种实现玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法 |
CN111158084A (zh) * | 2020-02-08 | 2020-05-15 | 浙江大学深圳研究院 | 一种离子交换玻璃基表面波导模斑转换器的制作方法 |
CN111208608A (zh) * | 2020-02-08 | 2020-05-29 | 浙江大学深圳研究院 | 一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法 |
CN113391396B (zh) * | 2021-06-08 | 2023-09-19 | 浙江大学绍兴微电子研究中心 | 一种采用内阻挡层提高玻璃基光波导芯部对称性的方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4766954A (en) * | 1987-01-08 | 1988-08-30 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process for producing an optical waveguide |
CN1252500C (zh) * | 2003-12-19 | 2006-04-19 | 上海交通大学 | 掺铒磷酸盐两步离子交换光波导制作方法 |
CN101561533A (zh) * | 2009-05-26 | 2009-10-21 | 电子科技大学 | 基于掺钕磷酸盐玻璃沟道光波导的离子交换技术条件 |
CN101609181B (zh) * | 2009-07-17 | 2011-02-09 | 暨南大学 | 一种低损耗碲酸盐玻璃平面光波导的制作方法 |
-
2012
- 2012-05-04 CN CN 201210138046 patent/CN102645701B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102645701A (zh) | 2012-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102645701B (zh) | 采用离子交换法在玻璃基片表面制作光波导的方法 | |
Findakly | Glass waveguides by ion exchange: a review | |
JP7084880B2 (ja) | 透明な近赤外線遮蔽ガラスセラミック | |
CN101772470B (zh) | 强化玻璃基板及其制造方法 | |
CN1844963A (zh) | 单侧熔盐电场辅助离子交换制备掩埋式玻璃光波导的方法 | |
Fang et al. | Glass-ceramic optical fiber containing Ba2TiSi2O8 nanocrystals for frequency conversion of lasers | |
CN104656188B (zh) | 一种含有铁磁金属纳米颗粒的玻璃基离子交换光波导 | |
CN102645700B (zh) | 玻璃基掩埋光波导的制作方法 | |
JP5252747B2 (ja) | 偏光ガラス及びその製造方法並びに光アイソレーター | |
Fokin et al. | Sodium fluoride solubility and crystallization in photo‐thermo‐refractive glass | |
Kang et al. | Novel Er3+/Ho3+‐codoped glass‐ceramic fibers for broadband tunable mid‐infrared fiber lasers | |
CN104656187B (zh) | 一种集成磁光功能的玻璃基离子交换光波导芯片 | |
CN100392446C (zh) | 一种离子掩膜制作玻璃光波导的方法 | |
CN100570419C (zh) | 一种含Cu离子的光波导 | |
CN101776782B (zh) | 一种集成铜离子发光功能的玻璃基离子交换光波导芯片 | |
Souza et al. | Liquid–Liquid Phase Separation in Photo‐Thermo‐Refractive Glass | |
CN106291816A (zh) | 一种提高玻璃基光波导芯片均匀性的方法 | |
JP2004102210A (ja) | ガラス、光導波路製造方法および光導波路 | |
CN102633434B (zh) | 一种集成光学用玻璃基片材料及其制备方法 | |
CN104817268A (zh) | 低浓度AgNO3掺杂条件下高效析出尺度可控Ag纳米颗粒的发光玻璃及其制备方法 | |
Shaltout et al. | Effects of Sm3+/Yb3+ co-doping and temperature on the Raman, IR spectra and structure of [TeO2–GeO2–K2O–Sm2O3/Yb2O3] glasses | |
Mazzoldi et al. | A trip in the history and evolution of ion-exchange process | |
Chen et al. | Visible laser-induced photosensitive effects in Tb 3+-/Ce 3+-doped heavy metal glasses for optical waveguide fabrication | |
Prakash et al. | Optical amplifiers from rare-earth co-doped glass waveguides | |
CN111158084A (zh) | 一种离子交换玻璃基表面波导模斑转换器的制作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20180423 Address after: 215400 Taicang Economic Development Zone, Jiangsu, Qingdao West Road, No. 38, No. Patentee after: Suzhou light mantle integrated optics Co., Ltd. Address before: Zhabei District ejon 200072 Shanghai 777 Lane 14, Room 102 Patentee before: Shanghai Guangxin Integrated Optical Co., Ltd. Co., Ltd. |
|
TR01 | Transfer of patent right | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20200525 Address after: 213000 Jiangsu province west of the city of Changzhou Taihu science and Technology Industrial Park Dragon Road No. 2 Patentee after: Changzhou optical core integrated optics Co., Ltd Address before: 215400 Taicang Economic Development Zone, Jiangsu, Qingdao West Road, No. 38, No. Patentee before: SUZHOU OPTICORE INTEGRATED OPTICAL Co.,Ltd. |