CN102517628B - 单晶炉翻板限位机构 - Google Patents
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Abstract
一种单晶炉翻板限位机构，包括安装在阀体上的定位板，定位板上有定位豁口，还包括摇手臂，摇手柄安装在摇手臂的一端，摇手臂的另一端与翻板连接轴固定，在摇手柄上安装有弹簧，摇手臂上设有定位台，定位台用于定位弹簧的安装位置，在摇手柄靠近定位豁口的一端还装有定位螺母，定位螺母用于固定弹簧的位置，摇手柄上远离定位豁口的一端设有第一凹台和第二凹台，摇手臂上设有和摇手柄上的第一凹台和第二凹台相配合的凸台；本发明只通过单手拉动并转动摇手柄和摇手臂，即可定位使摇手柄的弹簧压缩或恢复，实现定位或者脱开，该机构能在翻板打开后能够固定翻板位置，防止翻板在单晶炉工作中关闭，机构简洁，操作方便，且限位安全可靠。
Description
技术领域
本发明涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉翻板限位机构。
背景技术
直拉硅单晶炉腔体分为上下两个部分，中间用翻板阀隔开。在拉晶过程中，翻板阀一直打开，上下腔体连同为一体，如遇到特殊状况，可将所拉晶体提升到上腔体中，将翻板关闭，隔开上下腔体，从上腔体中取出所拉晶体，下腔体的热场加热区域还处于高温化料状态，做好准备工作后，可以打开翻板阀继续拉晶。
在拉晶过程中，如未出现特殊状况需关闭翻板阀时，翻板必须一直处于打开状态，目前直拉式圆形阀体结构单晶炉，翻板打开后没有停靠空间，如果翻板未固定好而转动，碰到晶棒会造成严重的质量事故，甚至会发生安全事故，因此增加一个安全可靠的翻板限位装置是非常必要的。有些单晶炉翻板限位结构只是在翻板手柄上安装一个螺钉，阀轴端面增加螺钉孔，当翻板处于打开状态时，手动选入螺钉固定翻板，此结构操作复杂，需两人配合完成，假如螺钉旋入深度不够，有可能会造成翻板定位失效，产生事故。
发明内容
为了克服上述现有技术存在的缺点，本发明的目的在于提供一种单晶炉翻板限位机构，该机构在翻板打开后能够固定翻板位置，防止翻板在单晶炉工作中关闭。
为达到上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种单晶炉翻板限位机构，包括安装在阀体11上的定位板1，定位板1上有定位豁口2，还包括摇手臂4，摇手柄3安装在摇手臂4的一端，摇手臂4的另一端与翻板连接轴12固定，在摇手柄3上安装有弹簧5，摇手臂4上设有定位台10，定位台10用于定位弹簧5的安装位置，在摇手柄3靠近定位豁口2的一端还装有定位螺母6，定位螺母6用于固定弹簧5的位置，摇手柄3上远离定位豁口2的一端设有第一凹台8和第二凹台9，摇手臂4上设有和摇手柄3上的第一凹台8和第二凹台9相配合的凸台7。
本发明只通过单手拉动并转动摇手柄3和摇手臂4，即可定位使摇手柄3上的弹簧5压缩或恢复，实现定位或者脱开，该机构能在翻板打开后能够固定翻板位置，防止翻板在单晶炉工作中关闭，机构简洁，操作方便，且限位安全可靠。
附图说明
图1本发明结构原理图。
图2是本发明的定位状态结构原理剖视图；其中图2(a)为定位状态结构原理剖视图，图2(b)为I部的放大图。
图3是本发明的脱开状态结构原理剖视图；其中图3(a)为脱开状态结构原理剖视图，图3(b)为I部的放大图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作更详细说明。
如图1所示，本发明一种单晶炉翻板限位机构，包括安装在阀体11上的定位板1，定位板1上有定位豁口2，还包括摇手臂4，摇手柄3安装在摇手臂4的一端，摇手臂4的另一端与翻板连接轴12固定，翻板连接轴12与翻板13固定。
如图2和图3所示，摇手臂4的另一端与翻板连接轴12固定，在摇手柄3上安装有弹簧5，摇手臂4上设有定位台10，用于定位弹簧5的安装位置，在摇手柄3靠近定位豁口2的一端装有定位螺母6，用来固定弹簧5的位置。摇手柄3上远离定位豁口2的一端设有凹台8和凹台9，摇手臂4上设有和摇手柄3上的凹台8和凹台9相配合的凸台7。
本发明的工作原理为：
顺时针转动摇手臂4到图1位置，再转动摇手柄3，如图2所示，使凸台7卡入凹台8，弹簧5复位，定位螺母6卡入定位豁口2中，逆时针转动摇手臂2一定角度，使定位螺母6完全卡入豁口2内，摇手臂4被固定，带动翻板连接轴12及翻板13的位置固定。
顺时针转动摇手臂4一定角度，如图3所示，使定位螺母6脱开定位豁口2，拉动摇手柄3，弹簧5被压缩，定位螺母6完全脱出豁口2，摇手臂4上的凸台7脱出凹台8，转动摇手柄3，使凸台7卡入凹台9，逆时针转动摇手臂4，带动翻板连接轴12，同时带动翻板13转动到需要关闭的位置。
Claims (1)
1.一种单晶炉翻板限位机构，其特征在于：包括安装在阀体(11)上的定位板(1)，定位板(1)上有定位豁口(2)，所述定位豁口(2)带有凸台，还包括摇手臂(4)，摇手柄(3)安装在摇手臂(4)的一端，摇手臂(4)的另一端与翻板连接轴(12)固定，在摇手柄(3)上安装有弹簧(5)，摇手臂(4)上设有定位台(10)，定位台(10)用于定位弹簧(5)的安装位置，在摇手柄(3)靠近定位豁口(2)的一端还装有定位螺母(6)，定位螺母(6)用于固定弹簧(5)的位置，所述定位螺母(6)为“工”字型，所述定位豁口(2)的凸台套入定位螺母(6)“工”字型的凹槽中，限制摇手柄(3)左右轴向移动；摇手柄(3)上远离定位豁口(2)的一端设有第一凹台(8)和第二凹台(9)，摇手臂(4)上设有和摇手柄(3)上的第一凹台(8)和第二凹台(9)相配合的凸台(7)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201110455260.4A CN102517628B (zh) | 2011-12-21 | 2011-12-21 | 单晶炉翻板限位机构 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201110455260.4A CN102517628B (zh) | 2011-12-21 | 2011-12-21 | 单晶炉翻板限位机构 |
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ID=46288683
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| CN (1) | CN102517628B (zh) |
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |