CN102484089A - 平板精密悬浮系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种利用倾斜喷射流体的平板精密悬浮系统，其通过流体(气体或者液体)使平板浮起，其包括：第一平板悬浮部及第二平板悬浮部，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：平坦部，平行于所述平板的移送方向平坦地形成，从而形成与平板之间的浮起间隔；喷头阻块，其具有上部左右角落处相对于所述平板倾斜而成，并具有对向设置的一对倾斜部；一对喷头板，在与对象设置的一对倾斜部相同高度或低于所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部的位置处，围绕所述喷头阻块的倾斜部和外周面而形成；以及，一对倾斜喷头部，由所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部和一对喷头板形成，其中，所述平板悬浮部使通过所述对向设置的一对倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部向上倾斜地流动，在所述对向吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)相遇的喷头阻块平坦部上部形成压力(浮力)，利用所述压力使得平板浮起一定的间隔；以及，平板吸附部，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反的倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)生成低压，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板悬浮部及所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有稳定的浮起固定度。

Description

平板精密悬浮系统
技术领域
本发明涉及一种利用倾斜喷射流体的平板精密悬浮系统，其通过流体(气体或者液体)使平板浮起，其特征在于，包括：第一平板悬浮部及第二平板悬浮部，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：平坦部，平行于所述平板的移送方向平坦地形成，从而形成与平板之间的浮起间隔；喷头阻块，其具有上部左右角落处相对于所述平板倾斜而成，并具有对向设置的一对倾斜部；一对喷头板，在与对象设置的一对倾斜部相同高度或低于所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部的位置处，围绕所述喷头阻块的倾斜部和外周面而形成；以及，一对倾斜喷头部，由所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部和一对喷头板形成，其中，所述平板悬浮部使通过所述对向设置的一对倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部向上倾斜地流动，在所述对向吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)相遇的喷头阻块平坦部上部形成压力(浮力)，利用所述压力使得平板浮起一定的间隔；以及，平板吸附部，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反的倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)生成低压，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板悬浮部及所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有稳定的浮起固定度。
并且，本发明还涉及一种利用倾斜喷射流体的平板精密悬浮系统，用于通过流体(气体或者液体)使平板浮起，其特征在于，包括：第一平板悬浮部及第二平板悬浮部，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：平坦部，平行于平板的移送方向平坦地形成，并且形成与平板之间的浮起间隔；康达条，具有上部左右角落处相对于所述平板倾斜而成的对向设置的一对康达曲面；一对喷头板，在低于所述康达条的对向设置的一对康达曲面高度的位置处，围绕所述康达条的外周面而形成；以及，对向设置的一对康达喷头部，由所述康达条的对向设置的一对康达曲面和一对喷头板形成，其中，所述平板悬浮部使通过所述对向设置的一对康达喷头部吐出的康达喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部流动，在由所述对向地吐出的康达喷射流体(气体或者液体)相遇的康达条平坦部上部形成压力(浮力)，利用所述压力使得平板浮起一定的间隔，以及，平板吸附部，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反向的康达喷头部吐出的康达喷射流体(气体或者液体)生成低压，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有稳定的浮起固定度。
背景技术
平板(玻璃基板、薄膜等)的悬浮主要用于，在TFT-LCD(Thin filmtransistor-liquid crystal display)、PDP(Plasma display panel)、EL(Electroluminescent)等平板显示装置(Flat display)的制造工序中，精密地维持或者调节平板的平坦度的同时，使得平板上浮一定的间隔或者移送平板的工序中。
作为一例，与利用传送带或者移送滚轮的移送装置相比，平板悬浮移送装置除了具有非接触式移送的优点之外，由于不需要电机、齿轮、皮带、移送滚轮等，因此移送装置结构非常简单，并且具有在移送产品时不会发生碰撞的优点，而且还具有不会因构成部件之间的接触而引发各种灰尘或者异物的生成的优点。因此，其主要适用于怕碰撞、需要维持清洁状态的敏感性平板的移送作业领域。
在现有的气体悬浮装置中，用一个通路供给空气，并将其分散供给多个空气供给孔，从而在维持平板的平坦度的同时使得平板上浮一定的高度或者移送平板。
图1及图2为现有的气体悬浮装置的部分立体图和截面图。
如图1和图2所示，现有的气体悬浮装置包括：下部台面10、垫圈20、气体悬浮过滤器30、上部台面40。从空气供给装置5供给的空气经由下部台面10的空气供给路11，通过垫圈20防止向外部泄露的状态下，使得被供给的空气经由气体悬浮过滤器30的细微孔31后，经过上部台面40的气体孔41向平板传递空气浮力。
然而，为了消除空气供给的偏差，现有的气体悬浮装置使用了气体悬浮过滤器30。即使如此，也无法完全消除靠近供给空气的通路的区域的气压强、远离通路的区域的气压低的问题，因此，在平板的整个区域内无法传递均匀的气压，从而存在平板的平坦度不够均匀的问题。
另外，如下图所示，现有的气体悬浮装置的气体孔41的空气压力分布为从气体孔的中心部急剧降低的形状，因此着眼于浮力小的问题，为了产生足够的浮力为目的，需要增加气体孔的数量或者增加空气供给压力，这导致了成本上升的问题和效率低下的问题。
另外，除了所述现有的气体悬浮装置之外，利用康达(coanda)喷射流的平板气体悬浮移送装置也是公知技术。
即，在韩国公开专利公报10-2007-0109222中公开了空气浮起式平板移送装置。如图3和图4所述，空气浮起式平板移送装置包括：平板输入端111，沿相对于平板的移送方向的法线方向而成；移送基座110，使所述平板输入端111的上部边角设置在整个区间弯曲而成；以及，部件，在低于移送基座的上部面的下方沿着所述平板输入端111与其相邻而成，以形成在相对所述平板的移送方向的法线上的喷头部121，经由所述喷头部121，朝与所述平板输入端111外侧面相接的方向吐出空气，使得吐出的空气沿着平板输入端111的弯曲部112流向移送基座110的上部面，从而产生康达喷射流，给平板同时赋予浮力和移送力。
然而，在利用所述现有的康达喷射流的空气浮起式平板移送装置中，由于康达条和康达喷头仅仅朝一个方向而成，因此，其存在无法静止浮起平板的问题、康达喷射流难以产生足够的压力的结构上的缺陷、以及只能朝一个方向浮起并移送平板的问题。
并且，当因外部因素而导致移送基座110和平板P之间的浮起间隔大于稳定状态下的浮起间隔时，由于从喷头部121吐出的空气受到的阻力变小的同时经由平板P，因此，在移送基座110和平板P之间流动的空气的流速会增加，从而根据伯努利(Bernoulli)原理，使得正压力的减少量相当于流速的增加量，最终导致移送基座110和平板P之间的浮力显著下降，从而存在因浮起间隔的变小、浮力的消除而引起的平板破损的危险。
进一步地，为了补偿浮力和浮起间隔的减少，通过提高康达喷射流的输出或者进一步减小移送基座110和平板P之间的浮起间隔，使得康达喷射流在受到更大的阻力的前提下经由平板P，由此，在移送基座110和平板P之间流动的喷射流的流速得以降低，从而根据伯努利原理，使得正压力的增加量相当于流速的减少量，以增加移送基座110和平板P之间的浮起间隔。然而，如上所述，在利用现有的康达喷射流的空气浮起式平板移送装置中，由于康达条和喷头仅朝一个方向而成，因此存在难以产生压力足够的康达喷射流的问题，并且，由于康达喷射流朝一个方向分散，因此存在难以迅速地恢复浮力的问题。
并且，因为流体流动的不均匀和干涉引起的流体乱流，现有的气体悬浮装置或者利用康达喷射流的平板气体悬浮移送装置具有在平板边缘部产生振动的问题，并且具有平板的浮起间隔不均匀的问题。
发明的具体说明
技术方案
本发明的目的在于为了解决上述的问题而提供了平板悬浮系统，其利用在整个平板区域供给均匀的倾斜喷射流体或者康达喷射流体而产生的压力，以提供稳定的浮力；并且能够精密地维持平板的平坦度的同时，细微地调节浮起间隔。
为了实现上述的目的，本发明涉及一种利用倾斜喷射流体的平板精密悬浮系统，其通过流体(气体或者液体)使平板浮起，其特征在于，包括：第一平板悬浮部及第二平板悬浮部，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：平坦部，平行于所述平板的移送方向平坦地形成，从而形成与平板之间的浮起间隔；喷头阻块，其具有上部左右角落处相对于所述平板倾斜而成，并具有对向设置的一对倾斜部；一对喷头板，在与对象设置的一对倾斜部相同高度或低于所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部的位置处，围绕所述喷头阻块的倾斜部和外周面而形成；以及，一对倾斜喷头部，由所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部和一对喷头板形成，其中，所述平板悬浮部使通过所述对向设置的一对倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部向上倾斜地流动，在所述对向吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)相遇的喷头阻块平坦部上部形成压力(浮力)，利用所述压力使得平板浮起一定的间隔；以及，平板吸附部，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反的倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)生成低压，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板悬浮部及所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有稳定的浮起固定度。
并且，为了实现上述的目的，本发明本发明还涉及一种利用倾斜喷射流体的平板精密悬浮系统，用于通过流体(气体或者液体)使平板浮起，其特征在于，包括：第一平板悬浮部及第二平板悬浮部，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：平坦部，平行于平板的移送方向平坦地形成，并且形成与平板之间的浮起间隔；康达条，具有上部左右角落处相对于所述平板倾斜而成的对向设置的一对康达曲面；一对喷头板，在低于所述康达条的对向设置的一对康达曲面高度的位置处，围绕所述康达条的外周面而形成；以及，对向设置的一对康达喷头部，由所述康达条的对向设置的一对康达曲面和一对喷头板形成，其中，所述平板悬浮部使通过所述对向设置的一对康达喷头部吐出的康达喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部流动，在由所述对向地吐出的康达喷射流体(气体或者液体)相遇的康达条平坦部上部形成压力(浮力)，利用所述压力使得平板浮起一定的间隔，以及，平板吸附部，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反向的康达喷头部吐出的康达喷射流体(气体或者液体)生成低压，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有稳定的浮起固定度。
发明功效
本发明的利用倾斜喷射流体或者康达喷射流体的平板悬浮系统，通过给平板的整个区域供给均匀的气压，并且利用倾斜喷射流体或者康达喷射流体以提供稳定的浮力，并且能够精密地维持平板的平坦度、细微地调节浮起间隔，从而可以更为精密地移送平板。
附图说明
图1为现有的气体悬浮装置的部分分解立体图。
图2为现有的气体悬浮装置的部分截面图。
图3为现有的空气浮起式平板移送装置的部分立体图。
图4为现有的空气浮起式平板移送装置的部分截面图。
图5为本发明一实施例的精密悬浮平板系统的喷头阻块和喷头板的平面和截面示意图。
图6为本发明一实施例的精密悬浮平板系统的平行线型喷头阻块和喷头板的立体示意图。
图7为形成在本发明一实施例的精密悬浮平板系统的平行线型喷头板上的锯齿形状喷头的立体示意图。
图8为在本发明一实施例的精密悬浮平板系统中出现的平板边缘部的振动状态示意图。
图9为防止在本发明一实施例的精密悬浮平板系统中出现的平板边缘部的振动的状态示意图。
图10为设置在本发明一实施例的精密悬浮平板系统的平板吸附部上的隔膜的立体示意图。
图11为本发明再一实施例的精密悬浮平板系统的康达条和喷头板的平面和截面示意图。
图12为本发明再一实施例的精密悬浮平板系统的平行线型康达条和喷头板的立体示意图。
图13为形成在本发明再一实施例的精密悬浮平板系统的平行线型喷头板上的锯齿形状喷头的立体示意图。
图14为在本发明再一实施例的精密悬浮平板系统中出现的平板边缘部的振动的状态示意图。
图15为防止在本发明再一实施例的精密悬浮平板系统中出现的平板边缘部的振动的状态示意图。
图16为设置在本发明再一实施例的精密悬浮平板系统的平板吸附部上的隔膜的立体示意图。
图17为在本发明再一实施例的精密悬浮平板系统中没有平板时的康达条和喷头板的截面示意图以及康达喷射流体的流动状态示意图。
图18为在本发明再一实施例的精密悬浮平板系统中形成有流体排出孔的康达条和喷头板的截面示意图。
图19为本发明再一实施例的精密悬浮平板系统的流体排出孔的封闭状态截面示意图。
图20为在本发明再一实施例的精密悬浮平板系统中使用操控阀驱动流体排出孔的状态截面示意图。
图21为本发明一实施例或再一实施例的平板悬浮系统的格子状排列平面示意图。
图22为本发明一实施例或再一实施例的平板悬浮系统的长度排列平面示意图。
图23和图24为本发明一实施例或再一实施例的平板悬浮系统的移送滚轮平面示意图。
图25和图26为给本发明一实施例或再一实施例的平板悬浮系统附加现有的浮起装置一同使用的平面示意图。
图27为给本发明一实施例或再一实施例的平板悬浮系统的外侧的左右喷头部使用相同的压力P1、给内侧的左右喷头部使用相同的压力P2的状态示意图。
图28为Air Jet Knife-Impact(空气射流刀冲击)干燥工序的概念示意图。
图29为在本发明一实施例或再一实施例的平板悬浮系统的一侧或者两侧进一步包括Air Jet Knife-Impact(空气射流刀冲击)干燥装置的截面示意图。
具体实施方式
本发明提供一种利用倾斜喷射流体的平板精密悬浮系统，其通过流体(气体或者液体)使平板浮起，其特征在于，包括：第一平板悬浮部及第二平板悬浮部，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：平坦部，平行于所述平板的移送方向平坦地形成，从而形成与平板之间的浮起间隔；喷头阻块，其具有上部左右角落处相对于所述平板倾斜而成，并具有对向设置的一对倾斜部；一对喷头板，在与对象设置的一对倾斜部相同高度或低于所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部的位置处，围绕所述喷头阻块的倾斜部和外周面而形成；以及，一对倾斜喷头部，由所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部和一对喷头板形成，其中，所述平板悬浮部使通过所述对向设置的一对倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部向上倾斜地流动，在所述对向吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)相遇的喷头阻块平坦部上部形成压力(浮力)，利用所述压力使得平板浮起一定的间隔；以及，平板吸附部，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反的倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)生成低压，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板悬浮部及所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有稳定的浮起固定度。
下面，参考附图更为详细地说明本发明的优选实施例。
如图5所示，本发明的精密悬浮平板系统800包括：第一平板悬浮部400和第二平板悬浮部500，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：平坦部302，平行于平板P的移送方向而平坦地形成，并且在其与平板之间形成浮起间隔；喷头阻块301，其具有对向设置的一对倾斜部303，所述倾斜部的上部左右角落处相对于所述平板倾斜而成的；一对喷头板304，在低于所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部303的位置处，围绕所述喷头阻块301的倾斜部303和外周面306而成；以及，对向设置的一对倾斜喷头部305，由所述喷头阻块301的对向设置的一对倾斜部303和一对喷头板304形成，其中，通过所述对向设置的一对倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部向上倾斜流动，利用在所述相对向吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)相遇的喷头阻块平坦部上部产生的压力(浮力)，使得平板浮起一定的间隔；以及平板吸附部600，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反方向的倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)生成低压，从而使吸附力作用于所述平板上，基于所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用，以使平板具有稳定的浮起固定度。
其中，浮起固定度(stiffness)为当作用于与平板的垂直方向(浮起方向)上的力度变化时，表示平板的位置(浮起高度)维持稳定状态的程度的尺度，其可以用“浮起方向的外力变化量/浮起高度变化量”来表示。因此，浮起固定度大表示即使在外部的影响下，也几乎没有浮起高度的变化，稳定而无振动。
并且，优选地，所述倾斜部303和倾斜喷头部305相对于平板P的倾斜角α为5度～45度。当倾斜角α小于5度时，难以形成倾斜部303和倾斜喷头部305；当倾斜角α大于45度时，会导致浮力损失，就会与现有气体孔的浮力没有太大的差别。
由所述喷头阻块301和喷头板304形成的倾斜喷头部305的平面形状可以为封闭型的同心圆状、同心椭圆状、重叠四边形，或者，如图6所示，其还可以为条状开放型双重平行线形。
并且，优选地，如图7所示，在形成所述倾斜喷头部305的喷头板304上形成锯齿形状的喷头307。其原因在于，在形成倾斜喷头部305时，可以容易地形成喷头阻块301的倾斜部303与喷头板304之间的间隔。
另外，如图8所示，在对向设置的一对倾斜喷头部305朝平板下部相对向吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)相遇的喷头阻块平坦部202上部形成压力(浮力)，利用该压力使平板P浮起一定的间隔，然后向外部流出的流体流动H沿着平板向旁边流动。该流动会搅乱平板的边缘部外部的空气，由此导致平板的振动和不稳定的浮起。
为了防止这种成为搅乱因素的流体流动H，如图9所示，在所述喷头板304中间形成特定的喷头700，通过由该喷头700吐出的喷射流体改变所述流体流动H的方向。
优选地，为了提高所述流体流动H的方向转换效果，以康达喷头形成所述喷头700。
另外，当由所述喷头阻块301和喷头板304形成的倾斜喷头部305的平面形状为条式开放型双重平行线形时，在平板边缘部的开放倾斜喷头部305开放而导致产生平板吸附部600的压力损失，并且由此导致平板浮起间隔的不稳定。
从而，如图10所示，为了防止在平板边缘部的平板吸附部600的压力损失，设置在平板吸附部600的长度方向上具有一定间隔的隔膜D。所述隔膜D不仅防止在平板边缘部的平板吸附部600的吸附压力损失，而且在平板吸附部的隔膜区间维持均匀的压力，从而一定地维持平板的浮起间隔，并由此可以稳定地浮起和移送平板。
并且，不仅所述条式开放型双重平行线形，对于封闭型圆形的情况，若设置所述隔膜D，则也可以呈现出根据空气轴承(bearing)效应的所述平板的稳定浮起效果。
本发明的另一实施例的特点在于，以由康达条和喷头板形成的康达喷头部喷射的康达喷射流体(气体或者液体)，代替了上述实施例中通过由具有倾斜部303的喷头阻块301和喷头板304形成的倾斜喷头部305喷射的倾斜喷射流体(气体或者液体)的利用。
即，在用于通过流体(气体或者液体)使平板浮起的平板悬浮系统中，利用康达喷射流体的精密悬浮平板系统，其包括：第一平板悬浮部及第二平板悬浮部，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：平坦部，平行于平板的移送方向，平坦地形成，并且在其与平板之间形成浮起间隔；康达条，具有上部左右角落处相对于所述平板倾斜而成的一对对向设置的康达曲面；一对喷头板，在低于所述康达条的对向设置的一对康达曲面高度的位置处围绕所述康达条的外周面而形成；以及，对向设置的一对康达喷头部，由所述康达条的对向设置的一对康达曲面和一对喷头板形成，其中，所述平板悬浮部使通过所述对向设置的一对康达喷头部吐出的康达喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部流动，在由所述对向地吐出的康达喷射流体(气体或者液体)相遇的康达条平坦部上部形成压力(浮力)，利用该压力使得平板浮起一定的间隔；以及，平板吸附部，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反的康达喷头部吐出的康达喷射流体(气体或者液体)形成低压，使得吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使得平板具有稳定的浮起固定度。
下面，参考附图更为详细地说明本发明再一实施例。
首先，如下图所示，所谓的康达效应(Coanda effect)是指当流体沿着弯曲面流动时，流体倾向于沿着该弯曲面流动的性质。
Figure BPA00001488342900101
如下图所示，适用于本发明的康达喷射流产生浮力的过程说明如下：经由喷头部吐出的康达喷射流体(气体或者液体)沿着所述康达条上的弯曲的角落处向平坦部流动，当遇到平板面时，则无法继续沿着弯曲的角落处流动。这种现象同样会出现在对向设置的面上。即，流动速度变为零，从而增加了中央的压力，因此产生浮力。如下图所示，通过电算流体解析结果来证明这种现象。
在上述附图中，区域2的压力(浮起压力)为pc，h为从沿着弯曲面流动的过程中与弯曲面脱离的分离点(separation point)至平板面的距离。此时，因该压力而产生将喷射流向旁边挤兑的力量，该力量通过momentum flux(动量通量)来表示。即，相对于喷射流的流动，向左侧作用的力度如下面公式所示。
F＝pch
并且，为了改变喷射流的流动方向，需要下面公式所示的力量。
F＝ρQ(VB-VAcosθ)
然而，由于上述的两个力两份应相同，因此，浮起压力如下面公式所示。
Pc = ρQ h ( V B - V A cos θ )
因此，当h越小、流量越大、密度越高、并且流速越快(当流量一定时，喷射流的宽度越小，则流速越大)，则浮起压力越大。
进而可以得知：由于本发明的压力分布倾向于呈现出如下附图所示的分布，因此，康达条的平坦部越宽，则具有越大的浮力，其与根据在现有的气体孔中呈现的分布形态的浮力相比，更为良好。即，本发明的最大特点为：在所有条件一定的状态下，浮力与康达条的宽度成比例。
Figure BPA00001488342900121
另外，本发明的康达条和喷头板的形状可以根据康达条和喷头板的配置采用圆形、椭圆形、四边形、平行线形等，并且在没有康达喷射流的损失的前提下有效地维持内部的浮力，从而给平板面施加浮力。
参考图11，具体说明本发明再一实施例的平板悬浮系统。
如图11所示，在本发明为利用康达喷射流体的精密悬浮平板系统，其为通过流体(气体或者液体)使平板P浮起的平板精密悬浮系统，包括：第一平板悬浮部400和第二平板悬浮部500，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：平坦部202，平行于平板P的移送方向，平坦地形成，并且在其与平板P之间形成浮起间隔；康达条201，具有上部左右角落处对向设置于所述平板倾斜而成的一对对向设置的康达曲面203；一对喷头板204，在低于所述康达条的一对对象设置的康达曲面203高度的位置处，围绕所述康达条201的外周面而形成；以及，对向设置的一对康达喷头部205，由所述康达条201的对向设置的一对康达曲面203和一对喷头板204形成，其中，所述平板悬浮部使通过所述对向设置的一对康达喷头部205吐出的康达喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部流动，在由所述对向吐出的康达喷射流体(气体或者液体)相遇的康达条平坦部202上部形成压力(浮力)，利用该压力使得平板P浮起一定的间隔；以及，平板吸附部600，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反的康达喷头部吐出的康达喷射流体(气体或者液体)生成低压，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使其具有平板的稳定的浮起固定度。
由所述康达条201和喷头板204形成的康达喷头部205的平面形状可以为封闭型的同心圆状、同心椭圆状、重叠四边形，或者，如图12所示，其还可以为条式开放型双重平行线形。
并且，优选地，如图13所示，在形成所述康达喷头部205的喷头板204上形成有锯齿形状的喷头307。其原因在于，在形成康达喷头部205时，可以容易地形成康达条201和喷头板204之间的间隔。
另外，如图14所示，利用在所述对向设置的一对康达喷头部205朝平板下部对向地吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)相遇的康达条平坦部202上部形成的压力(浮力)，使平板P浮起一定的间隔，然后向外部流出的流体流动H沿着平板向旁边流动。该流动会搅乱平板的边缘部外部的空气，并且由此导致平板的振动和不稳定的浮起。
为了防止这种成为搅乱原因的流体流动H，如图15所示，在所述喷头板204中间形成特定的喷头700，通过由该喷头700吐出的喷射流体改变所述流体流动H的方向。
优选地，为了提高所述流体流动H的方向转换效果，以康达喷头形成所述喷头700。
另外，当由所述康达条201和喷头板204形成的康达喷头部205的平面形状为条式开放型双重平行线形时，因在平板边缘部开放康达喷头部205而导致出现平板吸附部600的压力损失，并且由此导致平板浮起间隔的不稳定。
从而，如图16所示，为了防止在平板边缘部的平板吸附部600的压力损失，设置在平板吸附部600的长度方向上具有一定间隔的隔膜D。所述隔膜D不仅防止在平板边缘部的平板吸附部600的吸附压力损失，而且在平板吸附部的隔膜区间维持均匀的压力，从而以一定的程度维持平板的浮起间隔，并由此可以稳定地浮起和移送平板。
并且，不仅所述条式开放型双重平行线形，对于封闭型圆形的情况，若设置所述隔膜D，则也可以呈现出根据空气轴承效应的所述平板的稳定的浮起效果。
另外，选择性地，可以在所述康达条201的平坦部202形成流体排出孔206。即，如图17所示，若没有浮起平板面，则康达喷射流在中央部相遇并向上飞散，从而导致清洁腔室内的乱流，受其影响，玻璃基板遭微粒子(Particle)污染，从而不仅会增加不良率、降低生产效率、增加生产成本，而且当平板接近时出现康达喷射流向上冲击平板面的现象，进而会导致平板的振动或者损伤。
为了解决这种问题，如图18至图20所示，在平坦部202上形成流体排出孔206，以使康达条201弯曲的康达曲面203得以延伸，则流体的流动会在中央相遇并向下方流动，从而使康达喷射流不会向上方飞散，因此，即使平板面接近也不会发生冲击平板面的问题。
然而，若平板P接近，则为了给平板面形成浮力，如图19所示，需要封闭中央的流体排出孔206。这种方法可以采用多种公知的方法。
例如，在康达条201上设置感应器，当平板P接近时，感应出其接近后，与驱动器(未图示)联动封闭流体排出孔206。或者，如图20所示，由于当平板P接近时A附近的压力会发生变化，因此，还可以采用通过感应这种压力变化以进行开闭的操控阀(作为液压子结构，根据外部的压力在子电机中控制供给至活塞和气缸的高压油的阀门)(未图示)。
另外，根据本发明上述两种实施例的平板悬浮系统的喷头阻块301和喷头板304，或者康达条201和喷头板204的基本分布如图21所示，为了维持均匀的浮力，优选地，将其排列成具有一定的间隔的格子状。并且根据情况，可以根据纵横列来排列，当平板的长度比较长的时候，如图22所示，可以沿着长度方向排列喷头阻块301和喷头板304，或者康达条201和喷头板204。
并且，根据平板P的移送或制造工序上的要求，需要倾斜地浮起平板时，如图23和图24所示，为了提供移送力，可以在平板的下侧面设置用于移送的驱动滚轮208以辅助移送。
不仅如此，如图25和图26所示，在本发明的平板悬浮系统还可以附加具有不同的浮起特性的现有浮起装置300(例如，多孔式、开放型即将一般的康达喷射流等)并一同使用。
即，如图25和图26所示，当浮起薄平板并予以移送时，B区域角落处未被浮起，导致下倾增加，从而会引发问题。因此，为了缓解这种问题，在两侧向长度方向排列现有的浮起装置300并予以使用。
并且，如图27所示，当通过所述倾斜喷头部305或者康达喷头部205供给流体时，分别使用用于外侧的左右喷头部的空压机和用于内侧的左右喷头部的空压机，并且在外侧的左右喷头部使用相同的压力P1、在内侧的左右喷头部使用相同的压力P2，以联动调整第一平板悬浮部400及第二平板悬浮部500的浮力以及平板吸附部600的吸附力，从而可以精密地控制平板的浮起间隔。
即，当P1＞＞P2时，由于第一平板悬浮部400和第二平板悬浮部500的浮力大于平板吸附部600的吸附力，因此平板的浮起间隔增加，当P1＜＜P2时，相反地，由于第一平板悬浮部400和第二平板悬浮部500的浮力小于平板吸附部600的吸附力，因此平板的浮起间隔减小。
除了通过调节所述P1、P2流体压力来控制平板的浮起间隔的方法之外，还可以通过倾斜喷头部305的倾斜角α的调节(例如，倾斜角α变小，则浮力增加)、调节倾斜喷头部305或者康达喷头部205的间隔(例如，在相同的压力下，间隔变大，则浮力增加)、选择喷头阻块301或者康达条201的宽度(例如，宽度变大，则浮力增加)来控制平板的浮起间隔。
另外，在平板显示装置(Flat display)的制造工序和移送工序中，需要通过图28所示的空气射流刀冲击(Air Jet Knife-Impact)干燥工序消除在平板上的去离子水(DeIonized Water)或者异物等，如图29所示，可以在本发明的平板悬浮系统的一侧或两侧进一步设置所述Air Jet Knife-Impact干燥装置214。
本领域的普通技术人员在不脱离本发明的技术思想的前提下可以进行改变或等价替换，因此本发明的保护范围并不限于前述的实施内容和附图。
工业应用性
本发明的利用倾斜喷射流体或者康达喷射流体的平板悬浮系统，通过给整个区域供给均匀的气压，并且利用倾斜喷射流体或者康达喷射流体以提供稳定的浮力，并且能够精密地维持平板的平坦度、细微地调节浮起间隔，因此可以应用于较为精密的平板移送领域。

Claims (30)

1.一种平板精密悬浮系统，通过流体(气体或者液体)使平板(P)浮起，其特征在于，包括：
第一平板悬浮部(400)及第二平板悬浮部(500)，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：
平坦部(302)，平行于所述平板(P)的移送方向平坦地形成，从而形成与平板之间的浮起间隔；
喷头阻块(301)，其具有上部左右角落处相对于所述平板倾斜而成，并具有对向的倾斜角α的一对倾斜部(303)；
一对喷头板(304)，在低于所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部(303)的位置处，围绕所述喷头阻块(301)的倾斜部(303)和外周面(306)而形成；以及，
一对倾斜喷头部(305)，由所述喷头阻块(301)的对向设置的一对倾斜部(303)和一对喷头板(304)形成，并且具有对向的倾斜角α，
其中，所述平板悬浮部使通过所述对向设置的一对倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部向上倾斜地流动，在所述对向吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)相遇的喷头阻块平坦部上部形成压力(浮力)，利用所述压力使得平板浮起一定的间隔；以及，
平板吸附部(600)，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反的倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)生成低压，以使吸附力作用于所述平板上，
在基于所述第一平板悬浮部及所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有稳定的浮起固定度(Stiffness)。
2.根据权利要求1所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
所述倾斜部(303)和倾斜喷头部(305)相对于平板(P)的倾斜角α为5～45度。
3.根据权利要求1所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
由所述喷头阻块(301)和喷头板(304)形成的倾斜喷头部(305)的平面形状为封闭型的同心圆状、同心椭圆状、重叠四边形，或者条式开放型双重平行线形。
4.根据权利要求1所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在形成所述倾斜喷头部(305)的喷头板(304)上形成有锯齿形状的喷头(307)。
5.根据权利要求1所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在所述喷头板(304)中间形成有喷头(700)，通过经由所述喷头吐出的喷射流体改变所述流体流动(H)的方向，以防止成为所述平板(P)的振动和浮起不稳定的因素的流体流动(H)。
6.根据权利要求5所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
将所述喷头(700)为康达喷头。
7.根据权利要求1所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在所述平板吸附部(600)上的长度方向上具有一定间隔地设置隔膜(D)，以防止平板吸附部(600)的压力损失，并且在平板吸附部的隔膜区间维持均匀的压力。
8.根据权利要求1所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在给所述倾斜喷头部(305)供给流体时，使得供给至外侧的左右喷头部的流体压力和供给至内侧的左右喷头部的流体压力相互不同，在外侧的左右喷头部使用相同的压力P1，在内侧的左右喷头部使用相同的压力P2，以联动调整第一平板悬浮部(400)和第二平板悬浮部(500)的浮力，以及平板吸附部(600)的吸附力，从而精密地控制平板的浮起间隔。
9.根据权利要求1所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
通过调节所述倾斜喷头部(305)的倾斜角α、倾斜喷头部(305)的喷头间隔或者喷头阻块(301)的宽度，来控制平板的浮起间隔。
10.根据权利要求1至9任意一项权利要求所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
所述喷头阻块(301)及喷头板(304)相互之间排列成具有一定的间隔的格子状。
11.根据权利要求1至9任意一项权利要求所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
所述喷头阻块(301)和喷头板(304)沿着长度方向形成。
12.根据权利要求1至9任意一项权利要求所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在将所述平板(P)倾斜地浮起并且予以移送时，在所述平板的下侧面设置用于移送的驱动滚轮(208)，以施加移送力。
13.根据权利要求1至9任意一项权利要求所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在以所述平板悬浮系统浮起薄平板并且予以移送时，附加设置具有不同的浮起特性的现有的浮起装置(300)并一同使用，从而防止平板的下倾。
14.根据权利要求1至9任意一项权利要求所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在所述平板悬浮系统的一侧或者两侧进一步包括所述空气射流刀冲击干燥装置(214)。
15.一种平板精密悬浮系统，用于通过流体(气体或者液体)使平板(P)浮起，其特征在于，包括：
第一平板悬浮部(400)及第二平板悬浮部(500)，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：
平坦部(202)，平行于平板(P)的移送方向平坦地形成，并且形成与平板之间的浮起间隔；
康达条(201)，具有上部左右角落处相对于所述平板倾斜而成的对向设置的一对康达曲面(203)；
一对喷头板(204)，在低于所述康达条的对向设置的一对康达曲面(203)高度的位置处，围绕所述康达条(201)的外周面而形成；以及，
对向设置的一对康达喷头部(205)，由所述康达条(201)的对向设置的一对康达曲面(203)和一对喷头板(204)形成，
其中，所述平板悬浮部使通过所述对向设置的一对康达喷头部(205)吐出的康达喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部流动，在由所述对向地吐出的康达喷射流体(气体或者液体)相遇的康达条平坦部(202)上部形成压力(浮力)，利用所述压力使得平板浮起一定的间隔，以及，
平板吸附部(600)，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反向的康达喷头部吐出的康达喷射流体(气体或者液体)生成低压，以使吸附力作用于所述平板上，
在基于所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有稳定的浮起固定度。
16.根据权利要求15所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
由所述康达条(201)和喷头板(204)形成的康达喷头部(205)的平面形状为封闭型的同心圆状、同心椭圆状、重叠四边形，或者条式开放型双重平行线形。
17.根据权利要求15所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在形成所述康达喷头部(205)的喷头板(204)上形成有锯齿形状的喷头(307)。
18.根据权利要求15所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在所述喷头板(204)中间形成有喷头(700)，通过经由所述喷头吐出的喷射流体改变所述流体流动(H)的方向，以防止成为所述平板(P)的振动和浮起不稳定的因素的流体流动(H)。
19.根据权利要求18所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
所述喷头(700)为康达喷头。
20.根据权利要求15所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在所述平板吸附部(600)上设置有在所述平板吸附部的长度方向上具有一定的间隔的隔膜(D)，以防止平板吸附部(600)的压力损失，并且在平板吸附部的隔膜区间维持均匀的压力。
21.根据权利要求15所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在给所述倾斜喷头部(305)供给流体时，使得供给至外侧的左右喷头部的流体压力和供给至内侧的左右喷头部的流体压力相互不同，在外侧的左右喷头部使用相同的压力P1，在内侧的左右喷头部使用相同的压力P2，以联动调整第一平板悬浮部(400)和第二平板悬浮部(500)的浮力以及平板吸附部(600)的吸附力，从而精密地控制平板的浮起间隔。
22.根据权利要求15所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
通过调节所述康达喷头部(205)的喷头间隔或者康达条(201)的宽度，控制平板的浮起间隔。
23.根据权利要求15所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在所述康达条(201)的平坦部(202)上形成有流体排出孔(206)以向所述流体排出孔(206)排出康达喷射流的流动。
24.根据权利要求23所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在所述康达条(201)上设置有感应器，以在平板(P)接近所述平板精密悬浮系统时用于封闭所述流体排出孔(206)，
若平板接近，则在感应其接近后联动驱动器封闭流体排出孔(206)。
25.根据权利要求23所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在平板(P)接近所述平板精密悬浮系统时，为了封闭所述流体排出孔(206)，若平板接近，感应平板附近A的压力变化，通过用于开闭操作的操控阀封闭流体排出孔(206)。
26.根据权利要求15至25中任意一项权利要求所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
所述康达条(201)和喷头板(204)相互之间排列成具有一定间隔的格子状。
27.根据权利要求15至25中任意一项权利要求所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
所述康达条(201)和喷头板(204)沿着长度方向形成。
28.根据权利要求15至25中任意一项权利要求所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在将所述平板(P)倾斜地浮起并且予以移送时，在所述平板的下侧面设置用于移送的驱动滚轮(208)以施加移送力。
29.根据权利要求15至25中任意一项权利要求所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在以所述平板悬浮系统浮起薄平板并且予以移送时，附加具有不同的浮起特性的现有的浮起装置(300)并一同使用，从而防止平板的下倾。
30.根据权利要求15至25中任意一项权利要求所述的平板精密悬浮系统，其特征在于，
在所述平板悬浮系统的一侧或者两侧进一步包括所述空气射流刀冲击干燥装置(214)。
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