CN102423743A - 多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法，属于多晶硅制备技术领域。坩埚涂覆机包括底座、支撑部，支撑部上端铰接转轴支架，转轴支架内有转轴，转轴的一端可拆卸的固定有坩埚，转轴的另一端连接有动力源；转轴支架与底座之间装有液压支柱。坩埚涂覆方法包括安装和清理坩埚、倒浆料、垂直旋转涂覆坩埚底部、水平旋转涂覆坩埚侧面、倒出浆料余料、取下坩埚等步骤。使用本发明坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法，可实现坩埚自动或半自动旋转涂覆，取代传统的人工喷涂方式，解决浆料涂覆不匀产生的硅料粘埚等问题，节约时间，提高生产效率，保证产品质量，减少劳动强度。

Description

多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法

技术领域

本发明涉及一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆设备和坩埚涂覆方法，属于多晶硅制备技术领域。

背景技术

目前，多晶硅铸锭用坩埚内的氮化硅涂层是采用人工喷涂方式涂覆，这种工作方式不仅效率很低，而且现场作业环境恶劣，劳动强度大，对工人的身心健康均造成不良影响，涂覆质量容易受个人技术和生产情绪的制约，良品率无法保证。而坩埚涂覆不匀会造成后续程序中出现硅料粘埚等问题，影响生产效率、生产安全和产品质量。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足之处，本发明提供一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法，用自动或半自动旋转涂覆，取代人工喷涂方式，保证涂覆均匀，解决硅料粘埚等问题，节约时间，提高生产效率。

本发明是通过如下技术方案实现的一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，它包括底座，底座上固定有支撑部，支撑部上端有铰支座，铰支座上铰接有转轴支架，转轴支架内穿入转轴，转轴与转轴支架之间装有轴承，所述的转轴的一端伸出所述的转轴支架外可拆卸的固定有坩埚，所述的转轴的另一端连接有动力源；所述的转轴支架靠近坩埚的一端与所述的底座之间装有液压支柱，液压支柱的一端与所述的转轴支架铰接，液压支柱的另一端与所述的底座铰接。

所述的坩埚为有密封盖的方形盒体。

所述的支撑部为固定支柱。

所述的动力源是电机。

一种多晶硅铸锭坩埚涂覆方法，包括如下步骤：

步骤一、首先布置好可上下转动的转轴支架，然后将坩埚安装到转轴支架内的转轴上，固定坩埚并清理坩埚内壁，准备好后，用液压支柱将转轴支架调整至垂直状态，使坩埚开口朝上；

步骤二、将准备好的足量的浆料倒入坩埚内，盖上密封盖将坩埚封闭，然后启动动力装置使转轴旋转，带动坩埚沿垂直轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的底部涂覆均匀；

步骤三、旋转30秒～90秒后，使转轴停止，用液压支柱将转轴支架调整至水平状态，然后启动动力装置使转轴旋转，带动坩埚沿水平轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的侧面涂覆均匀；

步骤四、旋转90秒～180秒后，使转轴停止，将转轴支架由水平状态向下倾斜，打开坩埚密封盖，使剩余浆料自动流出；然后调整转轴支架角度，将坩埚取下，完成涂覆过程。

步骤二中，倒入坩埚内的浆料的高度为2～3厘米。

步骤二和步骤三中，所述转轴的转速为每分钟8～12转。

本发明的有益效果是：可实现多晶硅铸锭用坩埚自动或半自动旋转涂覆，取代传统的人工喷涂方式，解决浆料涂覆不匀产生的硅料粘埚等问题，节约时间，提高生产效率，保证产品质量，改善现场环境卫生，保护员工身心健康，减少劳动强度。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明结构示意图；

图2是图1的左视图；

图3是图1的俯视图；

图4是本发明立体图。

1.底座，1-1.支撑部，2.动力源，3.转轴支架，4.铰支座，5.转轴，6.坩埚，7.液压支柱。

具体实施方式

如图1、图2、图3、图4所示，一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，它包括底座1，底座1上固定有支撑部1-1，支撑部1-1上端有铰支座4，铰支座4上铰接有转轴支架3，转轴支架3内穿入转轴5，转轴5与转轴支架3之间装有轴承，所述的转轴5的一端伸出所述的转轴支架3外可拆卸的固定有坩埚6，可采用螺钉、插装或卡合固定，所述的转轴5的另一端连接有动力源2，动力源为电机、小型发动机或手摇曲柄等，可根据实际需要选用；所述的转轴支架3靠近坩埚6的一端与所述的底座1之间装有液压支柱7，液压支柱7的活塞杆端部与所述的转轴支架3铰接，液压支柱7的缸体末端与所述的底座1铰接。所述的坩埚6为有密封盖的方形盒体。所述的支撑部1-1为固定支柱。

其工作过程为：将坩埚6安装到转轴支架3内的转轴5上，固定坩埚并清理坩埚内壁，准备好后，控制液压支柱7将转轴支架3调整至垂直状态，使坩埚开口朝上；然后将浆料倒入坩埚内，盖上密封盖将坩埚封闭，然后启动动力源或采用人工曲柄摇转使转轴5旋转，带动坩埚沿垂直轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的底部涂覆均匀；旋转一定时间后，使转轴停止，控制液压支柱7将转轴支架3调整至水平状态，使转轴5旋转，带动坩埚沿水平轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的侧面涂覆均匀；旋转一定时间后，使转轴停止，将转轴支架3由水平状态向下倾斜3～5度，打开坩埚密封盖，使剩余浆料自动流出；然后将坩埚取下，完成涂覆过程。

多晶硅铸锭坩埚涂覆方法实施例：

(一)多晶硅铸锭坩埚涂覆方法实施例一，包括如下步骤：

步骤一、首先布置好可上下转动的转轴支架3，然后将坩埚6安装到转轴支架3内的转轴5上，固定坩埚并清理坩埚内壁，准备好后，用液压支柱7将转轴支架3调整至垂直状态，使坩埚开口朝上；

步骤二、将准备好的足量的浆料倒入坩埚内，盖上密封盖将坩埚封闭，然后启动动力装置使转轴5旋转，带动坩埚沿垂直轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的底部涂覆均匀；

步骤三、旋转45秒后，使转轴停止，用液压支柱7将转轴支架3调整至水平状态，然后启动动力装置使转轴5旋转，带动坩埚沿水平轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的侧面涂覆均匀；

步骤四、旋转120秒后，使转轴停止，将转轴支架3由水平状态向下倾斜3度，打开坩埚密封盖，使剩余浆料自动流出；然后调整转轴支架3角度，将坩埚取下，完成涂覆过程。

步骤二中，倒入坩埚内的浆料的高度为2厘米。

步骤二和步骤三中，所述转轴5的转速为每分钟12转。

(二)多晶硅铸锭坩埚涂覆方法实施例二，包括如下步骤：

步骤一、首先布置好可上下转动的转轴支架3，然后将坩埚6安装到转轴支架3内的转轴5上，固定坩埚并清理坩埚内壁，准备好后，用液压支柱7将转轴支架3调整至垂直状态，使坩埚开口朝上；

步骤二、将准备好的足量的浆料倒入坩埚内，盖上密封盖将坩埚封闭，然后启动动力装置使转轴5旋转，带动坩埚沿垂直轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的底部涂覆均匀；

步骤三、旋转60秒后，使转轴停止，用液压支柱7将转轴支架3调整至水平状态，然后启动动力装置使转轴5旋转，带动坩埚沿水平轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的侧面涂覆均匀；

步骤四、旋转180秒后，使转轴停止，将转轴支架3由水平状态向下倾斜5度，打开坩埚密封盖，使剩余浆料自动流出；然后调整转轴支架3角度，将坩埚取下，完成涂覆过程。

步骤二中，倒入坩埚内的浆料的高度为3厘米。

步骤二和步骤三中，所述转轴5的转速为每分钟10转。

使用本发明的多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法，可实现自动或半自动旋转涂覆，取代传统的人工喷涂方式，解决浆料涂覆不匀产生的硅料粘埚等问题，节约时间，提高生产效率，保证产品质量，减少劳动强度。

Claims (7)

1.一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于：它包括底座(1)，底座(1)上固定有支撑部(1-1)，支撑部(1-1)上端有铰支座(4)，铰支座(4)上铰接有转轴支架(3)，转轴支架(3)内穿入转轴(5)，转轴(5)与转轴支架(3)之间装有轴承，所述的转轴(5)的一端伸出所述的转轴支架(3)外可拆卸的固定有坩埚(6)，所述的转轴(5)的另一端连接有动力源(2)；所述的转轴支架(3)靠近坩埚(6)的一端与所述的底座(1)之间装有液压支柱(7)，液压支柱(7)的一端与所述的转轴支架(3)铰接，液压支柱(7)的另一端与所述的底座(1)铰接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于：所述的坩埚(6)为有密封盖的方形盒体。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于：所述的支撑部(1-1)为固定支柱。

4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于：所述的动力源(2)是电机。

5.一种多晶硅铸锭坩埚涂覆方法，其特征是包括如下步骤：

步骤一、首先布置好可上下转动的转轴支架(3)，然后将坩埚(6)安装到转轴支架(3)内的转轴(5)上，固定坩埚并清理坩埚内壁，准备好后，用液压支柱(7)将转轴支架(3)调整至垂直状态，使坩埚开口朝上；

步骤二、将准备好的足量的浆料倒入坩埚内，盖上密封盖将坩埚封闭，然后启动动力装置使转轴(5)旋转，带动坩埚沿垂直轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的底部涂覆均匀；

步骤三、旋转30秒～90秒后，使转轴停止，用液压支柱(7)将转轴支架(3)调整至水平状态，然后启动动力装置使转轴(5)旋转，带动坩埚沿水平轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的侧面涂覆均匀；

步骤四、旋转90秒～180秒后，使转轴停止，将转轴支架(3)由水平状态向下倾斜，打开坩埚密封盖，使剩余浆料自动流出；然后调整转轴支架(3)角度，将坩埚取下，完成涂覆过程。

6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭坩埚涂覆方法，其特征在于：步骤二中，倒入坩埚内的浆料的高度为2～3厘米。

7.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭坩埚涂覆方法，其特征在于：步骤二和步骤三中，所述转轴(5)的转速为每分钟8～12转。

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