CN102445188A - 用于载片台框架的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法 - Google Patents

用于载片台框架的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法 Download PDF

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许海渐
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Nantong Fujitsu Microelectronics Co Ltd
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Abstract

本发明公开了一种用于载片台框架的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法。载片台倾斜检测设备包括承托板,所述承托板为凹槽状以容纳所述载片台框架,凹槽的一个侧壁设有多个与所述凹槽的延伸方向垂直且平行于凹槽底面的载片台检测槽。本发明的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法,可有效检出倾斜程度较小的载片台倾斜制品,对载片台倾斜制品进行纠正后判定合格与否,进而提高产品合格率、减少塑封后外观检验的劳动强度。

Description

用于载片台框架的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法
技术领域
本申请涉及一种用于检测载片台倾斜的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法,特别是一种应用于载片台框架的通止规和载片台倾斜检测方法。
背景技术
如附图1所示为一种载片台框架10,包括连接框11和与连接框11相连接的多个载片台12。各载片台12之间不直接相连,而是分别与连接框11连接。
在现有技术中,通常采用目视方法来确认载片台是否存在倾斜。然而,目视方法通常只能检测出较明显的倾斜(偏差0.5mm以上),但不能有效检出倾斜较小(偏差0.125mm-0.5mm左右)的不良品。另外,即便检测出较明显的倾斜,经过倾斜校正后,也无法确认校正是否正确,不良品仍需塑封后经外观检查挑出。这样一来,必定浪费生产成本且影响产品合格率。
发明内容
为了解决现有技术目视方法存在的问题,本发明提出一种用于载片台框架的载片台倾斜检测设备以及一种用于载片台框架的载片台倾斜检测方法,其可有效检出载片台倾斜制品,对载片台倾斜制品进行纠正后判定合格与否,进而提高产品合格率、减少塑封后外观检验的劳动强度。
根据本发明的一方面,一种用于检测载片台框架中的载片台的倾斜检测设备,包括承托板,所述承托板为凹槽状以容纳所述载片台框架,凹槽的一个侧壁设有多个与所述凹槽的延伸方向垂直且平行于凹槽底面的载片台检测槽;多个载片台检测槽的间距与载片台框架中各载片台的间距相同,且每个载片台检测槽的深度大于载片台的倒角或圆弧的高度。
更进一步地,所述载片台检测槽的个数大于或等于载片台框架上载片台的个数。
更进一步地,各所述载片台检测槽的深度为3mm。
更进一步地,各所述载片台检测槽的宽度为载片台框架上的所述载片台的允许倾斜尺寸标准值。
根据本发明的另一方面,一种用于载片台框架的载片台倾斜检测方法包括如下步骤:
步骤一:将所述载片台框架沿水平方向放入凹槽状承托板的凹槽中,以使各载片台在垂直方向上与各载片台检测槽相对应;
步骤二:将所述载片台框架沿垂直方向向载片台检测槽移动;
步骤三:判断载片台框架上的载片台是否能够进入对应的载片台检测槽;
步骤四:如果所述载片台框架上的所述载片台能够进入对应的所述载片台检测槽,则所述载片台框架上的各载片台均倾斜不超标;
步骤五:如果所述载片台框架上的载片台不能进入对应的所述载片台检测槽,则所述载片台框架上的一个或多个载片台倾斜超标。
更进一步地,用于载片台框架的载片台倾斜检测方法,还包括步骤六:
如果所述载片台框架上的载片台不能进入对应的载片台检测槽,使用镊子反向校正一个或多个倾斜超标的载片台,使其倾斜不超标。
采用本发明的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法,可准确检测出倾斜偏差较小的不良品,从而对超出倾斜范围的不良品进行校正。
附图说明
参照下面结合附图对本发明实施例的说明,会更加容易地理解本发明的以上和其它目的、特点和优点。附图中的部件只是为了示出本发明的原理。在附图中,相同的或类似的技术特征或部件将采用相同或类似的附图标记来表示。
图1为载片台框架的示意图。
图2为本发明的载片台倾斜检测设备一种实施例的主视图。
图3为图2中的载片台倾斜检测设备的侧视图。
图4为将载片台框架放入载片台倾斜检测设备过程的示意图。
图5a为载片台框架上的载片台倾斜不超标时的示意图。
图5b为载片台框架上的载片台倾斜超标时的示意图。
图6为本发明的用于载片台框架的载片台倾斜检测方法的流程图。
具体实施方式
下面参照附图来说明本发明的实施例。在本发明的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或更多个其它附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意,为了清楚的目的,附图和说明中省略了与本发明无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。
参照附图2-4,载片台框架的载片台倾斜检测设备20包括承托板21,所述承托板为凹槽状以容纳所述载片台框架,凹槽的一个侧壁设有多个与所述凹槽的延伸方向垂直且平行于凹槽底面的载片台检测槽22。
当进行倾斜检测时,载片台框架10从侧面沿凹槽滑入承托板21中。框架滑入凹槽后可使得产品检验更加方便,尤其使芯片/配线等不良品的打废更加方便安全,产品不会由于滑动而产生意外损伤。
各载片台检测槽22之间的距离与载片台框架中各载片台的间距相同。可选地,载片台检测槽22的个数大于或等于载片台框架10上载片台12的个数。
载片台检测槽22的深度应大于载片台倒角或圆弧高度,可选地,以3mm左右为宜。载片台检测槽22的宽度应当与载片台的宽度相匹配,可依据载片台外观允许的倾斜尺寸标准为依据来设定。例如,T0247型载片台宽度为14.021mm,载片台倾斜规范为±0.125mm,则凹槽宽度设计参考值可为14.146mm.
参见附图5a,如果载片台框架上10的载片台12能够进入载片台检测槽22中,则说明载片台12的倾斜不超标。
参见附图5b,如果载片台框架上10的载片台12不能够进入载片台检测槽22中,则说明载片台框架上的一个或多个载片台12的倾斜超标。此时,可以使用镊子等工具对倾斜超标的不良品进行反向校正。校正后如果载片台能够顺利地进入载片台检测槽22中,则证明载片台恢复为合格品。
参见附图6,为本发明的用于载片台框架的载片台倾斜检测方法的流程图。
首先,将所述载片台框架沿水平方向放入凹槽状承托板的凹槽中,以使各载片台在垂直方向上与各载片台检测槽相对应;然后,将所述载片台框架沿垂直方向向下移动;接下来,判断载片台框架上的载片台能够进入对应的载片台检测槽。如果所述载片台框架上的所述载片台能够进入对应的所述载片台检测槽,则所述载片台框架上的各载片台均倾斜不超标;如果所述载片台框架上的载片台不能进入对应的所述载片台检测槽,则所述载片台框架上的一个或多个载片台倾斜超标。
如果载片台框架上的载片台不能进入对应的载片台检测槽,使用镊子反向校正一个或多个倾斜超标的载片台,使其倾斜不超标。
采用本发明的用于载片台框架的载片台倾斜检测设备以及用于载片台框架的载片台倾斜检测方法,可以有效检出载片台倾斜制品、对载片台倾斜制品进行纠正、并判断纠正后的产品合格与否,进而提高产品合格率、减少塑封后外观检验的劳动强度。
虽然已经详细说明了本发明及其优点,但是应当理解在不超出由所附的权利要求所限定的本发明的精神和范围的情况下可以进行各种改变、替代和变换。而且,本申请的范围不仅限于说明书所描述的过程、设备、手段、方法和步骤的具体实施例。本领域内的普通技术人员从本发明的公开内容将容易理解,根据本发明可以使用执行与在此所述的相应实施例基本相同的功能或者获得与其基本相同的结果的、现有和将来要被开发的过程、设备、手段、方法或者步骤。因此,所附的权利要求旨在在它们的范围内包括这样的过程、设备、手段、方法或者步骤。

Claims (6)

1.一种用于检测载片台框架中的载片台的倾斜检测设备,其特征在于:包括承托板,所述承托板为凹槽状以容纳所述载片台框架,凹槽的一个侧壁设有多个与所述凹槽的延伸方向垂直且平行于凹槽底面的载片台检测槽;多个载片台检测槽的间距与载片台框架中各载片台的间距相同,且每个载片台检测槽的深度大于载片台的倒角或圆弧的高度。
2.根据权利要求1所述的倾斜检测设备,其特征在于:所述载片台检测槽的个数大于或等于载片台框架上载片台的个数。
3.根据权利要求1所述的载片台倾斜检测设备,其特征在于:各所述载片台检测槽的深度为3毫米。
4.根据权利要求1所述的用于载片台框架的载片台倾斜检测设备,其特征在于:各所述载片台检测槽的宽度为载片台框架上的所述载片台的允许倾斜尺寸标准值。
5.一种用于载片台框架的载片台倾斜检测方法,其特征在于,包括如下步骤:
将所述载片台框架沿水平方向放入凹槽状承托板的凹槽中,以使各载片台在垂直方向上与各载片台检测槽相对应;
将所述载片台框架沿垂直方向向载片台检测槽移动;
判断所述载片台框架上的载片台是否能够进入对应的载片台检测槽;
如果所述载片台框架上的所述载片台能够进入对应的所述载片台检测槽,则所述载片台框架上的各载片台均倾斜不超标;
如果所述载片台框架上的载片台不能进入对应的所述载片台检测槽,则所述载片台框架上的一个或多个载片台倾斜超标。
6.根据权利要求5所述的用于载片台框架的载片台倾斜检测方法,其特征在于,还包括:
如果所述载片台框架上的载片台不能进入对应的载片台检测槽,使用
镊子反向校正一个或多个倾斜超标的载片台,使其倾斜不超标。
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