CN102517627A - 水冷轴结构 - Google Patents
水冷轴结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102517627A CN102517627A CN2011104294937A CN201110429493A CN102517627A CN 102517627 A CN102517627 A CN 102517627A CN 2011104294937 A CN2011104294937 A CN 2011104294937A CN 201110429493 A CN201110429493 A CN 201110429493A CN 102517627 A CN102517627 A CN 102517627A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- water
- transverse axis
- cooled
- transverse shaft
- cooled axle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
本发明公开了一种水冷轴结构,其包括:第一横轴,其内轴向设有流道,所述流道的一端封闭,另一端开口,一水管螺纹连接在所述流道的开口一端,所述水管内的通孔与所述流道相连通;第二横轴,其套在所述水管的外部,并与第一横轴焊接在一起,所述水管的外部具有环道,所述环道的两端封闭;所述第二横轴上远离第一横轴的一端设有与环道相连通的水冷轴进水口,所述水管远离第一横轴的一端为水冷轴出水口,所述第二横轴上靠近第一横轴的一端设有与环道相连通的水冷件进水口,所述第一横轴上远离第二横轴的一端设有与所述流道相连通的水冷件出水口。本发明的第一横轴和第二横轴焊接成一体,使得加工、装卸简单。
Description
技术领域
本发明是有关于一种水冷轴结构。
背景技术
单晶硅炉是一种生长单晶硅棒的真空高温设备,为了能够在热场维持工艺温度的情况下,可以取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶,装配一有水冷翻板阀芯的翻板阀结构,翻版阀芯主要是通过连接臂和波纹管与一个一体式自动定位可水冷轴连接在一起。水冷轴的一头装有把手,当阀芯需要开启、关闭时,转动把手。
因为是高温设备,在正常长晶过程中,炉室温度高达1600℃,因此阀芯需要水冷。因为单晶硅炉是密闭真空设备,因此水冷主要是通过水冷轴将水输入到阀芯内,然后通过环道,水又通过出水水管流出,从而达到水冷降温的效果。
目前的水冷轴分为两段,中间是通过螺纹和螺母连接起来,因此水冷轴的定位需要通过调节螺母控制左端轴端的尺寸来定位,也就是说,该水冷轴不是一体的,其在定位方面不能通过加工直接定位。因此,该水冷轴加工成本高、装配复杂。
发明内容
本发明的目的是,提供一种水冷轴结构,其第一横轴和第二横轴焊接成一体,使得加工、装卸简单。
本发明的上述目的可采用下列技术方案来实现:
一种水冷轴结构,所述水冷轴结构包括:第一横轴,其内轴向设有流道,所述流道的一端封闭,另一端开口,一水管螺纹连接在所述流道的开口一端,所述水管内的通孔与所述流道相连通;第二横轴,其套设在所述水管的外部,并与第一横轴焊接在一起,所述水管的外部具有环道,所述环道的两端封闭;所述第二横轴上远离第一横轴的一端设有与环道相连通的水冷轴进水口,所述水管远离第一横轴的一端为水冷轴出水口,所述第二横轴上靠近第一横轴的一端设有与环道相连通的水冷件进水口,所述第一横轴上远离第二横轴的一端设有与所述流道相连通的水冷件出水口。
在优选的实施方式中,所述第一横轴上远离所述第二横轴的一端安装有盲盖,以阻挡所述水冷轴的轴向窜动。
在优选的实施方式中,所述第一横轴上远离所述第二横轴的一端环形凹设有第一台阶,所述盲盖轴向上环形凸设有第一凸块,所述第一凸块顶抵在第一台阶上,所述第一凸块的外部固定设有第一支撑件。
在优选的实施方式中,所述第二横轴上安装有密封盖,以阻挡所述水冷轴的轴向窜动。
在优选的实施方式中,所述第二横轴上环形凹设有第二台阶,所述密封盖轴向上环形凸设有第二凸块,所述第二凸块顶抵在第二台阶上,所述第二凸块的外部固定设有第二支撑件。
在优选的实施方式中,所述第二凸块与所述第二横轴之间设有密封圈。
本发明实施例的水冷轴结构的特点和优点是:其第一横轴与第二横轴焊接在一起,使水冷轴成为一体式的水冷轴,其加工、装卸简单。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例的水冷轴结构的剖面示意图,其没有显示定位结构;
图2是本发明实施例的水冷轴结构的剖面示意图,其显示了定位结构。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提出的水冷轴结构,其包括第一横轴1和第二横轴2。所述第一横轴1内轴向设有流道11,所述流道11的一端封闭,另一端开口,一水管3螺纹连接在所述流道11的开口一端,所述水管3内的通孔与所述流道11相连通。所述第二横轴2套设在所述水管3的外部,并与第一横轴1焊接在一起,所述水管3的外部具有环道31,所述环道31的两端封闭。所述第二横轴2上远离第一横轴1的一端设有与环道31相连通的水冷轴进水口4a,所述水管3远离第一横轴1的一端为水冷轴出水口4b,所述第二横轴2上靠近第一横轴1的一端设有与环道3相连通的水冷件进水口5a,所述第一横轴1上远离第二横轴2的一端设有与所述流道11相连通的水冷件出水口5b。
在使用时,冷却水从水冷轴进水口4a进入环道31中,由于环道31两端封闭,使得环道31中的冷却水只能从水冷件进水口5a流出,即冷却水从水冷件进水口5a中流入水冷件(例如单晶硅炉中的阀芯)对水冷件进行冷却,冷却过水冷件的水从水冷件出水口5b流入流道11中,并从水管3中经由水冷轴出水口4b流出,此处水冷轴出水口4b可连接水接头6,以方便或控制水流出。
本发明实施例中,第一横轴1与第二横轴2焊接在一起,使水冷轴成为一体式的水冷轴,第一、二横轴1、2焊接在一起后,可以直接加工到所需尺寸,使得其加工、装卸简单。
其中,第一横轴1的流道11靠近开口的一端设有内螺纹,水管3的一端设有外螺纹3a,水管3从第一横轴1的开口端穿入而使其外螺纹与第一横轴1上的内螺纹螺纹连接,以将水管3螺纹连接在第一横轴1上。此外,由于水管3在第一横轴1中具有一段,水管3的其它部分都位于第二横轴2内,因此,环道31也在第一横轴1中具有一段,环道31的其它部分位于第二横轴2内,环道31的远离第一横轴1的一端可连接水接头6,以使此端封闭。
根据本发明的一个实施方式,所述第一横轴1上远离所述第二横轴2的一端安装有盲盖7,以阻挡所述水冷轴的轴向窜动。
具体是,所述第一横轴1上远离所述第二横轴2的一端环形凹设有第一台阶12,所述盲盖7轴向上环形凸设有第一凸块71,所述第一凸块71顶抵在第一台阶12上,所述第一凸块71的外部固定设有第一支撑件72。
根据本发明的一个实施方式,所述第二横轴2上安装有密封盖8,以阻挡所述水冷轴的轴向窜动。
具体是,所述第二横轴2上环形凹设有第二台阶21,所述密封盖8轴向上环形凸设有第二凸块81,所述第二凸块81顶抵在第二台阶21上,所述第二凸块81的外部固定设有第二支撑件82。进一步地,所述第二凸块81与所述第二横轴2之间设有密封圈83。
当旋转水冷轴的把手时,水冷轴会受到一定的轴向力,所以,水冷轴设有盲盖7和密封盖8这些定位结构,使得水冷轴的定位简单,且水冷轴的两端均有定位,使得其定位更加稳固。水冷轴在装配时,可以从任意方向装入,然后再装入盲盖7和/或密封盖8即可。
以上所述仅为本发明的几个实施例,本领域的技术人员依据申请文件公开的可以对本发明实施例进行各种改动或变型而不脱离本发明的精神和范围。
Claims (6)
1.一种水冷轴结构,其特征在于,所述水冷轴结构包括:
第一横轴,其内轴向设有流道,所述流道的一端封闭,另一端开口,一水管螺纹连接在所述流道的开口一端,所述水管内的通孔与所述流道相连通;
第二横轴,其套设在所述水管的外部,并与第一横轴焊接在一起,所述水管的外部具有环道,所述环道的两端封闭;所述第二横轴上远离第一横轴的一端设有与环道相连通的水冷轴进水口,所述水管远离第一横轴的一端为水冷轴出水口,所述第二横轴上靠近第一横轴的一端设有与环道相连通的水冷件进水口,所述第一横轴上远离第二横轴的一端设有与所述流道相连通的水冷件出水口。
2.根据权利要求1所述的水冷轴结构,其特征在于,所述第一横轴上远离所述第二横轴的一端安装有盲盖,以阻挡所述水冷轴的轴向窜动。
3.根据权利要求2所述的水冷轴结构,其特征在于,所述第一横轴上远离所述第二横轴的一端环形凹设有第一台阶,所述盲盖轴向上环形凸设有第一凸块,所述第一凸块顶抵在第一台阶上,所述第一凸块的外部固定设有第一支撑件。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的水冷轴结构,其特征在于,所述第二横轴上安装有密封盖,以阻挡所述水冷轴的轴向窜动。
5.根据权利要求4所述的水冷轴结构,其特征在于,所述第二横轴上环形凹设有第二台阶,所述密封盖轴向上环形凸设有第二凸块,所述第二凸块顶抵在第二台阶上,所述第二凸块的外部固定设有第二支撑件。
6.根据权利要求5所述的水冷轴结构,其特征在于,所述第二凸块与所述第二横轴之间设有密封圈。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110429493.7A CN102517627B (zh) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | 水冷轴结构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110429493.7A CN102517627B (zh) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | 水冷轴结构 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102517627A true CN102517627A (zh) | 2012-06-27 |
CN102517627B CN102517627B (zh) | 2014-05-14 |
Family
ID=46288682
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201110429493.7A Active CN102517627B (zh) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | 水冷轴结构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102517627B (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102912419A (zh) * | 2012-09-19 | 2013-02-06 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 具备水冷却功能的区熔炉上轴 |
CN104264230A (zh) * | 2014-09-30 | 2015-01-07 | 深圳市盛世智能装备有限公司 | 晶体生长高温炉用冷却拉杆及其制造方法 |
CN104862776A (zh) * | 2015-05-22 | 2015-08-26 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 一种新型蓝宝石上轴冷却杆 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5667588A (en) * | 1995-06-10 | 1997-09-16 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Single crystal pulling apparatus |
US5735951A (en) * | 1995-07-04 | 1998-04-07 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Single crystal pulling apparatus |
CN202369678U (zh) * | 2011-12-20 | 2012-08-08 | 北京京仪世纪电子股份有限公司 | 水冷轴结构 |
-
2011
- 2011-12-20 CN CN201110429493.7A patent/CN102517627B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5667588A (en) * | 1995-06-10 | 1997-09-16 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Single crystal pulling apparatus |
US5735951A (en) * | 1995-07-04 | 1998-04-07 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Single crystal pulling apparatus |
CN202369678U (zh) * | 2011-12-20 | 2012-08-08 | 北京京仪世纪电子股份有限公司 | 水冷轴结构 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102912419A (zh) * | 2012-09-19 | 2013-02-06 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 具备水冷却功能的区熔炉上轴 |
CN102912419B (zh) * | 2012-09-19 | 2015-05-20 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 具备水冷却功能的区熔炉上轴 |
CN104264230A (zh) * | 2014-09-30 | 2015-01-07 | 深圳市盛世智能装备有限公司 | 晶体生长高温炉用冷却拉杆及其制造方法 |
CN104862776A (zh) * | 2015-05-22 | 2015-08-26 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 一种新型蓝宝石上轴冷却杆 |
CN104862776B (zh) * | 2015-05-22 | 2017-12-29 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 一种新型蓝宝石上轴冷却杆 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102517627B (zh) | 2014-05-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102517627A (zh) | 水冷轴结构 | |
JP6579001B2 (ja) | イオン交換器 | |
CN206221689U (zh) | 用于控制工艺生产设备的流体流动的调节阀 | |
CN202530196U (zh) | 一种生长单晶用籽晶杆及包括该籽晶杆的生长单晶设备 | |
US9139931B2 (en) | Directional solidification furnace heat exchanger | |
CN202369678U (zh) | 水冷轴结构 | |
CN206706247U (zh) | 一种改进的单晶炉 | |
CN106969196A (zh) | 防结晶调节阀 | |
CN102220630A (zh) | 一种能漏硅后防护的单晶炉 | |
CN201599469U (zh) | 气体流量调节用并联式阀组 | |
CN102965460A (zh) | 一种高炉冷却系统及其流量调节方法 | |
CN207080620U (zh) | 一种保温调节阀 | |
CN108817606A (zh) | 水下高压干式焊接用保护装置、焊接装置及焊接方法 | |
CN204325544U (zh) | 一种多晶炉管道自动控制装置 | |
CN108330534A (zh) | 一种单晶炉冷却水的分水器结构 | |
CN211501851U (zh) | 调节阀 | |
CN204533768U (zh) | 一种通过流体温度调控流体走向的阀门 | |
CN102418142B (zh) | 带水冷观察窗的结构门 | |
CN203131189U (zh) | 一种机械式全自动控水排气阀 | |
CN210765188U (zh) | 一种改进型煤粉气化烧嘴 | |
CN207715851U (zh) | 组合阀门及管路系统 | |
CN202380128U (zh) | 带水冷观察窗的结构门 | |
CN208728674U (zh) | 一种铅基合金高温放铅阀 | |
CN209725443U (zh) | 一种控制阀用整体式隔离装置及控制阀 | |
CN102312289A (zh) | 多晶铸锭炉二次加料的装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20160706 Address after: 100079 Beijing City, Fengtai District Yongwai, weizikeng 2 Patentee after: Beijing Instrument Industry Group Co., Ltd. Address before: 100079 Beijing City, Fengtai District Songjiazhuang Yongwai weizikeng 2 Patentee before: Beijing Jingyishiji Electronic Co., Ltd. |